RU2345450C1 - Волноводный детекторный модуль миллиметрового диапазона длин волн - Google Patents

Волноводный детекторный модуль миллиметрового диапазона длин волн Download PDF

Info

Publication number
RU2345450C1
RU2345450C1 RU2008101722/09A RU2008101722A RU2345450C1 RU 2345450 C1 RU2345450 C1 RU 2345450C1 RU 2008101722/09 A RU2008101722/09 A RU 2008101722/09A RU 2008101722 A RU2008101722 A RU 2008101722A RU 2345450 C1 RU2345450 C1 RU 2345450C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
housing
diode
waveguide
detector
output
Prior art date
Application number
RU2008101722/09A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Григорьевич Божков (RU)
Владимир Григорьевич Божков
Владимир Александрович Геннеберг (RU)
Владимир Александрович Геннеберг
Игорь Владимирович Петров (RU)
Игорь Владимирович Петров
Сергей Владимирович Золотов (RU)
Сергей Владимирович Золотов
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов" (ОАО "НИИПП")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов" (ОАО "НИИПП") filed Critical Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов" (ОАО "НИИПП")
Priority to RU2008101722/09A priority Critical patent/RU2345450C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2345450C1 publication Critical patent/RU2345450C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Waveguide Connection Structure (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при создании волноводных СВЧ-модулей повышенной прочности и устойчивости к внешним воздействиям. Техническим результатом изобретения является упрощение конструкции волноводного детекторного модуля и повышение его механической прочности. Для этого корпус модуля разделен перпендикулярно волноводному каналу на две половинки, при этом первая половинка имеет сквозной волноводный канал, часть которого имеет гантелевидную форму, согласующийся со стандартным сечением волновода и заполненный специальным пеноматериалом с малыми потерями, а вторая половинка корпуса с подобным волноводным каналом, также заполненным пеноматериалом, оканчивается согласующей заглушкой, являющейся частью корпуса; в узкой части гантелевидного канала второй половинки корпуса установлен диод, один вывод которого непосредственно присоединен к корпусу, а второй вывод изолирован и соединен с выходом детектора. Первая половинка корпуса непосредственно крепится на второй и окончательно фиксирует положение диода. Такая конструкция детекторного СВЧ-модуля выдерживает длительные испытания на воздействие влаги (21 сутки, 35°С, 100% влажность) без дополнительных мер защиты и обладает повышенной устойчивостью к механическим воздействиям, в частности к одиночным ударам. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к полупроводниковой СВЧ-электронике и может быть использовано при создании волноводных СВЧ-модулей повышенной прочности и устойчивости к внешним воздействиям.
Детекторы электромагнитного излучения СВЧ и, в частности, миллиметрового диапазона длин волн прошли длительный путь развития, начиная от простейших кристаллических детекторов на основе точечного контакта, образуемого вольфрамовой иглой с кремниевой пластинкой. Конструкции детекторов этого типа и тщательный анализ их работы подробно изложены в книге, составленной по материалам отчетов Лаборатории излучения Массачусетского технологического института [1]. Детекторные диоды на основе указанного точечного контакта выполнялись в керамических корпусах патронного типа или в коаксиальных корпусах и включались в волновод с помощью достаточного сложного согласующего устройства - детекторных головок.
Наиболее существенным шагом в развитии миллиметровой техники и детекторов, в частности, за прошедшие годы стал переход от точечных конструкций детекторных диодов к плоскостным диодам с барьером Шоттки (ДБШ), выпрямляющие контакты которых формировались с помощью процесса фотолитографии, и включение бескорпусных ДБШ в волновод с помощью так называемых finline-конструкций, предложенных Мейером [2]. Finline-конструкция предполагала создание различных модулей и устройств миллиметрового диапазона длин волн (детекторов, смесителей, умножителей и т.д.) на основе щелевых и других линий передачи на керамической (или другой) подложке в гибридно-интегральном исполнении и монтирование их в продольном сечении (Е-плоскости) волновода. При этом щелевые линии преобразовывались в волноводно-щелевые линии (ВЩЛ). Основное достоинство этой конструкции заключалось в переходе к прогрессивной гибридно-интегральной технологии СВЧ-модулей и простоте согласования гибридно-интегральной схемы с волноводным каналом с помощью ВЩЛ.
Простейшая конструкция детектора миллиметрового диапазона длин волн на основе бескорпусного ДБШ (диода с балочными выводами (ДБВ)), помещенного в ВЩЛ, описана в работе [3]. Эта конструкция взята в качестве прототипа.
Согласно [3] детектор выполнен с использованием односторонней симметричной ВЩЛ, сформированной на материале Ф4-МБСФ-2 (толщина фторопластовой пленки - 0.13 мм, толщина металлической фольги - 0.35 мм). Диод крепился в узкой части (0.1 мм) ВЩЛ с помощью проводящего клея с низкой температурой полимеризации (120°С) и согласовывался с волноводом ступенчатым трансформатором, являющимся продолжением ВЩЛ. За диодом монтировалась короткозамыкающая перемычка, которая вместе с двумя конденсаторами достаточно большой емкости обеспечивала полное замыкание щелевой линии на рабочих частотах детектора. Расстояние между диодом и короткозамыкателем выбиралось из условия резонанса четвертьволнового отрезка линии, нагруженного емкостью диода. Отрезок линии за короткозамыкателем заполнялся поглощающим материалом для исключения возможности его резонанса. Описанная конструкция позволила создать широкополосные детекторы с высокой чувствительностью. А переход к ВЩЛ на основе полиамидной пленки толщиной 40 мкм позволил существенно повысить чувствительность детектора.
Целью предлагаемого технического решения является упрощение конструкции волноводного детекторного модуля и повышение его механической прочности. Эта цель достигается тем, что корпус модуля разделен не вдоль (т.е. не в Е-плоскости), а перпендикулярно волноводному каналу на две половинки; первая половинка имеет сквозной волноводный канал, часть которого имеет гантелевидную форму, согласующийся со стандартным сечением волновода и заполненный специальным пеноматериалом с малыми потерями, а вторая половинка корпуса с подобным волноводным каналом, также заполненным пеноматериалом, оканчивается согласующей заглушкой, являющейся частью корпуса; в узкой части гантелевидного канала второй половинки корпуса установлен диод, один вывод которого непосредственно присоединен к корпусу, а второй вывод изолирован и соединен с выходом детектора; первая половинка корпуса непосредственно крепится на второй и окончательно фиксирует положение диода.
Упрощение конструкции связано прежде всего с тем, что разделение модуля перпендикулярно волноводному каналу позволяет заменить прямоугольный волноводный канал на гантелевидный, значительно более простой в изготовлении, поскольку для его создания используется в основном сверление вместо фрезерования. Как известно, глубокое фрезерование малых волноводных каналов, соответствующих коротковолновой части миллиметрового диапазона длин волн, является трудоемкой и сложной задачей.
Далее, упрощение достигается заменой диодной вставки на диод с балочными выводами, поскольку при этом исключаются изготовление и сборка диодной вставки, описанная выше. Вместо этого в зауженном (благодаря гантелевидной форме) канале монтируется только диод с балочными выводами. При этом согласование диода с волноводным каналом, которое в прототипе достигается конструкцией диодной вставки, реализуемой оператором при изготовлении модуля, в нашем случае достигается созданием согласованной заглушки непосредственно в корпусе, который изготавливается по заданной программе. Элементами согласования являются в основном ширина перемычки гантелевидного волновода и величина углубления в перемычке под ДБШ.
Прочность конструкции значительно повышается за счет использования заполнения волноводного канала пеноматериалом с использованием способа, описанного в [4]. Заполнение происходит в результате вспенивания материала ПЭН-И (ТУ 6-05-5088-76) (пенопласт-полуфабрикат) при определенном режиме его термической обработки. При этом детекторный диод (ДБШ с балочными выводами) в результате сборки оказывается зажатым между двумя половинками корпуса с волноводными каналами, заполненными пеноматериалом. Это практически обеспечивает герметичность конструкции и высокую механическую прочность, способность выдерживать удары с ускорением более 20000 g.
Сущность изобретения поясняется нижеследующими чертежами.
На фиг.1 представлена 1-я (верхняя) половинка корпуса волноводного детекторного модуля.
На фиг.2 представлена 2-я половинка корпуса волноводного детекторного модуля (основание) и увеличенная область волноводного канала, заполненного пеноматериалом; на перемычке канала смонтирован диод с барьером Шоттки с балочными выводами.
На фиг.3 представлен волноводный детекторный модуль в сборке.
Ниже приводится пример реализации предлагаемой конструкции волноводного детекторного модуля миллиметрового диапазона длин волн.
Волноводный корпус детектора состоит из двух половинок 1 (верхняя половинка) и 2 (основание). Совмещение половинок корпуса происходит с помощью штифтов 3 и отверстий под них 4, а скрепление осуществляется с помощью винтовых соединений 5. Подсоединение детектора к волноводу осуществляется с помощью расположенных по периметру обеих половинок четырех сквозных отверстий 6. Волноводный канал в половинке 1 является сквозным, а в половинке 2 оканчивается заглушкой (короткозамыкателем). Часть волноводного канала в половинке 1 и волноводный канал в половинке 2 имеют гантелевидную форму. Гантелевидный канал имеет в области перемычки (на половинке 2) выемку небольшой глубины 8 для размещения ДБШ. Один из выводов ДБШ приклеивается проводящим клеем непосредственно к корпусу, а для размещения второго служат специально созданные на обеих половинках волновода выемки 9. На части внутренних поверхностей обеих половинок корпуса сформированы полости 10, предназначенные для размещения в них фильтра и цепи питания, а при необходимости и других элементов, например, для согласования диода с нагрузкой. Глубина волноводного канала без перемычки 11 в половинке 1, а также ширина перемычки гантелевидного волновода выполняют функцию элементов согласования диода со стандартным (прямоугольным) сечением волновода. Отверстия 12 служат для размещения в них коаксиальных выводов (типа "слезка") продетектированного сигнала и для подачи смещения на диод.
Корпус обычно изготавливают металлообработкой из латуни и покрывают гальванически слоем никеля толщиной около 6 мкм. Перед монтажом ДБШ на половинке 2 волноводные каналы обеих половинок корпуса с помощью несложной оснастки заполняются порошком ПЭН-01. В результате выдержки в печи в течение 2 часов при 80°С и в течение 6 часов при 120°С происходит вспенивание порошка, и каналы заполняются пеноматериалом 13. Излишки пеноматериала, выступающие за пределы корпуса, аккуратно удаляются. ДБШ с балочными выводами 14 на основе ni-n+-n-CaAs монтируется в специальной выемке 8 в перемычке гантелевидного канала. Один из выводов ДБШ (катодный) 15 приклеивается проводящим клеем непосредственно к корпусу. А второй вывод ДБШ 16 размещается и изолируется с помощью односторонне металлизированной полиимидной пленки в специально созданных на обеих половинках волновода выемках 9.
После соединений второго вывода ДБШ с выводом продетектированного сигнала 17 и выводом смещения 18 половинки волноводов соединяются между собой с помощью направляющих штифтов и закрепляются винтами. Земляной вывод устройства, к которому подключается детектор, соединяется непосредственно с корпусом детекторного модуля. Малая толщина балочного вывода ДБШ 15, лежащего непосредственно на половинке 2 корпуса (<12 мкм), не является препятствием для плотного контакта между двумя половинками корпуса, обеспечивающего достаточную герметичность корпуса.
Проведенные испытания на устойчивость детекторных модулей к воздействию влаги (21 сутки, 35°С, 100% влажность) показали, что такие модули сохраняют работоспособность без дополнительных мер защиты.
ЛИТЕРАТУРА
1. Кристаллические детекторы. Перевод с англ. Под ред. Е.Я.Пумпера. М., Сов. радио, 1950.
2. P.J. Meier. Integrated finline: the second decade. Microwave J., 1985, v.28, N11, Nov., p.31; N12, Dec., p.30.
3. Павловский О.П., Бляшко Ю.Р., Душева Л.Н. Детекторные устройства миллиметрового диапазона на диодах Шоттки. Техника средств связи. Сер. Радиоизмерительная техника, 1991, вып.4, с.З.
4. Способ заполнения пеноматериалом волноводов СВЧ волноводных модулей, от 14 мая 1990 г. А.С.№1832349. Приоритет от 14 мая 1990 г. Авторы: С.Н.Днепровский, Э.В.Авдошина и В.А.Геннеберг.

Claims (2)

1. Детекторный СВЧ-модуль на основе диода с барьером Шоттки с балочными выводами (далее просто диода), размещенного непосредственно в волноводном канале волноводного корпуса, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и сборки модуля и повышения его прочности и надежности, корпус разделен перпендикулярно волноводному каналу на две половинки; первая половинка имеет сквозной волноводный канал, часть которого имеет гантелевидную форму, согласующийся со стандартным сечением волновода и заполненный специальным пеноматериалом с малыми потерями; вторая половинка корпуса с гантелевидным волноводным каналом, также заполненным пеноматериалом, оканчивается согласующей заглушкой, являющейся частью корпуса; в узкой части гантелевидного канала второй половинки корпуса установлен диод, один вывод которого непосредственно присоединен к корпусу, а второй вывод изолирован и соединен с выходом детектора; первая половинка корпуса непосредственно крепится на второй и окончательно фиксирует положение диода.
2. Детекторный СВЧ-модуль по п.1, отличающийся тем, что второй вывод диода соединен с выходом детектора с помощью односторонне металлизированной полиамидной пленки, закрепленной в специальном углублении корпуса; первая половина корпуса также имеет симметричное углубление для изоляции второго вывода диода.
RU2008101722/09A 2008-01-16 2008-01-16 Волноводный детекторный модуль миллиметрового диапазона длин волн RU2345450C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008101722/09A RU2345450C1 (ru) 2008-01-16 2008-01-16 Волноводный детекторный модуль миллиметрового диапазона длин волн

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008101722/09A RU2345450C1 (ru) 2008-01-16 2008-01-16 Волноводный детекторный модуль миллиметрового диапазона длин волн

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2345450C1 true RU2345450C1 (ru) 2009-01-27

Family

ID=40544393

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008101722/09A RU2345450C1 (ru) 2008-01-16 2008-01-16 Волноводный детекторный модуль миллиметрового диапазона длин волн

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2345450C1 (ru)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2457588C1 (ru) * 2011-05-04 2012-07-27 Федеральное государственное унитарное предприятие федеральный научно-производственный центр "Производственное объединение "Старт" им. М.В. Проценко" (ФГУП ФНПЦ ПО "Старт" им. М.В. Проценко") Детектор свч
RU2475901C2 (ru) * 2011-01-12 2013-02-20 Федеральное государственное унитарное предприятие федеральный научно-производственный центр "Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова" Способ герметизации волноводных свч-устройств
RU2524847C1 (ru) * 2013-04-05 2014-08-10 Открытое акционерное общество Центральное конструкторское бюро аппаратостроения" Детекторная головка
RU2587405C2 (ru) * 2014-05-05 2016-06-20 Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского" Низкоразмерный свч фотонный кристалл
RU180101U1 (ru) * 2018-03-22 2018-06-04 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт Приборостроения имени В.В. Тихомирова" СВЧ смеситель
RU2692933C1 (ru) * 2018-01-30 2019-06-28 Общество с ограниченной ответственностью "Конструкторское бюро "Автономные информационные системы" (ООО "КБ "АИС") Волноводный детектор миллиметрового диапазона длин волн
RU2693868C1 (ru) * 2018-12-07 2019-07-05 Акционерное общество "Научно-производственная фирма "Микран" Диодный детектор мощности сигналов сверхвысоких частот
RU191761U1 (ru) * 2019-05-08 2019-08-21 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт Приборостроения имени В.В. Тихомирова" Детекторная секция

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ПАВЛОВСКИЙ О.П. и др. Детекторные устройства миллиметрового диапазона на диодах Шоттки. - Техника средств связи. Радиоизмерительная техника, 1991, вып.4, с.3. *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2475901C2 (ru) * 2011-01-12 2013-02-20 Федеральное государственное унитарное предприятие федеральный научно-производственный центр "Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова" Способ герметизации волноводных свч-устройств
RU2457588C1 (ru) * 2011-05-04 2012-07-27 Федеральное государственное унитарное предприятие федеральный научно-производственный центр "Производственное объединение "Старт" им. М.В. Проценко" (ФГУП ФНПЦ ПО "Старт" им. М.В. Проценко") Детектор свч
RU2524847C1 (ru) * 2013-04-05 2014-08-10 Открытое акционерное общество Центральное конструкторское бюро аппаратостроения" Детекторная головка
RU2587405C2 (ru) * 2014-05-05 2016-06-20 Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского" Низкоразмерный свч фотонный кристалл
RU2692933C1 (ru) * 2018-01-30 2019-06-28 Общество с ограниченной ответственностью "Конструкторское бюро "Автономные информационные системы" (ООО "КБ "АИС") Волноводный детектор миллиметрового диапазона длин волн
RU180101U1 (ru) * 2018-03-22 2018-06-04 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт Приборостроения имени В.В. Тихомирова" СВЧ смеситель
RU2693868C1 (ru) * 2018-12-07 2019-07-05 Акционерное общество "Научно-производственная фирма "Микран" Диодный детектор мощности сигналов сверхвысоких частот
WO2020117101A1 (ru) * 2018-12-07 2020-06-11 Акционерное общество "Научно-производственная фирма "Микран" Диодный детектор мощности сигналов сверхвысоких частот
RU191761U1 (ru) * 2019-05-08 2019-08-21 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт Приборостроения имени В.В. Тихомирова" Детекторная секция

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2345450C1 (ru) Волноводный детекторный модуль миллиметрового диапазона длин волн
TWI388835B (zh) 測試系統以及被測試元件單元
TWI491189B (zh) A millimeter wave test fixture for an integrated circuit device
CN108886190B (zh) 用于rf信号的滤波器和用于测量无源互调pim的测试台
Kent Nondestructive permittivity measurement of substrates
EP3077773B1 (en) Consumption meter comprising a foldable printed circuit board assembly
FI87409B (fi) Anordning och foerfarande foer koppling av en mikrolamellkrets till en haolrumsresonator.
EP3867971B1 (en) A contactless antenna measurement device
JP2004325306A (ja) 検査用同軸プローブおよびそれを用いた検査ユニット
CN110859037A (zh) 电磁波屏蔽箱
Rano et al. Extremely compact EBG‐backed antenna for smartwatch applications in medical body area network
CN104865449A (zh) 基于波导多谐基片集成振腔法的介质基片测量装置及方法
EP3791233A1 (en) Compact millimeter wave system
ES2334566T3 (es) Transicion de microcinta a guia de onda para ondas milimetricas incorporadas en una tarjeta de circuitos impresos multicapas.
CN114709579B (zh) 一种片上集成太赫兹功能芯片的波导封装
JP2022519362A (ja) 接続モジュール
Shang et al. Measurements of micromachined submillimeter waveguide circuits
KR20170093075A (ko) 반도체 검사용 자동 검사 장비의 단일 플랜지를 가진 다중 도파관 구조물
RU2366034C2 (ru) Способ создания волноводного свч модуля
Schulz et al. A broadband circular waveguide-to-microstrip transition for an 80 GHz FMCW radar system
Bonnet et al. 3D packaging technology for integrated antenna front-ends
Matsui A wide-band FET antenna and its calibration
Peverini et al. Passive devices for antenna multi-feed systems operating at Q and W band
US9410997B2 (en) Crystal unit and method of measuring characteristics of the crystal unit
JP6288447B2 (ja) 高周波導電率測定用装置及び高周波導電率測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20210117