RU2309381C1 - Device for determining coordinates of object - Google Patents

Device for determining coordinates of object Download PDF

Info

Publication number
RU2309381C1
RU2309381C1 RU2006104076/28A RU2006104076A RU2309381C1 RU 2309381 C1 RU2309381 C1 RU 2309381C1 RU 2006104076/28 A RU2006104076/28 A RU 2006104076/28A RU 2006104076 A RU2006104076 A RU 2006104076A RU 2309381 C1 RU2309381 C1 RU 2309381C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
output
input
counter
divider
matrix
Prior art date
Application number
RU2006104076/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Василий Васильевич Ефанов (RU)
Василий Васильевич Ефанов
Сергей Михайлович Мужичек (RU)
Сергей Михайлович Мужичек
Александр Юрьевич Горшенин (RU)
Александр Юрьевич Горшенин
Original Assignee
Василий Васильевич Ефанов
Сергей Михайлович Мужичек
Александр Юрьевич Горшенин
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Василий Васильевич Ефанов, Сергей Михайлович Мужичек, Александр Юрьевич Горшенин filed Critical Василий Васильевич Ефанов
Priority to RU2006104076/28A priority Critical patent/RU2309381C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2309381C1 publication Critical patent/RU2309381C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

FIELD: measuring technique.
SUBSTANCE: device comprises self-collimating optical system (2) that forms an image of cross-shaped light source (3) on matrix (4) of photodetectors. The position of the image is determined by rotation angle of mirror (1) connected with the object. Commutator (5) reads signal from matrix (4). Correlator (6) and amplitude comparator (7) determine the column number in which the signal varies, and using this number, counter (8) records the measured value in relative coordinates. The signal is supplied to the input of shift recorder (10) from the output of commutator (5) and to the first and second outputs of AND circuit (13) from the first and second outputs of the recorder directly and through AND-NOT circuit (11), respectively. The signal is fed to the third input of AND circuit (13) from the output of generator (12), and to the first inputs of first (15) and second (16) dividers from the output of the AND circuit. The signal is supplied to the second input of first divider (15) from the output of first counter (8), and to the second input of second divider (16) from the output of first divider (15). The signals supplied from the output of first divider (15) and second divider (16) are proportional to the values of velocity and acceleration of movement of the object.
EFFECT: enhanced precision.
5 dwg

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерений малых линейных, угловых перемещений, скоростей и ускорений.The invention relates to measuring technique and can be used for measuring small linear, angular displacements, speeds and accelerations.

Наиболее близким к изобретению является устройство для определения координат положения объекта, содержащее зеркало, связываемое с объектом, автоколлимационную оптическую систему, крестообразный источник излучения, связываемый с объектом, установленную по ходу светового луча прямоугольную матрицу фотоприемников и схему регистрации, подключенную к прямоугольной матрице, при этом схема регистрации выполнена в виде последовательно соединенных коммутатора, коррелятора, амплитудного компаратора и первого счетчика, блока управления, первый вход которого соединен с управляющим входом коммутатора, а второй - с управляющим входом первого счетчика, выход которого является выходами угловых координат положений объекта в двух плоскостях, источник излучения и матрица фотоприемников развернуты так, что ось симметрии матрицы фотоприемников и сторона источника излучения образуют острый угол, причем тангенс угла, образованного осью симметрии матрицы и стороной источника излучения, выбран кратным отношению расстояния между строками или столбцами матрицы к длине строки или столбца (Авторское свидетельство СССР №1483254, кл. G01B 21/00, 30.05.1989 г.).Closest to the invention is a device for determining the position coordinates of an object, comprising a mirror coupled to the object, an autocollimation optical system, a cross-shaped radiation source connected to the object, a rectangular array of photodetectors and a registration circuit connected to the rectangular array installed along the light beam, while the registration scheme is made in the form of series-connected commutator, correlator, amplitude comparator and first counter, control unit, trans the output of which is connected to the control input of the switch, and the second to the control input of the first counter, the output of which is the outputs of the angular coordinates of the positions of the object in two planes, the radiation source and the photodetector array are rotated so that the axis of symmetry of the photodetector matrix and the side of the radiation source form an acute angle moreover, the tangent of the angle formed by the axis of symmetry of the matrix and the side of the radiation source is a multiple of the ratio of the distance between rows or columns of the matrix to the length of the row or column TSA (USSR Author's Certificate No. 1483254, cl. G01B 21/00, 05/30/1989).

Недостатком данного устройства является невозможность определения угловых скоростей и ускорений перемещений объекта.The disadvantage of this device is the inability to determine the angular velocities and accelerations of the object.

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей за счет измерения угловых координат, значения скорости и ускорения перемещения объекта.The purpose of the invention is the expansion of functionality by measuring angular coordinates, speed values and accelerating the movement of an object.

Сущность изобретения заключается в том, что в устройстве для определения координат положения объекта, содержащее зеркало, связываемое с объектом, автоколлимационную оптическую систему, крестообразный источник излучения, связываемый с объектом, установленную по ходу светового луча прямоугольную матрицу фотоприемников и схему регистрации, подключенную к прямоугольной матрице, где схема регистрации выполнена в виде последовательно соединенных коммутатора, коррелятора, амплитудного компаратора и первого счетчика, блока управления, первый вход которого соединен с управляющим входом коммутатора, а второй с управляющим входом первого счетчика, выход которого является выходами угловых координат положений объекта в двух плоскостях, при этом источник излучения и матрица фотоприемников развернуты так, что ось симметрии матрицы фотоприемников и сторона источника излучения образуют острый угол, причем тангенс угла, образованного осью симметрии матрицы и стороной источника излучения, выбран кратным отношению расстояния между строками или столбцами матрицы к длине строки или столбца, дополнительно введены сдвиговый регистр, элемент И-НЕ, генератор импульсов, элемент И, второй счетчик, первый и второй делители, причем выход компаратора соединен с входом сдвигового регистра, первый и второй выходы которого соединены соответственно непосредственно с первым и через элемент И-НЕ со вторым входами элемента И, выход генератора импульсов соединен с третьим входом элемента И, выход которого через счетчик соединен одновременно с первыми входами первого и второго делителя, выход первого счетчика соединен со вторым входом первого делителя, выход которого соединен со вторым входом второго делителя, выходы первого счетчика, первого и второго делителей являются соответственно первым, вторым и третьим выходами устройства для определения координат положения объекта.The essence of the invention lies in the fact that in the device for determining the coordinates of the position of the object, containing a mirror coupled to the object, an autocollimation optical system, a cross-shaped radiation source connected to the object, a rectangular array of photodetectors installed along the light beam and a recording circuit connected to the rectangular matrix where the registration circuit is made in the form of series-connected commutator, correlator, amplitude comparator and first counter, control unit, trans the output of which is connected to the control input of the switch, and the second to the control input of the first counter, the output of which is the outputs of the angular coordinates of the positions of the object in two planes, while the radiation source and the photodetector array are rotated so that the axis of symmetry of the photodetector matrix and the side of the radiation source form a sharp angle, and the tangent of the angle formed by the axis of symmetry of the matrix and the side of the radiation source, is a multiple of the ratio of the distance between the rows or columns of the matrix to the length of the row and and the column, an additional shift register, an NAND element, a pulse generator, an And element, a second counter, first and second dividers are introduced, the output of the comparator connected to the input of the shift register, the first and second outputs of which are connected directly to the first and through the And element, respectively -NOT with the second inputs of the element And, the output of the pulse generator is connected to the third input of the element And, the output of which through the counter is connected simultaneously with the first inputs of the first and second divider, the output of the first counter is connected to the second Odom first divider, whose output is connected to a second input of the second divider, the outputs of the first counter, the first and second dividers are respectively first, second and third outputs of the device for determining position coordinates of the object.

Существенными отличительными признаками заявляемого устройства являются сдвиговый регистр, элемент И-НЕ, генератор импульсов, элемент И, второй счетчик, первый и второй делители и новые связи между элементами схемы устройства.Salient features of the claimed device are the shift register, the AND element, the pulse generator, the AND element, the second counter, the first and second dividers, and new connections between the elements of the device circuit.

На фиг.1 приведена блок-схема устройства; на фиг.2 - показан принцип действия автоколлимационной оптической системы; на фиг.3 - матрица фотоприемников и автоколлимационное изображение крестообразного источника излучения; на фиг.4 - матрица фотоприемников, на которой штриховкой показаны фотоприемники, на выходе которых присутствует сигнал; на фиг.5 - временные диаграммы сигналов в разных точках блок-схемы устройства.Figure 1 shows a block diagram of a device; figure 2 - shows the principle of operation of the autocollimation optical system; figure 3 - matrix of photodetectors and autocollimation image of a cross-shaped radiation source; figure 4 - matrix of photodetectors, on which the hatching shows the photodetectors, the output of which there is a signal; figure 5 - timing diagrams of signals at different points in the block diagram of the device.

Устройство содержит зеркало 1, связываемое с объектом, автоколлимационную оптическую систему 2, крестообразный источник 3 излучения и прямоугольную матрицу 4 фотоприемников, размещенные в фокальной плоскости автоколлимационной оптической системы 2, коммутатор 5, коррелятор 6, амплитудный компаратор 7, счетчик 8 и блок 9 управления, сдвиговый регистр 10, элемент И-НЕ 11, генератор 12 импульсов, элемент И 13, второй счетчик 14, первый 15 и второй 16 делитель, причем выход компаратора 5 соединен с входом сдвигового регистра 10, первый и второй выход которого соединен с первым и вторым входами элемента И 13 соответственно непосредственно и через элемент И-НЕ 11, выход генератора 12 импульсов соединен с третьим входом элемента И 13, выход которого через счетчик 14 соединен одновременно с первыми входами первого 15 и второго 16 делителей, выход первого 8 счетчика соединен со вторым входом первого 15 делителя, выход которого соединен со вторым входом второго 16 делителя, выходы первого 8 счетчика, первого 15 и второго 16 делителей являются соответственно первым, вторым и третьим выходами устройства для определения координат положения объекта.The device comprises a mirror 1 connected to the object, an autocollimation optical system 2, a cross-shaped radiation source 3 and a rectangular matrix 4 of photodetectors placed in the focal plane of the autocollimation optical system 2, switch 5, correlator 6, amplitude comparator 7, counter 8 and control unit 9, the shift register 10, the element AND 11, the pulse generator 12, the element 13, the second counter 14, the first 15 and the second 16 divider, and the output of the comparator 5 is connected to the input of the shift register 10, the first and second output of which o connected to the first and second inputs of the element And 13, respectively, directly and through the element AND-NOT 11, the output of the pulse generator 12 is connected to the third input of the element And 13, the output of which through the counter 14 is connected simultaneously with the first inputs of the first 15 and second 16 dividers, the output the first 8 counter is connected to the second input of the first 15 divider, the output of which is connected to the second input of the second 16 divider, the outputs of the first 8 counter, the first 15 and second 16 dividers are respectively the first, second and third outputs of the device for determining Jelenia coordinate position of the object.

Рассмотрим работу устройства на примере определения координат углового положения объекта. В этом случае оптическая связь матрицы и источника излучения осуществляется при помощи автоколлимационной оптической системы, принцип действия которой поясняется фиг.2.Consider the operation of the device on the example of determining the coordinates of the angular position of the object. In this case, the optical coupling of the matrix and the radiation source is carried out using an autocollimation optical system, the principle of which is illustrated in Fig.2.

На фиг.2 изображено зеркало 1, связываемое с объектом, угловое положение • которого подлежит измерению. Возможность поворота по углам α и β условно показана размещением зеркала 1 в осях подвеса. Зеркало 1 находится в поле зрения автоколлимационной оптической системы 2 (показана условно), в фокальной плоскости которой размещены крестообразный источник 3 излучения и матрица 4 фотоприемников.Figure 2 shows a mirror 1 associated with an object whose angular position • to be measured. The ability to rotate at angles α and β is conventionally shown by placing mirror 1 in the axes of the suspension. Mirror 1 is in the field of view of the autocollimation optical system 2 (shown conditionally), in the focal plane of which there is a cross-shaped radiation source 3 and an array of 4 photodetectors.

Световой поток источника 3 проходит через автоколлимационную оптическую систему 2 и попадает на зеркало 1. Отраженный от зеркала 1 световой поток вновь проходит через автоколлимационную оптическую систему 2 и попадает на матрицу 4 фотоприемников, на которой формируется автоколлимационное изображение крестообразного источника 3 излучения (условно показано крестом). При поворотах зеркала 1 на углы α и β изображение источника 3 будет перемещаться по матрице 4 соответственно в горизонтальном и вертикальном направлениях.The light flux of the source 3 passes through the autocollimation optical system 2 and enters the mirror 1. The light flux reflected from the mirror 1 again passes through the autocollimation optical system 2 and enters the photodetector array 4, on which the autocollimation image of the cross radiation source 3 is formed (conventionally shown by the cross) . When the mirror 1 is rotated by the angles α and β, the image of the source 3 will move along the matrix 4 in the horizontal and vertical directions, respectively.

На фиг.3 показан укрупненный вид матрицы 4 фотоприемников и автоколлимационное изображение крестообразного источника излучения.Figure 3 shows an enlarged view of the matrix 4 of the photodetectors and autocollimation image of a cross-shaped radiation source.

Рассмотрим одну из линий креста, например вертикальную. Взаимодействие этой линии с прямоугольной матрицей при их взаимном развороте на угол φ эквивалентно взаимодействию линии без разворота с v матрицей, выполненной в виде трансверсальной сетки, т.е. при перемещении линии сигналы в фотоприемниках будут появляться последовательно в каждом ряду и по номеру ряда, в котором изменяется номер столбца, при этом можно судить об угле поворота. Разрешающая способность будет определяться отношением размера «а» фотоприемника к количеству N рядов.Consider one of the lines of the cross, for example, vertical. The interaction of this line with a rectangular matrix when they are rotated through an angle φ is equivalent to the interaction of a line without a turn with v matrix made in the form of a transverse grid, i.e. when the line is moved, the signals in the photodetectors will appear sequentially in each row and by the number of the row in which the column number changes, and one can judge the rotation angle. The resolution will be determined by the ratio of the size "a" of the photodetector to the number of N rows.

При различных значениях угла φ получается различная разрешающая способность. Изменение разрешающей способности происходит дискретно при таких значениях угла φ, при которых линия креста параллельна диагонали одного или нескольких столбцов матрицы.For different values of the angle φ, a different resolution is obtained. The change in resolution occurs discretely at such values of the angle φ at which the line of the cross is parallel to the diagonal of one or more columns of the matrix.

Целесообразно выбирать тангенс угла разворота кратным отношению расстояния между строками или столбцами матрицы к длине строки или столбца, т.е.It is advisable to choose the tangent of the rotation angle as a multiple of the ratio of the distance between the rows or columns of the matrix to the length of the row or column, i.e.

Figure 00000002
Figure 00000002

где K=1, 2, 3 ... W(M);where K = 1, 2, 3 ... W (M);

a - расстояние между строками (столбцами);a is the distance between the rows (columns);

b - длина строки (столбца);b is the length of the row (column);

N{M) - количество строк (столбцов).N {M) - the number of rows (columns).

При К=1 достигается максимальная разрешающая способность, равная (в случае угловых измерений)When K = 1, the maximum resolution is achieved, equal to (in the case of angular measurements)

Figure 00000003
Figure 00000003

где f - фокусное расстояние объектива.where f is the focal length of the lens.

Аналогично можно определить угловое положение объекта по другой координате.Similarly, you can determine the angular position of the object in a different coordinate.

Коммутатор 5 осуществляет считывание сигналов с фотоприемников матрицы в два приема последовательно по строкам и по столбцам. Коррелятор 6 осуществляет сравнение последовательности сигналов строк или столбцов с эталонным сигналом S(t). Амплитудный компаратор 7 осуществляет сравнение сигнала с коррелятора 6 с пороговым уровнем U пор. Счетчик 8 импульсов подсчитывает импульсы блока 9 управления от момента начала считывания сигналов с фотоприемников по строкам или столбцам до момента его остановки сигналом с амплитудного компаратора 7 и тем самым регистрирует (в относительных единицах) величину углового перемещения.The switch 5 reads the signals from the photodetectors of the matrix in two stages sequentially in rows and columns. The correlator 6 compares the sequence of row or column signals with the reference signal S (t). The amplitude comparator 7 compares the signal from the correlator 6 with a threshold level of U then. The pulse counter 8 counts the pulses of the control unit 9 from the moment the signals from the photodetectors are read in rows or columns until it is stopped by the signal from the amplitude comparator 7 and thereby registers (in relative units) the value of the angular displacement.

Работа схемы регистрации поясняется временными диаграммами, изображенными на фиг.5.The operation of the registration scheme is illustrated by the timing diagrams depicted in figure 5.

Для определения координаты α коммутатор 5 осуществляет считывание сигналов с фотоприемников матрицы 4 по столбцам, начиная с первого в направлении стрелки на фиг.4 (сверху вниз).To determine the coordinate α, the switch 5 reads the signals from the photodetectors of the matrix 4 in columns, starting from the first in the direction of the arrow in figure 4 (from top to bottom).

В корреляторе 6 происходит поразрядное перемножение сигнала Sa с сигналом S(t) и суммирование результатов перемножения, при этом формируется сигнал Ska.In the correlator 6, the bitwise multiplication of the signal S a with the signal S (t) and the summation of the multiplication results, and the signal S ka is formed .

В момент времени ta сигнал Ska достигает максимума, при этом время от начала считывания до момента ta пропорционально координате α. Поскольку импульсы считывания с блока 9 управления идут через равные промежутки времени, то координата α пропорциональна количеству импульсов считывания, выработанных к моменту ta.At time t a, the signal S ka reaches a maximum, while the time from the start of reading to time t a is proportional to the coordinate α. Since the read pulses from the control unit 9 go at regular intervals, the coordinate α is proportional to the number of read pulses generated at time t a .

Момент ta определяется при помощи амплитудного компаратора 7, который вырабатывает сигнал в момент достижения сигналом Ska максимума. Поскольку счетчик импульсов запускается в момент начала считывания, а останавливается сигналом с компаратора 7, то показания Na счетчика 8 импульсов пропорциональны координате α.The moment t a is determined using the amplitude comparator 7, which generates a signal when the signal S ka reaches a maximum. Since the pulse counter starts at the moment of reading and stops with a signal from comparator 7, the readings N a of the pulse counter 8 are proportional to the coordinate α.

Сигнал с выхода коммутатора 5 также поступает на вход сдвигового регистра 10, с первого и второго выхода которого поступает на первый и второй вход элемента И 13, соответственно непосредственно и через элемент И-HE 11, на третий вход поступает сигнал с выхода генератора 12 импульсов, с выхода элемента И 13 сигнал поступает через второй счетчик 14 на первые входы первого 15 и второго 16 делителей, на второй вход первого 15 делителя поступает сигнал с выхода первого 8 счетчика, с выхода первого 15 делителя сигнал поступает на второй вход второго 16 делителя. Сигналы, поступающие с выхода первого 15 и второго 16 делителя, пропорциональны значению скорости и ускорения перемещения объекта.The signal from the output of the switch 5 also goes to the input of the shift register 10, from the first and second output of which goes to the first and second input of the And 13 element, respectively, directly and through the And-HE 11 element, the signal from the output of the pulse generator 12 comes to the third input, from the output of element And 13, the signal enters through the second counter 14 to the first inputs of the first 15 and second 16 dividers, the second input of the first 15 divider receives a signal from the output of the first 8 counter, from the output of the first 15 divider the signal goes to the second input of the second 16 divider . The signals coming from the output of the first 15 and second 16 divider are proportional to the value of the speed and acceleration of the movement of the object.

Аналогично определяется координата β, при этом считывание происходит по строкам матрицы, начиная с первой в направлении стрелки, показанной на фиг.4 (слева направо).Similarly, the coordinate β is determined, while reading occurs along the rows of the matrix, starting from the first in the direction of the arrow shown in figure 4 (from left to right).

Источник информации.The source of information.

1. Авторское свидетельство СССР №1483254, кл. G01B 21/00, 30.05.1989 г. (прототип).1. USSR author's certificate No. 1483254, cl. G01B 21/00, 05/30/1989 (prototype).

Claims (1)

Устройство для определения координат положения объекта, содержащее зеркало, связываемое с объектом, автоколлимационную оптическую систему, крестообразный источник излучения, связываемый с объектом, установленную по ходу светового луча прямоугольную матрицу фотоприемников и схему регистрации, подключенную к прямоугольной матрице, схема регистрации выполнена в виде последовательно соединенных коммутатора, коррелятора, амплитудного компаратора и первого счетчика, блока управления, первый вход которого соединен с управляющим входом коммутатора, а второй с управляющим входом первого счетчика, выход которого является выходами угловых координат положений объекта в двух плоскостях, при этом источник излучения и матрица фотоприемников развернуты так, что ось симметрии матрицы фотоприемников и сторона источника излучения образуют острый угол, причем тангенс угла, образованного осью симметрии матрицы и стороной источника излучения, выбран кратным отношению расстояния между строками или столбцами матрицы к длине строки или столбца, отличающееся тем, что введены сдвиговый регистр, элемент И-НЕ, генератор импульсов, элемент И, второй счетчик, первый и второй делители, причем выход компаратора соединен с входом сдвигового регистра, первый и второй выходы которого соединены с первым и вторым входами элемента И соответственно непосредственно и через элемент И-НЕ, выход генератора импульсов соединен с третьим входом элемента И, выход которого через счетчик соединен одновременно с первыми входами первого и второго делителя, выход первого счетчика соединен со вторым входом первого делителя, выход которого соединен со вторым входом второго делителя, выходы первого счетчика, первого и второго делителей являются соответственно первыми, вторыми, третьими выходами устройства для определения координат положения объекта.A device for determining the coordinates of the position of the object, containing a mirror connected to the object, an autocollimation optical system, a cross-shaped radiation source connected to the object, a rectangular array of photodetectors installed along the light beam and a registration circuit connected to the rectangular matrix, the registration circuit is made in the form of series-connected a switch, a correlator, an amplitude comparator and a first counter, a control unit, the first input of which is connected to the control input to switch, and the second with the control input of the first counter, the output of which is the outputs of the angular coordinates of the position of the object in two planes, while the radiation source and the photodetector array are rotated so that the axis of symmetry of the photodetector matrix and the side of the radiation source form an acute angle, and the tangent of the angle formed the axis of symmetry of the matrix and the side of the radiation source, a multiple of the ratio of the distance between the rows or columns of the matrix to the length of the row or column, characterized in that shear the first register, the AND element, the pulse generator, the AND element, the second counter, the first and second dividers, the output of the comparator connected to the input of the shift register, the first and second outputs of which are connected to the first and second inputs of the AND element, respectively, directly and through the AND element -NOT, the output of the pulse generator is connected to the third input of the element And, the output of which through the counter is connected simultaneously with the first inputs of the first and second divider, the output of the first counter is connected to the second input of the first divider, the output of which is connected nen with a second input of the second divider, the outputs of the first counter, the first and second dividers are respectively the first, second, third output device to determine position coordinates of the object.
RU2006104076/28A 2006-02-10 2006-02-10 Device for determining coordinates of object RU2309381C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006104076/28A RU2309381C1 (en) 2006-02-10 2006-02-10 Device for determining coordinates of object

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006104076/28A RU2309381C1 (en) 2006-02-10 2006-02-10 Device for determining coordinates of object

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2309381C1 true RU2309381C1 (en) 2007-10-27

Family

ID=38955830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006104076/28A RU2309381C1 (en) 2006-02-10 2006-02-10 Device for determining coordinates of object

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2309381C1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0042179B1 (en) Encoder
CN105627921A (en) Absolute encoder subdivision acquisition system and measurement method thereof
CN104181547B (en) A kind of three-dimensional laser imaging system based on array detection unit and formation method
EP2613121A1 (en) Image sensor, attitude detector, contact probe, and multi-sensing probe
CN107402061B (en) Resonant mode scanning mirror amplitude measurement system and method
CN108132058A (en) Digital Photogrammetric System on-line displacement measurement calibrates for error device and method
US5473436A (en) Surface shape measurement device with slit plate and single photoelectric converter
JPH0530214B2 (en)
RU2309381C1 (en) Device for determining coordinates of object
JPH0718693B2 (en) Three-dimensional object shape detection device by optical cutting method
CN208688435U (en) A kind of precise displacement sensor based on corner cube mirror group
JP3175393B2 (en) Distance measuring method and device
CN109696129A (en) A kind of precise displacement sensor and its measurement method
Araki et al. High speed and continuous rangefinding system
JPS58196412A (en) Distance measuring device
CN205808428U (en) The optical calibrating system of the dynamic navigation performance of IMU
CN105953820B (en) A kind of optical calibrating device of inertial measurement combination dynamic navigation performance
RU2248093C1 (en) Optoelectronic converter of position-code type
CN209310741U (en) A kind of precise displacement sensor
CN105783740A (en) Alternative increment type micro-displacement measurement sensor and measurement method
SU1483254A1 (en) Instrument for determining coordinates of member position
CN205619887U (en) Micro displacement sensor is measured to increment formula in turn
JPH0143243B2 (en)
RU2091708C1 (en) Gear measuring linear and angular movements
RU2569072C2 (en) Angle of rotation sensor