RU2295137C1 - Преобразователь свч-мощности и преобразующий элемент для него - Google Patents

Преобразователь свч-мощности и преобразующий элемент для него Download PDF

Info

Publication number
RU2295137C1
RU2295137C1 RU2005128204/28A RU2005128204A RU2295137C1 RU 2295137 C1 RU2295137 C1 RU 2295137C1 RU 2005128204/28 A RU2005128204/28 A RU 2005128204/28A RU 2005128204 A RU2005128204 A RU 2005128204A RU 2295137 C1 RU2295137 C1 RU 2295137C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
film
electrodes
converter
thickness
semiconductor
Prior art date
Application number
RU2005128204/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Наталь Федоровна Попова (RU)
Наталья Федоровна Попова
Александр Георгиевич Веселов (RU)
Александр Георгиевич Веселов
Валерий Петрович Мещанов (RU)
Валерий Петрович Мещанов
Original Assignee
Наталья Федоровна Попова
Александр Георгиевич Веселов
Валерий Петрович Мещанов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Наталья Федоровна Попова, Александр Георгиевич Веселов, Валерий Петрович Мещанов filed Critical Наталья Федоровна Попова
Priority to RU2005128204/28A priority Critical patent/RU2295137C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2295137C1 publication Critical patent/RU2295137C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано для измерения импульсной мощности радиотехнических устройств. Техническим результатом изобретения является увеличение динамического диапазона преобразователя измеряемых мощностей при увеличении чувствительности. Сущность изобретения: в преобразователе СВЧ-мощности в постоянное напряжение, содержащем электродинамическую структуру с СВЧ-входом и НЧ-выходом и полупроводниковым преобразующим элементом с двумя электродами, имеющими с ним омические контакты, соединенные с НЧ-выходом, преобразующий элемент выполнен в виде полупроводниковой пленки из материала с подвижностью носителей заряда не менее 104 см2/В·с на диэлектрическом основании и с толщиной, не превышающей толщину скин-слоя на центральной частоте преобразования, с возможностью возбуждения в ней поверхностной электромагнитной волны, при этом преобразующий элемент расположен вдоль направления распространения СВЧ-мощности. Для возбуждения в пленке поверхностной электромагнитной волны преобразователь может содержать дополнительный электрод. Один из электродов, имеющий омический контакт, может быть совмещен с электродом для возбуждения в пленке поверхностной электромагнитной волны. В качестве материала пленки может быть выбран сурьмянистый индий. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретения относятся к радиотехнике и могут быть использованы для измерения импульсной мощности радиотехнических устройств.
Известны промышленно выпускаемые преобразователи на основе СВЧ-диодов, содержащие электродинамическую систему, преобразующим элементом которой является диод с p-n переходом, например диод Шотки.
Динамический диапазон преобразователей не превышает 20 дБ, при этом допускаются только малые уровни входной СВЧ-мощности, а частотный диапазон ограничен из-за емкости p-n перехода.
Известен преобразователь в виде отрезка коаксиальной линии, в щели на внешней стенке которого установлен полупроводниковый чувствительный элемент, установленный в держателе на керамической подложке (см. Приборы и техника эксперимента, № 5, 1985, с.230).
Данный преобразователь обладает низкой чувствительностью и имеет ограниченный частотный диапазон, определяемый параметрами применяемой замедляющей системой.
Наиболее близким к предлагаемому преобразователю является датчик для измерения мощности СВЧ на основе структуры полосковая замедляющая система - полупроводник. Структура содержит подложку из высокочастотной керамики, с одной стороны которой расположена металлизированная заземленная плоскость, а с другой - полосковая замедляющая система. Над замедляющей системой в поперечном направлении размещен полупроводниковый элемент с омическими контактами (см.: Радиотехника и электроника - 1978 - №9 - Гуляев).
Однако данный преобразователь также имеет ограниченный частотный диапазон и обладает низкой чувствительностью, что не позволяет использовать его в промышленном производстве.
Наиболее близким к преобразующему элементу является диод Шотки, представляющий собой полупроводник с металлическим основанием с одной стороны, выполняющим роль омического контакта. На противоположной стороне расположен точечный контакт, формирующий p-n переход (барьер Шотки).
Недостатком является наличие емкости p-n перехода, которая ограничивает частотный диапазон. Детектирование на p-n переходе отличается нелинейностью вольт-ваттной характеристики, что ограничивает динамический диапазон.
Задачей изобретений является увеличение динамического диапазона преобразователя измеряемых мощностей при увеличении чувствительности.
Поставленная задача решается тем, что в преобразователе СВЧ-мощности в постоянное напряжение, содержащем электродинамическую структуру с СВЧ-входом и НЧ-выходом и полупроводниковым преобразующим элементом с двумя электродами, имеющими с ним омические контакты, соединенные с НЧ-выходом, согласно решению преобразующий элемент выполнен в виде полупроводниковой пленки из материала с подвижностью носителей заряда не менее 104 см2/B·с на диэлектрическом основании и с толщиной, не превышающей толщину скин-слоя на центральной частоте преобразования, с возможностью возбуждения в ней поверхностной электромагнитной волны, при этом преобразующий элемент расположен вдоль направления распространения СВЧ-мощности.
Для возбуждения в пленке поверхностной электромагнитной волны преобразователь содержит дополнительный электрод.
Один из электродов, имеющий омический контакт, совмещен с электродом для возбуждения в пленке поверхностной электромагнитной волны.
В качестве материала пленки выбран сурьмянистый индий.
В преобразующем элементе преобразователя СВЧ-мощности в постоянное напряжение в виде полупроводникового элемента с двумя электродами, один из которых является омическим, согласно решению полупроводниковый элемент выполнен в виде пленки из материала с подвижностью носителей заряда не менее 104 см2/B·с на диэлектрическом основании, с толщиной, не превышающей толщину скин-слоя на центральной частоте преобразования, при этом второй электрод выполнен омическим.
Оба омических электрода имеют одинаковую площадь контакта, расположены на одной стороне полупроводникового элемента с противоположных концов.
Изобретения поясняется чертежами, на фиг.1 приведен общий вид предлагаемого устройства в поперечном разрезе, на фиг.2 - фрагмент характеристики преобразования, снятой с макета преобразователя, где:
1. СВЧ-вход электродинамической структуры (в макете коаксиально-полосковый переход на канал 7/3.04 мм);
2. НЧ-выход электродинамической структуры (в макете в виде выходного разъема СР-50);
3. полупроводниковый преобразующий элемент в виде пленки InSb;
4. первый омический электрод;
5. второй омический электрод;
6. возбуждающий электрод, преобразующий СВЧ-энергию в поверхностную электромагнитную волну;
7. диэлектрическое основание;
8. металлический слой (в макете базовая латунная плата корпуса электродинамической системы);
9. проводники;
10. согласующие сопротивления (в макете на 50 и 200 Ом).
Устройство может быть реализовано на самых разнообразных электродинамических системах: волноводных, коаксиальных, полосковых. Преобразующий полупроводниковый элемент 3 выполнен в виде пленки и размещен на диэлектрическом основании 7, например, из поликора или арсенида галлия. В качестве материала пленки оптимальным является интерметаллический сплав InSb. Толщина пленки не превышает толщину скин-слоя в материале, из которого она изготовлена, для поверхностной электромагнитной волны (ПЭМВ). Под диэлектрическим основанием 7 расположен металлический слой 8, являющийся частью электродинамической системы. С противоположных концов пленки 3 размещены два омических электрода 4, 5. В макете первый омический электрод 4 совмещен с возбуждающим электродом 6, который наклонен под углом 45° и является антенной возбуждения (преобразования входного сигнала) в ПЭМВ. Электрод 6 выполнен с возможностью изменения угла наклона к пленке для получения максимальной чувствительности. Для этого он может быть выполнен, например, из медной фольги и припаян к пленочному омическому электроду 4. Возможен вариант раздельного выполнения возбуждающего и омического электрода.
Электроды 4 и 5 соединены проводниками 9 и согласующими сопротивлениями 10 с НЧ-выходом 2, выполненным в виде разъема. Площадь контактов электродов выполнена одинаковой для исключения нелинейности вольт-ваттной характеристики.
Устройство работает следующим образом.
На СВЧ-вход 1 поступает радиосигнал, мощность которого предстоит измерить. Входной сигнал с помощью электрода 6 преобразуется в ПЭМВ для получения в пленке 3 максимальной величины продольной компоненты электрического поля, что позволяет реализовать эффективное фотонно-электронное взаимодействие - радиоэлектрический эффект, поскольку толщина пленки выбрана равной толщине скин-слоя на центральной частоте преобразования. При распространении волны по пленке 3 происходит увлечение электронов вдоль направления ее распространения к омическому электроду 5, на котором возникает отрицательный потенциал по отношению к электроду 4, расположенному на входе.
Для снятия вольт-ваттной характеристики (фиг.2) был разработан макет, в котором в качестве преобразующего элемента была использована эпитаксиальная пленка сурьмянистого индия размером 1.5×10 мм, который является вырожденным интерметаллом с высокой проводимостью при комнатной температуре, концентрацией носителей заряда порядка 25000 см2/B·с. Преобразующий элемент, нанесенный на основание из арсенида галлия играл роль центрального проводника несимметричной полосковой линии. Результаты измерений показали, что разность потенциалов между электродами 4 и 5 точно пропорциональна мощности входного сигнала.
Выходной сигнал, снимаемый с разъема 2, точно совпадает с огибающей входного сигнала и его амплитуда пропорциональна мощности.
Предлагаемое решение позволяет увеличить чувствительность преобразователя не менее чем в ~103 раз. Преимуществом предлагаемого преобразующего элемента является многократное увеличение верхнего порога регистрируемой мощности, ограниченное только тепловым нагревом всего устройства в целом (преобразователя), в то время как диод Шотки перестает функционировать от электрического пробоя.

Claims (7)

1. Преобразователь СВЧ-мощности в постоянное напряжение, содержащий электродинамическую структуру с СВЧ-входом и НЧ-выходом, полупроводниковым преобразующим элементом с двумя электродами, имеющими с ним омические контакты, соединенные с НЧ-выходом, отличающийся тем, что полупроводниковый преобразующий элемент выполнен в виде полупроводниковой пленки на диэлектрическом основании из материала с подвижностью носителей заряда не менее 104 см2/(В·с) с толщиной, не превышающей толщину скин-слоя на центральной частоте преобразования, и с возможностью возбуждения в ней поверхностной электромагнитной волны, при этом преобразующий элемент расположен вдоль направления распространения СВЧ-мощности.
2. Преобразователь по п.1, отличающийся тем, что он содержит электрод для возбуждения в пленке поверхностной электромагнитной волны.
3. Преобразователь по п.1 или 2, отличающийся тем, что один из электродов, имеющий омический контакт, совмещен с электродом для возбуждения в пленке поверхностной электромагнитной волны и выполнен с возможностью изменения угла наклона к полупроводниковой пленке.
4. Преобразователь по п.1, отличающийся тем, что один из электродов, имеющий омический контакт, выполнен с возможностью возбуждения в пленке поверхностной электромагнитной волны.
5. Преобразователь по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала пленки выбран сурьмянистый индий.
6. Преобразующий элемент преобразователя СВЧ-мощности в постоянное напряжение в виде полупроводникового элемента с двумя электродами, один из которых имеет с ним омический контакт, отличающийся тем, что полупроводниковый элемент выполнен в виде полупроводниковой пленки из материала с подвижностью носителей заряда не менее 104 см2/(В·с) на диэлектрическом основании с толщиной, не превышающей толщину скин-слоя на центральной частоте преобразования, при этом второй электрод выполнен омическим.
7. Преобразующий элемент по п.6, отличающийся тем, что электроды имеют одинаковую площадь омического контакта и расположены на одной стороне полупроводникового элемента с противоположных концов.
RU2005128204/28A 2005-09-09 2005-09-09 Преобразователь свч-мощности и преобразующий элемент для него RU2295137C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005128204/28A RU2295137C1 (ru) 2005-09-09 2005-09-09 Преобразователь свч-мощности и преобразующий элемент для него

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005128204/28A RU2295137C1 (ru) 2005-09-09 2005-09-09 Преобразователь свч-мощности и преобразующий элемент для него

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2295137C1 true RU2295137C1 (ru) 2007-03-10

Family

ID=37992566

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005128204/28A RU2295137C1 (ru) 2005-09-09 2005-09-09 Преобразователь свч-мощности и преобразующий элемент для него

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2295137C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2548014C2 (ru) * 2010-11-30 2015-04-10 ФГОУ ВПО Российский государственный университет им. И. Канта Генератор свч без электропитания
RU217186U1 (ru) * 2022-05-26 2023-03-22 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Физико-Технических И Радиотехнических Измерений" (Фгуп "Вниифтри") Прецизионный преобразователь мощности в волноводных трактах с болометрическим чувствительным элементом

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2548014C2 (ru) * 2010-11-30 2015-04-10 ФГОУ ВПО Российский государственный университет им. И. Канта Генератор свч без электропитания
RU217186U1 (ru) * 2022-05-26 2023-03-22 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Физико-Технических И Радиотехнических Измерений" (Фгуп "Вниифтри") Прецизионный преобразователь мощности в волноводных трактах с болометрическим чувствительным элементом

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0289618A1 (en) Electric resistor equipped with thin film conductor and power detector
US3270293A (en) Two terminal semiconductor high frequency oscillator
RU2295137C1 (ru) Преобразователь свч-мощности и преобразующий элемент для него
Kancleris et al. High power millimetre wave pulse sensor for W-band
EP4375630A1 (en) Pyroelectric infrared detector device
US4928069A (en) Amplifying surface wave receiver
CN111048618B (zh) 一种叉指结构集成的肖特基势垒二极管温度传感器及制法
CN1326324C (zh) 利用光致短路产生亚载流子寿命导波电脉冲的器件结构
US3316494A (en) Semiconductor microwave power detector
CN115290953B (zh) 一种基于动态二极管的自驱动机械信号传感器及其制备方法
Desideri et al. A new version of coaxial holder with continuous conductor for tests on planar films
JP3022552B1 (ja) 熱電対電力検出器
KR950034860A (ko) 광전변환소자
US3852680A (en) Amplifier using a negative resistance semiconductive device operative in the anomalous mode
JP4661588B2 (ja) ミリ波実装用配線基板
US10819282B2 (en) Method for minimizing distortion of a signal in a radiofrequency circuit
EP3582269A1 (en) Sensor for electromagnetic radiation of microwave and terahertz frequencies
RU2477903C1 (ru) Чувствительный элемент с симметричной вольтамперной характеристикой для регистрации сигналов свч-тгц диапазонов
RU164734U1 (ru) Тестовый элемент для оценки качества диэлектрика
SU1665290A1 (ru) Датчик дл измерени холловской подвижности носителей зар да в полупроводнике
RU2040074C1 (ru) Устройство для бесконтактного измерения сопротивления проводящего слоя на непроводящей подложке
SU1478140A1 (ru) Пироэлектрический преобразователь СВЧ-мощности
JPH01115208A (ja) 増幅型表面波受信器
JP4224588B2 (ja) 電気信号伝送線路
Kricke et al. Quasi-monolithic integration of high-power GaN-based HEMTs for high-frequency applications

Legal Events

Date Code Title Description
PC4A Invention patent assignment

Effective date: 20070815

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20070910