RU2301424C1 - Пьезоэлектрический акселерометр - Google Patents

Пьезоэлектрический акселерометр Download PDF

Info

Publication number
RU2301424C1
RU2301424C1 RU2005141270/28A RU2005141270A RU2301424C1 RU 2301424 C1 RU2301424 C1 RU 2301424C1 RU 2005141270/28 A RU2005141270/28 A RU 2005141270/28A RU 2005141270 A RU2005141270 A RU 2005141270A RU 2301424 C1 RU2301424 C1 RU 2301424C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plates
sections
section
polarized
package
Prior art date
Application number
RU2005141270/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Виктор Юрьевич Вусевкер (RU)
Виктор Юрьевич Вусевкер
Анатолий Евгеньевич Панич (RU)
Анатолий Евгеньевич Панич
Евгений Викторович Филиппов (RU)
Евгений Викторович Филиппов
Константин Ромуальдович Цеханский (RU)
Константин Ромуальдович Цеханский
Валентина Борисовна Войтенко (RU)
Валентина Борисовна Войтенко
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ростовский Государственный Университет" (РГУ)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ростовский Государственный Университет" (РГУ) filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ростовский Государственный Университет" (РГУ)
Priority to RU2005141270/28A priority Critical patent/RU2301424C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2301424C1 publication Critical patent/RU2301424C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для работы в средствах измерения и контроля виброускорения различных машин и механизмов. Пьезоэлектрический акселерометр содержит многослойный пакет пьезокерамических пластин, состоящий из трех секций. Секции включают группы из трех пластин. Крайние пластины в группе снабжены диаметральными пазами, заполненными коммутационными шинами. Одна из средних пластин поляризована целиком по толщине, две другие средние пластины содержат сегменты, поляризованные по толщине в противоположных направлениях. Секции с сегментированными пластинами повернуты одна относительно другой на 90° вокруг продольной оси пакета. Технический результат - расширение функциональных возможностей за счет измерения виброускорения в трех взаимно перпендикулярных направлениях. 5 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в средствах измерения и контроля виброускорения различных машин и механизмов.
Известен пьезоэлектрический акселерометр, содержащий основание в виде прямоугольной призмы, на трех гранях которой расположены биморфные элементы, которые при воздействии вибрации осуществляют в трех взаимно перпендикулярных направлениях измерение уровня вибрации путем преобразования деформации изгиба в электрический заряд (Янчич В.В., Кустов В.Н. Пьезоэлектрические виброизмерительные преобразователи для контрольно-диагностических систем энергетического оборудования, в сборнике трудов международной научно-практической конференции «Пьезотехника-99». Ростов-на-Дону, 1999, том 2, стр.221-226).
Данная конструкция трехкомпонентного пьезоэлектрического акселерометра обладает следующими основными недостатками: большие габаритные размеры не позволяют проводить вибродиагностику систем в трубопроводах малого диаметра; ограничен диапазон рабочих частот; низки предельные значения виброускорения. Указанные недостатки обусловлены применением дисковых биморфных элементов с деформацией изгиба.
Наиболее близким аналогом является пьезоэлектрический акселерометр, содержащий монолитный многослойный пакет пьезокерамических пластин, соединенных электрически параллельно. В пьезокерамических пластинах со стороны одной из электродных поверхностей выполнены пазы, заполненные металлическими коммутационными шинами (Патент РФ №2150117, М. Кл. G01P 15/09). Устройство компактно, имеет широкий диапазон рабочих частот и высокие предельные значения виброускорения.
Однако известный пьезоэлектрический акселерометр имеет ограниченные функциональные возможности: измерение виброускорения лишь в одном направлении - вдоль оси многослойного пакета пьезокерамических пластин. Механическое объединение трех взаимно перпендикулярных пакетов на одном призматическом основании недопустимо увеличило бы габаритные размеры устройства и лишило бы его одного из основных достоинств - компактности.
Заявляемый в качестве изобретения пьезоэлектрический акселерометр позволяет расширить функциональные возможности устройства за счет измерения виброускорения в трех взаимно перпендикулярных направлениях.
Указанный технический эффект достигается тем, что в пьезоэлектрическом акселерометре, включающем многослойный пакет пьезокерамических пластин, основание, инерционный элемент и электрический кабель, пакет состоит из трех секций; каждая секция содержит, по крайней мере, одну группу, состоящую из трех пластин; крайние пластины каждой группы неполяризованы и снабжены диаметральными пазами, обращенными к средней пластине и заполненными металлическими коммутационными шинами; средняя пластина группы в первой секции поляризована целиком по толщине; средние пластины групп во второй и третьей секциях содержат сегменты, разделенные неполяризованным промежутком и поляризованные по толщине в противоположных направлениях; вторая и третья секции повернуты относительно друг друга на 90° вокруг продольной оси пакета; каждая секция электрически соединена коммутационными шинами и кабелем с электронным усилителем измерительной системы.
Создание трехкомпонентного пьезоэлектрического акселерометра стало возможным благодаря новой конструкции многослойного пакета и новому взаимному расположению поляризованных частей пакета. Сохраняя достоинства прототипа, новое устройство существенно расширяет его функциональные возможности - позволяет измерять, кроме продольной компоненты вибрации, и ее поперечные компоненты.
Сущность изобретения поясняется нижеследующим описанием и чертежами. На фиг.1 изображен общий вид пьезоэлектрического акселерометра и схема электрических соединений. На фиг.2 показаны элементы первой секции пакета. На фиг.3 представлены элементы второй и третьей секций пакета. На фиг.4 изображены проекции пакета и схема электрических соединений при проведении операции поляризации. На фиг.5 показаны проекции пакета в рабочем состоянии.
Устройство содержит пакет пьезокерамических пластин 1. Пакет 1 состоит из трех секций: 2, 3, 4. Каждая секция содержит группу из трех пластин. Конструкция секции определяется ее функциональным назначением. Секция 2, предназначенная для измерения продольной компоненты вибрации, содержит среднюю пластину 5, поляризованную целиком по толщине, и крайние пластины 6 и 7, неполяризованные и снабженные диаметральными пазами 8 и 9. С целью получения более высокой чувствительности секция 2 может содержать несколько групп аналогичной конструкции, средние пластины 5 которых соединены электрически параллельно.
Секция 3, предназначенная для измерения одной из поперечных компонент вибрации, содержит среднюю пластину 10, состоящую из двух сегментов 11 и 12, поляризованных в противоположных направлениях и разделенных неполяризованным промежутком 13, и крайние пластины 14 и 15, неполяризованные и снабженные диаметральными пазами 16 и 17.
Секция 4, предназначенная для измерения другой поперечной компоненты вибрации, имеет конструкцию, аналогичную секции 3, и повернута на 90° вокруг продольной оси пакета относительно секции 3. С целью получения более высокой чувствительности секции 3 и 4 могут содержать несколько групп аналогичной конструкции, средние пластины 10 которых соединены электрически параллельно.
Плоскости пластин в пакете 1 снабжены металлическими вожженными электродами, конфигурация которых соответствует типу поляризации средних пластин 5 и 10. Электродами снабжены также основание 18 и инерционный элемент 19. Пластины пакета 1, основание 18 и инерционный элемент 19 жестко соединены термокомпрессионной сваркой.
Одной из основных технологических операций в создании нового устройства является поляризация частей пакета 1. С выхода источника постоянного напряжения 20 поляризующее электрическое напряжение подают с помощью упругих контактных устройств 21 на электроды средних пластин секций 5, 10.1 и 10.2 (Фиг.4).
Поляризованный пакет 1 приводят в рабочее состояние путем заполнения пазов в крайних пластинах секций - 8, 9, 16, 17, металлическими коммутационными шинами 22 (фиг.5). Выходы коммутационных шин 22 при помощи кабеля 23 подключены к входам электронных усилителей 24, 25, 26 измерительной системы 27.
Устройство работает следующим образом. Продольная компонента вибрации в направлении оси Z вызывает в пластине 5 секции 2 механические напряжения и за счет механоэлектрического преобразования энергии - электрический сигнал, который усиливается и регистрируется измерительной системой 27. Поперечная компонента вибрации в направлении оси X вызывает в сегментах 11 и 12 пластины 10 секции 3 механические напряжения противоположных знаков. За счет противоположного направления поляризации в сегментах 11 и 12 электрические сигналы в соединенных параллельно сегментах имеют одинаковый знак. Полученный электрический сигнал усиливается соответствующим усилителем 25. Аналогично работает секция 4 при измерении поперечной компоненты вибрации в направлении оси Y.
Новая конструкция многослойного пакета и новое взаимное расположение поляризованных частей пакета позволяют применить устройство для измерения виброускорения в трех взаимно перпендикулярных направлениях в трубопроводах малого диаметра. Компактность устройства позволяет эффективно применять его в измерительных системах авиационно-космического назначения.

Claims (1)

  1. Пьезоэлектрический акселерометр, включающий многослойный пакет пьезокерамических пластин, основание, инерционный элемент и электрический кабель, отличающийся тем, что пакет состоит из трех секций, каждая секция содержит, по крайней мере, одну группу, состоящую из трех пластин, крайние пластины каждой группы неполяризованы и снабжены диаметральными пазами, обращенными к средней пластине и заполненными металлическими коммутационными шинами, средняя пластина группы в первой секции поляризована целиком по толщине, средние пластины групп во второй и третьей секциях содержат сегменты, разделенные неполяризованным промежутком и поляризованные по толщине в противоположных направлениях, вторая и третья секции повернуты относительно друг друга на 90° вокруг продольной оси пакета, каждая секция электрически соединена коммутационными шинами и кабелем с электронными усилителями измерительной системы.
RU2005141270/28A 2005-12-28 2005-12-28 Пьезоэлектрический акселерометр RU2301424C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005141270/28A RU2301424C1 (ru) 2005-12-28 2005-12-28 Пьезоэлектрический акселерометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005141270/28A RU2301424C1 (ru) 2005-12-28 2005-12-28 Пьезоэлектрический акселерометр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2301424C1 true RU2301424C1 (ru) 2007-06-20

Family

ID=38314417

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005141270/28A RU2301424C1 (ru) 2005-12-28 2005-12-28 Пьезоэлектрический акселерометр

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2301424C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU190637U1 (ru) * 2019-03-01 2019-07-05 Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ Высокотемпературный термостабильный чувствительный элемент акселерометра

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU190637U1 (ru) * 2019-03-01 2019-07-05 Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ Высокотемпературный термостабильный чувствительный элемент акселерометра

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9546918B2 (en) Sensor element, force detection device, robot, electronic component transport device, electronic component inspection device, and component processing device
Bilgen et al. Broadband vibration energy harvesting from a vertical cantilever piezocomposite beam with tip mass
CN107543637B (zh) 压电换能器
Kulkarni et al. A shear-mode energy harvesting device based on torsional stresses
BR112017028583B1 (pt) Dispositivo para a medição elétrica de força
CN109212264B (zh) 环形剪切式挠曲电加速度传感器及层叠结构加速度传感器
RU2301424C1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
JP2015166706A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
RU152648U1 (ru) Двухканальный акселерометр
Nguyen et al. A comparison of dynamic piezoactuation of fiber-based actuators and conventional PZT patches
RU2582910C1 (ru) Пьезоакселерометр
JP6920114B2 (ja) 電流センサ
Pan et al. Design and fabrication of a large displacement piezoelectric actuator
Kovenburg et al. A Multidirectional Piezoelectric Vibration Energy Harvester With Direction-Dependent Dual Resonance
US7336022B2 (en) Piezoelectrical bending converter
Xu et al. Key Issues on Flextensional Piezoelectric Energy Harvester Developments
JP4405590B2 (ja) 駆動装置
RU2212736C2 (ru) Пьезоэлектрический изгибный преобразователь
Chen et al. Spherical shape ultrasonic motor with two degrees of freedom
RU2215275C2 (ru) Пьезоэлектрический датчик быстропеременного давления
Glumac et al. A planar unimorph-based actuator with large vertical displacement capability. I. Experiment
SU1093922A1 (ru) Устройство дл измерени силы
RU2104558C1 (ru) Универсальный вибродатчик линейного и углового ускорения
SU736385A1 (ru) Пьезоэлектрический преобразователь
JP5486256B2 (ja) 超音波モータ

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20071229