RU2656091C1 - Ion gage head - Google Patents
Ion gage head Download PDFInfo
- Publication number
- RU2656091C1 RU2656091C1 RU2016148935A RU2016148935A RU2656091C1 RU 2656091 C1 RU2656091 C1 RU 2656091C1 RU 2016148935 A RU2016148935 A RU 2016148935A RU 2016148935 A RU2016148935 A RU 2016148935A RU 2656091 C1 RU2656091 C1 RU 2656091C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cylindrical
- accelerating
- gap
- electrodes
- collector
- Prior art date
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 44
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 13
- 238000003795 desorption Methods 0.000 abstract description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 5
- 230000005461 Bremsstrahlung Effects 0.000 description 4
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
- H01J41/04—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of thermionic cathodes
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к технике измерения высокого и сверхвысокого вакуума и может быть использовано при создании ионизационных вакуумметров с пределами измерения от 1 Па до 10-11 Па.The invention relates to techniques for measuring high and ultrahigh vacuum and can be used to create ionization vacuum gauges with measurement limits from 1 Pa to 10 -11 Pa.
Для измерения высокого и сверхвысокого вакуума широкое распространение получили манометрические преобразователи Байярда-Альперта [Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. - М.: Энергия, 1979], имеющие конструкцию электродной системы с наружным расположением накаленного катода относительно ускоряющей электроны сетки в виде спирали и коллектора ионов, расположенного внутри сетки. В рабочем диапазоне измеряемых давлений ток коллектора ионов пропорционален давлению газа. С помощью такого преобразователя обеспечивается измерение давления в диапазоне 1-10-8 Па. Например, отечественный ионизационный манометрический преобразователь ПМИ-27 измеряет давление газа в диапазоне от 2⋅10-8 до 10 Па [Паспорт ПМИ-27]. Современные Датчики Баярда-Альперта корейской компании KVC измеряют давление в пределах 1,33-1,33⋅10-8 Па, датчики AIGX (модель AIGX-S-NW25) компании Edwards - 6,65-6,65⋅10-8 Па.To measure high and ultrahigh vacuum, the Bayard-Alpert gauge transducers were widely used [A. Pipko, V. Ya. Pliskovsky, E. A. Penchko Design and calculation of vacuum systems. - M .: Energia, 1979], having the construction of an electrode system with an external location of a heated cathode relative to an electron-accelerating grid in the form of a spiral and an ion collector located inside the grid. In the operating range of the measured pressures, the ion collector current is proportional to the gas pressure. Using such a converter, a pressure measurement in the range of 1-10 -8 Pa is provided. For example, the domestic ionization gauge PMI-27 transducer measures gas pressure in the range from 2⋅10 -8 to 10 Pa [Passport PMI-27]. The modern Bayard-Alpert sensors of the Korean company KVC measure pressure in the range 1.33-1.33⋅10 -8 Pa, AIGX sensors (model AIGX-S-NW25) of the Edwards company - 6.65-6.65⋅10 -8 Pa .
Измерение давлений ниже 10-8 Па ограничено мягким тормозным излучением электронов при торможении их на сетке и десорбцией положительных ионов с сетки за счет электронной бомбардировки. Эти факторы создают ток коллектора ионов, который не зависит от давления газа. Когда этот ток по мере уменьшения давления газа становится сравнимым с ионным током, возникает недопустимая погрешность измерения давления и ограничение предела измерения по давлению газа.The pressure measurement below 10 -8 Pa is limited by soft bremsstrahlung of electrons when they are braked on the grid and the desorption of positive ions from the grid due to electron bombardment. These factors create an ion collector current that is independent of gas pressure. When this current, as the gas pressure decreases, becomes comparable to the ion current, an unacceptable error in the measurement of pressure arises and the measurement limit is limited by the gas pressure.
Современные инверсные магнетронные манометры с холодным катодом, например, фирмы Televac (модель СС-10) имеют нижний предел измеряемого давления 1,33⋅10-7 Па. Как утверждается в работе [Гуляев М.А., Ерюхин А.В. Измерение вакуума. М.: Издательство комитета стандартов 1967, 148 с.], "градуировочные характеристики магнитных манометрических преобразователей имеют довольно большой разброс как между несколькими преобразователями, так и одного и того же преобразователя во времени. Указанное обстоятельство позволяет рекомендовать магнитные вакуумметры только в тех случаях, когда не требуется большой точности измерения, а нужно знать только порядок величины давления".Modern inverse cold cathode magnetron manometers, for example, Televac (model SS-10), have a lower limit of the measured pressure of 1.33 × 10 -7 Pa. As stated in the work [Gulyaev M.A., Eryukhin A.V. Vacuum measurement. M .: Publishing House of Standards Committee 1967, 148 pp.], "The calibration characteristics of magnetic pressure gauges have a rather large scatter between several transducers and the same transducer in time. This circumstance allows us to recommend magnetic gauges only when "great measurement accuracy is not required, and you only need to know the order of magnitude of the pressure."
Наиболее близким к заявляемому техническому решению можно считать манометрическую лампу Лаферти [Гуляев М.А., А.В. Ерюхин Измерение вакуума. М.: Издательство комитета стандартов 1967, 148 с.]. Схема манометрической лампы приведена на фиг. 1. Лампа имеет дисковый коллектор ионов 1, накаливаемый катод 2, постоянный магнит (или соленоид) 3, создающий аксиальное магнитное поле в области электродов, цилиндрический ускоряющий электрод (анод) 4, экран в виде диска 5, вакуумно-плотную оболочку 6. Электрическое и магнитное поле в лампе близки к ортогональным. Поэтому при индукции магнитного поля большей критической электроны с катода перестают попадать непосредственно на анод и возвращаются в область катода. Пути электронов удлиняются, что увеличивает вероятность ионизации молекул газа. Электроны попадают на анод после потери энергии на ионизацию или возбуждение молекулы газа, а также за счет некоторой неортогональности электрического и магнитного полей. Неортогональность обусловлена V-образной формой нити катода, конечной длиной магнита и погрешностью установки оси прибора относительно оси магнита. Образующиеся при ионизации молекул газа ионы поступают на коллектор ионов 1. Данный манометрический преобразователь позволяет измерять давление газа в пределах 1,33⋅10-1-1,33⋅10-8 Па.The closest to the claimed technical solution can be considered a gauge lamp Laferty [Gulyaev MA, A.V. Yeryukhin Measurement of vacuum. M .: Publishing house of the committee of standards 1967, 148 p.]. A diagram of the gauge lamp is shown in FIG. 1. The lamp has a
Ограничение нижнего предела измеряемого давления в прототипе обусловлено током положительных ионов вещества, испаряемых с катода [Эмиссионная электроника. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. М.: Наука, 1966 г., 564 с.] на коллектор ионов, так как он находится под более низким потенциалом, чем катод. Эта компонента тока коллектора ионов не зависит от давления газа в лампе.The limitation of the lower limit of the measured pressure in the prototype is due to the current of positive ions of the substance evaporated from the cathode [Emission electronics. Dobretsov L.N., Gomoyunova M.V. M .: Nauka, 1966, 564 pp.] To the ion collector, since it is at a lower potential than the cathode. This component of the ion collector current is independent of the gas pressure in the lamp.
Другим источником фонового тока в прототипе является тормозное излучение электронов, возникающее при соударении электронов с ускоряющим электродом (анодом). Это излучение вызывает фотоэмиссию электронов с коллектора ионов, что создает компоненту тока коллектора, не связанную с давлением газа. Кроме этого, под действием электронной бомбардировки ускоряющего электрода происходит десорбция положительных ионов, которые, попадая на коллектор ионов, вызывают ток, не связанный с давлением газа.Another source of background current in the prototype is the bremsstrahlung of electrons that occurs when electrons collide with an accelerating electrode (anode). This radiation causes photoemission of electrons from the ion collector, which creates a component of the collector current that is not related to gas pressure. In addition, under the action of the electron bombardment of the accelerating electrode, the desorption of positive ions occurs, which, getting on the ion collector, cause a current that is not related to gas pressure.
В прототипе нет возможности стабилизировать ток эмиссии катода во время измерения ионного тока, так как величина тока катода зависит от давления газа. Для установки величины тока эмиссии катода необходимо снимать магнит (или выключать соленоид) и измерять ток на анод в отсутствии магнитного поля. Поскольку ток эмиссии экспоненциально зависит от температуры катода, то во время измерения ионного тока величина электронного тока может измениться, что вызовет погрешность измерения давления.In the prototype, it is not possible to stabilize the cathode emission current during ion current measurement, since the cathode current value depends on the gas pressure. To set the cathode emission current, it is necessary to remove the magnet (or turn off the solenoid) and measure the current to the anode in the absence of a magnetic field. Since the emission current exponentially depends on the cathode temperature, during the measurement of the ion current, the magnitude of the electron current may change, which will cause an error in the pressure measurement.
Таким образом, перечисленные факторы ограничивают нижний предел измерения давления и увеличивают погрешность измерения давления в прототипе.Thus, the above factors limit the lower limit of pressure measurement and increase the error of pressure measurement in the prototype.
Технической задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является расширение предела измерения в сторону малых давлений и снижение погрешности измерения давления. Эта задача решается путем исключения влияния факторов тормозного излучения электронов и десорбции положительных ионов с ускоряющего электрода на ток коллектора ионов.The technical problem to which the invention is directed is to expand the measurement limit in the direction of low pressures and to reduce the error in measuring pressure. This problem is solved by eliminating the influence of electron bremsstrahlung factors and the desorption of positive ions from the accelerating electrode on the ion collector current.
Предлагаемый ионизационный манометрический преобразователь фиг. 2 содержит аксиально расположенные цилиндрический коллектор положительных ионов 1, термокатод 2, источник аксиального магнитного поля (постоянный цилиндрический магнит или соленоид) 3, первый ускоряющий цилиндрический электрод 4, дисковый экран 5, вакуумно-плотную оболочку 6, второй ускоряющий электрод 7, дисковый коллектор электронов 8. Термокатод расположен у края первого ускоряющего электрода.The proposed ionization gauge converter of FIG. 2 contains an axially arranged cylindrical collector of
Между ускоряющими электродами и катодом прикладывается напряжение, достаточное для эффективной ионизации молекул газа электронным ударом, например 120 В. Источником магнитного поля создается индукция большая критической. Этим предотвращается попадание электронов, вышедших из термокатода, на ускоряющие электроды без столкновения с молекулами газа и генерация ими тормозного излучения. Коллектор ионов имеет диаметр больше диаметра ускоряющих электродов, что обеспечивает его частичное затенение от ультрафиолетового излучения катода. Кроме этого, расположение коллектора ионов аксиально с источником магнитного поля обеспечивает возвращение значительной части фотоэлектронов с коллектора за счет начальных скоростей обратно на коллектор, что снижает величину тока коллектора, не связанную с давлением газа. На коллектор электронов подается положительное напряжение относительно катода, достаточное для собирания электронов, вышедших с катода, но намного меньшее ускоряющего (например, 5 В), которое недостаточно для генерации тормозного излучения с длиной волны, обеспечивающей фотоэмиссию электронов с коллектора ионов. На фиг. 3. представлено распределение потенциала вдоль оси манометрического преобразователя. Благодаря расположению катода у края ускоряющего электрода вдоль оси преобразователя формируется распределение потенциала, позволяющее ускорить вдоль оси электроны, эмитируемые катодом, до энергии, достаточной для эффективной ионизации молекул газа. Минимум в распределении потенциала, необходимый для удержания положительных ионов от движения вдоль оси (иначе бы они ушли на катод и коллектор электронов, а не на коллектор ионов), возникает за счет наличия зазора между ускоряющими электродами и нулевого потенциала коллектора ионов, охватывающего этот зазор. Распределение потенциала в сечении перпендикулярном оси преобразователя в области минимума осевого потенциала приведено на фиг. 4. Оно показывает, что положительные ионы, образующиеся в пространстве между максимумами распределения потенциала вдоль оси, будут поступать на коллектор ионов. Образующиеся при ионизации электронным ударом в пространстве между максимумами распределения потенциала вдоль оси положительные ионы уходят через зазор на коллектор ионов, находящийся под нулевым потенциалом. Ток коллектора ионов пропорционален давлению газа и является мерой давления газа.Between the accelerating electrodes and the cathode, a voltage is applied sufficient to effectively ionize the gas molecules by electron impact, for example 120 V. A large critical induction is created by the magnetic field source. This prevents the entry of electrons leaving the thermal cathode onto accelerating electrodes without collision with gas molecules and their generation of bremsstrahlung. The ion collector has a diameter larger than the diameter of the accelerating electrodes, which ensures partial shading from the ultraviolet radiation of the cathode. In addition, the location of the ion collector axially with the source of the magnetic field ensures the return of a significant part of the photoelectrons from the collector due to the initial velocities back to the collector, which reduces the value of the collector current, which is not related to gas pressure. A positive voltage relative to the cathode is applied to the electron collector, sufficient to collect the electrons emitted from the cathode, but much less than the accelerating one (for example, 5 V), which is insufficient to generate bremsstrahlung with a wavelength that provides photoemission of electrons from the ion collector. In FIG. 3. presents the distribution of potential along the axis of the pressure gauge. Due to the location of the cathode at the edge of the accelerating electrode along the axis of the transducer, a potential distribution is formed that allows accelerating along the axis the electrons emitted by the cathode to an energy sufficient for efficient ionization of the gas molecules. The minimum in the potential distribution necessary to keep positive ions from moving along the axis (otherwise they would have gone to the cathode and electron collector rather than to the ion collector) arises due to the presence of a gap between the accelerating electrodes and the zero potential of the ion collector covering this gap. The potential distribution in the cross section perpendicular to the axis of the transducer in the region of the minimum axial potential is shown in FIG. 4. It shows that positive ions formed in the space between the maxima of the potential distribution along the axis will flow to the ion collector. Positive ions formed during ionization by electron impact in the space between the maxima of the potential distribution along the axis go through the gap to the ion collector, which is at zero potential. The ion collector current is proportional to gas pressure and is a measure of gas pressure.
Осевое распределение потенциала вблизи коллектора электронов указывает на то, что поле для положительных ионов, если бы они выходили из коллектора электронов, является тормозящим. Это исключает термоэлектронную десорбцию положительных ионов, являющуюся причиной фонового тока коллектора ионов в прототипе.The axial distribution of the potential near the electron collector indicates that the field for positive ions, if they exited the electron collector, is an inhibitory one. This eliminates the thermionic desorption of positive ions, which is the cause of the background current of the ion collector in the prototype.
Электрическое поле у катода является тормозящим для положительных ионов вещества катода, поэтому эти ионы, испаряясь с катода, будут возвращаться на катод, не создавая фонового тока коллектора ионов.The electric field at the cathode is inhibitory for positive ions of the cathode substance; therefore, these ions, evaporating from the cathode, will return to the cathode without creating a background current of the ion collector.
Кроме этого, в отличие от прототипа в предлагаемом устройстве для стабилизации электронного тока нет необходимости выключения магнитного поля.In addition, unlike the prototype, in the proposed device for stabilizing the electronic current there is no need to turn off the magnetic field.
Таким образом, в предлагаемом манометрическом преобразователе устраняются причины, которые вызывали фоновый ток коллектора ионов в прототипе (ток, не зависящий от давления газа), который повышал погрешность измерения давления газа и ограничивал нижний предел измеряемых давлений газа.Thus, in the proposed gauge converter, the causes that caused the background current of the ion collector in the prototype (current independent of gas pressure) are eliminated, which increased the error in measuring the gas pressure and limited the lower limit of the measured gas pressures.
Таким образом, введение дополнительного ускоряющего электрода на некотором расстоянии от первого ускоряющего электрода, расположение термокатода у края ускоряющего электрода, не примыкающего к зазору между ускоряющими электродами, расположение коллектора ионов в виде цилиндра, охватывающего зазор между ускоряющими электродами и применение коллектора электронов позволяют расширить нижний предел измерения преобразователя до 10-11 Па и снизить погрешность измерения давления.Thus, the introduction of an additional accelerating electrode at a distance from the first accelerating electrode, the location of the thermal cathode at the edge of the accelerating electrode, not adjacent to the gap between the accelerating electrodes, the location of the ion collector in the form of a cylinder covering the gap between the accelerating electrodes and the use of the electron collector allow us to expand the lower limit measuring the transducer to 10 -11 Pa and reduce the error in measuring pressure.
Источники информацииInformation sources
1. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. - М.: Энергия, 1979.1. Pipko A.I., Pliskovsky V.Ya., Penchko E.A. Design and calculation of vacuum systems. - M .: Energy, 1979.
2. Гуляев М.А., А.В. Ерюхин. Измерение вакуума. М.: Издательство комитета стандартов 1967, 148 с.2. Gulyaev M.A., A.V. Yeryukhin. Vacuum measurement. M .: Publishing house of the committee of standards 1967, 148 p.
3. Эмиссионная электроника. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. М.: Наука, 1966 г., 564 с.3. Emission electronics. Dobretsov L.N., Gomoyunova M.V. M .: Nauka, 1966, 564 p.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2016148935A RU2656091C1 (en) | 2016-12-13 | 2016-12-13 | Ion gage head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2016148935A RU2656091C1 (en) | 2016-12-13 | 2016-12-13 | Ion gage head |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2656091C1 true RU2656091C1 (en) | 2018-05-31 |
Family
ID=62560247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2016148935A RU2656091C1 (en) | 2016-12-13 | 2016-12-13 | Ion gage head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2656091C1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2771640C1 (en) * | 2021-06-15 | 2022-05-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина" | Wide-range gauge head |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU333430A1 (en) * | тпгг ЗНАЯ | ELECTRONIC IONIZATION MAHOMETJP WITH CROSSED ELECTRIC AND MAGNETIC FIELDS | ||
US5422573A (en) * | 1990-04-11 | 1995-06-06 | Granville-Phillips Company | Ionization gauge and method of using and calibrating same |
US20090278436A1 (en) * | 2008-05-07 | 2009-11-12 | Tsinghua University | Ionization Vacume gauge |
RU2389990C2 (en) * | 2008-04-16 | 2010-05-20 | ФГУП Курский завод "Маяк" | Combined ionisation vacuum-gauge transducer |
RU2515212C2 (en) * | 2012-08-21 | 2014-05-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) | High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter |
-
2016
- 2016-12-13 RU RU2016148935A patent/RU2656091C1/en active IP Right Revival
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU333430A1 (en) * | тпгг ЗНАЯ | ELECTRONIC IONIZATION MAHOMETJP WITH CROSSED ELECTRIC AND MAGNETIC FIELDS | ||
US5422573A (en) * | 1990-04-11 | 1995-06-06 | Granville-Phillips Company | Ionization gauge and method of using and calibrating same |
RU2389990C2 (en) * | 2008-04-16 | 2010-05-20 | ФГУП Курский завод "Маяк" | Combined ionisation vacuum-gauge transducer |
US20090278436A1 (en) * | 2008-05-07 | 2009-11-12 | Tsinghua University | Ionization Vacume gauge |
RU2515212C2 (en) * | 2012-08-21 | 2014-05-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) | High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Гуляев М.А., Измерение вакуума. Москва, Издательство комитета стандартов, 1967, с.148. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2771640C1 (en) * | 2021-06-15 | 2022-05-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина" | Wide-range gauge head |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7332714B2 (en) | Quadrupole mass spectrometer and vacuum device using the same | |
Rauch et al. | Plasma potential mapping of high power impulse magnetron sputtering discharges | |
US7755062B2 (en) | Ion source and ion implantation apparatus | |
US7564246B2 (en) | Pressure sensor using field emission of carbon nano-tube | |
Mamedov et al. | Effect of the magnetic field on the characteristics of a pulsed Penning ion source | |
US9952113B2 (en) | Ionization gauge for high pressure operation | |
RU2656091C1 (en) | Ion gage head | |
JP5463361B2 (en) | Device for measuring mean free path and vacuum vessel | |
RU2389990C2 (en) | Combined ionisation vacuum-gauge transducer | |
JP5231580B2 (en) | Helium sensor | |
RU2515212C2 (en) | High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter | |
US3387175A (en) | Vacuum gauge having separate electron collecting and electron accelerating electrodes | |
JP2019015666A (en) | Tetrode-type ionization vacuum meter and method for measuring pressure | |
RU2427813C1 (en) | Vacuum sensor | |
RU2610214C1 (en) | Collapsible inverted-magnetron vacuum-gauge converter with additional carbon field-effect emitter, protected from ion bombardment | |
RU2771640C1 (en) | Wide-range gauge head | |
Linnell et al. | Internal langmuir probe mapping of a hall thruster with xenon and krypton propellant | |
USRE25369E (en) | Ionization gauge for the measurement of low pressures | |
RU2690049C1 (en) | Method for increasing upper limit of pressure measurement thermionic pressure gauge | |
RU2649066C1 (en) | Ion gauge of orbitron type | |
US2913630A (en) | Ion gauge | |
US3341770A (en) | Ionization vacuum gauge | |
Gammon | A high sensitivity gas ionization detector for investigating capture and accomodation coefficients at a cryogenic surface | |
Reid | Vacuum science and technology in accelerators | |
RU2168711C2 (en) | Vacuum gauge |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20181214 |
|
NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20200715 |