RU2009101829A - Оптическое устройство для измерения перемещений - Google Patents
Оптическое устройство для измерения перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- RU2009101829A RU2009101829A RU2009101829/28A RU2009101829A RU2009101829A RU 2009101829 A RU2009101829 A RU 2009101829A RU 2009101829/28 A RU2009101829/28 A RU 2009101829/28A RU 2009101829 A RU2009101829 A RU 2009101829A RU 2009101829 A RU2009101829 A RU 2009101829A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plate
- base
- hole
- flange
- beam splitter
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
Оптическое устройство для измерения перемещений, содержащее оптически связанные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, жестко закрепленный на поверхности объекта контроля, и фотоприемное устройство, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит опорную плиту с центральным отверстием, скрепленную с основанием при помощи устройства для регулировки и фиксации ее положения, на внутренней поверхности плиты, обращенной к поверхности объекта контроля, жестко закреплено фотоприемное устройство, в котором выполнено отверстие, соосное отверстию в плите, и с возможностью регулировки и фиксации положения установлен цилиндрический корпус с размещенными в его полости источником когерентного оптического излучения и оптической системой, а на наружной поверхности плиты с возможностью регулировки и фиксации положения через фланец большого основания закреплен конический корпус, при этом на фланце малого основания конического корпуса жестко закреплены светоделитель и одним концом эластичная светонепроницаемая мембрана, выполненная в виде кольца и опирающаяся противоположным концом на поверхность объекта контроля.
Claims (1)
- Оптическое устройство для измерения перемещений, содержащее оптически связанные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, жестко закрепленный на поверхности объекта контроля, и фотоприемное устройство, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит опорную плиту с центральным отверстием, скрепленную с основанием при помощи устройства для регулировки и фиксации ее положения, на внутренней поверхности плиты, обращенной к поверхности объекта контроля, жестко закреплено фотоприемное устройство, в котором выполнено отверстие, соосное отверстию в плите, и с возможностью регулировки и фиксации положения установлен цилиндрический корпус с размещенными в его полости источником когерентного оптического излучения и оптической системой, а на наружной поверхности плиты с возможностью регулировки и фиксации положения через фланец большого основания закреплен конический корпус, при этом на фланце малого основания конического корпуса жестко закреплены светоделитель и одним концом эластичная светонепроницаемая мембрана, выполненная в виде кольца и опирающаяся противоположным концом на поверхность объекта контроля.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009101829/28A RU2407988C2 (ru) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | Оптическое устройство для измерения перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009101829/28A RU2407988C2 (ru) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | Оптическое устройство для измерения перемещений |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2009101829A true RU2009101829A (ru) | 2010-07-27 |
RU2407988C2 RU2407988C2 (ru) | 2010-12-27 |
Family
ID=42697805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2009101829/28A RU2407988C2 (ru) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | Оптическое устройство для измерения перемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2407988C2 (ru) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2512697C1 (ru) * | 2012-10-29 | 2014-04-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) | Оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля |
RU2606245C1 (ru) * | 2015-09-21 | 2017-01-10 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" | Способ измерения линейной и угловых составляющих малых перемещений поверхностей объектов контроля |
-
2009
- 2009-01-20 RU RU2009101829/28A patent/RU2407988C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2407988C2 (ru) | 2010-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2534037T3 (es) | Sistema para direccionar radiación incidente | |
TW200726955A (en) | High density multi-channel detecting device | |
ATE542107T1 (de) | Selbstmischende lasermessvorrichtung | |
WO2011106327A3 (en) | High resolution imaging devices with wide field and extended focus | |
IN2014KN02707A (ru) | ||
SG151244A1 (en) | Lithographic apparatus, projection assembly and active damping | |
JP2013007744A5 (ru) | ||
JP2016540992A5 (ru) | ||
EP4300058A3 (en) | Optical module | |
CN109031241B (zh) | 激光雷达发射系统 | |
RU2009101829A (ru) | Оптическое устройство для измерения перемещений | |
AR051701A1 (es) | Dispositivo sensor que emite una o mas senales de advertencia detectables | |
ES2531317T3 (es) | Dispositivo de medición óptica de un parámetro físico | |
CL2018000146A1 (es) | Dispositivo y sistema de medida óptica del coeficiente de reflexión de una superficie | |
RU2013155990A (ru) | Способ и система измерения положений элементов конструкции | |
DE602006001637D1 (de) | Optische sonde und diese verwendende einrichtung und methode | |
JP2011512277A5 (ru) | ||
TW200708875A (en) | Micro-projector apparatus | |
CN101887077A (zh) | 激光投影标尺系统 | |
TW200721151A (en) | Method and apparatus capable of detecting spherical aberration caused by storage medium | |
ES2628641T3 (es) | Dispositivo y procedimiento para el ajuste óptimo de la placa de lente en un módulo de CPV | |
TWI404907B (ru) | ||
CN202351019U (zh) | 固定角度光学薄膜反射率测试装置 | |
CN101416870B (zh) | 监视中心光点对准装置 | |
KR101018699B1 (ko) | 원통형 광학부품의 중심축 자동 조심형 고정 기구 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20120121 |