RU2305253C1 - Волоконно-оптическая сенсорная система - Google Patents

Волоконно-оптическая сенсорная система Download PDF

Info

Publication number
RU2305253C1
RU2305253C1 RU2006115889/28A RU2006115889A RU2305253C1 RU 2305253 C1 RU2305253 C1 RU 2305253C1 RU 2006115889/28 A RU2006115889/28 A RU 2006115889/28A RU 2006115889 A RU2006115889 A RU 2006115889A RU 2305253 C1 RU2305253 C1 RU 2305253C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
optical
fiber
inputs
fiber optic
sensor
Prior art date
Application number
RU2006115889/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Андрей Анатольевич Ветров (RU)
Андрей Анатольевич Ветров
Владимир Константинович Ильков (RU)
Владимир Константинович Ильков
Станислав Сергеевич Комиссаров (RU)
Станислав Сергеевич Комиссаров
Виктор Викторович Лучинин (RU)
Виктор Викторович Лучинин
Александр Николаевич Сергушичев (RU)
Александр Николаевич Сергушичев
Андрей Андреевич Ширшов (RU)
Андрей Андреевич Ширшов
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет (СПбГЭТУ (ЛЭТИ" им. В.И. Ленина))
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет (СПбГЭТУ (ЛЭТИ" им. В.И. Ленина)) filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет (СПбГЭТУ (ЛЭТИ" им. В.И. Ленина))
Priority to RU2006115889/28A priority Critical patent/RU2305253C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2305253C1 publication Critical patent/RU2305253C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может быть использовано в конструкциях волоконно-оптических преобразователей физических величин, предусматривающих интерференционный съем измеряемого сигнала (гидрофонов, виброфонов, фонендоскопов и т.п.). Устройство содержит лазерный источник оптического излучения с высокой когерентностью, интерферометрический сенсор с чувствительной мембраной, два или более оптикоэлектронных преобразователя (ОЭП), каждый из которых включает волоконно-оптический разветвитель (ВОР) из одномодовых оптических волокон, фотодетектор и усилитель электрического сигнала, вход которого подключен к выходу фотодетектора. Сенсор подключен ко вторым входам волоконно-оптических разветвителей. Выходы ВОР связаны с оптическим входом соответствующего фотодетектора. Первые входы ВОР связаны с лазерным источником оптического излучения через делитель оптического излучения. Устройство содержит селектор, коммутатор и четыре детектора среднего уровня электрического сигнала. Выходы усилителей ОЭП подключены к соответствующим входам селектора через детекторы. Выход селектора подключен к управляющему входу коммутатора. Информационные входы коммутатора соединены с выходами усилителей соответствующих ОЭП. Технический результат - повышение надежности конструкции и упрощение условий ее эксплуатации. 1 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 табл.

Description

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может быть использовано в конструкциях волоконно-оптических преобразователей физических величин, предусматривающих интерференционный съем измеряемого сигнала. Наиболее эффективно его использовать в конструкции приборов микротехнологического исполнения, особенно микроминиатюрных приемников звуковых сигналов (микрофонов, гидрофонов, виброфонов, фонендоскопов и т.п.).
Известна волоконно-оптическая сенсорная система (ВОСС), содержащая широкополосный источник излучения, волоконный световод (ВС), выполненный с образованием измерительного и эталонного оптических каналов, поляризационный датчик межмодовой интерференции, фотоприемник, подключенный к блоку обработки и отображения информации, сканирующий деформатор, установленный на ВС, и блок управления сканирующим деформатором (RU 2036419, G01B 21/00, 1995). Для использования в качестве микрофона волоконно-оптическая сенсорная система содержит мембранный чувствительный элемент, на внутренней поверхности которого по спирали расположен волоконно-оптический световод, к одному концу которого через фокусирующую линзу подключен источник монохроматического излучения, а к другому - фотоприемник (RU 2047944, H04R 23/00, 1995).
Однако данные конструкции являются громоздкими и обладают низкой чувствительностью из-за съема информации в виде изменения амплитуды используемого информационного сигнала.
Среди специализированных ВОСС известна конструкция, предназначенная для измерения температуры, содержащая совместно выполненные на базе волоконно-оптического лазера (ВОЛ) каналы возбуждения и интерференционного съема информации, микрорезонатор, модулирующий излучение ВОЛ, фотоприемник и блок обработки и отображения информации (RU 2110049, G01K 11/32, G02B 6/00, 1998). Для повышения чувствительности, точности и стабильности системы один конец световода ВОЛ сопряжен с модифицированным автоколлиматором, расположенным между этим торцом и микрорезонатором с формированием в плоскости отражающей поверхности микрорезонатора светового пятна заданных размеров, а второй является выходным (RU 2161783, G01K 11/32, 2001).
Однако данные технические решения сложны в изготовлении и эксплуатации, так как требуют регулярной юстировки узлов микрорезонатора и коллиматора. Кроме того, они имеют преимущественной сферой использования измерение температуры.
Известна также ВОСС для измерения перемещений, содержащая источник оптического излучения, интерферометрический сенсор микроперемещений, волоконно-оптический разветвитель, выполненный из одномодовых оптических волокон, фотоприемник, оснащенный полосовым светофильтром, управляющее устройство и пьезоэлектрический исполнительный механизм, установленный с возможностью перемещения интерферометрического сенсора, где выход источника оптического излучения подключен к первому входу волоконно-оптического разветвителя, второй вход волоконно-оптического разветвителя подключен к интерферометрическому сенсору для возможности передачи света от источника оптического излучения и приема оптического интерференционного сигнала от сенсора, выход волоконно-оптического разветвителя подключен к фотоприемнику, выход фотоприемника подключен ко входу управляющего устройства, а выход управляющего устройства подключен к электрическому входу пьезоэлектрического исполнительного механизма (Davis P.O., Busch I.J., Maurer G.S. Fiber Optic Displacement Sensor. - Fourth Pacific Northwest Optic Sensor Workshop, May 6, 1998 SPIE VOL TBD Courtesy Optiphase, Inc.).
Недостатком данного устройства является громоздкость узла перемещения интерферометрического сенсора и узкий динамический диапазон (не более 200 мкм) измеряемых микроперемещений.
Кроме того, известна волоконно-оптическая сенсорная система, содержащая источник оптического излучения с длиной когерентности 80-120 мкм, интерферометрический сенсор, оснащенный чувствительной мембраной, волоконно-оптический разветвитель, выполненный из одномодовых оптических волокон, фотодетектор и усилитель электрического сигнала, где выход источника оптического излучения подключен к первому входу волоконно-оптического разветвителя, второй вход волоконно-оптического разветвителя подключен к интерферометрическому сенсору для возможности передачи света от источника оптического излучения и приема оптического интерференционного сигнала от сенсора, выход волоконно-оптического разветвителя связан с оптическим входом фотодетектора, а выход фотодетектора подключен к входу усилителя электрического сигнала. Для автоподстройки положения рабочей точки волоконно-оптическая сенсорная система оснащена также двухканальным интерферометрическим преобразователем опорного сигнала, при этом усилитель электрического сигнала связан с входами первого и второго каналов интерферометрического преобразователя, а оптический выход интерферометрического преобразователя выполнен с образованием оптической обратной связи данного преобразователя с интерферометрическим сенсором (US 5094534, G01B 9/02, 1992).
Однако такое устройство обладает узким частотным диапазоном чувствительности, недостаточным, в частности, для работы в качестве микрофона, что усугубляется инерционностью элементов двухканального интерферометрического преобразователя. Кроме того, оно является громоздким и сложным в изготовлении и эксплуатации, требует тщательной начальной и периодической юстировки оптических каналов.
Наиболее близкой к заявляемой по технической сущности и достигаемому результату является ВОСС, содержащая лазерный источник оптического излучения с высокой когерентностью, сенсор, оснащенный чувствительной мембраной, и оптико-электронный преобразователь (ОЭП), включающий волоконно-оптический разветвитель, выполненный из одномодовых оптических волокон, фотодетектор и усилитель электрического сигнала, в которой выход источника оптического излучения подключен к первому входу волоконно-оптического разветвителя, второй вход волоконно-оптического разветвителя подключен к сенсору с возможностью передачи света от источника оптического излучения к сенсору, а выход фотодетектора подключен к усилителю электрического сигнала, причем выход волоконно-оптического разветвителя непосредственно связан с оптическим входом фотодетектора, а подключение волоконно-оптического разветвителя к сенсору выполнено из расчета
Figure 00000002
где l - расстояние от торца оптического волокна второго входа волоконно-оптического разветвителя до светоотражающей поверхности мембраны интерферометрического сенсора (мкм);
λ - длина волны оптического излучения, мкм;
n - нечетное число из интервала [1001÷3001]
для одновременного приема оптического интерференционного сигнала от сенсора и передачи этого сигнала к входу фотодетектора. Для регулирования положения рабочей точки данная система оснащена полупроводниковым лазерным источником оптического излучения и контуром прецизионного регулирования положения рабочей точки с управляющим воздействием на температуру лазера по статической составляющей сигнала обратной связи от фотодетектора, в которой в качестве терморегулирующего органа может быть использован элемент Пельтье (RU 2004128514, G02F 1/00, G01B 9/00, 2006).
Из анализа формулы (1) видно, что выражение
Figure 00000003
определяет номинальное значение расстояния от торца оптического волокна второго входа волоконно-оптического разветвителя до светоотражающей поверхности мембраны интерферометрического сенсора, а допуск ±0,075λ определяет окрестность lн, в которой должен располагаться торец оптического волокна второго входа волоконно-оптического разветвителя.
Однако прототипное устройство обладает низкой надежностью, а также энергоемким контуром автоматического регулирования положения рабочей точки. Кроме того, оно сложное в эксплуатации.
Технической задачей предлагаемого устройства является повышение надежности конструкции и упрощение условий ее эксплуатации.
Решение указанной технической задачи заключается в том, что в ВОСС, содержащую лазерный источник оптического излучения с высокой когерентностью, интерферометрический сенсор, оснащенный чувствительной мембраной, ОЭП, включающий волоконно-оптический разветвитель, выполненный из одномодовых оптических волокон, фотодетектор и усилитель электрического сигнала, вход которого подключен к выходу фотодетектора, при этом первый вход волоконно-оптического разветвителя связан с лазерным источником оптического излучения, интерферометрический сенсор подключен ко второму входу волоконно-оптического разветвителя с возможностью передачи света и приема оптического интерференционного сигнала, выход волоконно-оптического разветвителя связан с оптическим входом фотодетектора, а подключение волоконно-оптического разветвителя к интерферометрическому сенсору выполнено из расчета нахождения торца оптического волокна второго входа волоконно-оптического разветвителя в окрестности номинального расстояния от светоотражающей поверхности чувствительной мембраны интерферометрического сенсора согласно формуле (2), вносятся следующие изменения:
1) ВОСС содержит не менее двух ОЭП и дополнительно содержит:
- делитель оптического излучения;
- детекторы среднего уровня электрического сигнала по числу ОЭП;
- селектор;
- коммутатор;
2) первые входы волоконно-оптических разветвителей ОЭП связаны с лазерным источником излучения через делитель оптического излучения;
3) выходы усилителей ОЭП подключены к соответствующим входам селектора через детекторы среднего уровня электрического сигнала для автоматического выбора ОЭП, с которого производится съем текущей информации;
4) выход селектора подключен к управляющему входу коммутатора;
5) информационные входы коммутатора соединены с выходами усилителей соответствующих ОЭП;
6) подключение волоконно-оптических разветвителей к интерферометрическому сенсору выполнено на разных расстояниях торца оптического волокна второго входа волоконно-оптического разветвителя до светоотражающей поверхности мембраны интерферометрического сенсора в окрестности ±0,2λ, от lн.
Внесенные изменения обеспечивают новый принцип действия ВОСС, заключающийся в выборе рабочей точки (в условиях дрейфа синусоидальной статической характеристики выходного сигнала сенсора от смещения l, вызванного, в частности, изменением низкочастотных составляющих значений температуры и давления) на ОЭП с максимальным средним значением переменной составляющей измеряемого сигнала путем переключения текущего ОЭП по данному критерию. Таким образом, в отличие от прототипа, где положение рабочей точки регулировали изменением длины волны λ оптического излучения, используя зависимость λ полупроводникового лазера от температуры, в предлагаемом устройстве рабочую точку выбирают на соответствующем ОЭП без корректировки λ и, соответственно, температуры лазера, а также температуры и давления по месту установки интерферометрического сенсора. Это имеет следствиями изъятие энергоемкого и сложного в эксплуатации контура прецизионного регулирования положения рабочей точки прототипа, а также расширение интервала рабочих температур и давлений по месту установки интерферометрического сенсора.
Предпочтительной в отношении приемлемой точности и простоты изготовления является ВОСС с тремя ОЭП, подключение волоконно-оптических разветвителей которых к интерферометрическому сенсору выполнено на расстояниях lн-0,1λ, lн и lн+0,2λ от торцов оптических волокон вторых входов соответствующих волоконно-оптических разветвителей до светоотражающей поверхности мембраны интерферометрического сенсора.
На фиг.1 представлена экспериментальная зависимость статического выходного сигнала ВОСС с одним ОЭП от температуры сенсора; на фиг.2 представлена схема узла сенсора ВОСС с четырьмя ОЭП; на фиг.3 дана функциональная схема подключения элементов выбора текущего ОЭП для съема выходной информации ВОСС; на фиг.4 и 5 приведены синхронные записи сигналов на выходе ВОСС и каждого ОЭП вариантов системы с двумя и тремя ОЭП при работе в условиях программного изменения температуры.
В табл.1 и 2 представлены результаты испытаний чувствительности вариантов ВОСС.
Фиг.1 иллюстрирует синусоидальный характер экспериментально отснятой зависимости выходного сигнала ВОСС, оснащенной одним ОЭП, от температуры среды, в которой работает интерферометрический сенсор в диапазоне от 20 до 70°С. Аналогичная зависимость имеет место и при изменении расстояния от торца оптического волокна второго входа волоконно-оптического разветвителя до светоотражающей поверхности мембраны интерферометрического сенсора, причем последняя характеристика дрейфует под действием изменения как длины волны оптического излучения, так и внешних факторов. Очевидно, что ВОСС работоспособна только в области квазилинейного участка характеристики (примерно от 20 до 80% от максимального значения приведенного статического сигнала), где чувствительность системы достаточна для приема полезного (динамического) сигнала. Отсюда идея предлагаемого технического решения: установить несколько ОЭП на различных расстояниях соответствующих торцов их оптических волокон от светоотражающей поверхности мембраны сенсора и переключать рабочие каналы, образованные этими ОЭП по критерию нахождения рабочей точки в положении максимально возможной чувствительности, т.е. на квазилинейном участке синусоидальной характеристики. Для осуществления этого замысла необходимо реализовать функцию определения текущей чувствительности каждого из информационных каналов, образованных соответствующими ОЭП, и функцию подключения к общему выходу системы измерительного канала с максимальной текущей чувствительностью. В предлагаемой ВОСС относительную чувствительность определяют с помощью детекторов среднего уровня электрического сигнала, а определение и включение канала с максимальной текущей чувствительностью осуществляют с помощью селектора и коммутатора.
Четырехканальный вариант ВОСС приведен на фиг.2 и 3. Представленная ВОСС содержит лазерный источник 1 оптического излучения с высокой когерентностью, интерферометрический сенсор 2, оснащенный чувствительной мембраной 3, четыре ОЭП 4, каждый из которых включает волоконно-оптический разветвитель 5, выполненный из одномодовых оптических волокон, фотодетектор 6 и усилитель 7 электрического сигнала, вход которого подключен к выходу фотодетектора 6. Интерферометрический сенсор 2 подключен ко вторым входам волоконно-оптических разветвителей 5 с возможностью передачи света и приема оптического интерференционного сигнала. Выходы волоконно-оптических разветвителей 5 связаны с оптическим входом соответствующего фотодетектора 6, а подключение каждого волоконно-оптического разветвителя 5 к интерферометрическому сенсору 2 выполнено из расчета нахождения торца оптического волокна второго входа волоконно-оптического разветвителя в окрестности номинального расстояния от светоотражающей поверхности чувствительной мембраны интерферометрического сенсора согласно формуле (2). Первые входы волоконно-оптических разветвителей 5 связаны с лазерным источником 1 оптического излучения через делитель 8 оптического излучения. ВОСС дополнительно содержит селектор 9, коммутатор 10 и четыре детектора 11 среднего уровня электрического сигнала, при этом выходы усилителей 7 ОЭП 4 подключены к соответствующим входам селектора 9 через детекторы 11, выход селектора 9 подключен к управляющему входу коммутатора 10, информационные входы коммутатора 10 соединены с выходами усилителей 7 соответствующих ОЭП 4, а подключение волоконно-оптических разветвителей 5 ОЭП 4 к интерферометрическому сенсору 2 выполнено на разных расстояниях от торцов оптических волокон вторых входов соответствующих волоконно-оптических разветвителей 5 до светоотражающей поверхности мембраны 3 интерферометрического сенсора 2 в окрестности ±0,2λ от lн.
ВОСС работает следующим образом. Лазерное излучение от источника 1, пройдя через делитель 8, поступает на соответствующие входы интерферометрического сенсора 2. Часть излучения отражается от выходного торца оптического волокна, а другая часть излучения проходит расстояние I, и, отразившись от мембраны 3 сенсора 2, поступает в обратном направлении в указанный торец того же оптического волокна. В пределах допустимых значений установочных характеристик ВОСС, определяемых формулами (1) и (2), указанные световые потоки складываются когерентно, формируя, таким образом, интерференционную картину. Результирующие оптические сигналы с выхода разветвителей 5 поступают на соответствующие фотодетекторы 6, где преобразуются в электрические сигналы, которые принимаются соответствующими усилителями 7, и с выхода последних поступают на соответствующие информационные входы коммутатора 10, а также через детекторы 11 среднего уровня электрического сигнала на соответствующие входы селектора 9. Детекторы 11 выделяют средние значения динамических составляющих сигналов, поступивших от усилителей 7 электрического сигнала, формируя тем самым оценки текущей чувствительности соответствующих ОЭП. Эти оценки анализируются селектором 9, работающим в режиме функционального преобразователя, на выходе которого формируется информация о номере ОЭП, текущая чувствительность которого максимальна. Эта информация, поступив на управляющий вход коммутатора 10, используется им для коммутации своего выхода Uвых с тем информационным входом, по которому текущая чувствительность максимальна.
В зависимости от назначения системы, к выходу коммутатора 10 могут подключаться соответствующие электрические, звуковые, световые и иные регистрирующие устройства.
При техническом осуществлении ВОСС расположение торцов оптических волокон по месту подключения к интерферометрическому сенсору 4 настраивают по интерференционной картине или с помощью микропозиционера.
В качестве делителя 8 оптического излучения может быть использован одномодовый волоконно-оптический разветвитель SM 1,55, в качестве селектора 9 удобно использовать программируемый микроконтроллер на базе микросхемы ATMega-8535 фирмы ATMEL (США). Коммутатор 10 может быть собран на базе микросхемы ADG412 фирмы Analog devices (США), а детектор 11 среднего уровня электрического сигнала - на базе микросхемы True RMS-to-DC Converter AD736 той же фирмы. Возможна также программная реализация блоков 9, 10 и 11 на базе компьютера.
Сравнительные испытания прототипной и вариантов предлагаемой ВОСС проводились при длине волны лазерного оптического излучателя 1,55 и 1,3 мкм. Расположение торцов оптических волокон установлено из расчета номинального расстояния lн до отражающей поверхности мембраны сенсора по формуле (2) при n=2001. Конкретные значения l были равны lн-0,2λ, lн-0,1λ, lн, lн+0,1Δ и lн+0,2λ. Исследовались характеристики выходных сигналов ВОСС, а также каждого из ОЭП двух-, трех- и четырехканальных ВОСС в условиях программного изменения температуры окружающей среды сенсора в диапазоне от 24 до 80°С. Результаты приведены в табл.1 и 2 и на графиках фиг.4 и 5.
Как видно из таблиц, максимальное снижение чувствительности, характеризуемое падением соответствующего выходного сигнала, в ВОСС с двумя ОЭП составило 22 и 32 дБ для частоты излучения 1,55 и 1,3 мкм соответственно. Флуктуации 3-х и 4-канальных ВОСС не превышают 6 дБ и практически не зависят от длины волны излучения.
Фиг.4 иллюстрирует формирование во времени результирующего сигнала (Uвых) ВОСС с двумя ОЭП. Здесь кривая 1 - график регулирования температуры; 2 и 3 - график сигналов на выходе 1-го и 2-го ОЭП соответственно; 4 - результирующий сигнал Uвых на выходе ВОСС.
Фиг.5 иллюстрирует формирование во времени результирующего сигнала (Uвых) ВОСС с тремя ОЭП. Здесь кривая 1 - график регулирования температуры; 2, 3 и 4 - график сигналов на выходе 1-го, 2-го и 3-го ОЭП соответственно; 4 - результирующий сигнал Uвых на выходе ВОСС.
Как проиллюстрировано приведенными примерами, использование предлагаемой ВОСС по сравнению с прототипом позволяет изъять энергоемкий и сложный в эксплуатации контур прецизионного регулирования положения рабочей точки, а также расширить интервал рабочих температур и давлений по месту установки интерферометрического сенсора. Конкретные значения указанных параметров определяются допустимыми характеристиками технической эксплуатации используемых материалов, что важно для работы в экстремальных условиях. Обеспечена также возможность автоматической корректировки положения рабочей точки не только для полупроводникового, но и для любого другого типа лазерного источника излучения.

Claims (2)

1. Волоконно-оптическая сенсорная система, содержащая лазерный источник оптического излучения с высокой когерентностью, интерферометрический сенсор, оснащенный чувствительной мембраной, селектор, коммутатор, не менее двух оптико-электронных преобразователей, каждый из которых включает волоконно-оптический разветвитель, выполненный из одномодовых оптических волокон, фотодетектор и усилитель электрического сигнала, вход которого подключен к выходу фотодетектора, а выходы подключены к соответствующим входам селектора через детекторы среднего уровня электрического сигнала для автоматического выбора оптико-электронного преобразователя, с которого производится съем текущей информации, выход селектора подключен к управляющему входу коммутатора, информационные входы коммутатора соединены с выходами усилителей электрического сигнала соответствующих оптико-электронных преобразователей, при этом первые входы волоконно-оптических разветвителей связаны с лазерным источником оптического излучения через делитель оптического излучения, интерферометрический сенсор подключен ко вторым входам волоконно-оптических разветвителей, которые выполнены с возможностью передачи света в интерферометрический сенсор и приема оптического интерференционного сигнала, выходы волоконно-оптических разветвителей связаны с оптическими входами фотодетекторов, причем торцы вторых входов волоконно-оптических разветвителей оптико-электронных преобразователей расположены на разных расстояниях до светоотражающей поверхности мембраны интерферометрического сенсора в окрестности ±0,2λ от ln, причем
ln=0,125λn,
где In - номинальное значение расстояния от торца оптического волокна второго входа волоконно-оптического разветвителя до светоотражающей поверхности мембраны интерферометрического сенсора, мкм;
λ - длина волны оптического излучения, мкм;
n - нечетное число из интервала [1001÷3001].
2. Волоконно-оптическая сенсорная система по п.1, отличающаяся тем, что она содержит три оптико-электронных преобразователя, при этом торцы вторых входов волоконно-оптических разветвителей расположены на расстояниях ln-0,1λ, ln и ln+0,2λ до светоотражающей поверхности мембраны интерферометрического сенсора.
RU2006115889/28A 2006-05-10 2006-05-10 Волоконно-оптическая сенсорная система RU2305253C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006115889/28A RU2305253C1 (ru) 2006-05-10 2006-05-10 Волоконно-оптическая сенсорная система

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006115889/28A RU2305253C1 (ru) 2006-05-10 2006-05-10 Волоконно-оптическая сенсорная система

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2305253C1 true RU2305253C1 (ru) 2007-08-27

Family

ID=38597156

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006115889/28A RU2305253C1 (ru) 2006-05-10 2006-05-10 Волоконно-оптическая сенсорная система

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2305253C1 (ru)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2498226C1 (ru) * 2012-06-01 2013-11-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) Волоконно-оптическая сенсорная система
RU2547346C1 (ru) * 2013-10-30 2015-04-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН) Низкокогерентный интерферометр с дифракционной волной сравнения и источник двух сферических эталонных волн для него
RU187530U1 (ru) * 2018-10-25 2019-03-12 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") Устройство увеличения динамического диапазона чувствительности многоканального измерителя скорости на базе гетеродин-интерферометров
RU2691669C1 (ru) * 2018-10-25 2019-06-17 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") Способ увеличения динамического диапазона чувствительности многоканального измерителя скорости на базе гетеродин-интерферометров
RU2714865C1 (ru) * 2019-06-18 2020-02-19 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) Интерферометр

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2498226C1 (ru) * 2012-06-01 2013-11-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) Волоконно-оптическая сенсорная система
RU2547346C1 (ru) * 2013-10-30 2015-04-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН) Низкокогерентный интерферометр с дифракционной волной сравнения и источник двух сферических эталонных волн для него
RU187530U1 (ru) * 2018-10-25 2019-03-12 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") Устройство увеличения динамического диапазона чувствительности многоканального измерителя скорости на базе гетеродин-интерферометров
RU2691669C1 (ru) * 2018-10-25 2019-06-17 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") Способ увеличения динамического диапазона чувствительности многоканального измерителя скорости на базе гетеродин-интерферометров
RU2714865C1 (ru) * 2019-06-18 2020-02-19 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) Интерферометр

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Liu et al. Diaphragm based long cavity Fabry–Perot fiber acoustic sensor using phase generated carrier
JP4982068B2 (ja) 位置測定システム
US4969736A (en) Integrated fiber optic coupled proximity sensor for robotic end effectors and tools
RU2305253C1 (ru) Волоконно-оптическая сенсорная система
JP2005512047A (ja) 光ファイバの欠陥を検出するセンサおよび方法
JP6452958B2 (ja) 光干渉計を備えた振動計
US4974961A (en) Optical fibre measuring system
WO2016127321A1 (zh) 一种环形激光器传感器
US20070103694A1 (en) Interferometry system
WO2012170275A1 (en) Coupled multi-wavelength confocal systems for distance measurements
KR101793831B1 (ko) 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 콜리메이팅 광학계, 그 광학계를 이용한 송수신 방법 및 그 광학계를 이용한 변위량 측정시스템
RU2498226C1 (ru) Волоконно-оптическая сенсорная система
US20120316830A1 (en) Coupled multi-wavelength confocal systems for distance measurements
JP3663903B2 (ja) 波長検出装置
RU2279112C2 (ru) Волоконно-оптическая сенсорная система
CN114175683B (zh) 用于测量位移的光学换能器及方法
JP2000186912A5 (ru)
JP4027352B2 (ja) 光ファイバプローブ装置
JP5542255B2 (ja) 光ファイバー長さ伸縮計測・補正方法および装置
JP2010085148A (ja) 微小変位測定装置、微小変位測定方法および微小変位測定用プログラム
US20120314200A1 (en) Coupled multi-wavelength confocal systems for distance measurements
Kumar et al. Towards the development of a hybrid-integrated chip interferometer for online surface profile measurements
Chen et al. Novel Fabry-Perot fiber optic sensor with multiple applications
Xiao Self-calibrated interferometric/intensity based fiber optic pressure sensors
KR100343813B1 (ko) 광섬유나 광도파로 표면의 굴절률구조 측정장치 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20150409

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160511