RU2656091C1 - Ion gage head - Google Patents

Ion gage head Download PDF

Info

Publication number
RU2656091C1
RU2656091C1 RU2016148935A RU2016148935A RU2656091C1 RU 2656091 C1 RU2656091 C1 RU 2656091C1 RU 2016148935 A RU2016148935 A RU 2016148935A RU 2016148935 A RU2016148935 A RU 2016148935A RU 2656091 C1 RU2656091 C1 RU 2656091C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cylindrical
accelerating
gap
electrodes
collector
Prior art date
Application number
RU2016148935A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Виктор Кузьмич Базылев
Владимир Александрович Коротченко
Александр Михайлович Жидков
Вадим Эвальдович Скворцов
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод"
Priority to RU2016148935A priority Critical patent/RU2656091C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2656091C1 publication Critical patent/RU2656091C1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
    • H01J41/04—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of thermionic cathodes

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

FIELD: measurement technology.
SUBSTANCE: invention relates to the high and ultrahigh vacuum measurement equipment and can be used in creation of ionization vacuum meters with measurement limits from 1 Pa to 10-11 Pa. Ion gage head contains axially and sequentially located disk screen, thermal cathode, cylindrical accelerating electrode, additional accelerating electrode axially located with a gap from the accelerating electrode and electrons disk collector located after the additional accelerating electrode, as well as a cylindrical ions collector covering the gap between the accelerating electrodes, and surrounding the electrodes cylindrical magnet, creating axial magnetic field with induction greater than the critical one. Emerging from the thermal cathode electrons are accelerated by two cylindrical electrodes located with a gap to the energy sufficient for the gas molecules ionization. However, due to the axial magnetic field presence, they do not fall on these electrodes and are collected by the electrons collector, which is under the potential much less than the accelerating electrodes potentials. This provides the background current suppression due to the electrons deceleration radiation and positive ions desorption. Formed in the gap between the accelerating electrodes positive ions are collected by the covering the gap between accelerating electrodes cylindrical ions collector, creating proportional to the gas pressure collector current.
EFFECT: measured gas pressure range expansion in the ultrahigh vacuum area and reduction of measurement error.
1 cl, 4 dwg

Description

Изобретение относится к технике измерения высокого и сверхвысокого вакуума и может быть использовано при создании ионизационных вакуумметров с пределами измерения от 1 Па до 10-11 Па.The invention relates to techniques for measuring high and ultrahigh vacuum and can be used to create ionization vacuum gauges with measurement limits from 1 Pa to 10 -11 Pa.

Для измерения высокого и сверхвысокого вакуума широкое распространение получили манометрические преобразователи Байярда-Альперта [Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. - М.: Энергия, 1979], имеющие конструкцию электродной системы с наружным расположением накаленного катода относительно ускоряющей электроны сетки в виде спирали и коллектора ионов, расположенного внутри сетки. В рабочем диапазоне измеряемых давлений ток коллектора ионов пропорционален давлению газа. С помощью такого преобразователя обеспечивается измерение давления в диапазоне 1-10-8 Па. Например, отечественный ионизационный манометрический преобразователь ПМИ-27 измеряет давление газа в диапазоне от 2⋅10-8 до 10 Па [Паспорт ПМИ-27]. Современные Датчики Баярда-Альперта корейской компании KVC измеряют давление в пределах 1,33-1,33⋅10-8 Па, датчики AIGX (модель AIGX-S-NW25) компании Edwards - 6,65-6,65⋅10-8 Па.To measure high and ultrahigh vacuum, the Bayard-Alpert gauge transducers were widely used [A. Pipko, V. Ya. Pliskovsky, E. A. Penchko Design and calculation of vacuum systems. - M .: Energia, 1979], having the construction of an electrode system with an external location of a heated cathode relative to an electron-accelerating grid in the form of a spiral and an ion collector located inside the grid. In the operating range of the measured pressures, the ion collector current is proportional to the gas pressure. Using such a converter, a pressure measurement in the range of 1-10 -8 Pa is provided. For example, the domestic ionization gauge PMI-27 transducer measures gas pressure in the range from 2⋅10 -8 to 10 Pa [Passport PMI-27]. The modern Bayard-Alpert sensors of the Korean company KVC measure pressure in the range 1.33-1.33⋅10 -8 Pa, AIGX sensors (model AIGX-S-NW25) of the Edwards company - 6.65-6.65⋅10 -8 Pa .

Измерение давлений ниже 10-8 Па ограничено мягким тормозным излучением электронов при торможении их на сетке и десорбцией положительных ионов с сетки за счет электронной бомбардировки. Эти факторы создают ток коллектора ионов, который не зависит от давления газа. Когда этот ток по мере уменьшения давления газа становится сравнимым с ионным током, возникает недопустимая погрешность измерения давления и ограничение предела измерения по давлению газа.The pressure measurement below 10 -8 Pa is limited by soft bremsstrahlung of electrons when they are braked on the grid and the desorption of positive ions from the grid due to electron bombardment. These factors create an ion collector current that is independent of gas pressure. When this current, as the gas pressure decreases, becomes comparable to the ion current, an unacceptable error in the measurement of pressure arises and the measurement limit is limited by the gas pressure.

Современные инверсные магнетронные манометры с холодным катодом, например, фирмы Televac (модель СС-10) имеют нижний предел измеряемого давления 1,33⋅10-7 Па. Как утверждается в работе [Гуляев М.А., Ерюхин А.В. Измерение вакуума. М.: Издательство комитета стандартов 1967, 148 с.], "градуировочные характеристики магнитных манометрических преобразователей имеют довольно большой разброс как между несколькими преобразователями, так и одного и того же преобразователя во времени. Указанное обстоятельство позволяет рекомендовать магнитные вакуумметры только в тех случаях, когда не требуется большой точности измерения, а нужно знать только порядок величины давления".Modern inverse cold cathode magnetron manometers, for example, Televac (model SS-10), have a lower limit of the measured pressure of 1.33 × 10 -7 Pa. As stated in the work [Gulyaev M.A., Eryukhin A.V. Vacuum measurement. M .: Publishing House of Standards Committee 1967, 148 pp.], "The calibration characteristics of magnetic pressure gauges have a rather large scatter between several transducers and the same transducer in time. This circumstance allows us to recommend magnetic gauges only when "great measurement accuracy is not required, and you only need to know the order of magnitude of the pressure."

Наиболее близким к заявляемому техническому решению можно считать манометрическую лампу Лаферти [Гуляев М.А., А.В. Ерюхин Измерение вакуума. М.: Издательство комитета стандартов 1967, 148 с.]. Схема манометрической лампы приведена на фиг. 1. Лампа имеет дисковый коллектор ионов 1, накаливаемый катод 2, постоянный магнит (или соленоид) 3, создающий аксиальное магнитное поле в области электродов, цилиндрический ускоряющий электрод (анод) 4, экран в виде диска 5, вакуумно-плотную оболочку 6. Электрическое и магнитное поле в лампе близки к ортогональным. Поэтому при индукции магнитного поля большей критической электроны с катода перестают попадать непосредственно на анод и возвращаются в область катода. Пути электронов удлиняются, что увеличивает вероятность ионизации молекул газа. Электроны попадают на анод после потери энергии на ионизацию или возбуждение молекулы газа, а также за счет некоторой неортогональности электрического и магнитного полей. Неортогональность обусловлена V-образной формой нити катода, конечной длиной магнита и погрешностью установки оси прибора относительно оси магнита. Образующиеся при ионизации молекул газа ионы поступают на коллектор ионов 1. Данный манометрический преобразователь позволяет измерять давление газа в пределах 1,33⋅10-1-1,33⋅10-8 Па.The closest to the claimed technical solution can be considered a gauge lamp Laferty [Gulyaev MA, A.V. Yeryukhin Measurement of vacuum. M .: Publishing house of the committee of standards 1967, 148 p.]. A diagram of the gauge lamp is shown in FIG. 1. The lamp has a disk ion collector 1, a heated cathode 2, a permanent magnet (or solenoid) 3, which creates an axial magnetic field in the region of the electrodes, a cylindrical accelerating electrode (anode) 4, a screen in the form of a disk 5, a vacuum-tight shell 6. Electrical and the magnetic field in the lamp is close to orthogonal. Therefore, when a magnetic field of a greater critical magnitude is induced, the electrons from the cathode cease to fall directly onto the anode and return to the cathode region. Electron paths lengthen, which increases the likelihood of ionization of gas molecules. Electrons enter the anode after loss of energy due to ionization or excitation of a gas molecule, as well as due to some non-orthogonality of the electric and magnetic fields. Non-orthogonality is due to the V-shape of the cathode filament, the finite length of the magnet and the error in setting the axis of the device relative to the axis of the magnet. The ions formed during the ionization of gas molecules enter the ion collector 1. This pressure gauge allows you to measure the gas pressure in the range of 1.33⋅10 -1 -1.33⋅10 -8 Pa.

Ограничение нижнего предела измеряемого давления в прототипе обусловлено током положительных ионов вещества, испаряемых с катода [Эмиссионная электроника. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. М.: Наука, 1966 г., 564 с.] на коллектор ионов, так как он находится под более низким потенциалом, чем катод. Эта компонента тока коллектора ионов не зависит от давления газа в лампе.The limitation of the lower limit of the measured pressure in the prototype is due to the current of positive ions of the substance evaporated from the cathode [Emission electronics. Dobretsov L.N., Gomoyunova M.V. M .: Nauka, 1966, 564 pp.] To the ion collector, since it is at a lower potential than the cathode. This component of the ion collector current is independent of the gas pressure in the lamp.

Другим источником фонового тока в прототипе является тормозное излучение электронов, возникающее при соударении электронов с ускоряющим электродом (анодом). Это излучение вызывает фотоэмиссию электронов с коллектора ионов, что создает компоненту тока коллектора, не связанную с давлением газа. Кроме этого, под действием электронной бомбардировки ускоряющего электрода происходит десорбция положительных ионов, которые, попадая на коллектор ионов, вызывают ток, не связанный с давлением газа.Another source of background current in the prototype is the bremsstrahlung of electrons that occurs when electrons collide with an accelerating electrode (anode). This radiation causes photoemission of electrons from the ion collector, which creates a component of the collector current that is not related to gas pressure. In addition, under the action of the electron bombardment of the accelerating electrode, the desorption of positive ions occurs, which, getting on the ion collector, cause a current that is not related to gas pressure.

В прототипе нет возможности стабилизировать ток эмиссии катода во время измерения ионного тока, так как величина тока катода зависит от давления газа. Для установки величины тока эмиссии катода необходимо снимать магнит (или выключать соленоид) и измерять ток на анод в отсутствии магнитного поля. Поскольку ток эмиссии экспоненциально зависит от температуры катода, то во время измерения ионного тока величина электронного тока может измениться, что вызовет погрешность измерения давления.In the prototype, it is not possible to stabilize the cathode emission current during ion current measurement, since the cathode current value depends on the gas pressure. To set the cathode emission current, it is necessary to remove the magnet (or turn off the solenoid) and measure the current to the anode in the absence of a magnetic field. Since the emission current exponentially depends on the cathode temperature, during the measurement of the ion current, the magnitude of the electron current may change, which will cause an error in the pressure measurement.

Таким образом, перечисленные факторы ограничивают нижний предел измерения давления и увеличивают погрешность измерения давления в прототипе.Thus, the above factors limit the lower limit of pressure measurement and increase the error of pressure measurement in the prototype.

Технической задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является расширение предела измерения в сторону малых давлений и снижение погрешности измерения давления. Эта задача решается путем исключения влияния факторов тормозного излучения электронов и десорбции положительных ионов с ускоряющего электрода на ток коллектора ионов.The technical problem to which the invention is directed is to expand the measurement limit in the direction of low pressures and to reduce the error in measuring pressure. This problem is solved by eliminating the influence of electron bremsstrahlung factors and the desorption of positive ions from the accelerating electrode on the ion collector current.

Предлагаемый ионизационный манометрический преобразователь фиг. 2 содержит аксиально расположенные цилиндрический коллектор положительных ионов 1, термокатод 2, источник аксиального магнитного поля (постоянный цилиндрический магнит или соленоид) 3, первый ускоряющий цилиндрический электрод 4, дисковый экран 5, вакуумно-плотную оболочку 6, второй ускоряющий электрод 7, дисковый коллектор электронов 8. Термокатод расположен у края первого ускоряющего электрода.The proposed ionization gauge converter of FIG. 2 contains an axially arranged cylindrical collector of positive ions 1, a thermal cathode 2, an axial magnetic field source (permanent cylindrical magnet or solenoid) 3, a first accelerating cylindrical electrode 4, a disk screen 5, a vacuum-tight shell 6, a second accelerating electrode 7, a disk electron collector 8. The thermal cathode is located at the edge of the first accelerating electrode.

Между ускоряющими электродами и катодом прикладывается напряжение, достаточное для эффективной ионизации молекул газа электронным ударом, например 120 В. Источником магнитного поля создается индукция большая критической. Этим предотвращается попадание электронов, вышедших из термокатода, на ускоряющие электроды без столкновения с молекулами газа и генерация ими тормозного излучения. Коллектор ионов имеет диаметр больше диаметра ускоряющих электродов, что обеспечивает его частичное затенение от ультрафиолетового излучения катода. Кроме этого, расположение коллектора ионов аксиально с источником магнитного поля обеспечивает возвращение значительной части фотоэлектронов с коллектора за счет начальных скоростей обратно на коллектор, что снижает величину тока коллектора, не связанную с давлением газа. На коллектор электронов подается положительное напряжение относительно катода, достаточное для собирания электронов, вышедших с катода, но намного меньшее ускоряющего (например, 5 В), которое недостаточно для генерации тормозного излучения с длиной волны, обеспечивающей фотоэмиссию электронов с коллектора ионов. На фиг. 3. представлено распределение потенциала вдоль оси манометрического преобразователя. Благодаря расположению катода у края ускоряющего электрода вдоль оси преобразователя формируется распределение потенциала, позволяющее ускорить вдоль оси электроны, эмитируемые катодом, до энергии, достаточной для эффективной ионизации молекул газа. Минимум в распределении потенциала, необходимый для удержания положительных ионов от движения вдоль оси (иначе бы они ушли на катод и коллектор электронов, а не на коллектор ионов), возникает за счет наличия зазора между ускоряющими электродами и нулевого потенциала коллектора ионов, охватывающего этот зазор. Распределение потенциала в сечении перпендикулярном оси преобразователя в области минимума осевого потенциала приведено на фиг. 4. Оно показывает, что положительные ионы, образующиеся в пространстве между максимумами распределения потенциала вдоль оси, будут поступать на коллектор ионов. Образующиеся при ионизации электронным ударом в пространстве между максимумами распределения потенциала вдоль оси положительные ионы уходят через зазор на коллектор ионов, находящийся под нулевым потенциалом. Ток коллектора ионов пропорционален давлению газа и является мерой давления газа.Between the accelerating electrodes and the cathode, a voltage is applied sufficient to effectively ionize the gas molecules by electron impact, for example 120 V. A large critical induction is created by the magnetic field source. This prevents the entry of electrons leaving the thermal cathode onto accelerating electrodes without collision with gas molecules and their generation of bremsstrahlung. The ion collector has a diameter larger than the diameter of the accelerating electrodes, which ensures partial shading from the ultraviolet radiation of the cathode. In addition, the location of the ion collector axially with the source of the magnetic field ensures the return of a significant part of the photoelectrons from the collector due to the initial velocities back to the collector, which reduces the value of the collector current, which is not related to gas pressure. A positive voltage relative to the cathode is applied to the electron collector, sufficient to collect the electrons emitted from the cathode, but much less than the accelerating one (for example, 5 V), which is insufficient to generate bremsstrahlung with a wavelength that provides photoemission of electrons from the ion collector. In FIG. 3. presents the distribution of potential along the axis of the pressure gauge. Due to the location of the cathode at the edge of the accelerating electrode along the axis of the transducer, a potential distribution is formed that allows accelerating along the axis the electrons emitted by the cathode to an energy sufficient for efficient ionization of the gas molecules. The minimum in the potential distribution necessary to keep positive ions from moving along the axis (otherwise they would have gone to the cathode and electron collector rather than to the ion collector) arises due to the presence of a gap between the accelerating electrodes and the zero potential of the ion collector covering this gap. The potential distribution in the cross section perpendicular to the axis of the transducer in the region of the minimum axial potential is shown in FIG. 4. It shows that positive ions formed in the space between the maxima of the potential distribution along the axis will flow to the ion collector. Positive ions formed during ionization by electron impact in the space between the maxima of the potential distribution along the axis go through the gap to the ion collector, which is at zero potential. The ion collector current is proportional to gas pressure and is a measure of gas pressure.

Осевое распределение потенциала вблизи коллектора электронов указывает на то, что поле для положительных ионов, если бы они выходили из коллектора электронов, является тормозящим. Это исключает термоэлектронную десорбцию положительных ионов, являющуюся причиной фонового тока коллектора ионов в прототипе.The axial distribution of the potential near the electron collector indicates that the field for positive ions, if they exited the electron collector, is an inhibitory one. This eliminates the thermionic desorption of positive ions, which is the cause of the background current of the ion collector in the prototype.

Электрическое поле у катода является тормозящим для положительных ионов вещества катода, поэтому эти ионы, испаряясь с катода, будут возвращаться на катод, не создавая фонового тока коллектора ионов.The electric field at the cathode is inhibitory for positive ions of the cathode substance; therefore, these ions, evaporating from the cathode, will return to the cathode without creating a background current of the ion collector.

Кроме этого, в отличие от прототипа в предлагаемом устройстве для стабилизации электронного тока нет необходимости выключения магнитного поля.In addition, unlike the prototype, in the proposed device for stabilizing the electronic current there is no need to turn off the magnetic field.

Таким образом, в предлагаемом манометрическом преобразователе устраняются причины, которые вызывали фоновый ток коллектора ионов в прототипе (ток, не зависящий от давления газа), который повышал погрешность измерения давления газа и ограничивал нижний предел измеряемых давлений газа.Thus, in the proposed gauge converter, the causes that caused the background current of the ion collector in the prototype (current independent of gas pressure) are eliminated, which increased the error in measuring the gas pressure and limited the lower limit of the measured gas pressures.

Таким образом, введение дополнительного ускоряющего электрода на некотором расстоянии от первого ускоряющего электрода, расположение термокатода у края ускоряющего электрода, не примыкающего к зазору между ускоряющими электродами, расположение коллектора ионов в виде цилиндра, охватывающего зазор между ускоряющими электродами и применение коллектора электронов позволяют расширить нижний предел измерения преобразователя до 10-11 Па и снизить погрешность измерения давления.Thus, the introduction of an additional accelerating electrode at a distance from the first accelerating electrode, the location of the thermal cathode at the edge of the accelerating electrode, not adjacent to the gap between the accelerating electrodes, the location of the ion collector in the form of a cylinder covering the gap between the accelerating electrodes and the use of the electron collector allow us to expand the lower limit measuring the transducer to 10 -11 Pa and reduce the error in measuring pressure.

Источники информацииInformation sources

1. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. - М.: Энергия, 1979.1. Pipko A.I., Pliskovsky V.Ya., Penchko E.A. Design and calculation of vacuum systems. - M .: Energy, 1979.

2. Гуляев М.А., А.В. Ерюхин. Измерение вакуума. М.: Издательство комитета стандартов 1967, 148 с.2. Gulyaev M.A., A.V. Yeryukhin. Vacuum measurement. M .: Publishing house of the committee of standards 1967, 148 p.

3. Эмиссионная электроника. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. М.: Наука, 1966 г., 564 с.3. Emission electronics. Dobretsov L.N., Gomoyunova M.V. M .: Nauka, 1966, 564 p.

Claims (2)

1. Ионизационный манометрический преобразователь, содержащий, аксиально и последовательно расположенные дисковый экран, термокатод, основной цилиндрический ускоряющий электрод, дисковый коллектор и охватывающий электроды цилиндрический магнит, создающий аксиальное магнитное поле, отличающийся тем, что содержит аксиально расположенный дополнительный цилиндрический ускоряющий электрод между упомянутым основным ускоряющим цилиндрическим электродом и дисковым коллектором с зазором от упомянутого основного цилиндрического ускоряющего электрода и цилиндрический коллектор ионов, охватывающий зазор между основным и дополнительным цилиндрическими ускоряющими электродами, при этом термокатод расположен у не примыкающего к зазору между ускоряющими электродами торца основного ускоряющего электрода, а дисковый коллектор выполняет функцию анода.1. An ionization gauge transducer comprising, axially and sequentially disposed, a disk screen, a thermal cathode, a main cylindrical accelerating electrode, a disk collector and a cylindrical magnet enclosing the electrodes, producing an axial magnetic field, characterized in that it contains an axially arranged additional cylindrical accelerating electrode between said main accelerating electrode a cylindrical electrode and a disk manifold with a gap from said main cylindrical accelerating its electrode and a cylindrical ion collector, covering the gap between the main and additional cylindrical accelerating electrodes, while the thermal cathode is located at the end of the main accelerating electrode not adjacent to the gap between the accelerating electrodes, and the disk collector performs the function of the anode. 2. Ионизационный манометрический преобразователь по п. 1, отличающийся тем, что размеры основного и дополнительного ускоряющих цилиндрических электродов, цилиндрического коллектора ионов и величина зазора между основным и дополнительным цилиндрическими ускоряющими электродами обеспечивают минимум в распределении потенциала вдоль оси манометрического преобразователя в области зазора и максимум в распределении потенциала по радиусу в центре зазора на оси манометрического преобразователя при подаче на основной и дополнительный цилиндрические ускоряющие электроды напряжения, достаточного для эффективной ионизации молекул газа в зазоре при нулевом или отрицательном потенциале цилиндрического коллектора ионов.2. The ionization gauge transducer according to claim 1, characterized in that the dimensions of the main and additional accelerating cylindrical electrodes, the cylindrical ion collector and the gap between the main and additional cylindrical accelerating electrodes provide a minimum in the potential distribution along the axis of the gauge transducer in the gap region and a maximum in the distribution of potential along the radius in the center of the gap on the axis of the pressure gauge when applying to the main and additional cyl accelerating voltage-cylindrical electrodes sufficient for effective ionization of gas molecules in the gap at a zero potential or negative ions of the cylindrical collector.
RU2016148935A 2016-12-13 2016-12-13 Ion gage head RU2656091C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016148935A RU2656091C1 (en) 2016-12-13 2016-12-13 Ion gage head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016148935A RU2656091C1 (en) 2016-12-13 2016-12-13 Ion gage head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2656091C1 true RU2656091C1 (en) 2018-05-31

Family

ID=62560247

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016148935A RU2656091C1 (en) 2016-12-13 2016-12-13 Ion gage head

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2656091C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2771640C1 (en) * 2021-06-15 2022-05-11 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина" Wide-range gauge head

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU333430A1 (en) * тпгг ЗНАЯ ELECTRONIC IONIZATION MAHOMETJP WITH CROSSED ELECTRIC AND MAGNETIC FIELDS
US5422573A (en) * 1990-04-11 1995-06-06 Granville-Phillips Company Ionization gauge and method of using and calibrating same
US20090278436A1 (en) * 2008-05-07 2009-11-12 Tsinghua University Ionization Vacume gauge
RU2389990C2 (en) * 2008-04-16 2010-05-20 ФГУП Курский завод "Маяк" Combined ionisation vacuum-gauge transducer
RU2515212C2 (en) * 2012-08-21 2014-05-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU333430A1 (en) * тпгг ЗНАЯ ELECTRONIC IONIZATION MAHOMETJP WITH CROSSED ELECTRIC AND MAGNETIC FIELDS
US5422573A (en) * 1990-04-11 1995-06-06 Granville-Phillips Company Ionization gauge and method of using and calibrating same
RU2389990C2 (en) * 2008-04-16 2010-05-20 ФГУП Курский завод "Маяк" Combined ionisation vacuum-gauge transducer
US20090278436A1 (en) * 2008-05-07 2009-11-12 Tsinghua University Ionization Vacume gauge
RU2515212C2 (en) * 2012-08-21 2014-05-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Гуляев М.А., Измерение вакуума. Москва, Издательство комитета стандартов, 1967, с.148. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2771640C1 (en) * 2021-06-15 2022-05-11 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина" Wide-range gauge head

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7332714B2 (en) Quadrupole mass spectrometer and vacuum device using the same
Rauch et al. Plasma potential mapping of high power impulse magnetron sputtering discharges
US7755062B2 (en) Ion source and ion implantation apparatus
US7564246B2 (en) Pressure sensor using field emission of carbon nano-tube
JP2005062167A (en) Ionization vacuum gauge
Mamedov et al. Effect of the magnetic field on the characteristics of a pulsed Penning ion source
US9952113B2 (en) Ionization gauge for high pressure operation
RU2656091C1 (en) Ion gage head
RU2389990C2 (en) Combined ionisation vacuum-gauge transducer
JP5231580B2 (en) Helium sensor
JP5463361B2 (en) Device for measuring mean free path and vacuum vessel
RU2515212C2 (en) High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter
Li et al. Vacuum Science and Technology for Accelerator Vacuum Systems
US3387175A (en) Vacuum gauge having separate electron collecting and electron accelerating electrodes
JP2019015666A (en) Tetrode-type ionization vacuum meter and method for measuring pressure
RU2427813C1 (en) Vacuum sensor
CN111982394A (en) Vacuum degree measuring device, method and system of X-ray tube
RU2610214C1 (en) Collapsible inverted-magnetron vacuum-gauge converter with additional carbon field-effect emitter, protected from ion bombardment
JP2016149279A (en) Mass spectroscope
US3320455A (en) Ionization vacuum gauge having x-ray shielding means
RU2771640C1 (en) Wide-range gauge head
WO2016139894A1 (en) Triode-type ionization vacuum gauge
USRE25369E (en) Ionization gauge for the measurement of low pressures
Linnell et al. Internal langmuir probe mapping of a hall thruster with xenon and krypton propellant
RU2690049C1 (en) Method for increasing upper limit of pressure measurement thermionic pressure gauge

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20181214

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20200715