RU2357207C1 - Оптоэлектронный датчик углового положения - Google Patents

Оптоэлектронный датчик углового положения Download PDF

Info

Publication number
RU2357207C1
RU2357207C1 RU2007148293/28A RU2007148293A RU2357207C1 RU 2357207 C1 RU2357207 C1 RU 2357207C1 RU 2007148293/28 A RU2007148293/28 A RU 2007148293/28A RU 2007148293 A RU2007148293 A RU 2007148293A RU 2357207 C1 RU2357207 C1 RU 2357207C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrodes
liquid
film
angular position
nanographite
Prior art date
Application number
RU2007148293/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Геннадий Михайлович Михеев (RU)
Геннадий Михайлович Михеев
Руслан Геннадьевич Зонов (RU)
Руслан Геннадьевич Зонов
Татьяна Николаевна Могилёва (RU)
Татьяна Николаевна Могилёва
Василий Михайлович Стяпшин (RU)
Василий Михайлович Стяпшин
Original Assignee
Институт прикладной механики УрО РАН
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт прикладной механики УрО РАН filed Critical Институт прикладной механики УрО РАН
Priority to RU2007148293/28A priority Critical patent/RU2357207C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2357207C1 publication Critical patent/RU2357207C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Оптоэлектронный датчик углового положения включает в себя импульсный источник света; фотоприемник, выполненный из нанографитной пленки и двух пар электродов, и устройство обработки электрических сигналов, снимаемых с указанных электродов. При этом поверх нанографитной пленки нанесен тонкий слой прозрачной смачивающей жидкости с электропроводностью, значительно меньшей электропроводности нанографитной пленки. Слой жидкости герметично закрыт крышкой из прозрачного материала, плотно прилегающей к поверхности жидкости. Технический результат - увеличение диапазона измеряемых углов оптоэлектронным датчиком углового положения. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной и навигационной технике, в частности к устройствам для определения угловой ориентации объектов в пространстве. Устройство по данному изобретению может быть использовано для определения угловых перемещений объектов в пространстве, в системах наведения и для юстировки взаимного расположения объектов, частей различных устройств и приборов.
Известен интерференционный способ измерения угла поворота объекта [патент RU 2166182 C2, 27.07.1998, G01B 9/02]. Он осуществляется следующим образом. Монохроматическим пучком излучения одновременно освещают опорный отражатель и измерительный отражатель, связанный с контролируемым объектом. Многоэлементный фотоприемник регистрирует интерференционную картину, образованную пучками, отраженными от опорного и измерительного отражателей, осуществляет фотоэлектрическое преобразование ее в выходной сигнал. После обработки этого сигнала определяется угловое положение объекта.
Однако когерентность интерферирующих пучков налагает определенные ограничения: необходимы лазерные источники излучения, обеспечивающие высокую временную когерентность; необходимо высококачественное отражение от объекта, обеспечивающее высокую пространственную когерентность. Кроме этого такой способ позволяет измерять весьма малые углы.
Известно также устройство, в котором изображение объекта фокусируется с помощью линзы на координатно-чувствительный фотоприемник и далее после анализа сфокусированного изображения с помощью средств вычислительной техники определяется угол наклона [патент US 5196900, 23.03.1993, G01B 11/26]. Фоточувствительными элементами могут быть, например, ПЗС-матрицы или приборы с инжекцией заряда.
Однако с помощью такого устройства затруднительно измерение угла наклона протяженных объектов. Другим недостатком данного устройства является его инерционность, обусловленная временем, необходимым на снятие сигнала с ПЗС-матрицы и его обработку, что затрудняет использование устройства для высокоскоростного определения быстроменяющихся углов.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для определения угловых перемещений объектов в пространстве [заявка WO 2006022570 A1, 2.03.2006, G01B 11/26], содержащее импульсный источник света, фотоприемник, выполненный из нанографитной пленки и двух пар электродов, и устройство обработки электрических сигналов, снимаемых с указанных электродов.
Пучок линейно поляризованного импульсного излучения от лазерного источника попадает на фотоприемник, закрепленный на контролируемом объекте. Импульсное оптическое излучение, попадающее на поверхность пленки, наводит статическую нелинейную поляризацию, определяемую квадратичной нелинейной восприимчивостью материала пленки. В результате между параллельными электродами каждой пары возникает импульсное электрическое напряжение, форма которого повторяет огибающую лазерного импульса, а величина зависит от углового положения объекта относительно пучка лазера. По амплитуде напряжения, снимаемого с каждой пары электродов, блок обработки определяет взаимное угловое положение лазера и фотоприемника.
Недостатком данного устройства является то, что однозначное определение угловой координаты может производиться только в диапазоне углов падения излучения лазера на фотоприемник от -45° до +45°.
Задача изобретения - увеличение диапазона измеряемых углов оптоэлектронным датчиком углового положения.
Поставленная задача решается тем, что поверх нанографитной пленки нанесен тонкий слой прозрачной смачивающей жидкости с электропроводностью, значительно меньшей электропроводности нанографитной пленки.
Возможно применение крышки из прозрачного материала, герметично закрывающей слой жидкости, плотно прилегающей к поверхности жидкости.
Техническим результатом является увеличение диапазона измеряемых углов.
Краткое описание чертежей
Фиг.1 показывает трехмерные изображения оптоэлектронного устройства согласно пунктам 1 и 2 изобретения при отклонении поверхности фотоприемника на некоторый угол αх≠0 вокруг оси ОХ при αу=0 (фиг.1а) и на угол αу≠0 вокруг оси OY при αх=0 (фиг.1b). 1 - импульсный источник света; 2 - фотоприемник; 3 - устройство обработки электрических сигналов; 4 - подложка; 5 - нанографитная пленка; 6 - жидкость; 7 - крышка; 8, 9 - пары взаимно перпендикулярных электродов; OZ - нормаль к поверхности пленки.
Фиг.2 показывает ход луча, падающего на фотоприемник, покрытый жидкостью (без крышки из прозрачного материала).
Фиг.3 показывает зависимость амплитуды оптоэлектрического сигнала U от угла падения α на поверхность нанографитной пленки импульсного лазерного излучения длительностью 20 нс без слоя смачивающей жидкости (кривая 7) и со слоем смачивающей жидкости (кривая 2), нормированную относительно максимального значения U0.
Раскрытие изобретения
Оптоэлектронный датчик углового положения (фиг.1) согласно данному изобретению состоит из импульсного источника света 1; фотоприемника 2, выполненного в виде нанографитной пленки 5, обладающей свойством оптического выпрямления и нанесенной на подложку 4 с двумя парами 8 и 9 электродов, имеющих электрический контакт с поверхностью пленки; устройства обработки электрических сигналов 3, снимаемых с указанных электродов. Нанографитная пленка покрыта слоем прозрачной смачивающей жидкости 6.
Предпочтительным является использование крышки из прозрачного материала 7, которая плотно прилегает к поверхности жидкости и герметично ее закрывает.
Оптоэлектронный датчик углового положения работает следующим образом.
Работа оптоэлектронного датчика углового положения при отсутствии жидкости описана в заявке WO 2006022570 A1. Пучок линейно поляризованного импульсного излучения от лазерного источника света 1 попадает на фотоприемник 2, состоящий из подложки 4, нанографитной пленки 5, тонкого слоя прозрачной смачивающей жидкости 6 с электропроводностью, значительно меньшей электропроводности нанографитной пленки, и крышки из прозрачного материала 7, закрепленный на контролируемом объекте, с нанесенными на нем двумя парами 8 и 9 электродов. Электроды из каждой пары параллельны друг другу, а электроды из различных пар расположены взаимно перпендикулярно. Первая и вторая пары электродов могут быть размещены в различных электрически изолированных или физически разделенных частях фотоприемника. Импульсное оптическое излучение достаточной мощности, попадающее на поверхность пленки, наводит статическую нелинейную поляризацию, определяемую квадратичной нелинейной восприимчивостью материала пленки. В результате между параллельными электродами каждой пары 8 или 9 возникает импульсное электрическое напряжение, форма которого повторяет огибающую лазерного импульса, а величина зависит от углового положения объекта относительно пучка лазера. Этот эффект известен, как эффект оптического выпрямления. Зависимость амплитуды измеряемого сигнала U от угла падения α, нормированная относительно максимального значения U0, имеет форму кривой l, изображенной на фиг.3. Выберем прямоугольную систему координат XYZ, связанную с поверхностью фотоприемника и имеющую, например (фиг.1а), ось ОХ, расположенную параллельно электродам 8 и перпендикулярно электродам 9, соответственно. Тогда при повороте плоскости фотоприемника вокруг оси ОХ на угол αх при αy=0 импульсный электрический сигнал возникает между электродами пары 8, а при повороте плоскости фотоприемника вокруг оси OY (фиг.1b) на угол αy при αx=0, импульсный электрический сигнал возникает между электродами пары 9. Причем, величина возникающей разности потенциалов на различных парах электродов соответствует угловому отклонению объекта в перпендикулярных плоскостях. Далее напряжение с электродов поступает в устройство обработки сигнала, которое выдает информацию об угловой ориентации объекта. Но, как видно из кривой l на фиг.3, однозначное определение угловой координаты возможно лишь в диапазоне от -45° до +45°, где амплитуда сигнала изменяется монотонно.
Для увеличения рабочего диапазона датчика углового положения на нанографитную пленку наносится тонкий слой прозрачной смачивающей жидкости с электропроводностью, значительно меньшей электропроводности нанографитной пленки. Смачивание необходимо для устранения воздушной прослойки между жидкостью и пленкой, а низкая электропроводность требуется для предотвращения шунтирования возникающей при облучении нанографитной пленки разности потенциалов через жидкость.
В результате преломления в жидкости (фиг.2) угол падения излучения непосредственно на нанографитную пленку β будет отличаться в общем случае от угла падения излучения на фотоприемник α. Это в свою очередь приведет к изменению зависимости амплитуды измеряемого сигнала U (нормированной относительно максимального значения U0) от угла падения α. Если в качестве жидкости использовать этиловый спирт, то такая зависимость будет иметь форму кривой 2, изображенной на фиг.3. Видно, что в таком случае диапазон углов падения излучения на фотоприемник, в котором амплитуда электрического сигнала изменяется монотонно, существенно возрастает. Для этилового спирта эти углы лежат в диапазоне от -64° до +64°. Таким образом, достигается увеличение диапазона измеряемых углов оптоэлектронным датчиком углового положения.

Claims (2)

1. Оптоэлектронный датчик углового положения, включающий в себя импульсный источник света; фотоприемник, выполненный из нанографитной пленки и двух пар электродов и устройство обработки электрических сигналов, снимаемых с указанных электродов, отличающийся тем, что поверх нанографитной пленки нанесен тонкий слой прозрачной смачивающей жидкости с электропроводностью значительно меньшей электропроводности нанографитной пленки.
2. Оптоэлектронный датчик угла по п.1, отличающийся тем, что слой жидкости герметично закрыт крышкой из прозрачного материала, плотно прилегающей к поверхности жидкости.
RU2007148293/28A 2007-12-24 2007-12-24 Оптоэлектронный датчик углового положения RU2357207C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007148293/28A RU2357207C1 (ru) 2007-12-24 2007-12-24 Оптоэлектронный датчик углового положения

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007148293/28A RU2357207C1 (ru) 2007-12-24 2007-12-24 Оптоэлектронный датчик углового положения

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2357207C1 true RU2357207C1 (ru) 2009-05-27

Family

ID=41023551

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007148293/28A RU2357207C1 (ru) 2007-12-24 2007-12-24 Оптоэлектронный датчик углового положения

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2357207C1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11002702B2 (en) Capacitive DOE integrity monitor
CN108375418B (zh) 一种基于介质超表面的紧凑光学测量仪
US9903934B2 (en) Apparatus and method of measuring six degrees of freedom
TW201814273A (zh) 強化玻璃的應力測定裝置、強化玻璃的應力測定方法、強化玻璃的製造方法、強化玻璃
GB2369184A (en) Light spot position sensor and displacement measuring device
CN101609250B (zh) 相机摆镜摆角扫描特性测试装置
US20220050205A1 (en) Electro-optic modulator and methods of using and manufacturing same for three-dimensional imaging
CN103234468A (zh) 用于测量纳米级金属薄膜厚度的spr相位测量装置
CN101922932B (zh) 一种角锥棱镜坐标测量误差的补偿装置
WO2021083045A1 (zh) 用于激光干涉光刻系统的相位测量装置及其使用方法
CN106442411A (zh) 一种基于石墨烯表面波的高灵敏度超快折射率探测装置和方法
TWI486555B (zh) 焦點位置改變裝置及使用其之共焦光學裝置
TWI290614B (en) A measuring apparatus for the thin film thickness using interference technology of laser
RU2357207C1 (ru) Оптоэлектронный датчик углового положения
CN107356560B (zh) 全反射式斜入射光反射差扫描成像装置及其使用方法
CN103185545B (zh) 空间矢量物三维旋转坐标测量方法
Gastinger et al. Next-generation test equipment for micro-production
CN107941207B (zh) 陀螺仪、电子装置及检测角速度的方法
CN114690087B (zh) 一种可调节灵敏度的等离子体磁场光学测量装置及方法
EP0781396B1 (fr) Procede de correlation des mesures tridimensionnelles realisees par des systemes d'acquisition d'images et installation pour sa mise en oeuvre
CN104730001A (zh) 一种高时间分辨率高精度的椭偏测量装置及其方法
CN113588216A (zh) 一种偏振片光学零位快速高精度定标装置和方法
US9816842B2 (en) Optoelectronic position measuring device including a code carrier, a radiation source, and a detection element
US7460243B2 (en) Measuring apparatus sensitive to rotational but not translational or vibrational movement
Zheng et al. An improved method of angle measurement with a position sensitive detector

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20091225