RU2327974C1 - Устройство для измерения дефектности оптических носителей - Google Patents

Устройство для измерения дефектности оптических носителей Download PDF

Info

Publication number
RU2327974C1
RU2327974C1 RU2006142269/28A RU2006142269A RU2327974C1 RU 2327974 C1 RU2327974 C1 RU 2327974C1 RU 2006142269/28 A RU2006142269/28 A RU 2006142269/28A RU 2006142269 A RU2006142269 A RU 2006142269A RU 2327974 C1 RU2327974 C1 RU 2327974C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
output
input
optic
diaphragm
optical
Prior art date
Application number
RU2006142269/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Петрович Гаврилин (RU)
Александр Петрович Гаврилин
Владислав Викторович Котов (RU)
Владислав Викторович Котов
Евгений Васильевич Ларкин (RU)
Евгений Васильевич Ларкин
Алексей Кириллович Талалаев (RU)
Алексей Кириллович Талалаев
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Тульский государственный университет (ТулГУ)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Тульский государственный университет (ТулГУ) filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Тульский государственный университет (ТулГУ)
Priority to RU2006142269/28A priority Critical patent/RU2327974C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2327974C1 publication Critical patent/RU2327974C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

Устройство для измерения дефектности оптических носителей, в состав которого входят узел осветителя, оптический носитель, объектив, имеющий оптическую связь с многоэлементным фотоприемником, вход и выход которого подключен к первому выходу и первому входу блока управления, второй выход которого подключены ко входу привода, отличающееся тем, что в устройство введены оперативное запоминающее устройство, вход и выход которого подключены к третьему выходу и второму входу блока управления, диффузный оптический фильтр и диафрагма, закрепленные на валу, подсоединенном к приводу и расположенном параллельно главной оптической оси, по его противоположным сторонам таким образом, что плоскости диффузного оптического фильтра и диафрагмы перпендикулярны оси вала, а координаты закрепления диффузного оптического фильтра и диафрагмы таковы, что диффузный оптический фильтр расположен между узлом осветителя и оптическим носителем, а диафрагма расположена перед входным зрачком объектива. 4 ил.

Description

Изобретение относится к средствам измерения и может быть использовано для выявления центров диффузного рассеяния светового потока в оптических носителях информации, в частности для выявления царапин поверхностного слоя микрофильма.
Измерительные устройства на основе многоэлементных фоточувствительных приборов известны (см. патент (РФ) №2024941 / В.М.Игнатьев, Е.В.Ларкин, Н.И.Савин. Устройство для считывания информации с фотоносителя. - МПК6 G06К 11/00 / - 15.12.94. - Бюл. №23). В известное устройство входят узел осветителя, носитель информации, объектив, имеющий оптическую связь с многоэлементным фотоприемником, вход и выход которого подключены к первому выходу и первому входу блока управления, второй выход которого подключен ко входу привода.
К недостаткам известного устройства относится то, что оно не позволяет выделять центры диффузного рассеяния света на микрофильме, что не позволяет использовать его в качестве устройства для определения степени изношенности поверхностей.
Из известных устройств наиболее близким по технической сущности заявляемому (прототипом) является устройство по а.с. №1726989 (СССР) / В.М.Игнатьев, Е.В.Ларкин. Устройство для измерения диаметров изделий кольцевой формы. - МПК6 G01В 20/00. - 15.04.92. - Бюл. №14. В известное устройство также входит узел осветителя, оптический носитель, объектив, имеющий оптическую связь с многоэлементным фотоприемником, вход и выход которого подключены к первому выходу и первому входу блока управления, второй выход которого подключен ко входу привода.
Прототип имеет те же недостатки, что и аналоги.
Задачей изобретения является создание устройства, позволяющего выделять на оптических носителях дефекты поверхностных слоев и обеспечивать их количественную оценку.
Указанная цель достигается тем, что в устройство для измерения дефектности оптических носителей, в состав которого входят узел осветителя, оптический носитель, объектив, имеющий оптическую связь с многоэлементным фоточувствительным прибором, вход и выход которого подключены к первому выходу и первому входу блока управления, второй выход которого подключен ко входу привода, введены оперативное запоминающее устройство, вход и выход которого подключены к третьему выходу и второму входу блока управления, диффузный оптический фильтр и диафрагма, закрепленные на валу, подсоединенном к приводу и расположенном параллельно главной оптической оси, по его противоположным сторонам таким образом, что плоскости диффузного фильтра и диафрагмы перпендикулярны оси вала, а координаты закрепления диффузного фильтра и диафрагмы таковы, что диффузный фильтр располагается между узлом осветителя и оптическим носителем, а диафрагма располагается перед входным зрачком объектива.
Сущность изобретения поясняется чертежами:
на фиг.1 приведена функциональная схема устройства с первым положением вала;
на фиг.2 приведена функциональная схема устройства со вторым положением вала;
на фиг.3 показан ход лучей, когда световой поток перекрывается диффузным оптическим фильтром;
на фиг.4 показан ход лучей, когда световой поток перекрывается диафрагмой.
В состав устройства входят узел осветителя 1, включающий источник света 2, располагаемый в фокусе рефлектора 3, и конденсор 4. Оптический носитель 5 информации расположен в предметной плоскости объектива 6, в плоскости изображения которого расположен многоэлементный фоточувствительный прибор 7, диффузный оптический фильтр 8 и диафрагма 9, закрепленные на валу 10, имеющем механическую связь с приводом 11, подключенным к выходу блока управления 12, к другим входам и выходам которого подключены многоэлементный фоточувствительный прибор 7 и оперативное запоминающее устройство 13. Вал 10 с закрепленными на нем диффузным оптическим фильтром 8 и диафрагмой 9 закреплен в подшипнике 14; оптический носитель с дефектом поверхности 15.
Устройство работает следующим образом. Носитель информации 5 помещают в предметную плоскость объектива 6. Узел осветителя 1 за счет использования параболического рефлектора 3 и полусферического конденсора 4 формирует световой поток в предметной плоскости объектива 6, близкий к когерентному. Сканирование оптического носителя 5 и измерение оптической плотности в точках сканирования осуществляется в два этапа. На первом этапе с блока управления 12 на привод 11 подается сигнал, согласно которому вал 10 поворачивается в такое положение, что прикрепленный к валу 10 диффузный оптический фильтр 8 перекрывает световой поток с узла осветителя 1. Привод может быть сделан в виде шагового двигателя с трехфазным управлением. В этом случае позиционирование диффузного оптического фильтра 8 осуществляется по количеству импульсов, поданных на входы шагового двигателя.
Вследствие диффузных свойств оптического фильтра 8 световой поток узла осветителя 1 перестает быть когерентным и рассеивается в пространстве. В результате дефекты поверхности, вызывающие дополнительную диффузию, не оказывают влияния на результаты измерения оптической плотности оптического носителя информации 5. Результаты измерения оптической плотности через блок управления 12 записываются в оперативное запоминающее устройство 13, где формируется матрица (dij), называемая матрицей пикселей.
По окончании сканирования с блока управления 12 подается сигнал на привод 11, согласно которому вал 10 поворачивается в такое положение, при котором с пути распространения света убирается диффузный оптический фильтр 8, а входной зрачок объектива 6 перекрывается диафрагмой 9. При этом часть светового потока рассеивается на изношенных поверхностях оптического носителя. В результате дефекты поверхности вызывают диффузию изначально когерентного светового потока, меньшая его часть попадает во входной зрачок объектива, и дефекты поверхности носителя информации 5 становятся контрастными. Результаты повторного сканирования оптического носителя 5 (cnk) с наложением диафрагмы 9 сравниваются в блоке управления с результатами, хранящимися в оперативном запоминающем устройстве.
Важным моментом, определяющим эффективность функционирования устройства, является способ сопоставления матриц (dnk) и (сnk). Очевидно, что прямое поэлементное сопоставление матриц неэффективно по следующим причинам:
дрейф параметров узла осветителя 1 и электрического многоэлементного фоточувствительного прибора 7;
возможное механическое смещение оптической оси в момент замены диффузного фильтра 8 на диафрагму 9.
Процедура сопоставления матриц (dnk) и (сnk) осуществляется путем формирования гистограмм результатов измерений Pd=(pd1, pd2,..., pdi, ..., pdL(D)) и Pc=(pc1, pс2, ..., pci, ..., pcL(D)) no указанным матрицам как по простым статистическим рядам. После этого осуществляется наложение гистограммы Pd на гистограмму Рc и вычисляется сумма
Figure 00000002
Далее одна из гистограмм смещается относительно другой таким образом, чтобы величина ε была минимальна. Найденный минимум ошибки ε и является оценкой величины изношенности оптического носителя информации 5.
Предлагаемое устройство просто в эксплуатации и способно производить оценку изношенности поверхности оптических носителей информации за короткое время, определяемое временем двойного сканирования многоэлементным фоточувствительным прибором с достаточной для практических целей точностью.

Claims (1)

  1. Устройство для измерения дефектности оптических носителей, в состав которого входят узел осветителя, оптический носитель, объектив, имеющий оптическую связь с многоэлементным фотоприемником, вход и выход которого подключен к первому выходу и первому входу блока управления, второй выход которого подключен ко входу привода, отличающееся тем, что в устройство введены оперативное запоминающее устройство, вход и выход которого подключены к третьему выходу и второму входу блока управления, диффузный оптический фильтр и диафрагма, закрепленные на валу, подсоединенном к приводу и расположенном параллельно главной оптической оси по его противоположным сторонам таким образом, что плоскости диффузного оптического фильтра и диафрагмы перпендикулярны оси вала, а координаты закрепления диффузного оптического фильтра и диафрагмы таковы, что диффузный оптический фильтр расположен между узлом осветителя и оптическим носителем, а диафрагма расположена перед входным зрачком объектива.
RU2006142269/28A 2006-11-29 2006-11-29 Устройство для измерения дефектности оптических носителей RU2327974C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006142269/28A RU2327974C1 (ru) 2006-11-29 2006-11-29 Устройство для измерения дефектности оптических носителей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006142269/28A RU2327974C1 (ru) 2006-11-29 2006-11-29 Устройство для измерения дефектности оптических носителей

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2327974C1 true RU2327974C1 (ru) 2008-06-27

Family

ID=39680178

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006142269/28A RU2327974C1 (ru) 2006-11-29 2006-11-29 Устройство для измерения дефектности оптических носителей

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2327974C1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI582409B (zh) 用於檢測置於影像感測器上之樣品中顆粒之無透鏡成像系統與方法
CN107076964B (zh) 基于图像的激光自动聚焦系统
US8039776B2 (en) Quantitative differential interference contrast (DIC) microscopy and photography based on wavefront sensors
JP5032114B2 (ja) パターン化ウェハまたは非パターン化ウェハおよびその他の検体の検査システム
US9151694B2 (en) System and method of high resolution fiber optic inspection
KR101022769B1 (ko) 바이오칩용 광검출 장치
TW201706593A (zh) 在雷射暗場系統中用於斑點抑制之方法及裝置
US20110204256A1 (en) High-speed cellular cross sectional imaging
JP5519106B2 (ja) 能力が向上した表面検査システム
CN105247347A (zh) 关于方位角的表面特征
US10677739B2 (en) Method and apparatus for inspecting defects on transparent substrate
CN105358961A (zh) 表面特征管理器
CN116735158A (zh) 透镜图像产生系统及屈光能力和厚度确定与缺陷检测方法
TW201443390A (zh) 檢閱一彎曲樣本邊緣之系統及方法
US10209203B2 (en) Wafer inspection apparatus and wafer inspection method
US9506873B2 (en) Pattern suppression in logic for wafer inspection
KR20150133259A (ko) 복수의 선택가능한 스펙트럼 대역을 갖는 병렬 이미징 경로를 포함하는 검사 시스템
CN104501946A (zh) 用于测量高强度光束的系统和方法
US9958319B2 (en) Method and device for determining a critical angle of an excitation light beam
US20220413276A1 (en) Reflective fourier ptychography imaging of large surfaces
RU2327974C1 (ru) Устройство для измерения дефектности оптических носителей
EP3594665A1 (en) Optical inspection device and method
CN114223017A (zh) 用于dram及3d nand装置的设计辅助检验
TW200907325A (en) Foreign substance inspection apparatus
CN116046799A (zh) 一种暗场照明装置和照明方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20081130