RU2357213C1 - Чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа - Google Patents

Чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа Download PDF

Info

Publication number
RU2357213C1
RU2357213C1 RU2007141123/28A RU2007141123A RU2357213C1 RU 2357213 C1 RU2357213 C1 RU 2357213C1 RU 2007141123/28 A RU2007141123/28 A RU 2007141123/28A RU 2007141123 A RU2007141123 A RU 2007141123A RU 2357213 C1 RU2357213 C1 RU 2357213C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensitive element
solid
teeth
hemispherical shell
hemispherical
Prior art date
Application number
RU2007141123/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Борис Сергеевич Лунин (RU)
Борис Сергеевич Лунин
Валерий Александрович Матвеев (RU)
Валерий Александрович Матвеев
Михаил Алексеевич Басараб (RU)
Михаил Алексеевич Басараб
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана" filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана"
Priority to RU2007141123/28A priority Critical patent/RU2357213C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2357213C1 publication Critical patent/RU2357213C1/ru

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к конструкции чувствительных элементов твердотельных волновых гироскопов, которые используются для определения угловых перемещений в навигационных устройствах летательных аппаратов, а также в оборудовании бурильных устройств. Чувствительный элемент содержит полусферическую оболочку, скрепленную ножкой с плоской пластиной с напыленными дискретными емкостными электродами. На краю полусферической оболочки в плоскости, перпендикулярной оси симметрии оболочки, расположены зубцы с металлизированной поверхностью. Техническим результатом является повышение чувствительности, а также упрощение и удешевление технологии изготовления. 1 ил.

Description

Изобретение относится к конструкции чувствительных элементов твердотельных волновых гироскопов, которые используются для определения угловых перемещений в навигационных устройствах самолетов, космических аппаратов, управляемых бурильных головок.
Известен чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа, включающий полусферический резонатор, который имеет полусферическую оболочку и ножку. На торцевой поверхности полусферической оболочки имеется металлическое покрытие. Узел электродов выполнен в виде плоской пластины с электродами и расположен параллельно торцевой поверхности резонатора, причем между поверхностью пластины и торцевой поверхностью полусферической оболочки имеется зазор [Лунин Б.С. Чувствительный элемент волнового твердотельного гироскопа. Патент РФ №2166734, МПК 7 G01C 19/56 (2000)].
Известно, что чувствительность емкостного датчика зависит от электрической емкости, образуемой электродом, напыленным на плоскую пластину, и металлизированной торцевой поверхностью полусферической оболочки. При уменьшении размеров резонатора чувствительность емкостных датчиков резко уменьшается, что приводит к ухудшению соотношения сигнал/шум и к снижению точности известного чувствительного элемента. Кроме того, конструкция известного чувствительного элемента требует обеспечить малый (единицы-десятки микрон) зазор между торцевой поверхностью резонатора и плоскостью узла электродов, что усложняет процесс сборки чувствительного элемента. Необходимость обеспечения постоянной величины этого зазора вынуждает повышать точность изготовления всех полусферических поверхностей и точность сборки.
Поэтому указанные недостатки снижают точность работы прибора до 0,1-0,5 град./час при уменьшении радиуса полусферической оболочки до 5-10 мм и значительно усложняют и удорожают его изготовление.
Целью данного изобретения является устранение указанных недостатков.
Эта цель достигается предложенной конструкцией чувствительного элемента, имеющего полусферическую оболочку, на краю которой в плоскости, перпендикулярной оси симметрии оболочки, расположены зубцы с металлизированной поверхностью, скрепленную ножкой с плоской пластиной с напыленными дискретными емкостными электродами, расположенной параллельно плоскости зубцов.
Предложенный чувствительный элемент отличается тем, что на краю полусферической оболочки в плоскости, перпендикулярной оси симметрии оболочки, расположены зубцы с металлизированной поверхностью.
На чертеже показан предлагаемый чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа.
Чувствительный элемент содержит полусферический резонатор, который имеет полусферическую оболочку 1 и ножку 2. На краю полусферической оболочки в плоскости, перпендикулярной оси симметрии оболочки, расположены зубцы 3 с металлическим покрытием 4. Узел емкостных электродов выполнен в виде плоской пластины 5 с напыленными дискретными электродами, которые расположены по окружности. Каждый напыленный дискретный электрод содержит две площадки 6, которые с помощью токопроводящих дорожек 7 соединены с гермовыводами вакуумного корпуса и затем с электронным блоком. Полусферическая оболочка 1 соединена через ножку 2 с пластиной 5 так, что между металлизированной поверхностью 4 зубцов 3 полусферической оболочки 1 и пластиной 5 образуется зазор D.
Предложенный чувствительный элемент работает следующим образом. Колебания полусферической оболочки 1 приводят к периодическому изменению зазора D между металлизированной поверхностью 4 зубцов 3 полусферической оболочки 1 и площадками 6 с амплитудой d. Известно, что амплитуда этих колебаний равна:
Figure 00000001
где r - амплитуда радиальных колебаний полусферической оболочки.
Электрическая емкость С, которую образуют площадки 6 и расположенные напротив них металлизированные поверхности 4 зубцов 3 полусферической оболочки 1, зависит от амплитуды колебаний следующим образом:
Figure 00000002
где S - площадь металлизированной поверхности зубца;
ε - диэлектрическая проницаемость среды, для вакуума ε=1;
ε0 - диэлектрическая постоянная.
Изменение емкости С при колебаниях преобразуется в электронном блоке в электрический сигнал, который используют для определения ориентации стоячей волны.
Для управления стоячей волной в полусферической оболочке управляющее напряжение U прикладывают к площадкам 6, что приводит к появлению электростатической силы F. Для вакуума эта сила равна:
Figure 00000003
Оценим характеристики предложенного чувствительного элемента твердотельного волнового гироскопа. Пусть полусферическая оболочка 1 имеет диаметр 20 мм, толщину стенки 0,5 мм, площадь металлизированной поверхности зубца S=25 мм2. Тогда емкость С для предложенного чувствительного элемента будет в 6,4 раза больше, чем для известного чувствительного элемента, что приведет к такому же улучшению соотношения сигнал/шум выходного сигнала чувствительного элемента. В такой же степени возрастает величина электростатической силы F при одинаковом управляющем напряжении U. Это означает, что управляющее напряжение в предложенном чувствительном элементе может быть уменьшено в ~2,5 раза. По мнению авторов, повышение соотношения сигнал/шум в 6,4 раза приведет к уменьшению погрешности гироскопа, связанной с шумом выходного сигнала, в 5-6 раз. Увеличение площади S в предложенном чувствительном элементе по сравнению с известным чувствительным элементом может быть использовано также для увеличения величины зазора D. При приведенных в примере параметрах при одинаковой чувствительности предложенного и известного чувствительных элементов зазор D в предложенном чувствительном элементе больше в 2,5 раза, что значительно облегчает сборку чувствительного элемента.
Таким образом, по сравнению с известным чувствительным элементом предложенный чувствительный элемент имеет в 6-7 раз более высокую чувствительность, работает при величинах управляющих напряжений, в 2-3 раза меньших, и имеет более простую технологию сборки.

Claims (1)

  1. Чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа, имеющий полусферическую оболочку с зубцами, скрепленную ножкой с узлом напыленных дискретных емкостных электродов, отличающийся тем, что на краю полусферической оболочки в плоскости, перпендикулярной оси симметрии оболочки, расположены зубцы с металлизированной поверхностью.
RU2007141123/28A 2007-11-08 2007-11-08 Чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа RU2357213C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007141123/28A RU2357213C1 (ru) 2007-11-08 2007-11-08 Чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007141123/28A RU2357213C1 (ru) 2007-11-08 2007-11-08 Чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2357213C1 true RU2357213C1 (ru) 2009-05-27

Family

ID=41023557

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007141123/28A RU2357213C1 (ru) 2007-11-08 2007-11-08 Чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2357213C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2526585C2 (ru) * 2012-07-16 2014-08-27 Закрытое акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (ЗАО "ИТТ") Способ определения угла ориентации стоячей волны в твердотельном волновом гироскопе

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2526585C2 (ru) * 2012-07-16 2014-08-27 Закрытое акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (ЗАО "ИТТ") Способ определения угла ориентации стоячей волны в твердотельном волновом гироскопе

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2469336C2 (ru) Емкостной датчик, содержащий блоки периодических и абсолютных электродов
JP6248129B2 (ja) 共振センサ、ジャイロスコープセンサ及びジャイロスコープセンサの形成方法
JP5284911B2 (ja) 静電容量型物理量センサ及び角速度センサ
TWI507347B (zh) 微機械感測器元件
US6474161B1 (en) Gyroscopic sensor and rotation measurement apparatus constituting an application thereof
US12050102B2 (en) Waterproof MEMS button device, input device comprising the MEMS button device and electronic apparatus
US9897447B2 (en) Quadrature compensation
JP5235679B2 (ja) 角度測定器具
US9103675B2 (en) Resonator with a partial metal-plated layer
WO2017046866A1 (ja) 加速度センサ
JP5671245B2 (ja) 磁気感度が低減されたmemsジャイロスコープ
US11835541B2 (en) MEMS accelerometric sensor having high accuracy and low sensitivity to temperature and aging
US6810739B1 (en) Accelerometer augmented leveling device
US20180259335A1 (en) Gyroscope
RU2357213C1 (ru) Чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа
EP1152216B1 (en) Vibrator
RU2166734C1 (ru) Чувствительный элемент волнового твердотельного гироскопа
Giacci et al. Capacitive vs piezoresistive MEMS gyroscopes: a theoretical and experimental noise comparison
RU2692122C1 (ru) Твердотельный датчик линейных ускорений
US7137208B2 (en) Leveling device
RU170862U1 (ru) Чувствительный элемент датчика удара
CN217716281U (zh) 一种电容位移传感电路标定装置
RU2282151C1 (ru) Микромеханический гироскоп
JP4059306B2 (ja) サーボ式静電容量型真空センサ
CN118347483A (zh) 一种面外检测四质量块mems陀螺仪及其电路调理方法

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner
QB4A Licence on use of patent

Free format text: LICENCE

Effective date: 20150818

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20171109