RU2389990C2 - Combined ionisation vacuum-gauge transducer - Google Patents
Combined ionisation vacuum-gauge transducer Download PDFInfo
- Publication number
- RU2389990C2 RU2389990C2 RU2008114988/28A RU2008114988A RU2389990C2 RU 2389990 C2 RU2389990 C2 RU 2389990C2 RU 2008114988/28 A RU2008114988/28 A RU 2008114988/28A RU 2008114988 A RU2008114988 A RU 2008114988A RU 2389990 C2 RU2389990 C2 RU 2389990C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- anode
- transducer
- incandescent
- welded
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к технике измерения высокого вакуума и может быть использовано при создании вакуумметров с пределами измерения от 1 до 10-10 Па.The invention relates to techniques for measuring high vacuum and can be used to create vacuum gauges with measurement limits from 1 to 10 -10 Pa.
Для измерения высокого вакуума используются ионизационные преобразователи трех основных видов [1-4]: с накаливаемым катодом, с холодным катодом и преобразователи с радиоактивной ионизацией.To measure high vacuum, three main types of ionization transducers are used [1-4]: with an incandescent cathode, with a cold cathode, and radioactive ionization converters.
Из преобразователей с накаливаемым катодом наиболее широкое распространение получили преобразователи Байярда-Альперта, имеющие инверсную конструкцию электродной системы (с наружным расположением катода). Достоинствами преобразователей с накаливаемым катодом являются невысокое анодное напряжение (300-500 В), легкое зажигание электрического разряда (поскольку в данном случае он не является самостоятельным) и сравнительно широкий диапазон измеряемых давлений (до 10-8 Па). Основными недостатками являются опасность выхода из строя при прорыве вакуумной системы (перегорание катода), ограниченный срок службы (из-за потери эмиссии катода) и необходимость стабилизации тока эмиссии катода.Of the transducers with a heated cathode, the Bayard-Alpert transducers having the inverse design of the electrode system (with the external location of the cathode) are most widely used. Advantages of incandescent cathode converters are a low anode voltage (300-500 V), easy ignition of an electric discharge (since in this case it is not independent) and a relatively wide range of measured pressures (up to 10 -8 Pa). The main disadvantages are the danger of failure during a breakthrough of the vacuum system (cathode burnout), limited service life (due to loss of cathode emission) and the need to stabilize the cathode emission current.
Магнитные электроразрядные вакуумметрические преобразователи основаны на использовании ионизации остаточного газа в межэлектродном пространстве преобразователя в сильном электрическом поле при одновременном воздействии на образующиеся при ионизации газа свободные заряды (электроны и ионы) поперечного магнитного поля, в результате которого траектории движения электронов в межэлектродном промежутке существенно (во много раз) удлиняются, что повышает вероятность их столкновений с нейтральными атомами и молекулами газа, а следовательно, и степень его ионизации. Это позволяет получать приемлемую чувствительность преобразователя при сравнительно малых токах электронной эмиссии (в данных преобразователях электронная эмиссия возникает с поверхности холодного катода при его бомбардировке ионами). В настоящее время известно несколько конструкций магнитных электроразрядных преобразователей. Наиболее широко применяется инверсно-магнетронная конструкция таких преобразователей.Magnetic electric-discharge vacuum gauges are based on the use of residual gas ionization in the interelectrode space of the transducer in a strong electric field while simultaneously acting on the free charges (electrons and ions) of the transverse magnetic field, as a result of which the electron paths in the interelectrode gap are significant (many times) lengthen, which increases the likelihood of their collisions with neutral atoms and molecules of the gas, and consequently no, and the degree of ionization. This makes it possible to obtain an acceptable transducer sensitivity at relatively low electron emission currents (in these converters, electron emission occurs from the surface of a cold cathode when it is bombarded by ions). Currently, several designs of magnetic electric discharge converters are known. The most widely used is the inverse-magnetron design of such converters.
В нашей стране наиболее широкое применение получили инверсно-магнетронные преобразователи отечественной разработки типов ПММ-32-1, ПММ-14М и ПММ-46. Среди них наиболее простую и технологичную конструкцию имеет преобразователь ПММ-32-1 [1, 5] (прототип). Он обеспечивает пределы измерения от 1 Па до 10-7 Па. Главная конструктивная особенность этого преобразователя, обеспечивающая его конструктивную простоту, состоит в том, что создающий постоянное магнитное поле постоянный магнит, выполненный в виде продольно намагниченного полого цилиндра, одновременно является катодом электродной системы. Конические полюсные накладки из магнитомягкого материала обеспечивают создание в активной зоне преобразователя близкого к однородному магнитного поля, направленного перпендикулярно электрическому полю.In our country, the most widely used inverted-magnetron converters of domestic design types PMM-32-1, PMM-14M and PMM-46. Among them, the PMM-32-1 converter [1, 5] (prototype) has the simplest and most technological design. It provides measurement limits from 1 Pa to 10 -7 Pa. The main structural feature of this transducer, which ensures its structural simplicity, is that the permanent magnet creating a constant magnetic field, made in the form of a longitudinally magnetized hollow cylinder, is simultaneously the cathode of the electrode system. Conical pole plates of soft magnetic material provide the creation in the active zone of the transducer close to a uniform magnetic field directed perpendicular to the electric field.
Основными недостатками этого преобразователя являются трудность зажигания и нестабильность самостоятельного электрического разряда на нижних пределах измерения (10-6- 10-7 Па) и ограничение нижнего предела измерения величиной 10-7 Па из-за малого значения ионного тока и влияния тока автоэлектронной эмиссии, которая возникает в местах наиболее сильного электрического поля между боковыми внутренними поверхностями полюсных накладок и анодом. Этот ток не зависит от давления, а поскольку полюсные накладки электрически соединены с катодом (постоянным магнитом, выполняющим функцию коллектора ионов), то его невозможно отделить от полезного ионного тока, измеряемого в цепи катода.The main disadvantages of this converter are the difficulty of ignition and the instability of an independent electric discharge at the lower measurement limits (10 -6 - 10 -7 Pa) and the limitation of the lower limit of measurement to 10 -7 Pa due to the small ion current and the influence of field emission current, which arises in places of the strongest electric field between the lateral internal surfaces of the pole plates and the anode. This current does not depend on pressure, and since the pole plates are electrically connected to the cathode (a permanent magnet acting as an ion collector), it cannot be separated from the useful ion current measured in the cathode circuit.
Техническими задачами, на решение которых направлено предлагаемое изобретение, являются расширение предела измерения в сторону малых давлений, повышение величины ионного тока и точности измерений давления на этих пределах измерения.The technical problems to which the invention is directed are expanding the measurement limit towards low pressures, increasing the ion current value and the accuracy of pressure measurements at these measurement ranges.
Эти задачи решаются путем введения в традиционную инверсно-магнетронную конструкцию преобразователя накаливаемого катода с регулируемым током накала, который включается только на нижних пределах измерения (от 10-6 до 10-10 Па).These problems are solved by introducing into the traditional inverted-magnetron design a glow cathode converter with an adjustable glow current, which is turned on only at the lower limits of measurement (from 10 -6 to 10 -10 Pa).
Комбинированный ионизационный вакуумметрический преобразователь (далее преобразователь), конструкция которого представлена на чертеже, состоит из анода 1, выполненного в виде цилиндрического стержня, расположенного вдоль оси системы, холодного катода 2, которым служит намагниченный вдоль оси постоянный магнит, выполненный в виде полого цилиндра, конических полюсных накладок 3, служащих для создания необходимой конфигурации магнитного поля в межэлектродном пространстве, экрана 4, центрирующей шайбы 5, на которой смонтирована электродная система, основания 6, выполненного из ковара и вваренного в крепежный фланец 7 (профиль основания 6, обеспечивающий вместе с медной прокладкой вакуумно-плотное соединение с вакуумной системой, на чертеже не показан), накаливаемого катода 8 с держателями накаливаемого катода 9, приваренными к соответствующим внешним выводам накаливаемого катода 10. Фланец 7 имеет восемь отверстий для крепежных болтов по периферии для соединения с вакуумной системой. Снизу к нему приварен корпус электрического разъема 11. Выводы от всех электродов проходят через стеклянные или керамические изоляторы 12, впаянные в соответствующие отверстия в основании 6. Крепление экрана 4 снизу на чертеже не показано.The combined ionization vacuum gauge transducer (hereinafter referred to as the transducer), the construction of which is shown in the drawing, consists of an anode 1 made in the form of a cylindrical rod located along the axis of the system, a cold cathode 2, which serves as a permanent magnet magnetized along the axis, made in the form of a hollow cylinder, conical pole plates 3, which serve to create the necessary configuration of the magnetic field in the interelectrode space, screen 4, centering washers 5, on which the electrode I have a system of base 6 made of kovar and welded into a mounting flange 7 (base profile 6, which together with a copper gasket provides a vacuum-tight connection with a vacuum system, is not shown in the drawing), a heated cathode 8 with holders of a heated cathode 9, welded to corresponding to the external terminals of the heated cathode 10. Flange 7 has eight holes for fixing bolts on the periphery for connection with a vacuum system. The bottom of it is welded to the body of the electrical connector 11. The leads from all the electrodes pass through glass or ceramic insulators 12, soldered into the corresponding holes in the base 6. The screen 4 is not fastened from below in the drawing.
Комбинированный ионизационный вакуумметрический преобразователь работает следующим образом. На пределах измерения от 1 Па до 10-5 Па включительно на накаливаемый катод 8 не подается ток накала, и преобразователь работает как обычный инверсно-магнетронный вакуумметрический преобразователь. Между холодным катодом 2 и анодом 1 прикладывается постоянное напряжение величиной порядка 2500 В. Оно создает в межэлектродном пространстве радиально направленное электрическое поле, под действием которого свободные электроны, имеющиеся в межэлектродном пространстве, разгоняются в направлении анода. Однако перпендикулярно электрическому полю действует магнитное поле постоянного магнита (который одновременно является холодным катодом 2), формируемое с помощью полюсных накладок 3. Активной зоной преобразователя, в которой происходит ионизация нейтральных частиц газа, является пространство между полюсными накладками 3, простирающееся до внутренней поверхности холодного катода 2. Под действием магнитного поля заряженные частицы (электроны и ионы) отклоняются в тангенциальном направлении. Напряженности электрического и магнитного полей подобраны таким образом, чтобы электроны совершали циклоидальное вращение с радиусом много меньшим поперечных размеров активной зоны преобразователя. Двигаясь по гипоциклоидам, электроны могут покинуть активную зону только в результате столкновений с нейтральными частицами газа, которые могут изменять направление их скорости в любую сторону. Поэтому до того как попасть на анод, электроны успевают совершить несколько столкновений с нейтральными частицами, в том числе и ионизирующих. Образующиеся при столкновениях положительные ионы под действием электрического поля собираются холодным катодом 2, являющимся коллектором ионов. Вследствие большой массы ионов (по сравнению с электронами) радиус их циклотронного вращения в поперечном магнитном поле оказывается существенно больше поперечных размеров активной зоны преобразователя, а потому магнитное поле не может существенно искривить траекторию их дрейфа в электрическом поле. Благодаря своей большой массе и отсутствию циклоидального вращения ионы, разгоняясь в электрическом поле, набирают значительную энергию и, бомбардируя поверхность катода, выбивают из него вторичные электроны, которые, попадая в активную зону преобразователя и сталкиваясь с нейтральными частицами газа, ионизируют их и, тем самым, поддерживают электрический разряд. Ионный ток катода будет зависеть от концентрации молекул газа в активной зоне преобразователя, т.е. от его давления. Измеряя ионный ток, можно судить о давлении газа.Combined ionization vacuum gauge works as follows. Within the measurement range from 1 Pa to 10 -5 Pa inclusive, the filament current is not supplied to the incandescent cathode 8, and the converter operates as a conventional inverse-magnetron vacuum gauge converter. A constant voltage of about 2500 V is applied between the cold cathode 2 and the anode 1. It creates a radially directed electric field in the interelectrode space, under the influence of which free electrons in the interelectrode space are accelerated in the direction of the anode. However, perpendicular to the electric field, a magnetic field of a permanent magnet (which is also a cold cathode 2), formed by pole plates 3, acts. The active zone of the transducer, in which ionization of neutral gas particles occurs, is the space between the pole plates 3, extending to the inner surface of the cold cathode 2. Under the influence of a magnetic field, charged particles (electrons and ions) are deflected in a tangential direction. The electric and magnetic fields are selected in such a way that the electrons perform a cycloidal rotation with a radius much smaller than the transverse dimensions of the transducer core. Moving along hypocycloids, electrons can leave the active zone only as a result of collisions with neutral gas particles, which can change the direction of their velocity in any direction. Therefore, before reaching the anode, electrons manage to make several collisions with neutral particles, including ionizing ones. Positive ions formed in collisions under the influence of an electric field are collected by the cold cathode 2, which is the ion collector. Due to the large mass of ions (compared to electrons), the radius of their cyclotron rotation in a transverse magnetic field is significantly larger than the transverse dimensions of the active zone of the transducer, and therefore the magnetic field cannot substantially distort the path of their drift in the electric field. Due to their large mass and the absence of cycloidal rotation, ions, accelerating in an electric field, gain significant energy and, by bombarding the cathode surface, knock out secondary electrons from it, which, falling into the active zone of the transducer and colliding with neutral gas particles, ionize them and, thereby support electric discharge. The ion current of the cathode will depend on the concentration of gas molecules in the active zone of the transducer, i.e. from his pressure. By measuring the ion current, one can judge the gas pressure.
При давлениях ниже 10-6 Па ионный ток становится очень малым (менее 1 нА) и становится сравнимым с токами автоэлектронной эмиссии из полюсных накладок и токами утечки выводов. Это и ограничивает нижний предел измерения и затрудняет зажигание разряда при отсутствии вспомогательного накаливаемого катода. Поэтому на пределах измерения 10-6 Па и ниже включается ступенчато регулируемый (при переключениях пределов измерения) ток накала накаливаемого катода 8. Благодаря термоэмиссии электронов из накаливаемого катода 8 в активную зону преобразователя плотность потока электронов, совершающих циклоидальное движение, многократно возрастает, но в отличие от классических преобразователей с накаливаемым катодом эти электроны, прежде чем попасть на анод, совершают множество оборотов в активной зоне преобразователя и могут попасть на анод именно в результате ряда столкновений с нейтральными частицами газа, в том числе и ионизирующих. Соответственно возрастет и ионный ток в цепи холодного катода 2. Причем по сравнению с классическими ионизационными преобразователями с накаливаемым катодом для получения тех же значений ионного тока понадобится во много раз меньший ток термоэлектронной эмиссии, т.к. длина траекторий электронов в этом преобразователе будет на несколько порядков больше, чем в классических преобразователях Байярда-Альперта. Поэтому можно не опасаться интенсивной электронной бомбардировки анода и возникающего из-за этого мягкого рентгеновского излучения с анода. Ступенчато регулируя ток накала при переключении пределов измерения, можно достичь пределов измерения вплоть до 10-10 Па при удобных для измерения значениях ионного тока. Ток термоэлектронной эмиссии увеличивает ток анода, замыкаясь по цепи между накаливаемым катодом и анодом, и не мешает измерению ионного тока, что позволит повысить точность измерений давления на этих пределах измерения.At pressures below 10 -6 Pa, the ion current becomes very small (less than 1 nA) and becomes comparable with field emission currents from pole plates and terminal leakage currents. This limits the lower measurement limit and makes it difficult to ignite the discharge in the absence of an auxiliary heated cathode. Therefore, within the measurement range of 10 -6 Pa and lower, a step-regulated (when switching the measurement limits) incandescent current of the incandescent cathode 8 is turned on. Due to the thermionic emission of electrons from the incandescent cathode 8 into the active zone of the transducer, the flux density of electrons performing cycloidal motion increases many times, but in contrast from classical transducers with a heated cathode, these electrons, before reaching the anode, make many revolutions in the active zone of the converter and can get to the anode precisely in as a result of a series of collisions with neutral gas particles, including ionizing ones. Correspondingly, the ion current in the circuit of the cold cathode 2 also increases. Moreover, in comparison with the classical ionization converters with a heated cathode, to obtain the same values of the ion current, a much lower thermionic emission current will be required, since the length of the electron paths in this transducer will be several orders of magnitude longer than in classical Bayard-Alpert transducers. Therefore, one can not be afraid of the intense electronic bombardment of the anode and the soft x-ray radiation from the anode that arises from this. By stepwise adjusting the glow current when switching the measurement limits, it is possible to reach the measurement limits of up to 10 -10 Pa with ion current values convenient for measurement. The current of thermionic emission increases the anode current, closing in a circuit between the incandescent cathode and the anode, and does not interfere with the measurement of ion current, which will improve the accuracy of pressure measurements at these measurement ranges.
Таким образом, введение накаливаемого катода с регулируемым током накала при измерении малых давлений позволяет устранить основные недостатки магнитных электроразрядных вакуумметрических преобразователей, связанные с трудностями зажигания самостоятельного электрического разряда и малыми величинами измеряемого ионного тока, что и позволяет расширить нижний предел измерения преобразователя до 10-10 Па, при повышении точности измерений на этих пределах измерения.Thus, the introduction of an incandescent cathode with an adjustable glow current when measuring low pressures eliminates the main disadvantages of magnetic electric-discharge vacuum gauges associated with the difficulties of ignition of an independent electric discharge and the small values of the measured ion current, which makes it possible to expand the lower measurement limit of the converter to 10 -10 Pa , while increasing the accuracy of measurements at these limits of measurement.
ЛитератураLiterature
1. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. - М.: Энергия, 1979. - 504 с.1. Pipko A.I., Pliskovsky V.Ya., Penchko E.A. Design and calculation of vacuum systems. - M .: Energy, 1979. - 504 p.
2. Гейнце В. Введение в вакуумную технику. - М.: Госэнергоиздат, 1960. - 512 с.2. Heinze V. Introduction to vacuum technology. - M.: Gosenergoizdat, 1960 .-- 512 p.
3. Ворончев Т.А., Соболев В.Д. Физические основы электровакуумной техники. - М.: Высшая школа, 1967. - 352 с.3. Voronchev T.A., Sobolev V.D. Physical fundamentals of electrovacuum technology. - M.: Higher School, 1967. - 352 p.
4. Уэстон Дж. Техника сверхвысокого вакуума: Пер. с англ. - М.: Мир, 1988. - 366 с.4. Weston J. Technology ultrahigh vacuum: TRANS. from English - M .: Mir, 1988 .-- 366 p.
5. Преобразователь манометрический магниторазрядный ПММ-32-1. Паспорт.5. Pressure gauge magnetic discharge transducer PMM-32-1. Passport.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008114988/28A RU2389990C2 (en) | 2008-04-16 | 2008-04-16 | Combined ionisation vacuum-gauge transducer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008114988/28A RU2389990C2 (en) | 2008-04-16 | 2008-04-16 | Combined ionisation vacuum-gauge transducer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2008114988A RU2008114988A (en) | 2009-10-27 |
| RU2389990C2 true RU2389990C2 (en) | 2010-05-20 |
Family
ID=41352472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008114988/28A RU2389990C2 (en) | 2008-04-16 | 2008-04-16 | Combined ionisation vacuum-gauge transducer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2389990C2 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2515212C2 (en) * | 2012-08-21 | 2014-05-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) | High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter |
| RU2610214C1 (en) * | 2015-10-13 | 2017-02-08 | Федеральное государственное автономное научное учреждение "Центральный научно-исследовательский и опытно-конструкторский институт робототехники и технической кибернетики" (ЦНИИ РТК) | Collapsible inverted-magnetron vacuum-gauge converter with additional carbon field-effect emitter, protected from ion bombardment |
| RU2656091C1 (en) * | 2016-12-13 | 2018-05-31 | Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод" | Ion gage head |
| RU2682067C2 (en) * | 2017-03-29 | 2019-03-14 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Юго-Западный государственный университет "(ЮЗГУ) | High-sensitive ionization vacuum-gauge transducer |
| RU2690049C1 (en) * | 2018-01-25 | 2019-05-30 | Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод" (ООО "МЭЛЗ") | Method for increasing upper limit of pressure measurement thermionic pressure gauge |
| RU2812117C1 (en) * | 2023-11-01 | 2024-01-23 | Общество с ограниченной ответственностью "НПО Вакуумные технологии" | Ionization converter |
-
2008
- 2008-04-16 RU RU2008114988/28A patent/RU2389990C2/en not_active IP Right Cessation
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2515212C2 (en) * | 2012-08-21 | 2014-05-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) | High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter |
| RU2610214C1 (en) * | 2015-10-13 | 2017-02-08 | Федеральное государственное автономное научное учреждение "Центральный научно-исследовательский и опытно-конструкторский институт робототехники и технической кибернетики" (ЦНИИ РТК) | Collapsible inverted-magnetron vacuum-gauge converter with additional carbon field-effect emitter, protected from ion bombardment |
| RU2656091C1 (en) * | 2016-12-13 | 2018-05-31 | Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод" | Ion gage head |
| RU2682067C2 (en) * | 2017-03-29 | 2019-03-14 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Юго-Западный государственный университет "(ЮЗГУ) | High-sensitive ionization vacuum-gauge transducer |
| RU2690049C1 (en) * | 2018-01-25 | 2019-05-30 | Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод" (ООО "МЭЛЗ") | Method for increasing upper limit of pressure measurement thermionic pressure gauge |
| RU2812117C1 (en) * | 2023-11-01 | 2024-01-23 | Общество с ограниченной ответственностью "НПО Вакуумные технологии" | Ionization converter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2008114988A (en) | 2009-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4163151A (en) | Separated ion source | |
| JP6019121B2 (en) | Ionization vacuum measuring cell | |
| RU2389990C2 (en) | Combined ionisation vacuum-gauge transducer | |
| EP0622621B1 (en) | Opposed magnet ionization gauge | |
| Sidenius | The high temperature hollow cathode ion source | |
| Beck et al. | A cylindrical magnetron ionisation gauge | |
| US20190295801A1 (en) | Low sputtering, cross-field, gas switch and method of operation | |
| US3949260A (en) | Continuous ionization injector for low pressure gas discharge device | |
| Harrison | Investigation of the perveances and beam profiles of an aperture disk emission system | |
| Fathi et al. | Magnetic field design for a Penning ion source for a 200 keV electrostatic accelerator | |
| RU2515212C2 (en) | High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter | |
| US7173430B2 (en) | Cold-cathode ionization manometer having a longer service life due to two separate cathodes | |
| US5210413A (en) | Partial pressure gauge using a cold-cathode ion source for leak detection in vacuum systems | |
| KR102473925B1 (en) | gas analyzer | |
| US3387175A (en) | Vacuum gauge having separate electron collecting and electron accelerating electrodes | |
| US2937295A (en) | Ionization gauge for the measurement of low pressures | |
| RU2682067C2 (en) | High-sensitive ionization vacuum-gauge transducer | |
| US3287589A (en) | Electron-collision ion source, particularly for electric mass spectrometers | |
| RU2610214C1 (en) | Collapsible inverted-magnetron vacuum-gauge converter with additional carbon field-effect emitter, protected from ion bombardment | |
| JP4111441B2 (en) | Large-diameter electrostatic accelerator with discharge breakdown prevention function | |
| RU209633U1 (en) | Vacuum neutron tube | |
| CN112582248B (en) | Electron gun device for mercury ion microwave frequency standard | |
| RU2773038C1 (en) | Pulse neutron generator | |
| RU2561235C1 (en) | Vacuum sensor | |
| US3555411A (en) | Cold cathode magnetron ionization gauge with cathodes forming pole pieces for cylindrical magnet |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20110417 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20120627 |
|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20130117 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20140417 |