RU2386151C1 - Сейсмометр - Google Patents

Сейсмометр Download PDF

Info

Publication number
RU2386151C1
RU2386151C1 RU2008137864/28A RU2008137864A RU2386151C1 RU 2386151 C1 RU2386151 C1 RU 2386151C1 RU 2008137864/28 A RU2008137864/28 A RU 2008137864/28A RU 2008137864 A RU2008137864 A RU 2008137864A RU 2386151 C1 RU2386151 C1 RU 2386151C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
magnetic
output
input
amplifier
coil
Prior art date
Application number
RU2008137864/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Михайлович Правдин (RU)
Николай Михайлович Правдин
Валерий Алексеевич Чистяков (RU)
Валерий Алексеевич Чистяков
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт импульсной техники" (ФГУП НИИИТ)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт импульсной техники" (ФГУП НИИИТ) filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт импульсной техники" (ФГУП НИИИТ)
Priority to RU2008137864/28A priority Critical patent/RU2386151C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2386151C1 publication Critical patent/RU2386151C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области геофизического приборостроения и может быть использовано для гравиинерциальных измерений. Сущность: сейсмометр содержит основание, на котором посредством двух упругих опор и кронштейна установлены две соединенные встречно магнитные системы. Магнитные системы состоят из последовательно соединенных цилиндрических магнитопровода, постоянного магнита и полюсного наконечника. На каркасе в зазоре магнитных систем размещена катушка. Катушка соединена с выходом первого усилителя. В основании соосно с продольной осью магнитных систем посредством резьбы закреплены два магнитных стержня. Магнитные стержни помещены коническими концами в отверстия на торцевых частях магнитных систем. На основании расположены светодиод и двухплощадочный фотодиод, составляющие оптический датчик перемещений. Выходные электроды площадок фотодиода соединены соответственно с двумя входами первого усилителя. Между фотодиодом и светодиодом на магнитопроводах установлена плоская щелевая диафрагма. С первым магнитным стержнем через второй редуктор соединен мотор-редуктор. Также устройство содержит коммутатор, генератор, фазочувствительный выпрямитель, низкочастотный фильтр, усилитель-ограничитель, разрезную немагнитную втулку. Причем генератор и фазочувствительный выпрямитель соединены последовательно. Низкочастотный фильтр своим входом соединен с выходом фазочувствительного выпрямителя, а выходом - с входом мотор-редуктора. Усилитель-ограничитель, введенный в устройство с целью преобразования выходного напряжения с оптического датчика перемещений в прямоугольные импульсы, своими выходами соединен с двумя входами первого усилителя и со вторым входом фазочувствительного выпрямителя. Вход коммутатора соединен с выходом генератора, а выход - со вторым входом катушки. Разрезная немагнитная втулка своими концами жестко соединена с первым и вторым стержнями, которые выполнены из магнитомягкого материала. Технический результат - повышение точности измерений за счет введения системы дистанционного регулирования периода свободных колебаний маятника сейсмометра. 2 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к области гравиинерциальных измерений, а именно к сейсмометрии.
Известен сейсмометр (см., например, "Сейсмические приборы", М.: Наука, 1975, вып.8, с.13-18), содержащий: основание, на котором посредством двух упругих элементов установлены инертная масса и катушка; магнитную систему, включающую последовательно соединенные магнитопровод, постоянный магнит и полюсный наконечник, причем катушка помещена в рабочем зазоре между магнитопроводом и полюсным наконечником, а также винтовую пружину, прикрепленную одним концом к основанию, а другим к инертной массе.
Этот сейсмометр не обеспечивает высокие метрологические характеристики, т.к. отсутствие в нем датчика перемещений инертной массы делает невозможным создание прибора с эффективными отрицательными обратными связями.
Известен сейсмометр (см., например, Трифонов Н.В. "Станция сейсмическая многоканальная", сборник "Сейсмические приборы" вып.17, М.: Наука, ИФЗ АН СССР, 1985), содержащий: основание, на котором посредством двух упругих элементов установлены инертная масса и катушка; магнитную систему, включающую последовательно соединенные магнитопровод, постоянный магнит и полюсный наконечник, причем катушка помещена в рабочем зазоре между магнитопроводом и полюсным наконечником; винтовую пружину, прикрепленную одним концом к основанию, а другим к инертной массе, емкостной датчик перемещений, выходной электрод которого соединен с инертной массой, а два электрода возбуждения - с основанием; генератор синусоидальных электрических колебаний, два выхода которого соединены с электродами возбуждения емкостного датчика; усилитель, соединенный первым входом с выходным электродом емкостного датчика, вторым входом - с выходами генератора синусоидальных колебаний, а выходом - с катушкой.
Этот сейсмометр содержит отрицательную обратную связь, в состав которой входят емкостной датчик перемещений, усилитель и катушка, и обеспечивает более высокие метрологические характеристики, но имеет значительные габариты, обусловленные тем, что инертная масса, магнитная система, емкостной датчик перемещений и пружина выполнены на отдельных конструктивных элементах.
Известен сейсмометр (см. патент RU №2159449, 1999 г., кл. G01V 1/16), содержащий основание с цилиндрическим диэлектрическим корпусом, внутри которого помещены две соединенные встречно и изолированные одна от другой диэлектрической прокладкой магнитные системы из последовательно соединенных цилиндрического магнитопровода, постоянного магнита и полюсного наконечника; катушку, размещенную на каркасе в зазоре магнитных систем; диэлектрический кронштейн, соединенный с основанием посредством двух упругих опор, жестко соединяющий между собой обе магнитные системы; три цилиндрических выходных электрода емкостного датчика, размещенных на внутренней поверхности корпуса; усилитель; генератор синусоидальных колебаний, соединенный двумя выходами с магнитными системами и с двумя входами первого усилителя, выход которого соединен с катушкой, и два магнитомягких стержня, закрепленных в диэлектрическом корпусе, соосно с продольной осью магнитных систем и помещенных коническими концами в отверстиях на торцевых частях магнитных систем. Инертная масса сейсмометра состоит из двух магнитных систем и кронштейна, соединяющего их. В этом сейсмометре емкостной датчик перемещений образован тремя выходными электродами, расположенными на внутренней поверхности диэлектрического цилиндрического корпуса и двумя входными возбуждающими электродами, в качестве которых используются две соединенные встречно и изолированные друг от друга магнитные системы. В сравнении с указанными выше данный сейсмометр обладает более высокими метрологическими характеристиками и меньшими габаритами.
Недостаток этого технического решения заключается в низком уровне отношения сигнал-шум на его выходе и соответственно в его низкой точности, обусловленной наличием токоподводов для соединения магнитных систем с выходами генератора, а также невозможностью дистанционного регулирования положения инертной массы (двух магнитных систем) относительно корпуса при изменении его положения относительно вертикали или изменения параметров сейсмометра при эксплуатации, что приводит к уменьшению динамического диапазона измерения и, как следствие, уменьшению точности.
Наличие токоподводов к инертной массе сейсмометра, образованной двумя магнитными системами, приводит к возникновению моментов сил упругости вокруг оси поворота инертной массы и понижению точности сейсмометра. Отсутствие системы дистанционного управления положением инертной массы относительно корпуса приводит к появлению на выходе сейсмометра постоянного напряжения, значение которого обуславливается изменением условий эксплуатации: отклонением корпуса сейсмометра от вертикали; изменением температуры внешней среды и температуры внутри сейсмометра; изменением внешнего давления и т.д., а также изменением параметров сейсмометра при его эксплуатации.
При этом диапазон измерения уменьшается согласно зависимости
Figure 00000001
где Umax - максимальное значение выходного напряжения на выходе сейсмометра;
Figure 00000002
- постоянная составляющая выходного напряжения сейсмометра при изменении условий эксплуатации.
Из (1) следует, что при
Figure 00000003
δ=100%, а при
Figure 00000004
δ=<100%. Кроме того, при больших уровнях внешних воздействий от изменения условий эксплуатации
Figure 00000005
и сейсмометр потеряет работоспособность.
Наиболее близким по технической сущности к прилагаемому техническому решению является сейсмометр (см. патент RU №2263332, класс G01V 1/16).
Этот сейсмометр содержит основание, на котором посредством двух упругих опор и кронштейна установлены две соединенные встречно магнитные системы, состоящие из последовательно соединенных цилиндрического магнитопровода, постоянного магнита и полюсного наконечника; катушку, размещенную на каркасе в зазоре магнитных систем; первый усилитель, выход которого соединен с катушкой; два магнитных стержня, закрепленных посредством резьбы в основании соосно с продольной осью магнитных систем и помещенных коническими концами в отверстия на торцевых частях магнитных систем, отличается тем, что он дополнительно содержит светодиод и двухплощадочный фотодиод, расположенные на основании так, что их продольные оси симметрии параллельны оси поворота магнитных систем в упругих опорах, причем выходные электроды площадок фотодиода соединены соответственно с двумя входами первого усилителя; плоскую щелевую диафрагму, установленную между фотодиодом и светодиодом на магнитопроводах так, что ее плоскость параллельна площадкам фотодиода; мотор-редуктор, соединенный через второй редуктор с первым магнитным стержнем; последовательно соединенные интегратор, коммутатор и второй усилитель, соединенный выходом со входом мотор-редуктора; первый вход интегратора соединен с выходом первого усилителя, а второй вход - со вторым выходом коммутатора. Такое выполнение сейсмометра позволяет исключить токоподводящие проводники к инертной массе и осуществлять дистанционное управление положением инертной массы и, как следствие, повысить точность измерения.
Недостаток прототипа заключается в том, что он не обеспечивает возможности регулирования периода свободных колебаний маятника при выпуске из производства и при его эксплуатации.
Техническим результатом, обеспечиваемым заявленным изобретением, является повышение, как следствие, точности измерения, обусловленное введением системы дистанционного регулирования периода свободных колебаний маятника сейсмометра.
Технический результат достигается тем, что в сейсмометр, содержащий основание, на котором посредством двух упругих опор и кронштейна установлены две соединенные встречно магнитные системы, состоящие из последовательно соединенных цилиндрического магнитопровода, постоянного магнита и полюсного наконечника; катушку, размещенную на каркасе в зазоре магнитных систем; первый усилитель, выход которого соединен с катушкой; два магнитных стержня, закрепленных посредством резьбы в основании соосно с продольной осью магнитных систем и помещенных коническими концами в отверстиях на торцевых частях магнитных систем; светодиод и двухплощадочный фотодиод, расположенные на основании так, что их продольные оси симметрии параллельны оси поворота магнитных систем в упругих опорах, причем выходные электроды площадок фотодиода соединены соответственно с двумя входами первого усилителя; плоскую щелевую диафрагму, установленную между фотодиодом и светодиодом на магнитопроводах так, что ее плоскость параллельна площадкам фотодиода; мотор-редуктор, соединенный через второй редуктор с первым магнитным стержнем; коммутатор; дополнительно введены последовательно соединенные генератор и фазочувствительный выпрямитель, низкочастотный фильтр, соединенный входом с выходом фазочувствительного выпрямителя, а выходом со входом мотор-редуктора; усилитель-ограничитель, соединенный двумя выходами с двумя входами первого усилителя, а выходом со вторым входом фазочувствительного выпрямителя; а также разрезная немагнитная втулка, соединенная жестко своими концами с первым и вторым стержнями, которые выполнены из магнитомягкого материала; при этом вход коммутатора соединен с выходом генератора, а выход - со вторым входом катушки.
Такое выполнение сейсмометра позволяет подстраивать период свободных колебаний маятника сейсмометра с помощью системы дистанционного регулирования, содержащей генератор, фазочувствительный выпрямитель, коммутатор, низкочастотный фильтр и разрезную немагнитную втулку.
На фигуре 1 представлена электрокинематическая схема сейсмометра. Приняты обозначения: 1 - основание; 2 - две упругие опоры; 3 - цилиндрические магнитные системы; 4 - цилиндрический магнитопровод; 5 - постоянные магниты; 6 - полюсные наконечники; 7 - кронштейн; 8 - катушка; 9 - каркас; 10 - щелевая диафрагма; 11 - оптический датчик перемещений; 12 - светодиод; 13 - двухплощадочный фотодиод; 14 - первый усилитель; 15 - мотор-редуктор; 16 - второй редуктор; 17/ - 17// - магнитные стержни; 18 - разрезная втулка; 19 - генератор; 20 - коммутатор; 21 - фазочувствительный выпрямитель; 22 - низкочастотный фильтр; 23 - усилитель-ограничитель.
Сейсмометр содержит основание 1, на котором посредством двух упругих опор 2 закреплены две магнитные системы 3, включающие в себя последовательно соединенные цилиндрический магнитопровод 4, постоянный магнит 5 и полюсный наконечник 6. Две магнитные системы 3 соединены между собой кронштейном 7 и образуют инертную массу сейсмометра. Внутри магнитных систем помещена катушка 8, расположенная на каркасе 9. На внешней части магнитных систем на максимальном расстоянии от оси поворота упругих опор 2 закреплена щелевая диафрагма 10. Оптический датчик перемещений 11 содержит светодиод 12 и двухплощадочный фотодиод 13, закрепленные на основании так, что световой поток светодиода направлен перпендикулярно плоскости диафрагмы 10 и плоскости обеих площадок фотодиода 13. При повороте инертной массы сейсмометра щелевая диафрагма, перемещаясь, перераспределяет световой поток между площадками фотодиода. В результате фото-ЭДС с площадок становится неодинаковой. Первый усилитель 14 усиливает эту разность сигналов и формирует сигнал отрицательной обратной связи, подаваемый в катушку 8. На основании 1 установлен мотор-редуктор 15, выходной вал которого соединен с входом второго редуктора 16, выходная шестерня которого соединена с первым и вторым магнитными стержнями 17/ и 17//, связанными с основанием посредством резьбовых соединений, а между собой разрезной немагнитной втулкой 18. Управление мотор-редуктором 15 и, следовательно, глубиной погружения магнитных стержней 17/ и 17// в магнитную систему 3 осуществляется посредством разрезной втулки 18, генератора 19, коммутатора 20, фазочувствительного выпрямителя 21, низкочастотного фильтра 22 и усилителя-ограничителя 23. Стержень 17/ установлен в корпусе на правой, а стержень 17// на левой резьбе.
Сейсмометр работает следующим образом. При движении основания 1 происходит перемещение двух магнитных систем 3 и 4, образующих инертную массу сейсмометра, а также закрепленной на ней щелевой диафрагмы 10 относительно основания. Эти перемещения преобразуются оптическим датчиком 11 в электрический сигнал, который после усиления в первом усилителе 14 поступает на выход сейсмометра и в катушку 8 обратной связи. В первом усилителе 14 осуществляется также формирование сигналов по перемещению, скорости и интегралу от измеренного оптическим датчиком перемещения инертной массы относительно основания 1. Таким образом формируется требуемая амплитудно-частотная характеристика сейсмометра.
Изменение амплитудно-частотной характеристики осуществляется в процессе эксплуатации посредством системы дистанционного регулирования, включение которой осуществляется оператором посредством подключения через коммутатор 20 генератора 19 к катушке 8 и возбуждения в сейсмометре колебаний на частоте генератора. Перемещения инертной массы 3 посредством силы, создаваемой катушкой 8, измеряются оптическим датчиком перемещений 11, выходное напряжение которого преобразуется в прямоугольные импульсы усилителем-ограничителем 23, и поступают на сигнальный (второй) вход фазочувствительного выпрямителя 21, на первый (опорный) вход которого поступает напряжение с генератора 19.
На выходе фазочувствительного выпрямителя 21 формируется постоянное напряжение
Figure 00000006
где Uy=const - напряжение на выходе усилителя-ограничителя 23; ω=2πfr; fr - частота напряжения на выходе генератора 19; φ - фазовый сдвиг между напряжениями на выходе генератора 19 и выходе усилителя-ограничителя 23.
Низкочастотный фильтр 22 сглаживает пульсации напряжения, поступающего с выхода фазочувствительного выпрямителя 21. Напряжение на выходе фильтра 22 Uф>0, если фазовый сдвиг φ>π/2, и Uф<0, если φ<φ/2. При φ=π/2 напряжение Uф=0. Под действием напряжения Uф мотор-редуктор через второй редуктор вращает первый стержень 17/ либо вправо при Uф>0, либо влево при Uф<0. При этом стержни 17/ и 17// сближаются при Uф>0 и удаляются друг от друга при Uф<0. Это обусловлено тем, что стержни 17/ и 17// установлены в корпусе сейсмометра в правой и левой резьбе соответственно. При одновременном вращении стержней 17/ и 17//, соединенных между собой разрезной втулкой 18, они будут либо сближаться, либо удаляться друг от друга.
Суммарная сила, действующая на инертную массу, состоящую из магнитных систем 3, 4, полюсных наконечников 6 и магнитов 5, соответствует FΣ на фигуре 2. Где xо - начальное смещение стержней 17/ и 17//, x - текущее смещение инертной массы относительно корпуса, F1, F2 - усилия, создаваемые первым и вторым стержнями соответственно.
Из фигуры 2 следует, что при уменьшении начального смещения xо суммарное усилие FΣ уменьшается, а при увеличении xо она возрастает.
Период свободных колебаний маятника
Figure 00000007
где mм - значение инертной массы маятника; Cn, CΣ - соответственно коэффициенты линейной жесткости упругого подвеса сейсмометра (вместе с пружиной вывешивания вертикального сейсмометра) и магнитной пружины, состоящей из стержней 17/ и 17//, магнитных систем 3 и 4.
При этом
Figure 00000008
Таким образом, из (3) и (4) следует, что, изменяя взаимное положение стержней 17/ и 17//, коэффициент линейной жесткости магнитной пружины СΣ либо увеличивается, либо уменьшается. Соответственно уменьшается или увеличивается период свободных колебаний сейсмометра в соответствии с зависимостями (3), (4) и изменяется амплитудно-частотная характеристика сейсмометра, сдвигаясь в область низких или высоких частот.
Положение равновесия Uф=0 наступает при равенстве частоты генератора fr и частоты свободных колебаний маятника fo. В этом случае фазовый сдвиг φ=π/2 и Uф=0 и процесс подстройки частотной характеристики сейсмометра заканчивается.
Таким образом введение системы дистанционного регулирования периода свободных колебаний маятника сейсмометра позволяет регулировать период свободных колебаний маятника при выпуске из производства и при его эксплуатации и, как следствие, повышает точность измерений.
ЛИТЕРАТУРА
1. «Сейсмические приборы», М.: Наука 1975 г., вып.8, с.13-18.
2. Трифонов Н.В. Сейсмическая станция ССМ. Техническое описание, М.: ИФЗ РАН, 80.
3. Патент RU №2159449, 1999 г., кл. G01V 1/16.

Claims (1)

  1. Сейсмометр, содержащий основание, на котором посредством двух упругих опор и кронштейна установлены две соединенные встречно магнитные системы, состоящие из последовательно соединенных цилиндрического магнитопровода, постоянного магнита и полюсного наконечника; катушку, размещенную на каркасе в зазоре магнитных систем; первый усилитель, выход которого соединен с катушкой; два магнитных стержня, закрепленных посредством резьбы в основании соосно с продольной осью магнитных систем и помещенных коническими концами в отверстия на торцевых частях магнитных систем; оптический датчик перемещений, состоящий из светодиода и двухплощадочного фотодиода, расположенных на основании так, что их продольные оси симметрии параллельны оси поворота магнитных систем в упругих опорах, причем выходные электроды площадок фотодиода соединены соответственно с двумя входами первого усилителя; плоскую щелевую диафрагму, установленную между фотодиодом и светодиодом на магнитопроводах так, что ее плоскость параллельна площадкам фотодиода; мотор-редуктор, соединенный через второй редуктор с первым магнитным стержнем; коммутатор, отличающийся тем, что дополнительно введены последовательно соединенные генератор и фазочувствительный выпрямитель, низкочастотный фильтр, соединенный входом с выходом фазочувствительного выпрямителя, а выходом - со входом мотор-редуктора; усилитель-ограничитель, преобразующий выходное напряжение с оптического датчика перемещений в прямоугольные импульсы, соединенный выходами с двумя входами первого усилителя и со вторым входом фазочувствительного выпрямителя; а также разрезная немагнитная втулка, соединенная жестко своими концами с первым и вторым стержнями, которые выполнены из магнитомягкого материала; при этом вход коммутатора соединен с выходом генератора, а выход - со вторым входом катушки.
RU2008137864/28A 2008-09-22 2008-09-22 Сейсмометр RU2386151C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008137864/28A RU2386151C1 (ru) 2008-09-22 2008-09-22 Сейсмометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008137864/28A RU2386151C1 (ru) 2008-09-22 2008-09-22 Сейсмометр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2386151C1 true RU2386151C1 (ru) 2010-04-10

Family

ID=42671268

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008137864/28A RU2386151C1 (ru) 2008-09-22 2008-09-22 Сейсмометр

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2386151C1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2477501C1 (ru) * 2011-09-29 2013-03-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") Сейсмометр
CN110488369A (zh) * 2019-09-04 2019-11-22 武汉光演科学仪器有限公司 高精度宽频带重力仪
RU2738733C1 (ru) * 2020-03-12 2020-12-16 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") Сейсмометр

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2477501C1 (ru) * 2011-09-29 2013-03-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") Сейсмометр
CN110488369A (zh) * 2019-09-04 2019-11-22 武汉光演科学仪器有限公司 高精度宽频带重力仪
RU2738733C1 (ru) * 2020-03-12 2020-12-16 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") Сейсмометр

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5172345A (en) Geophone system
RU2386151C1 (ru) Сейсмометр
RU2643701C1 (ru) Измеритель напряженности электростатического поля
CN101419243B (zh) 一种无方向性力平衡加速度传感器
RU2477501C1 (ru) Сейсмометр
WO1996004531A1 (fr) Dispositif pour mesurer des vibrations absolues
RU2473929C1 (ru) Сейсмометр
RU2263332C1 (ru) Сейсмометр
RU95832U1 (ru) Устройство для измерения вибраций
Chistyakov Portable seismic sensor
RU203751U1 (ru) Устройство для измерения вибраций
RU2159449C1 (ru) Сейсмометр
JPH0627135A (ja) 動電型加速度計
Deng et al. A MEMS based electrochemical seismic sensor
RU2438151C1 (ru) Гравитационный вариометр
CN104061996A (zh) 一种基于模间干涉原理的新型振动测量实验装置
CN211012985U (zh) 适用于角速度测量的装置
CN221550942U (zh) 利用地震检波器的加速度传感器
CN107165979B (zh) 基于超磁致伸缩与石英摆线复合机理的隔微振装置
RU2240583C1 (ru) Сейсмометр
CN107044505B (zh) 基于超磁致伸缩与石英摆线复合冷却机理的隔微振装置
Andò et al. A novel inclinometer exploiting magnetic fluids and an IR readout strategy
RU2237913C1 (ru) Сейсмометр
RU162311U1 (ru) Виброконтактное измерительное устройство
CN107023605B (zh) 基于磁致伸缩与螺旋结构石英摆线复合机理的隔微振装置

Legal Events

Date Code Title Description
PC43 Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions

Effective date: 20100915

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190923