RU2391733C2 - Магнитоуправляемый герметизированный контакт - Google Patents

Магнитоуправляемый герметизированный контакт Download PDF

Info

Publication number
RU2391733C2
RU2391733C2 RU2008135596/09A RU2008135596A RU2391733C2 RU 2391733 C2 RU2391733 C2 RU 2391733C2 RU 2008135596/09 A RU2008135596/09 A RU 2008135596/09A RU 2008135596 A RU2008135596 A RU 2008135596A RU 2391733 C2 RU2391733 C2 RU 2391733C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
contact
nano
reed switch
contact parts
reed relay
Prior art date
Application number
RU2008135596/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2008135596A (ru
Inventor
Сергей Михайлович Карабанов (RU)
Сергей Михайлович Карабанов
Рафаил Михайлович Майзельс (RU)
Рафаил Михайлович Майзельс
Игорь Аркадьевич Зельцер (RU)
Игорь Аркадьевич Зельцер
Евгений Борисович Трунин (RU)
Евгений Борисович Трунин
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Рязанский завод металлокерамических приборов"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Рязанский завод металлокерамических приборов" filed Critical Открытое акционерное общество "Рязанский завод металлокерамических приборов"
Priority to RU2008135596/09A priority Critical patent/RU2391733C2/ru
Publication of RU2008135596A publication Critical patent/RU2008135596A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2391733C2 publication Critical patent/RU2391733C2/ru

Links

Images

Landscapes

  • Contacts (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области электротехники, в частности к конструкции магнитоуправляемых герметизированных контактов, и может быть использовано в промышленном производстве этих приборов. Техническим результатом изобретения является повышение стабильности его работы в разных режимах в течение длительного времени, упрощение технологии создания контакта, исключение влияния попадания посторонних микронаночастиц на свойства контакта, в ряде случаев исключение использования драгметаллов в контактном покрытии и исключение «грязных» и сложных гальванических технологий осаждения покрытий. Технический результат достигается за счет того, что в магнитоуправляемом герметизированном контакте с ферромагнитными контакт-деталями, расположенными в стеклянном корпусе, на контактирующей поверхности контакт-деталей выполнены нано- и микровыступы с размерами 50 нм-19 мкм. 5 ил., 1 табл.

Description

Изобретение относится к области электротехники, в частности к конструкции магнитоуправляемых герметизированных контактов, и может быть использовано в промышленном производстве этих приборов.
Известна конструкция магнитоуправляемого герметизированного контакта (геркона) [1], в котором две ферромагнитные контакт-детали помещены в герметизируемый стеклянный корпус. На поверхности контакт-деталей нанесено контактное покрытие из молибдена. Покрытия создают для повышения эрозионной устойчивости геркона и для снижения контактного сопротивления пары контакт-деталей.
Однако в процессе работы геркона, особенно при сильных токах, возникает значительная эрозия, в результате которой материалы контактного покрытия сплавляются с материалом основы (сплав никеля с железом), свойства геркона ухудшаются и начинают определяться свойствами вновь полученного сплава (железо, никель и молибден). Всегда сплавы сложного состава имеют худшие параметры, в частности, по контактному сопротивлению, чем однородные материалы [4].
Известен магнитоуправляемый герметизированный контакт [2], состоящий из корпуса и контакт-деталей, в котором на контактирующей поверхности контакт-деталей сформировано множество выступов, расположеных таким образом, что выступы одной контакт-детали окружают выступы другой контакт-детали. Такой магнитоуправляемый герметизированный контакт требует регулировки положения контактов, что представляет определенные трудности при массовом производстве, а также требуется специальная технология изготовления выступов и соответствующих им концов другого контакта.
Известна конструкция магнитоуправляемого герметизированного контакта (геркона) [3], в котором две ферромагнитные контакт-детали помещены в герметизируемый стеклянный корпус. На поверхности контакт-детали нанесено многослойное покрытие (медь-никель, золото, рутений).
Однако в напряженных условиях работы геркона материалы контактного покрытия могут сплавляться между собой и с материалами основы. Всегда сплавы сложного состава имеют худшие параметры, в частности, по сопротивлению, чем однородные материалы. Также коррозия всегда более интенсивно происходит на сплавах, чем на чистых металлах по отдельности. Иногда покрытие может отслаиваться. Контактирование двух контакт-деталей всегда осуществляется в отдельных точках на некоторых участках, так как невозможно изготовить и подобрать конструкцию так, чтобы контактирование осуществлялось по всей контактной поверхности. Фактически контактирующие точки имеются в ограниченном количестве и их положение меняется в процессе работы геркона. При попадании посторонних диэлектрических микронано- нано- и микрочастиц в область контакта между двумя контактирующими плоскостями переходное сопротивление геркона увеличивается, так как сразу же между контактирующими плоскостями образуется некоторый разрыв и количество контактирующих точек может значительно снижаться. В случае покрытия из тугоплавких металлов отсутствует достаточная пластичность, необходимая для прирабатывания двух контакт-деталей в процессе тренировки.
Задачей настоящего изобретения является создание необходимых свойств контактирующих поверхностей геркона, повышение стабильности его работы в разных режимах в течение длительного времени, упрощение технологии создания контакта, исключение влияния попадания посторонних микронано- нано- и микрочастиц на свойства контакта, в ряде случаев исключение использования драгметаллов и исключение довольно «грязных» и сложных гальванических технологий осаждения покрытий.
Предлагается магнитоуправляемый герметизированный контакт, в котором ферромагнитные контакт-детали помещены в стеклянный корпус, отличающийся тем, что на контактирующей поверхности контакт-деталей расположены нано- и микровыступы с размерами 50 нм…19 мкм.
Наличие на контактирующей поверхности контакт-деталей специально созданных микронано- нано-, микровыступов позволяет решать несколько необходимых в работе геркона задач:
- создавать на поверхности контакт деталей большое количество контактирующих точек (значительно большее, чем образуется при работе геркона с применяемыми в настоящее время покрытиями),
- исключить влияние попадания посторонних диэлектрических нано- и микрочастиц на электрическое сопротивление геркона (так как размеры микрочастиц соизмеримы с размерами областей контактирования, то они не могут удержаться на контактирующих точках, а оказываются между контактирующими выступами,
- микронано- нано- и микрочастицы в силу своих размеров обладают большей пластичностью, чем любой компактный металл, и тем самым имеют возможность в процессе тренировки увеличить количество контактирующих точек и снизить контактное сопротивление,
- наличие большого количества потенциально возможных контактирующих точек позволяет получить долговременную стабильность геркона,
- в некоторых конструкциях герконов возможно исключение применения драгметаллов.
Микронано- нано- и микровыступы на поверхности контакт-детали можно создать несколькими способами:
- с помощью оптической, рентгеновской или электронной литографии (аналогично изделиям микронаноэлектроники) [5],
- при пропускании электрических импульсов через микронано- нано- и микропорошок металла, помещаемого на поверхность контактов (типа контактной микронаносварки),
- при формировании при распылении металла при определенном потоке атомов и кластеров в электрических полях или при подаче порошка металла в плазмотрон,
- другими способами.
Диапазон предлагаемых размеров микронано- нано- и микровыступов определяется исходя из следующих условий:
- выступы размерами менее 50 нм могут исчезнуть полностью в процессе явлений эрозии при работе контакт-деталей и протекании токов,
- верхний размер более 19 мкм нецелесообразен, так как эти размеры соизмеримы с размерами зазора между контактирующими поверхностями.
Для создания микронано- нано- и микровыступов могут быть использованы как ферромагнитные материалы, аналогичные материалам контакт-деталей, а также и любые контактные материалы.
Оба из этих вариантов имеют свои достоинства и недостатки.
Материалы, аналогичные материалу ферромагнитной контакт-детали, обеспечат более стабильную работу при сильных токах и более длительное время за счет стабильности состава контакт-деталей.
Специальные контактные материалы (например, золото) позволят получить лучшие характеристики контактов с микронано- нано- и микровыступами при малых токах.
Предлагаемая конструкция представлена на фиг.1,
где 1 - стеклянный корпус, 2, 3 - ферромагнитные контакт-детали,
4 - микронано- нано- и микровыступы.
Работа устройства. При наложении магнитного поля контакты замыкаются и геркон проводит электрический ток. Сформированные на поверхности контактов микронано- нано- и микровыступы обеспечивают работу геркона. В процессе работы одни микронано- нано- и микровыступы уничтожаются, преобразуются, а другие начинают проводить ток.
На фиг.2-3 представлены изображения контактирующей поверхности контакт-деталей герконов, полученные методом атомно-силовой микроскопии (АСМ) на приборе Р4-СЗМ (сканирующий зондовый микроскоп производства российской компании НТ-МДТ, г.Зеленоград).
АСМ-изображения контактирующих поверхностей получены в комнатной атмосфере в контактном режиме в диапазоне сил взаимодействия с изучаемой контактной поверхностью 10-40 нН. Использовались микроконсоли (контилеверы) из кремния Si и нитридов кремния Si3N4 треугольной формы с пирамидальными иглами, имеющими радиус закругления вершин пирамид менее 40 нм.
Использовался АСМ-метод постоянной силы, при котором величина изгиба кантилевера поддерживалась в процессе сканирования постоянной при помощи системы обратной связи. Таким образом, вертикальные смещения сканера отражали рельеф поверхности исследуемого образца. (При работе в контактном методе изгиб кантивелера отражает отталкивающую силу и используется непосредственно для отображения рельефа поверхности.)
На фиг.2 показано АСМ-изображение контактирующей поверхности контакт-деталей геркона, размер поля 7×6 мкм, на котором проявляется наличие межзеренных границ и нанорельефа. Хорошо видно чередование темных и светлых округлой формы наноразмерных областей, что говорит об изменении высоты поверхностного рельефа. При этом высота и диаметр наблюдаемых на изображении поверхности выступов не превышают 100 нм.
На фиг.3 показано АСМ-изображение контактирующей поверхности контакт-деталей геркона, размер поля 2×2 мкм.
Дополнительную и более точную информацию о полученном рельефе дают профиль АСМ-изображения и статистический анализ распределения высоты рельефа, представленные на фиг.4 и 5.
На фиг.4 показан профиль АСМ-изображения по Х-координате вдоль линии 175 (см. фиг.3).
На фиг.5 показано статистическое распределение высоты рельефа на участке контактирующей поверхности контакт-деталей геркона.
Специально сформированные микронано- нано- и микровыступы обеспечивают возможность работы магнитоуправляемого герметизированного контакта в течение более длительного времени и более стабильные параметры в процессе работы.
Результаты совместных коммутационных испытаний экспериментальных образцов замыкающих герконов с длиной баллона 14 мм и серийных герконов представлены в таблице 1.
Figure 00000001
Исходя из результатов сравнительных испытаний у экспериментальных герконов наблюдаются повышение выхода годных и большая стабильность работы.
Источники информации
1. Патент РФ на полезную модель №50714, МПК Н01/02, 1/66, опубл. 20.01.2006.
2. Патент США 5570072, Н01Н 1/66, опубл. 29.10.1996 г.
3. Патент РФ на изобретение №2279149, МПК Н01Н 1/02, 1/66, опубл. 27.06.2006 г. бюл. №18.
4. Электрические и магнитные свойства металлов и сплавов / О.А.Шматко, Ю.В.Усов. - Киев: Наукова думка, 1987 г., 583 с.
5. Оборудование полупроводникового производства / П.Н.Масленников, К.А.Лаврентьев, А.Д.Гингис и др. - М.: Радио и связь, 1981, 336 с. (стр.127).

Claims (1)

  1. Магнитоуправляемый герметизированный контакт, в котором ферромагнитные контакт-детали помещены в стеклянный корпус, отличающийся тем, что на контактирующей поверхности контакт-деталей расположены нано- и микровыступы с размерами 50 нм…19 мкм.
RU2008135596/09A 2008-09-02 2008-09-02 Магнитоуправляемый герметизированный контакт RU2391733C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008135596/09A RU2391733C2 (ru) 2008-09-02 2008-09-02 Магнитоуправляемый герметизированный контакт

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008135596/09A RU2391733C2 (ru) 2008-09-02 2008-09-02 Магнитоуправляемый герметизированный контакт

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2008135596A RU2008135596A (ru) 2010-03-10
RU2391733C2 true RU2391733C2 (ru) 2010-06-10

Family

ID=42134841

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008135596/09A RU2391733C2 (ru) 2008-09-02 2008-09-02 Магнитоуправляемый герметизированный контакт

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2391733C2 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU167556U1 (ru) * 2016-05-31 2017-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" Планарный магнитоуправляемый коммутатор

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
VILLERS R.J.M. AT AL Titanium nanostructures made by local oxidation with the atomic force microscope, Appl. Surf. Sci. 1999, v.144, 145, p.584-588. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU167556U1 (ru) * 2016-05-31 2017-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" Планарный магнитоуправляемый коммутатор

Also Published As

Publication number Publication date
RU2008135596A (ru) 2010-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100491411B1 (ko) 도전성 주사형 현미경용 프로브 및 이를 이용한 가공방법
EP0373742A2 (en) Tunnel unit and scanning head for scanning tunneling microscope
JP5452088B2 (ja) 微小接触式プローバ
de Oliveira Hansen et al. Magnetic films for electromagnetic actuation in MEMS switches
Ciurescu et al. Characterization of the localized surface chemical activity of Ti-Mo and Ti-Ta alloys for biomedical applications using scanning electrochemical microscopy
RU2391733C2 (ru) Магнитоуправляемый герметизированный контакт
Qin et al. Electrochemical etching of tungsten for fabrication of sub-10-nm tips with a long taper and a large shank
US7768366B1 (en) Nanoparticles and corona enhanced MEMS switch apparatus
CN109765466A (zh) 基于fib-sem双束系统的纳米真空间隙击穿特性实验装置及方法
Ishida et al. Degradation mechanisms of contact point during switching operation of MEMS switch
JP2005351720A (ja) 走査型顕微鏡用プローブ
JP2005083857A (ja) ナノチューブプローブ及び製造方法
CN107782919A (zh) 一种采用导电纳米线的电学原子力显微镜探针
Kumar et al. Electrical and mechanical studies on pure-silver coated aluminium based electrical contact materials
KR20140000420A (ko) 탐침의 이동이 가능한 주사전자현미경의 시료 스테이지 및 그 주사전자현미경
CN212277149U (zh) 具备高分辨多维操纵和电学测量的电子显微镜原位样品杆
Kaur et al. Growth and characterization of gold nanoislands & quantum dots on marker-based SiO2/Si substrate for SEM resolution intercomparison studies
JP6487813B2 (ja) ニッケルタングステン合金およびコンタクトプローブ
KR101133932B1 (ko) 에디 전류 측정법을 이용한 고속 주사탐침 현미경
JP2007010404A (ja) 原子間力顕微鏡プローブ
JP2017527960A (ja) 荷電粒子画像化システム用の調整可能なアンペア位相板
RU2658108C1 (ru) Микроманипулятор на основе бимагнитных микропроводов с сердцевиной, покрытой асимметричной внешней оболочкой, и способы его использования
CN111613507A (zh) 具备高分辨多维操纵和电学测量的电子显微镜原位样品杆
Nakabayashi et al. Inexpensive two-tip nanomanipulator for a SEM
Liu et al. Nanodot deposition and its application with atomic force microscope

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200903