RU2009101829A - Оптическое устройство для измерения перемещений - Google Patents

Оптическое устройство для измерения перемещений Download PDF

Info

Publication number
RU2009101829A
RU2009101829A RU2009101829/28A RU2009101829A RU2009101829A RU 2009101829 A RU2009101829 A RU 2009101829A RU 2009101829/28 A RU2009101829/28 A RU 2009101829/28A RU 2009101829 A RU2009101829 A RU 2009101829A RU 2009101829 A RU2009101829 A RU 2009101829A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plate
base
hole
flange
beam splitter
Prior art date
Application number
RU2009101829/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2407988C2 (ru
Inventor
Игорь Павлович Мирошниченко (RU)
Игорь Павлович Мирошниченко
Иван Анатольевич Паринов (RU)
Иван Анатольевич Паринов
Евгений Васильевич Рожков (RU)
Евгений Васильевич Рожков
Александр Геннадьевич Серкин (RU)
Александр Геннадьевич Серкин
Original Assignee
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный Федеральный Университет" (RU)
Федеральное Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Южный Федеральный Университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный Федеральный Университет" (RU), Федеральное Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Южный Федеральный Университет" filed Critical Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный Федеральный Университет" (RU)
Priority to RU2009101829/28A priority Critical patent/RU2407988C2/ru
Publication of RU2009101829A publication Critical patent/RU2009101829A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2407988C2 publication Critical patent/RU2407988C2/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

Оптическое устройство для измерения перемещений, содержащее оптически связанные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, жестко закрепленный на поверхности объекта контроля, и фотоприемное устройство, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит опорную плиту с центральным отверстием, скрепленную с основанием при помощи устройства для регулировки и фиксации ее положения, на внутренней поверхности плиты, обращенной к поверхности объекта контроля, жестко закреплено фотоприемное устройство, в котором выполнено отверстие, соосное отверстию в плите, и с возможностью регулировки и фиксации положения установлен цилиндрический корпус с размещенными в его полости источником когерентного оптического излучения и оптической системой, а на наружной поверхности плиты с возможностью регулировки и фиксации положения через фланец большого основания закреплен конический корпус, при этом на фланце малого основания конического корпуса жестко закреплены светоделитель и одним концом эластичная светонепроницаемая мембрана, выполненная в виде кольца и опирающаяся противоположным концом на поверхность объекта контроля.

Claims (1)

  1. Оптическое устройство для измерения перемещений, содержащее оптически связанные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, жестко закрепленный на поверхности объекта контроля, и фотоприемное устройство, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит опорную плиту с центральным отверстием, скрепленную с основанием при помощи устройства для регулировки и фиксации ее положения, на внутренней поверхности плиты, обращенной к поверхности объекта контроля, жестко закреплено фотоприемное устройство, в котором выполнено отверстие, соосное отверстию в плите, и с возможностью регулировки и фиксации положения установлен цилиндрический корпус с размещенными в его полости источником когерентного оптического излучения и оптической системой, а на наружной поверхности плиты с возможностью регулировки и фиксации положения через фланец большого основания закреплен конический корпус, при этом на фланце малого основания конического корпуса жестко закреплены светоделитель и одним концом эластичная светонепроницаемая мембрана, выполненная в виде кольца и опирающаяся противоположным концом на поверхность объекта контроля.
RU2009101829/28A 2009-01-20 2009-01-20 Оптическое устройство для измерения перемещений RU2407988C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009101829/28A RU2407988C2 (ru) 2009-01-20 2009-01-20 Оптическое устройство для измерения перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009101829/28A RU2407988C2 (ru) 2009-01-20 2009-01-20 Оптическое устройство для измерения перемещений

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009101829A true RU2009101829A (ru) 2010-07-27
RU2407988C2 RU2407988C2 (ru) 2010-12-27

Family

ID=42697805

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009101829/28A RU2407988C2 (ru) 2009-01-20 2009-01-20 Оптическое устройство для измерения перемещений

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2407988C2 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2512697C1 (ru) * 2012-10-29 2014-04-10 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) Оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля
RU2606245C1 (ru) * 2015-09-21 2017-01-10 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" Способ измерения линейной и угловых составляющих малых перемещений поверхностей объектов контроля

Also Published As

Publication number Publication date
RU2407988C2 (ru) 2010-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2534037T3 (es) Sistema para direccionar radiación incidente
TW200726955A (en) High density multi-channel detecting device
ATE542107T1 (de) Selbstmischende lasermessvorrichtung
WO2011106327A3 (en) High resolution imaging devices with wide field and extended focus
IN2014KN02707A (ru)
SG151244A1 (en) Lithographic apparatus, projection assembly and active damping
JP2013007744A5 (ru)
JP2016540992A5 (ru)
EP4300058A3 (en) Optical module
CN109031241B (zh) 激光雷达发射系统
RU2009101829A (ru) Оптическое устройство для измерения перемещений
AR051701A1 (es) Dispositivo sensor que emite una o mas senales de advertencia detectables
ES2531317T3 (es) Dispositivo de medición óptica de un parámetro físico
CL2018000146A1 (es) Dispositivo y sistema de medida óptica del coeficiente de reflexión de una superficie
RU2013155990A (ru) Способ и система измерения положений элементов конструкции
DE602006001637D1 (de) Optische sonde und diese verwendende einrichtung und methode
JP2011512277A5 (ru)
TW200708875A (en) Micro-projector apparatus
CN101887077A (zh) 激光投影标尺系统
TW200721151A (en) Method and apparatus capable of detecting spherical aberration caused by storage medium
ES2628641T3 (es) Dispositivo y procedimiento para el ajuste óptimo de la placa de lente en un módulo de CPV
TWI404907B (ru)
CN202351019U (zh) 固定角度光学薄膜反射率测试装置
CN101416870B (zh) 监视中心光点对准装置
KR101018699B1 (ko) 원통형 광학부품의 중심축 자동 조심형 고정 기구

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20120121