RU2327974C1 - Устройство для измерения дефектности оптических носителей - Google Patents
Устройство для измерения дефектности оптических носителей Download PDFInfo
- Publication number
- RU2327974C1 RU2327974C1 RU2006142269/28A RU2006142269A RU2327974C1 RU 2327974 C1 RU2327974 C1 RU 2327974C1 RU 2006142269/28 A RU2006142269/28 A RU 2006142269/28A RU 2006142269 A RU2006142269 A RU 2006142269A RU 2327974 C1 RU2327974 C1 RU 2327974C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- output
- input
- optic
- diaphragm
- optical
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Устройство для измерения дефектности оптических носителей, в состав которого входят узел осветителя, оптический носитель, объектив, имеющий оптическую связь с многоэлементным фотоприемником, вход и выход которого подключен к первому выходу и первому входу блока управления, второй выход которого подключены ко входу привода, отличающееся тем, что в устройство введены оперативное запоминающее устройство, вход и выход которого подключены к третьему выходу и второму входу блока управления, диффузный оптический фильтр и диафрагма, закрепленные на валу, подсоединенном к приводу и расположенном параллельно главной оптической оси, по его противоположным сторонам таким образом, что плоскости диффузного оптического фильтра и диафрагмы перпендикулярны оси вала, а координаты закрепления диффузного оптического фильтра и диафрагмы таковы, что диффузный оптический фильтр расположен между узлом осветителя и оптическим носителем, а диафрагма расположена перед входным зрачком объектива. 4 ил.
Description
Изобретение относится к средствам измерения и может быть использовано для выявления центров диффузного рассеяния светового потока в оптических носителях информации, в частности для выявления царапин поверхностного слоя микрофильма.
Измерительные устройства на основе многоэлементных фоточувствительных приборов известны (см. патент (РФ) №2024941 / В.М.Игнатьев, Е.В.Ларкин, Н.И.Савин. Устройство для считывания информации с фотоносителя. - МПК6 G06К 11/00 / - 15.12.94. - Бюл. №23). В известное устройство входят узел осветителя, носитель информации, объектив, имеющий оптическую связь с многоэлементным фотоприемником, вход и выход которого подключены к первому выходу и первому входу блока управления, второй выход которого подключен ко входу привода.
К недостаткам известного устройства относится то, что оно не позволяет выделять центры диффузного рассеяния света на микрофильме, что не позволяет использовать его в качестве устройства для определения степени изношенности поверхностей.
Из известных устройств наиболее близким по технической сущности заявляемому (прототипом) является устройство по а.с. №1726989 (СССР) / В.М.Игнатьев, Е.В.Ларкин. Устройство для измерения диаметров изделий кольцевой формы. - МПК6 G01В 20/00. - 15.04.92. - Бюл. №14. В известное устройство также входит узел осветителя, оптический носитель, объектив, имеющий оптическую связь с многоэлементным фотоприемником, вход и выход которого подключены к первому выходу и первому входу блока управления, второй выход которого подключен ко входу привода.
Прототип имеет те же недостатки, что и аналоги.
Задачей изобретения является создание устройства, позволяющего выделять на оптических носителях дефекты поверхностных слоев и обеспечивать их количественную оценку.
Указанная цель достигается тем, что в устройство для измерения дефектности оптических носителей, в состав которого входят узел осветителя, оптический носитель, объектив, имеющий оптическую связь с многоэлементным фоточувствительным прибором, вход и выход которого подключены к первому выходу и первому входу блока управления, второй выход которого подключен ко входу привода, введены оперативное запоминающее устройство, вход и выход которого подключены к третьему выходу и второму входу блока управления, диффузный оптический фильтр и диафрагма, закрепленные на валу, подсоединенном к приводу и расположенном параллельно главной оптической оси, по его противоположным сторонам таким образом, что плоскости диффузного фильтра и диафрагмы перпендикулярны оси вала, а координаты закрепления диффузного фильтра и диафрагмы таковы, что диффузный фильтр располагается между узлом осветителя и оптическим носителем, а диафрагма располагается перед входным зрачком объектива.
Сущность изобретения поясняется чертежами:
на фиг.1 приведена функциональная схема устройства с первым положением вала;
на фиг.2 приведена функциональная схема устройства со вторым положением вала;
на фиг.3 показан ход лучей, когда световой поток перекрывается диффузным оптическим фильтром;
на фиг.4 показан ход лучей, когда световой поток перекрывается диафрагмой.
В состав устройства входят узел осветителя 1, включающий источник света 2, располагаемый в фокусе рефлектора 3, и конденсор 4. Оптический носитель 5 информации расположен в предметной плоскости объектива 6, в плоскости изображения которого расположен многоэлементный фоточувствительный прибор 7, диффузный оптический фильтр 8 и диафрагма 9, закрепленные на валу 10, имеющем механическую связь с приводом 11, подключенным к выходу блока управления 12, к другим входам и выходам которого подключены многоэлементный фоточувствительный прибор 7 и оперативное запоминающее устройство 13. Вал 10 с закрепленными на нем диффузным оптическим фильтром 8 и диафрагмой 9 закреплен в подшипнике 14; оптический носитель с дефектом поверхности 15.
Устройство работает следующим образом. Носитель информации 5 помещают в предметную плоскость объектива 6. Узел осветителя 1 за счет использования параболического рефлектора 3 и полусферического конденсора 4 формирует световой поток в предметной плоскости объектива 6, близкий к когерентному. Сканирование оптического носителя 5 и измерение оптической плотности в точках сканирования осуществляется в два этапа. На первом этапе с блока управления 12 на привод 11 подается сигнал, согласно которому вал 10 поворачивается в такое положение, что прикрепленный к валу 10 диффузный оптический фильтр 8 перекрывает световой поток с узла осветителя 1. Привод может быть сделан в виде шагового двигателя с трехфазным управлением. В этом случае позиционирование диффузного оптического фильтра 8 осуществляется по количеству импульсов, поданных на входы шагового двигателя.
Вследствие диффузных свойств оптического фильтра 8 световой поток узла осветителя 1 перестает быть когерентным и рассеивается в пространстве. В результате дефекты поверхности, вызывающие дополнительную диффузию, не оказывают влияния на результаты измерения оптической плотности оптического носителя информации 5. Результаты измерения оптической плотности через блок управления 12 записываются в оперативное запоминающее устройство 13, где формируется матрица (dij), называемая матрицей пикселей.
По окончании сканирования с блока управления 12 подается сигнал на привод 11, согласно которому вал 10 поворачивается в такое положение, при котором с пути распространения света убирается диффузный оптический фильтр 8, а входной зрачок объектива 6 перекрывается диафрагмой 9. При этом часть светового потока рассеивается на изношенных поверхностях оптического носителя. В результате дефекты поверхности вызывают диффузию изначально когерентного светового потока, меньшая его часть попадает во входной зрачок объектива, и дефекты поверхности носителя информации 5 становятся контрастными. Результаты повторного сканирования оптического носителя 5 (cnk) с наложением диафрагмы 9 сравниваются в блоке управления с результатами, хранящимися в оперативном запоминающем устройстве.
Важным моментом, определяющим эффективность функционирования устройства, является способ сопоставления матриц (dnk) и (сnk). Очевидно, что прямое поэлементное сопоставление матриц неэффективно по следующим причинам:
дрейф параметров узла осветителя 1 и электрического многоэлементного фоточувствительного прибора 7;
возможное механическое смещение оптической оси в момент замены диффузного фильтра 8 на диафрагму 9.
Процедура сопоставления матриц (dnk) и (сnk) осуществляется путем формирования гистограмм результатов измерений Pd=(pd1, pd2,..., pdi, ..., pdL(D)) и Pc=(pc1, pс2, ..., pci, ..., pcL(D)) no указанным матрицам как по простым статистическим рядам. После этого осуществляется наложение гистограммы Pd на гистограмму Рc и вычисляется сумма
Далее одна из гистограмм смещается относительно другой таким образом, чтобы величина ε была минимальна. Найденный минимум ошибки ε и является оценкой величины изношенности оптического носителя информации 5.
Предлагаемое устройство просто в эксплуатации и способно производить оценку изношенности поверхности оптических носителей информации за короткое время, определяемое временем двойного сканирования многоэлементным фоточувствительным прибором с достаточной для практических целей точностью.
Claims (1)
- Устройство для измерения дефектности оптических носителей, в состав которого входят узел осветителя, оптический носитель, объектив, имеющий оптическую связь с многоэлементным фотоприемником, вход и выход которого подключен к первому выходу и первому входу блока управления, второй выход которого подключен ко входу привода, отличающееся тем, что в устройство введены оперативное запоминающее устройство, вход и выход которого подключены к третьему выходу и второму входу блока управления, диффузный оптический фильтр и диафрагма, закрепленные на валу, подсоединенном к приводу и расположенном параллельно главной оптической оси по его противоположным сторонам таким образом, что плоскости диффузного оптического фильтра и диафрагмы перпендикулярны оси вала, а координаты закрепления диффузного оптического фильтра и диафрагмы таковы, что диффузный оптический фильтр расположен между узлом осветителя и оптическим носителем, а диафрагма расположена перед входным зрачком объектива.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2006142269/28A RU2327974C1 (ru) | 2006-11-29 | 2006-11-29 | Устройство для измерения дефектности оптических носителей |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2006142269/28A RU2327974C1 (ru) | 2006-11-29 | 2006-11-29 | Устройство для измерения дефектности оптических носителей |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2327974C1 true RU2327974C1 (ru) | 2008-06-27 |
Family
ID=39680178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2006142269/28A RU2327974C1 (ru) | 2006-11-29 | 2006-11-29 | Устройство для измерения дефектности оптических носителей |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2327974C1 (ru) |
-
2006
- 2006-11-29 RU RU2006142269/28A patent/RU2327974C1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI582409B (zh) | 用於檢測置於影像感測器上之樣品中顆粒之無透鏡成像系統與方法 | |
CN107076964B (zh) | 基于图像的激光自动聚焦系统 | |
US8039776B2 (en) | Quantitative differential interference contrast (DIC) microscopy and photography based on wavefront sensors | |
JP5032114B2 (ja) | パターン化ウェハまたは非パターン化ウェハおよびその他の検体の検査システム | |
US9151694B2 (en) | System and method of high resolution fiber optic inspection | |
KR101022769B1 (ko) | 바이오칩용 광검출 장치 | |
TW201706593A (zh) | 在雷射暗場系統中用於斑點抑制之方法及裝置 | |
US20110204256A1 (en) | High-speed cellular cross sectional imaging | |
JP5519106B2 (ja) | 能力が向上した表面検査システム | |
CN105247347A (zh) | 关于方位角的表面特征 | |
US10677739B2 (en) | Method and apparatus for inspecting defects on transparent substrate | |
CN105358961A (zh) | 表面特征管理器 | |
CN116735158A (zh) | 透镜图像产生系统及屈光能力和厚度确定与缺陷检测方法 | |
TW201443390A (zh) | 檢閱一彎曲樣本邊緣之系統及方法 | |
US10209203B2 (en) | Wafer inspection apparatus and wafer inspection method | |
US9506873B2 (en) | Pattern suppression in logic for wafer inspection | |
KR20150133259A (ko) | 복수의 선택가능한 스펙트럼 대역을 갖는 병렬 이미징 경로를 포함하는 검사 시스템 | |
CN104501946A (zh) | 用于测量高强度光束的系统和方法 | |
US9958319B2 (en) | Method and device for determining a critical angle of an excitation light beam | |
US20220413276A1 (en) | Reflective fourier ptychography imaging of large surfaces | |
RU2327974C1 (ru) | Устройство для измерения дефектности оптических носителей | |
EP3594665A1 (en) | Optical inspection device and method | |
CN114223017A (zh) | 用于dram及3d nand装置的设计辅助检验 | |
TW200907325A (en) | Foreign substance inspection apparatus | |
CN116046799A (zh) | 一种暗场照明装置和照明方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20081130 |