RU2362745C2 - Способ изготовления заготовок волоконных световодов, устройство для его осуществления и заготовка, изготовленная этим способом - Google Patents

Способ изготовления заготовок волоконных световодов, устройство для его осуществления и заготовка, изготовленная этим способом Download PDF

Info

Publication number
RU2362745C2
RU2362745C2 RU2007122330/03A RU2007122330A RU2362745C2 RU 2362745 C2 RU2362745 C2 RU 2362745C2 RU 2007122330/03 A RU2007122330/03 A RU 2007122330/03A RU 2007122330 A RU2007122330 A RU 2007122330A RU 2362745 C2 RU2362745 C2 RU 2362745C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
quartz
microwave
plasma
tube
resonator
Prior art date
Application number
RU2007122330/03A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2007122330A (ru
Inventor
Леонид Михайлович Блинов (RU)
Леонид Михайлович Блинов
Александр Павлович Герасименко (RU)
Александр Павлович Герасименко
Юрий Васильевич Гуляев (RU)
Юрий Васильевич Гуляев
Original Assignee
Леонид Михайлович Блинов
Александр Павлович Герасименко
Юрий Васильевич Гуляев
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Леонид Михайлович Блинов, Александр Павлович Герасименко, Юрий Васильевич Гуляев filed Critical Леонид Михайлович Блинов
Priority to RU2007122330/03A priority Critical patent/RU2362745C2/ru
Publication of RU2007122330A publication Critical patent/RU2007122330A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2362745C2 publication Critical patent/RU2362745C2/ru

Links

Images

Landscapes

  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)

Abstract

В способе изготовления заготовок волоконных активных световодов осаждением оксинитридной сердцевины, легированной редкоземельными элементами (РЗЭ) МОС или РЗЭ хлоридов в СВЧ плазме пониженного давления, создаваемой в кварцевой оптически чистой опорной трубе, на внутреннюю поверхность трубы, расположенной соосно оси резонатора типа Е010 путем возвратно-поступательного перемещения резонатора с плазмой вдоль опорной трубы, кварцевая труба вакуумирована до рабочего давления 1-20 Торр, а кварцевый реактор находится при атмосферном давлении и заполнен чистым сухим азотом без протока. СВЧ-плазма в резонаторе создается вокруг опорной кварцевой трубки и возвратно-поступательным перемещением резонатора с плазмой на наружную поверхность опорной трубы наносится отражающая фторсиликатная оболочка. Способ осуществляется с помощью устройства резонаторного типа E010, представляющего собой четвертьволновый резонатор на волне E01. Получают трубчатую заготовку, содержащую оптически чистую опорную трубу, на наружную поверхность которой внешним боковым СВЧ плазмохимическим осаждением нанесено покрытие из оксинитрида кремния, легированное РЗЭ, фторсиликатная отражающая оболочка, на наружную поверхность которой нанесена защитная оболочка из оксинитрида кремния. Техническим результатом является равномерность осаждения легирующих добавок и получение резких профилей легирования. 6 н. и 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к СВЧ плазмохимической технологии изготовления заготовок активных световодов, используемых в производстве волоконных лазеров, усилителей и волоконно-оптических датчиков и может быть использовано для получения многослойных наностекол с уникальными свойствами.
Известен ряд способов изготовления заготовок для оптических световодов
- модифицированное химическое осаждение из газовой фазы на внутренней поверхности кварцевой трубки (MCVD);
- метод осаждения из газовой фазы плазменного осаждением внутри трубы (PCVD);
- внешнее боковое осаждение из газовой фазы на внешней поверхности стержня (OVD);
- осевое осаждение из газовой фазы на торце стержня (VAD).
Способы изготовления заготовок световодов с использованием газовой горелки (MCVD, OVD, VAD) имеют ряд недостатков, к которым относятся:
- недостаточная производительность осаждения методом MCVD, поскольку горение и остекловывание происходит за счет наружного обогрева трубки пламенем горелки (до 0,5 г/мин);
- необходимость продувать заготовку хлором для экстрагирования воды, которая остается в наплавляемом материале при его осаждении в пламени горелки (OVD), и невысокая эффективность преобразования дорогостоящих исходных материалов (SiCl4, GеCl4, фреонов и т.п.);
- трудности с управлением пламенем горелки для того, чтобы сделать точный профиль показателя преломления (VAD).
Эти недостатки связаны с физическим ограничением потока тепла от кислородно-водородного пламени через опорную кварцевую трубу к наносимым слоям, неэффективным использованием тепла от горелки, большая часть которого идет на нагрев окружающего пространства.
Существует также проблема с продольной и радиальной неоднородностью, как по толщине слоев, так и по показателю преломления, вызванная неравномерным распределением температуры в горячей зоне и давлением в трубе и частично решаемая только за счет снижения производительности.
Характерен невысокий уровень легирования кварцевого стекла различными присадками для повышения числовой апертуры активного световода в особенности фтором и азотом, что делает затруднительным использование данных методов для производства силовых волоконных световодов.
Преодоление трудностей способов MCVD, OVD, VAD производители ищут в разработке новых путей оптимизации производства заготовок. Кардинальное решение этих проблем нашло отражение в использовании для производства заготовок световодов осаждения из газовой фазы оптического материала в плазме (PCVD).
Использование плазмы для производства заготовок волоконных световодов описано в ряде патентов (US 5595793, С03С 25/10, 1997-01-21, US 5597624, C03B 37/018, 1997-01-28; US 6138478, C03B 37/014, 2000-10-31; US 6928839, C03B 37/014, 2004-02-19, US 6988380, C03B 37/014, 2004-02-19).
Особая роль в этих способах плазменного осаждения отводится технологии, основанной на использовании «холодной» неравновесной СВЧ плазмы пониженного давления (Те>>Тг), где Те - температура электронов в электрон-вольтах, а Тг - температура рабочего газа в °С.
Известен способ производства кварцевых заготовок волоконных световодов, включающий стадии осаждения слоев фторсиликатной оболочки на внутреннюю поверхность кварцевой трубки из газовой фазы в высокочастотной плазме атмосферного давления, разогрев трубки до размягчения и создание избыточного давления до достижения заданного диаметра, нанесение дополнительного количества слоев фторсиликатной оболочки, затем схлопывание трубки кольцевой высокочастотной плазмой атмосферного давления (RU 2036864, C03B 37/018, 1995.06.09, RU 2036865, C03B 37/018, 1995.06.09).
Данный способ не позволяет осуществить равномерное осаждение легирующих добавок на поверхность заготовок с получением резких профилей легирования, необходимых для изготовления силовых световодов, в том числе двухслойных с соотношением Dc:Dm=1,05-1/1.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению является способ изготовления заготовок волоконных световодов на основе кварцевого стекла путем плазмохимического осаждения из газовой фазы в СВЧ-разряде на поверхностной волне (ППВ типа Е01) стеклянных слоев кварцевого стекла, в том числе легированных различными присадками, и схлопывания полученной структуры в штабик - заготовку. Осаждение слоев стекла ведут на внешнюю поверхность кварцевой трубы. В процессе схлопывания кварцевую трубу стравливают путем пропускания через нее смеси химически активных газов, а для проведения процесса осаждения слоев стекла формируют металл - диэлектрическую волноведущую структуру путем размещения кварцевой трубы на поверхности металлической трубы. Перемещение фронта СВЧ-разряда осуществляют путем модуляции подводимой к металл - диэлектрической волноведущей структуре СВЧ-мощности (RU 2259324, С03В 37/018, 2005.08.27).
Данный способ не может быть использован для создания высококачественной технологии изготовления кварцевых заготовок световодов, так как имеет следующие недостатки:
- травление с помощью смеси SF6+O2 опорной трубки из технического стекла не может подготовить ее поверхность к качественному осаждению буферного слоя из SiO2, в который будут диффундировать из опорной трубки при ее нагревании до 1200°С все «красящие примеси», а из него (буферного слоя) в осаждаемые оптические слои сердцевины и оболочки; содержание «красящих примесей» в техническом стекле велико и разнообразно, особенно это проявится при схлопывании трубчатой заготовки и травлении остаточного технического стекла, когда температура горелки достигает температуры 2000-2200°С;
- известно, что СВЧ-плазма при давлении 3-5 Торр образуется сразу при входе СВЧ-мощности в вакуумированную трубку, и затем фронт плазменной поверхностной волны типа ППВ E01 непрерывной модуляцией СВЧ-мощности возвратно-поступательно перемещается внутри опорной трубки, удлиняя или укорачивая плазменную волну, а навстречу ему непрерывно поступает поток химических реагентов; так как существует прямая связь интенсивности процесса осаждения с величиной продольной составляющей электрического поля, а она в процессе модуляции изменяется, то условия осаждения стекла не могут быть равнозначными в процессе модуляции СВЧ-мощности по всей длине трубки, в особенности, если ее длина превышает 20-25 см;
- поскольку опорная трубка не вращается, то для обеспечения пространственной однородности осаждаемых оптических слоев сердцевины и оболочки необходимо обеспечить осевую симметрию электрического поля волны ППВ E01, а это обеспечить в предложенной конструкции и при многостадийной методике травления и осаждения стекла весьма проблематично.
Использование в данном способе металл - диэлектрической волноведущей структуры усложняет процесс изготовления заготовок введением этой дополнительной операции - формирования металл - диэлектрической волноведущей структуры.
Техническим результатом и преимуществами предлагаемого способа изготовления заготовок для силовых световодов являются:
- возможность легирования кварцевого стекла практически любыми редкоземельными металлами РЗМ из группы, содержащей эрбий, неодим, тербий, иттербий, празеодим, в том числе соединениями преимущественно азота, фтора, алюминия, калия, фосфора, германия и другими соединениями этих элементов вместе, в отдельности или в различных сочетаниях;
- равномерность осаждения легирующих добавок,
- получение резких профилей легирования,
- уменьшение длины активной части волоконных лазеров и усилителей,
- высокая концентрация и однородность активатора,
- отсутствие эффекта кластеризации стекла,
- высокая скорость осаждения стекла,
- высокая числовая апертура активного световода (NA=0,5 и более) за счет легирования кварцевой сердцевины РЗМ и соединениями азота (оксинитридом кремния SiON) и легирования отражающей оболочки фтором (SiO2-F).
Для достижения указанного технического результата предлагается способ изготовления заготовок волоконных световодов плазмохимическим осаждением из газовой фазы в СВЧ-разряде на внутреннюю поверхность опорной кварцевой трубы оптической структуры заготовки при перемещении СВЧ-плазмы, отличающийся тем, что опорную кварцевую трубу, предварительно прошедшую химическую и термическую обработку и помещенную в находящемся при атмосферном давлении и заполненным сухим чистым азотом кварцевый реактор соосно оси СВЧ-плазмотрона резонаторного типа Е010, предварительно вакуумируют до давления 1-20 Торр, затем при возвратно-поступательном перемещении вдоль опорной трубы СВЧ плазмотрона резонаторного типа Е010 при температуре 1200°С подают рабочий газ, содержащий SiCl4+O2+N2 и пары хлоридов редкоземельных элементов РЗЭ или металлоорганических соединений РЗЭ, не содержащих ОН групп, осаждают на внутреннюю поверхность опорной кварцевой трубы сердцевину из оксинитрида кремния SiON, легированного редкоземельными элементами, после чего кварцевый реактор заполняют при атмосферном давлении чистым азотом, вакуумируют до давления 3-4 Торр, зажигают внутри реактора и вокруг наружной поверхности кварцевой опорной трубы СВЧ-плазму пониженного давления, при температуре печи 1150°С подачей рабочего газа при давлении 6-8 Торр, содержащего O2+C3F8, при возвратно-поступательном перемещении СВЧ-плазмотрона резонаторного типа Е010 осаждают на наружную поверхность опорной кварцевой трубы отражающую фторсиликатную оболочку, полученную заготовку схлопывают газопламенной горелкой в штабик при температуре 2000°С.
Сущность изобретения поясняется фиг.1, на которой представлена принципиальная схема осуществления заявляемого способа изготовления заготовок световодов.
В кварцевом реакторе 5, диаметром 43×39 мм (45×40 мм), устанавливают оптически чистую кварцевую опорную трубу 1 диаметром 14×11 мм, 20×17 мм, 23×20 мм, или 25×22 мм. Опорную кварцевую трубу предварительно подвергают химической и термической обработке. С этой целью с помощью системы 10 в реакторе 5 создают атмосферное давление (отключают вакуум и заполняют реактор 5 чистым сухим азотом без протока), а в трубе 1 устанавливают пониженное давление (1-3 Торр для зажигания плазмы). Температуру печи (не показана) плавно поднимают до 1000°С. На вход трубы 1 подают первоначально CCl4, или фреоны (C2F6, C3F8), и при давлении 3-4 Торр производят мягкое травление внутренней поверхности трубы, затем подачу всех реагентов отключают и вводят только кислород для еще более мягкого травления и полировки поверхности трубы. Затем температуру печи устанавливают 1200°С, опорную трубу предварительно вакуумируют до давления 1-20 Торр и на вход трубы подают рабочий газ, содержащий SiCl4+O2+N2 в определенном соотношении компонентов для синтеза оксинитрида кремния (SiON), который осаждают на внутренней поверхности трубы при возвратно-поступательном перемещении вдоль опорной трубы резонатора Е010 СВЧ-плазмотрона. На последней стадии синтеза SiON осуществляют подачу паров металлоорганических соединений редкоземельных элементов, не содержащих ОН групп, формулы МеL3 nQ, где Me - редкоземельный металл из группы, включающей неодим, эрбий, тербий, иттербий, празеодим, L - ацетилацетонат-ион, пивалат-ион, изо-бутилат-ион; n - 1,3; Q - о-фенантролин, α,α'-дипиридил, пивалевая, изомасляная кислота, или паров хлоридов РЗМ. В качестве металлоорганических соединений используют дипивалоилметанат эрбия ErА3Phen, тридипивалоилацетон празеодима Pr(ДПМ)3, дипивалоилметанат неодима NdA3Phen или дипивалоилметанат тербия ТbА3Phen. В качестве хлоридов РЗЭ применяют предпочтительно хлорид неодима формулы NdCl26H2O или хлорид эрбия формулы ЕrCl32О. В присутствии паров указанных выше соединений осаждают несколько десятков слоев оксинитрида кремния SiON, легируя их РЗЭ. По окончании процесса осаждения оптической структуры сердцевины заготовки световода из оксинитрида кремния, легированного РЗЭ, с помощью системы 10 отключают вакуум в трубе 1 (плавно) и плавно создают вакуум (1-3 Торр) для зажигания СВЧ плазмы в кварцевом реакторе и вокруг внешней поверхности трубы. Температура печи устанавливают 1150°С и подачей рабочего газа, содержащего O2+C3F8, при давлении 6-8 Торр, при возвратно-поступательном перемещении вдоль опорной трубы резонатора Е010 СВЧ-плазмотрона осаждают на наружную поверхность трубы отражающую фторсиликатная оболочку.
Таким образом, получают заготовку активного световода с сердцевиной из оксинитрида кремния, легированного РЗЭ, и отражающей фторсиликатной оболочкой. Далее температуру печи поднимают до 1200°С, боковым внешним осаждением на наружную поверхность трубы после нанесения отражающей SiO2-F оболочки, осаждают защитный слой оксинитрида кремния, который не только является первичным защитным покрытием в волокне, но и предохраняет трубчатую заготовку от существенного выгорания фтора при ее схлопывании горелкой. Схлопывание осуществляют при температуре 2000-2200°С.
В альтернативном варианте заявляемого способа оптическую структуру заготовки, включающую сердцевину в оксинитридном исполнении, легированную РЗЭ, фторсиликатную отражающую оболочку и защитное оксинитридное покрытие-оболочку, в указанной последовательности осаждают на наружную поверхность опорной трубы внешним боковым СВЧ плазмохимическим осаждением при возвратно-поступательном перемещении вдоль опорной трубы резонатора Е010 СВЧ-плазмотрона в тех же условиях, при которых осуществляются аналогичные операции основного способа изготовления заготовки, приведенные ниже.
В этом случае при схлопывании такой трубчатой заготовки образуется кольцевой световод с двумя отражающими оболочками: снизу оболочка из SiO2, а сверху - фторсиликатная с оксинитридным покрытием-оболочкой. При необходимости синтезировать достаточно толстый слой оксинитрида кремния для оптической структуры сердцевины, адекватно требуется осаждать толстый слой и фторсиликатной отражающей оболочки.
При перетягивании такой трубчатой заготовки в волокно можно получить структуру световода с отверстием в центре световода. При этом накачка такого световода возможна как через первую SiO2 оболочку, так и через отверстие в световоде, заполненное воздухом. Фактически полученный кольцевой световод имеет три отражающие оболочки.
Если оксинитридную сердцевину такой заготовки синтезировать достаточно толстой, то эффективная площадь сердцевины кольцевого световода значительно увеличится по сравнению с обычными световодами, изготавливаемыми MCVD методами и, в таком случае, квантовая эффективность люминесценции увеличивается.
Оксинитридная сердцевина, легируемая РЗЭ, может быть осаждена в опорной кварцевой трубе 25×22 мм на внутреннюю ее поверхность достаточно большой толщины. В этом случае заготовка схлопывается в штабик, на который методом внешнего бокового СВЧ плазмохимического осаждения осаждают отражающую фторсиликатную оболочку и защитное оксинитридное покрытие - оболочку также достаточно большой толщины. В результате получают заготовку активного световода W-типа, аналогично первому варианту способа, но с большим диаметром сердцевины и двумя отражающими оболочками.
Ниже приведены примеры осуществления операций изготовления заготовок световодов по предлагаемому способу.
Пример 1.
Осаждение оксинитридной сердцевины, легированной РЗЭ, на внутреннюю поверхность опорной трубы диаметром, например, 20×17 мм осуществляют при следующих условиях:
Расход азота, см3/мин 350
Расход азота на подачу SiCl4, см3/мин 150
Расход очищенного и осушенного воздуха, см3/мин 250
Температура поверхности опорной трубы, °С 1200
Мощность СВЧ-генератора, кВт 3,5
Частота СВЧ-генератора, мГц 2450
Скорость перемещения СВЧ-плазмы, м/мин 2,5
Давление рабочего газа, Торр 4-5
Скорость вращения опорной трубы, об/мин 0,5
Длина зоны осаждения, мм 600
Скорость протока МОС РЗЭ (например, ErА3Phen) с газом-носителем (инертным газом, например, аргоном), л/час 30
Пример 2.
Осаждение SiO2-F оболочки на наружную поверхность трубы, например, диаметром 20×17 мм с осажденной внутри трубы оксинитридной сердцевиной, легированной РЗЭ, осуществляют при следующих условиях:
Диаметр кварцевой трубы-реактора, мм 43×39
Расход кислорода, см3/мин 3500
Расход фреона C3F8, см3/мин 85
Расход SiCl4, см3/мин 850
Длина зоны осаждения, мм 600
Давление рабочего газа, Торр 6,0-8,0
Температура опорной поверхности, °С 1150
Длина зоны осаждения, мм 60
Скорость перемещения СВЧ-плазмы, м/мин 2,5
Частота СВЧ-генератора, мГц 2450
Мощность СВЧ-генератора, кВт 3,0
Скорость вращения опорной трубы, об/мин 0,5-1,0
Пример 3.
Осаждение защитного покрытия-оболочки из SiON на заготовку волоконного световода (стержень) с SiO2-F оболочкой диаметром 20 мм (в том числе на трубчатую заготовку волоконного световода (ЗВС) (20×17 мм) с внутренней оксинитридной сердцевиной, легированной РЗЭ, и фторсиликатной отражающей оболочкой, нанесенной на наружную поверхность трубы, с последующим схлопыванием трубчатой заготовки проводят при следующих условиях:
Расход азота, см3/мин 450
Расход азота на подачу SiCl4, см3/мин 200
Расход воздуха, см3/мин 360
Температура поверхности ЗВС, °С 1200
Диаметр кварцевой ЗВС, мм 20
Диаметр кварцевой трубы-реактора, мм 43×39 или (45×40)
Длина зоны осаждения, мм 600
Частота СВЧ-генератора, мГц 2450
Мощность СВЧ-генератора, кВт 4,0
Скорость перемещения СВЧ-плазмы, м/мин 2,5
Давление рабочего газа, Торр 5,0
Оксинитридное защитное покрытие SiON в виде оболочки, во-первых, препятствует выгоранию фтора при схлопывании, а во-вторых, при содержании атомарного азота в сетке оксинитрида в пределах 8-10 вес.%, препятствует диффузии водорода внутрь оптического волокна, если слой SiON в волокне 200-500Å. Вообще толщина защитного SiON покрытия на ЗВС должна быть не менее 0,2 мм при диаметре ЗВС 20 мм (т.е. должна быть порядка 1,0% от размера ЗВС).
Пример 4.
В качестве альтернативного варианта фторсиликатную SiO2-F оболочку осаждают на SiON стержень, легированный РЗЭ, диаметр которого получают осаждением СВЧ-плазмой оксинитридной сердцевины, легированной РЗЭ на опорную кварцевую трубу диаметром, например, 25×22 мм. Осаждение фторсиликатной SiO2 - F оболочки на такой стержень осуществляют при следующих условиях:
Диаметр SiON+РЗЭ стержня, мм 16-18
Диаметр кварцевой трубы-реактора, мм 43×39
Длина зоны осаждения, мм 600
Частота СВЧ-генератора, мГц 2450
Мощность СВЧ-генератора, кВт 2,7
Скорость перемещения СВЧ-плазмы, м/мин 2,5
Расход кислорода, см3/мин 3000
Расход фреона C3F8, см3/мин 75
Расход SiCl4, см3/мин 725
Давление рабочего газа, Торр 6,0
Диаметр ЗВС после осаждения SiO2-F оболочки, мм 18-20
Числовая апертура в этом случае будет составлять NA=0,5 и более. Квантовая эффективность люминесценции в этом случае также значительно будет повышена.
Известны и описаны в патентах устройства для плазменного осаждения материала (авт. свид. 1573753, С03В 37/018, 1980; US 5595793, С03С 25/10, 1997-01-21, US 5597624, C03B 37/018, 1997-01-28; US 6138478, C03B 37/014, 2000-10-31; US 6928839, C03B 37/014, 2004-02-19; US 6988380, C03B 37/014, 2004-02-19).
Наиболее близким к устройству, предлагаемому для осуществления способа изготовления заготовок по настоящему изобретению, является устройство, состоящее из СВЧ-генератора, волноводного тракта, плазмохимического реактора, выполненного из кварца, резонатора Е020, фланца, обеспечивающего общую герметизацию реактора и подачу в него химических реагентов. Требуемый вакуум при проведении плазмохимических реакций обеспечивается вакуумным насосом, а нейтрализация продуктов реакций осуществляется скруббером (US 6138478, С03В 37/014, 2000-10-31).
Данное устройство не позволяет получать внешним боковым осаждением заготовки активных световодов, легированных редкоземельными элементами.
Для осуществления предлагаемого в настоящем изобретения способа изготовления заготовок создано устройство, состоящее из СВЧ-генератора, волноводного тракта, плазмохимического реактора, выполненного из кварца, фланца, обеспечивающего общую герметизацию реактора и подачу в него химических реагентов, в котором в плазмохимический реактор, выполненный из кварца, помещена оптически чистая опорная труба, расположенная соосно оси резонатора типа Е010 с регулятором длины плазмы. Использование при изготовлении заготовок световодов предлагаемого в настоящем изобретении способа и устройства позволяет с помощью «холодной» неравновесной СВЧ-плазмы пониженного давления (Те>>Тг), где Те - температура электронов в электрон-вольтах, а Тг - температура рабочего газа в °С, легировать кварцевое стекло практически любыми редкоземельными элементами, обеспечить равномерность осаждения легирующих добавок, получить резкие профили легирования, уменьшить длину активной части волоконных лазеров и усилителей при высокой концентрации и однородности активатора.
При необходимости осаждать внутри трубы опорной кварцевой трубы сердцевину оптической структуры значительной толщины предлагается новый СВЧ-плазмотрон вида колебаний Е010, который легко настраивается в резонанс и может эффективно и качественно осаждать слои SiON на внутреннюю поверхность трубы.
СВЧ-плазмотрон резонаторного типа для изготовления заготовок активных световодов состоит из четвертьволнового резонатора на волне E01, охлаждаемого водой корпуса, внутри которого находится подвижный поршень для регулирования длины плазмы, двух вводов энергии СВЧ и четырех согласующих штырей, регулирующих частоту резонатора.
Резонатор Е010 представлен на фиг.2, где показаны резонатор, состоящий из охлаждаемого водой корпуса 1, подвижный поршень 2, два ввода энергии СВЧ 3 и четыре согласующих штыря 4, цилиндрические экраны 5, охлаждающие боковые стенки резонатора, установленные соосно опорной трубке 7, и нагреватель 6.
Длина резонатора выбирается минимальной для обеспечения локальности плазмы и повышения ее энергетических характеристик. Экраны 5 служат для защиты от излучения, в связи с чем они имеют размеры запредельного волновода.
Подвижный поршень 2 служит для настройки резонатора и для регулирования плазменной реакционной зоны.
При работе заявляемого устройства и СВЧ-плазмотрона вида колебаний Е010 создают СВЧ-плазму пониженного давления и при возвратно-поступательном перемещении резонатора Е010 СВЧ-плазмотрона осуществляют плазмохимическое осаждение оптической структуры заготовки волоконных световодов в условиях проведения соответствующих операций заявленного способа изготовления заготовок волоконных световодов, приведенных выше.

Claims (7)

1. Способ изготовления заготовок волоконных световодов плазмохимическим осаждением из газовой фазы в СВЧ-разряде на внутреннюю поверхность опорной кварцевой трубы оптической структуры при перемещении СВЧ-плазмы, отличающийся тем, что опорную кварцевую трубу, предварительно прошедшую химическую и термическую обработку и помещенную в находящийся при атмосферном давлении и заполненный чистым сухим азотом кварцевый реактор соосно оси СВЧ-плазмотрона резонаторного типа Е010, предварительно вакуумируют до давления 1-20 Торр, затем при возвратно-поступательном перемещении вдоль опорной трубы СВЧ-плазмотрона резонаторного типа Е010 при температуре 1200°С подают рабочий газ, содержащий SiCl4+O2+N2 и пары хлоридов редкоземельных элементов РЗЭ или металлоорганических соединений РЗЭ, не содержащих ОН групп, осаждают на внутреннюю поверхность опорной кварцевой трубы сердцевину из оксинитрида кремния SiON, легированного редкоземельными элементами, после чего кварцевый реактор заполняют при атмосферном давлении чистым азотом, вакуумируют до давления 3-4 Торр, зажигают внутри реактора и вокруг наружной поверхности кварцевой опорной трубы СВЧ-плазму пониженного давления, при температуре печи 1150°С подачей рабочего газа при давлении 6-8 Торр, содержащего
O2+C3F8, при возвратно-поступательном перемещении СВЧ-плазмотрона резонаторного типа Е010 осаждают на наружную поверхность опорной кварцевой трубы отражающую фторсиликатную оболочку, полученную заготовку схлопывают газопламенной горелкой в штабик при температуре 2000°С.
2. Способ по п.1, в котором для подготовки к плазмохимическому осаждению опорной трубы, помещенной соосно оси СВЧ-плазмотрона резонаторного типа Е010 в кварцевый реактор, находящийся при атмосферном давлении и заполненный сухим чистым азотом, ее предварительно вакуумируют, температуру печи поднимают до 1000°С, на вход трубы подают поочередно при давлении 3-4 Торр CCl4 или фреоны для мягкого травления внутренней поверхности опорной трубы, а затем кислород для большего мягкого травления и полировки ее внутренней поверхности.
3. Способ изготовления трубчатых заготовок волоконных световодов СВЧ плазохимическим осаждением оптической структуры заготовки на поверхность опорной кварцевой трубы, предварительно прошедшую химическую и термическую обработку и помещенную соосно оси СВЧ-плазмотрона резонаторного типа Е010 в кварцевый реактор, отличающийся тем, что при атмосферном давлении опорную кварцевую трубу заполняют чистым азотом без протока, кварцевый реактор вакуумируют до давления 3-4 Торр, внутри реактора и вокруг наружной поверхности опорной кварцевой трубы зажигают СВЧ-плазму пониженного давления, и поочередно при возвратно-поступательном перемещении вдоль опорной трубы СВЧ-плазмотрона резонаторного типа Е010 на наружную поверхность опорной трубы осаждают оптическую сердцевину, содержащую слои оксинитрида кремния, легированные РЗЭ, отражающую фторсиликатную оболочку и защитное покрытие из оксинитрида кремния.
4. Устройство для изготовления заготовок волоконных световодов, содержащее СВЧ-генератор, волноводный тракт, СВЧ-плазмотрон резонаторного типа E010, имеющий узел регулирования длины плазмы, плазмохимический реактор, выполненный из кварца, фланец, обеспечивающий общую герметизацию реактора, систему подачи в него химических реагентов и вакуумную систему для откачки продуктов реакций.
5. СВЧ-плазмотрон резонаторного типа Е010 для изготовления заготовок световодов, состоящий из четвертьволнового резонатора на волне Е010 охлаждаемого водой корпуса, внутри которого находится подвижный поршень для регулирования длины плазмы, двух вводов энергии СВЧ и четырех согласующих штырей, регулирующих частоту резонатора.
6. Заготовка волоконного световода, выполненная по п.1, содержащая оптическую сердцевину из оксинитрида кремния, легированного редкоземельными металлами, и фторсиликатную оболочку.
7. Трубчатая заготовка волоконного световода, выполненная по п.3, содержащая опорную кварцевую трубу, на наружной поверхности которой имеется оптическая сердцевина заготовки из оксинитрида кремния, легированного РЗЭ, фторсиликатная отражающая оболочка и защитная оболочка из оксинитрида кремния.
RU2007122330/03A 2007-06-18 2007-06-18 Способ изготовления заготовок волоконных световодов, устройство для его осуществления и заготовка, изготовленная этим способом RU2362745C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007122330/03A RU2362745C2 (ru) 2007-06-18 2007-06-18 Способ изготовления заготовок волоконных световодов, устройство для его осуществления и заготовка, изготовленная этим способом

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007122330/03A RU2362745C2 (ru) 2007-06-18 2007-06-18 Способ изготовления заготовок волоконных световодов, устройство для его осуществления и заготовка, изготовленная этим способом

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007122330A RU2007122330A (ru) 2008-12-27
RU2362745C2 true RU2362745C2 (ru) 2009-07-27

Family

ID=41048585

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007122330/03A RU2362745C2 (ru) 2007-06-18 2007-06-18 Способ изготовления заготовок волоконных световодов, устройство для его осуществления и заготовка, изготовленная этим способом

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2362745C2 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2652215C2 (ru) * 2013-07-01 2018-04-25 Драка Комтек Б.В. Процесс плазменного осаждения с удалением трубки подложки
RU2712906C1 (ru) * 2016-04-21 2020-01-31 Фиберхоум Телекоммьюникейшн Технолоджис Ко., Лтд Способ эффективного получения легированной оптоволоконной заготовки и легированная заготовка оптического волокна
RU2802736C1 (ru) * 2022-12-12 2023-08-31 Общество с ограниченной ответственностью "ЛАССАРД" Способ подачи хлоридов редких земель в зону осаждения для изготовления заготовок оптических волокон с легированной сердцевиной

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2652215C2 (ru) * 2013-07-01 2018-04-25 Драка Комтек Б.В. Процесс плазменного осаждения с удалением трубки подложки
RU2712906C1 (ru) * 2016-04-21 2020-01-31 Фиберхоум Телекоммьюникейшн Технолоджис Ко., Лтд Способ эффективного получения легированной оптоволоконной заготовки и легированная заготовка оптического волокна
RU2802736C1 (ru) * 2022-12-12 2023-08-31 Общество с ограниченной ответственностью "ЛАССАРД" Способ подачи хлоридов редких земель в зону осаждения для изготовления заготовок оптических волокон с легированной сердцевиной

Also Published As

Publication number Publication date
RU2007122330A (ru) 2008-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5397372A (en) MCVD method of making a low OH fiber preform with a hydrogen-free heat source
US4090055A (en) Apparatus for manufacturing an optical fibre with plasma activated deposition in a tube
US4314833A (en) Method of producing optical fibers
US4402720A (en) Process for preparing glass preform for optical fiber
US4262035A (en) Modified chemical vapor deposition of an optical fiber using an rf plasma
EP2479150B1 (en) Optical fiber preform, optical fiber, and method of manufacturing optical fiber preform
EP3001834B1 (en) A process for fabrication of ytterbium doped optical fiber
US4417911A (en) Manufacture of optical fibre preforms
US8192807B2 (en) Ring plasma jet method and apparatus for making an optical fiber preform
US8820121B2 (en) Method of manufacturing optical fiber base material
CN112051640A (zh) 超低损耗g.654e光纤及其制作方法
RU2362745C2 (ru) Способ изготовления заготовок волоконных световодов, устройство для его осуществления и заготовка, изготовленная этим способом
RU2363668C2 (ru) Способ изготовления заготовок волоконных световодов, устройство для его осуществления и заготовка, изготовленная этим способом
Hünlich et al. Fiber-preform fabrication using plasma technology: a review
RU2433091C1 (ru) Способ изготовления кварцевых заготовок одномодовых волоконных световодов, устройство для его осуществления и заготовки, изготовленные данным способом
EP0072069B1 (en) Method of producing preforms for drawing optical fibres and apparatus for the continuous production of optical fibres
GB1578826A (en) Methods for fabricating optical fibre preforms
CN114057387B (zh) 用于制备氟化石英玻璃的方法
US6988380B2 (en) Method of silica optical fiber preform production
GB2068359A (en) Manufacture of optical fibre preforms
KR20150003681A (ko) 플라즈마 증착 공정에 의해 광섬유용 1차 프리폼에 대한 전구체를 제조하는 방법
RU2422387C1 (ru) Устройство для изготовления кварцевых заготовок волоконных световодов
RU2385842C1 (ru) Способ изготовления кварцевых заготовок волоконных световодов, устройство для его осуществления и заготовка, полученная данным способом
JPH01126237A (ja) 光ファイバ−用プリフォ−ムの製造方法
KR20060093671A (ko) 다중 모드 광섬유 및 이의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20100619

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20110527

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200619