RU2393578C1 - Источник, формирующий протонный пучок - Google Patents

Источник, формирующий протонный пучок Download PDF

Info

Publication number
RU2393578C1
RU2393578C1 RU2008144685/28A RU2008144685A RU2393578C1 RU 2393578 C1 RU2393578 C1 RU 2393578C1 RU 2008144685/28 A RU2008144685/28 A RU 2008144685/28A RU 2008144685 A RU2008144685 A RU 2008144685A RU 2393578 C1 RU2393578 C1 RU 2393578C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
proton
anode
accumulator
guide
hydrogen
Prior art date
Application number
RU2008144685/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2008144685A (ru
Inventor
Семен Павлович Червонобродов (RU)
Семен Павлович Червонобродов
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Карбонлайт"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Карбонлайт" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Карбонлайт"
Priority to RU2008144685/28A priority Critical patent/RU2393578C1/ru
Publication of RU2008144685A publication Critical patent/RU2008144685A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2393578C1 publication Critical patent/RU2393578C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Particle Accelerators (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области вакуумной электроники и может найти применение в технологических процессах, использующих протонные пучки, а также для сканирующей и просвечивающей протонной микроскопии. Устройство включает в себя вакуумную камеру, катод, сетку, анод из палладия, протоновод, аккумулятор протонов и нагреватель, при этом протоновод изготовлен из материала с высокой электропроводностью по ионам водорода и соединяет аккумулятор протонов с анодом, на который подан отрицательный потенциал по отношению к аккумулятору протонов. Аккумулятор протонов, в частности, может быть изготовлен из электролита, в котором присутствуют ионы водорода, или из композитного материала, содержащего соединение, адсорбирующее водород, а протоновод может дополнительно содержать нагреватель. Технический результат заключается в том, что в предложенном устройстве источника протонного пучка формируется пучок протонов с высокой плотностью, при высоком вакууме. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к области вакуумной электроники и может быть использовано в технологических процессах, использующих протонные пучки, а также для сканирующей и просвечивающей протонной микроскопии. Более конкретно изобретение относится к новому источнику протонов - устройству, являющемуся источником формирования пучка протонов.
Известен протонный источник с автоионной эмиссией ионов водорода в сильном электрическом поле, создаваемом на аноде, выполненном в виде острия из металла (УФН, 1962, т.77, вып.3, стр.481-552). На острие подается электрический потенциал, достаточно высокий 108 В/см, чтобы ионизировать молекулу водорода, которая является источником протонов или однозарядных ионов. Однако такой источник создает пучки протонов с низкой плотностью протонов. Недостатком такого источника, кроме того, является ухудшение вакуума в системе, наличие ионов молекулярного водорода, что представляет собой проблему в случае необходимости высокого вакуума, например в целях фокусировки пучка, когда длина свободного пробега зависит от плотности молекул и ионов водорода в объеме и должна быть больше характерных расстояний от источника протонов до места их фокусировки.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является источник протонного пучка, не имеющий вышеуказанных недостатков (заявка Японии, JP 59130056). Он представляет собой устройство, в котором отсутствует водород внутри объема источника, а протоны под действием электрического потенциала эмитируются из анода, выполненного в виде наполняемого водородом палладиевого электрода. Этот электрод представляет собой мембрану, отделяющую вакуумируемый объем от внешней среды, чем достигается возможность сохранения высокого вакуума. Мембрана из палладия расположена на торце трубки, подводящей к мембране содержащие протоны молекулы водорода, которые под действием подогрева до температура 400°С диффундируют в палладий. Таким образом, подводящая трубка играет роль протоновода, с одной стороны, а также объема, в котором аккумулируется избыточный запас протонов, с другой. Накапливаясь в палладии, протоны под действием поля сетки, находящейся под отрицательным по отношению к аноду потенциалом, эмитируются с поверхности палладиевого электрода, обращенной к вакуумированному объему, при этом они не успевают захватить электрон и превратиться в водород, ускоряясь под действием потенциала катода, внутри вакуумной камеры. Таким образом решается задача сохранения высокого вакуума при создании протонного пучка.
Однако указанный выше известный источник также имеет ряд недостатков: так, для создания интенсивного протонного пучка требуется использовать палладиевый электрод в виде тонкой мембраны с большой площадью, при этом чем меньше ее толщина и чем больше ее площадь, тем большую плотность тока протонов можно достичь, с другой стороны, водород в подающей трубе находится под давлением и разогрет, что, естественно, ограничивает площадь палладиевой мембраны и ее толщину, для предотвращения ее разрыва в силу конечной механической прочности мембраны.
Кроме того, для получения максимально возможного потока водорода через протоновод требуется поднять температуру водорода в подводящей трубе, что в силу увеличивающейся при этом диффузии атомов водорода через палладиевый электрод ухудшает вакуум внутри камеры и уменьшает прочность палладиевого электрода.
Вероятно, из-за перечисленных недостатков данное изобретение не нашло применения, о чем свидетельствует отсутствие патентной защиты (по цитируемой заявке не выдан патент).
Задачей заявляемого изобретения является разработка такой конструкции источника протонного пучка, которая позволила бы формировать пучок протонов с высокой плотностью, при высоком вакууме и при этом была бы технически реализуема. Для этого в качестве протоновода, поставляющего протоны в палладиевый электрод, в предлагаемом устройстве предложено использовать материал с высокой ионной проводимостью по ионам водорода.
Задача решается тем, что создан источник пучка протонов, включающий вакуумную камеру, катод, сетку, анод из палладия, протоновод, аккумулятор протонов и нагреватель, при этом протоновод изготовлен из материала с высокой электропроводностью по ионам водорода и соединяет аккумулятор протонов с анодом, на который подан отрицательный потенциал по отношению к аккумулятору протонов.
Аккумулятор протонов может быть изготовлен преимущественно из электролита, в котором присутствуют ионы водорода, или из композитного материала, содержащего соединение, адсорбирующее водород.
Протоновод, в частности, может содержать нагреватель.
В отличие от известного источника в предлагаемом устройстве протоновод выполнен из материала, имеющего высокую ионную проводимость по ионам водорода, позволяющую под действием электрического поля транспортировать протоны от аккумулятора протонов к аноду с высокой плотностью. В частности, аккумулятор протонов может быть изготовлен из электролита, содержащего ионы водорода, либо из композита, содержащего соединение, способное адсорбировать водород. Все это позволяет достичь новый технический результат, заключающийся в том, что создан принципиально новый источник протонов, который позволяет формировать пучки протонов с высокой плотностью, при высоком вакууме и при этом является технически реализуемым.
Общая схема предлагаемого источника пучка ионов изображена на фиг.1, где в вакуумную камеру 1, помещен катод 2, который находится под ускоряющим потенциалом по отношению к аноду, между анодом и катодом расположена сетка 3, которая находится под отрицательным потенциалом по отношению к аноду, меньшим по сравнению с потенциалом катода, играющим роль потенциала вытягивающего протоны из анода. Анод 4 выполнен из палладия в виде тонкой мембраны, имеющей электрический контакт с протоноводом 5, изготовленным из материала, представляющего собой суперионный проводник - проводник с высокой электропроводностью по ионам водорода. Ионы водорода - протоны находятся в аккумуляторе протонов 6, который имеет электрический контакт с протоноводом и находится под положительным по отношению к аноду потенциалом.
Принцип работы заявленного источника пучка ионов заключается в следующем: протоны из электролита, содержащегося в аккумулятора протонов 6, под действием электрического потенциала через электрический контакт с протоноводом 5, представляющий собой протонный гетеропереход, перемещаются в протоновод 5 в направлении анода 4. Продвигаясь через протоновод 5, протоны проходят через электрический контакт с анодом 4 и далее диффундируют через палладий к поверхности электрода, обращенной в вакуум. С поверхности анода под действием электрического потенциала сетки протоны эмитируются в вакуум в виде пучка протонов, а затем ускоряются под действием потенциала катода 2. Образовавшиеся в аккумуляторе протонов 6 избыточные электроны под действием электрического потенциала двигаются во внешнюю цепь.
В случае использования в аккумуляторе протонов материала, адсорбирующего водород, последний под действием сил поля на границе с суперионным материалом протоновода, который представляет собой протонный гетеропереход (ЖТФ, 2008, т.78, вып.2, стр.134-136), будет отдавать в него протоны, а электроны будут уходить во внешнюю цепь.
Для увеличения плотности тока протонного пучка может быть увеличена скорость диффузии протонов, для чего протоновод может быть подвергнут нагреву. Для этого на протоноводе имеется нагреватель 7 (см. фиг.2), при включении которого скорость вынужденной диффузии протонов может возрасти на несколько порядков, так как ее величина в суперионных соединениях растет экспоненциально с температурой, а температура нагрева при этом ограничена температурой разложения суперионного материала или температурой плавления палладия.
На фиг.1 представлено заявленное устройство где:
1 - вакуумная камера;
2 - катод;
3 - сетка;
4 - анод из палладия;
5 - протоновод;
6 - аккумулятор протонов.
На фиг.2 представлено заявленное устройство, дополнительно содержащее нагреватель, где обозначения 1-6 имеют вышеуказанные значения, а обозначение 7 - нагреватель.

Claims (3)

1. Источник пучка протонов, включающий вакуумную камеру, катод, сетку, анод из палладия, протоновод, аккумулятор протонов, при этом протоновод изготовлен из материала с высокой электропроводностью по ионам водорода и соединяет аккумулятор протонов с анодом, на который подан отрицательный потенциал по отношению к аккумулятору протонов.
2. Источник по п.1, отличающийся тем, что аккумулятор протонов изготовлен из электролита, в котором присутствуют ионы водорода, или из композитного материала, содержащего соединение адсорбирующее водород.
3. Источник по п.1, отличающийся тем, что протоновод дополнительно содержит нагреватель.
RU2008144685/28A 2008-11-13 2008-11-13 Источник, формирующий протонный пучок RU2393578C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008144685/28A RU2393578C1 (ru) 2008-11-13 2008-11-13 Источник, формирующий протонный пучок

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008144685/28A RU2393578C1 (ru) 2008-11-13 2008-11-13 Источник, формирующий протонный пучок

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2008144685A RU2008144685A (ru) 2010-05-20
RU2393578C1 true RU2393578C1 (ru) 2010-06-27

Family

ID=42675697

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008144685/28A RU2393578C1 (ru) 2008-11-13 2008-11-13 Источник, формирующий протонный пучок

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2393578C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2754826C1 (ru) * 2020-09-25 2021-09-07 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт аналитического приборостроения Российской академии наук Способ получения протонных пучков при атмосферном давлении
RU2772818C1 (ru) * 2021-04-29 2022-05-26 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт аналитического приборостроения Российской академии наук Устройство для получения и транспортировки пучка протонов при атмосферном давлении

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2754826C1 (ru) * 2020-09-25 2021-09-07 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт аналитического приборостроения Российской академии наук Способ получения протонных пучков при атмосферном давлении
RU2772818C1 (ru) * 2021-04-29 2022-05-26 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт аналитического приборостроения Российской академии наук Устройство для получения и транспортировки пучка протонов при атмосферном давлении

Also Published As

Publication number Publication date
RU2008144685A (ru) 2010-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101661862B (zh) 离子源
KR101263827B1 (ko) 이온 소스 내의 캐소드 및 카운터-캐소드 어레인지먼트
US10446371B2 (en) Boron implanting using a co-gas
JP2016177870A (ja) イオンビーム装置、イオン注入装置、イオンビーム放出方法
US9677171B2 (en) Method of improving ion beam quality in a non-mass-analyzed ion implantation system
Belchenko et al. Comparative analysis of continuous-wave surface-plasma negative ion sources with various discharge geometry
RU2393578C1 (ru) Источник, формирующий протонный пучок
JP6111129B2 (ja) 逆マグネトロン型冷陰極電離真空装置
CN112599397B (zh) 一种储存式离子源
Kolpakov et al. Formation of an out-of-electrode plasma in a high-voltage gas discharge
RU192377U1 (ru) Металлический нанопринтер на основе ионного источника с твердым электролитом
CN113643950A (zh) 一种产生掺杂碱金属或卤素的耦合气体团簇离子束的装置和方法
RU2716825C1 (ru) Устройство и способ формирования пучков многозарядных ионов
Malferrari et al. Modification of anisotropic plasma diffusion via auxiliary electrons emitted by a carbon nanotubes-based electron gun in an electron cyclotron resonance ion source
Zhao et al. Researches on new photocathode for RF electron gun
JPS5918840B2 (ja) イオン源
CN109041402A (zh) 一种产生多电荷态离子束的方法和用于该方法的装置
JPH0272544A (ja) イオン源およびイオン発生方法
Daiko et al. Development of H+ emission gun using a proton conducting glass fiber
Oks et al. Electron beam extraction from a broad-beam vacuum-arc metal plasma source
CN216528738U (zh) 一种用于碳离子注入工艺的离子源装置
CN114242549B (zh) 一种采用物质溅射形成等离子体的离子源装置
CN204706535U (zh) 一种考夫曼离子源
JP4997596B2 (ja) イオンプレーティグ方法
Sereda et al. Method of increasing the longitudnal current of Н⁻ ions from pig with a metal-hydride cathode

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20101114