RU2279112C2 - Fiber-optic sensor system - Google Patents
Fiber-optic sensor system Download PDFInfo
- Publication number
- RU2279112C2 RU2279112C2 RU2004128514/28A RU2004128514A RU2279112C2 RU 2279112 C2 RU2279112 C2 RU 2279112C2 RU 2004128514/28 A RU2004128514/28 A RU 2004128514/28A RU 2004128514 A RU2004128514 A RU 2004128514A RU 2279112 C2 RU2279112 C2 RU 2279112C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- fiber
- optical
- sensor
- fiber optic
- photodetector
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может быть использовано в конструкциях волоконно-оптических преобразователей физических величин, предусматривающих интерференционный съем измеряемого сигнала. Наиболее эффективно его использовать в конструкции приборов микротехнологического исполнения, особенно микроминиатюрных приемников звуковых сигналов (микрофонов, гидрофонов, виброфонов, фонендоскопов и т.п.).The invention relates to optical-electronic instrumentation and can be used in the construction of fiber-optic converters of physical quantities, providing for the interference removal of the measured signal. It is most effectively used in the design of microtechnological devices, especially microminiature receivers of sound signals (microphones, hydrophones, vibrophones, phonendoscopes, etc.).
Известна волоконно-оптическая сенсорная система, содержащая широкополосный источник излучения, волоконный световод (ВС), выполненный с образованием измерительного и эталонного оптических каналов, поляризационный датчик межмодовой интерференции, фотоприемник, подключенный к блоку обработки и отображения информации, сканирующий деформатор, установленный на ВС, и блок управления сканирующим деформатором (RU 2036419, G 01 B 21/00, 1995). Для использования в качестве микрофона волоконно-оптическая сенсорная система содержит мембранный чувствительный элемент, на внутренней поверхности которого по спирали расположен волоконно-оптический световод, к одному концу которого через фокусирующую линзу подключен источник монохроматического излучения, а к другому - фотоприемник (RU 2047944, H 04 R 23/00, 1995).A known fiber-optic sensor system containing a broadband radiation source, a fiber waveguide (BC) made with the formation of a measuring and reference optical channels, a polarization intermodal interference sensor, a photodetector connected to an information processing and display unit, a scanning deformer mounted on the aircraft, and control unit for the scanning deformer (RU 2036419, G 01 B 21/00, 1995). For use as a microphone, a fiber-optic sensor system contains a membrane sensitive element, on the inner surface of which there is a spiral optical fiber, to one end of which a monochromatic radiation source is connected through a focusing lens, and a photodetector to the other (RU 2047944, H 04 R 23/00, 1995).
Однако данные конструкции являются громоздкими и обладают низкой чувствительностью из-за съема информации в виде изменения амплитуды используемого информационного сигнала.However, these designs are bulky and have low sensitivity due to the removal of information in the form of a change in the amplitude of the used information signal.
Среди специализированных волоконно-оптических сенсорных систем известна конструкция, предназначенная для измерения температуры, содержащая, совместно выполненные на базе волоконно-оптического лазера (ВОЛ), каналы возбуждения и интерференционного съема информации, микрорезонатор, модулирующий излучение ВОЛ, фотоприемник и блок обработки и отображения информации (RU 2110049, G 01 K 11/32, G 02 B 6/00, 1998). Для повышения чувствительности, точности и стабильности системы один конец световода ВОЛ сопряжен с модифицированным автоколлиматором, расположенным между этим торцом и микрорезонатором с формированием в плоскости отражающей поверхности микрорезонатора светового пятна заданных размеров, а второй является выходным (RU 2161783, G 01 K 11/32, 2001).Among specialized fiber-optic sensor systems, there is a known design for measuring temperature, comprising, jointly made on the basis of fiber-optic laser (VOL), excitation and interference data acquisition channels, a microcavity modulating VOL radiation, a photodetector and an information processing and display unit ( RU 2110049, G 01 K 11/32, G 02
Однако данные технические решения сложны в изготовлении и эксплуатации, так как требуют регулярной юстировки узлов микрорезонатора и коллиматора. Кроме того, они имеют преимущественной сферой использования измерение температуры.However, these technical solutions are difficult to manufacture and operate, since they require regular alignment of the microresonator and collimator assemblies. In addition, they have the predominant use of temperature measurement.
Известна также волоконно-оптическая сенсорная система для измерения перемещений, содержащая источник оптического излучения, интерферометрический сенсор микроперемещений, волоконно-оптический разветвитель, выполненный из одномодовых оптических волокон, фотоприемник, оснащенный полосовым светофильтром, управляющее устройство и пьезоэлектрический исполнительный механизм, установленный с возможностью перемещения интерферометрического сенсора, где выход источника оптического излучения подключен к первому входу волоконно-оптического разветвителя, второй вход волоконно-оптического разветвителя подключен к интерферометрическому сенсору для возможности передачи света от источника оптического излучения и приема оптического интерференционного сигнала от сенсора, выход волоконно-оптического разветвителя подключен к фотоприемнику, выход фотоприемника подключен ко входу управляющего устройства, а выход управляющего устройства подключен к электрическому входу пьезоэлектрического исполнительного механизма (Davis P.G., Busch I.J., Maurer G.S. Fiber Optic Displacement Sensor. - Fourth Pacific Northwest Optic Sensor Workshop, May 6, 1998 SPIE VOL TBD Courtesy Optiphase, Inc.).Also known is a fiber-optic sensor system for measuring displacements, comprising a source of optical radiation, an interferometric sensor for micro-displacements, a fiber optic splitter made of single-mode optical fibers, a photodetector equipped with a band-pass filter, a control device and a piezoelectric actuator installed with the ability to move the interferometric sensor where the output of the optical radiation source is connected to the first input of the fiber optic of the splitter, the second input of the fiber optic splitter is connected to an interferometric sensor to allow light to be transmitted from the optical radiation source and to receive the optical interference signal from the sensor, the output of the fiber optic splitter is connected to the photodetector, the output of the photodetector is connected to the input of the control device, and the output of the control device connected to the electrical input of the piezoelectric actuator (Davis PG, Busch IJ, Maurer GS Fiber Optic Displacement Sensor. - Fourth Pacific Northwest Optic Sensor Workshop, May 6, 1998 SPIE VOL TBD Courtesy Optiphase, Inc.).
Недостатком данного устройства является громоздкость узла перемещения интерферометрического сенсора и узкий динамический диапазон (не более 200 мкм) измеряемых микроперемещений.The disadvantage of this device is the bulkiness of the displacement unit of the interferometric sensor and the narrow dynamic range (not more than 200 μm) of the measured micromotion.
Наиболее близкой к заявляемой является волоконно-оптическая сенсорная система, содержащая источник оптического излучения с длиной когерентности 80÷120 мкм, интерферометрический сенсор, оснащенный чувствительной мембраной, волоконно-оптический разветвитель, выполненный из одномодовых оптических волокон, фотодетектор и усилитель электрического сигнала, где выход источника оптического излучения подключен к первому входу волоконно-оптического разветвителя, второй вход волоконно-оптического разветвителя подключен к интерферометрическому сенсору для возможности передачи света от источника оптического излучения и приема оптического интерференционного сигнала от сенсора, выход волоконно-оптического разветвителя связан с оптическим входом фотодетектора, а выход фотодетектора подключен к входу усилителя электрического сигнала. Для автоподстройки положения рабочей точки волоконно-оптическая сенсорная система оснащена также двухканальным интерферометрическим преобразователем опорного сигнала, при этом усилитель электрического сигнала связан с входами первого и второго каналов интерферометрического преобразователя, а оптический выход интерферометрического преобразователя выполнен с образованием оптической обратной связи данного преобразователя с интерферометрическим сенсором (US 5094534, G 01 B 9/02, 1992).Closest to the claimed one is a fiber optic sensor system containing an optical radiation source with a coherence length of 80 ÷ 120 μm, an interferometric sensor equipped with a sensitive membrane, a fiber optic splitter made of single-mode optical fibers, a photo detector and an electric signal amplifier, where the source output optical radiation is connected to the first input of the fiber optic splitter, the second input of the fiber optic splitter is connected to the interferometric To the sensor for the possibility of transmitting light from the optical radiation source and receiving the optical interference signal from the sensor, the output of the fiber optic splitter is connected to the optical input of the photodetector, and the output of the photodetector is connected to the input of an electric signal amplifier. To automatically adjust the position of the operating point, the fiber-optic sensor system is also equipped with a two-channel interferometric converter of the reference signal, while the electric signal amplifier is connected to the inputs of the first and second channels of the interferometric converter, and the optical output of the interferometric converter is formed with the formation of optical feedback of this converter with an interferometric sensor ( US 5094534, G 01 B 9/02, 1992).
Однако прототипное устройство обладает узким частотным диапазоном чувствительности, недостаточным, в частности, для работы в качестве микрофона, что усугубляется инерционностью элементов двухканального интерферометрического преобразователя. Кроме того, оно является громоздким и сложным в изготовлении и эксплуатации, требует тщательной начальной и периодической юстировки оптических каналов.However, the prototype device has a narrow frequency range of sensitivity, insufficient, in particular, to work as a microphone, which is aggravated by the inertia of the elements of the two-channel interferometric transducer. In addition, it is cumbersome and difficult to manufacture and operate, requires careful initial and periodic alignment of the optical channels.
Технической задачей предлагаемого устройства является упрощение и миниатюризация конструкции, а также расширение частотного диапазона чувствительности.The technical task of the proposed device is to simplify and miniaturize the design, as well as expanding the frequency range of sensitivity.
Решение указанной технической задачи заключается в том, что в конструкции волоконно-оптической сенсорной системы, содержащей источник оптического излучения, интерферометрический сенсор, оснащенный чувствительной мембраной, волоконно-оптический разветвитель, выполненный из одномодовых оптических волокон, фотодетектор и усилитель электрического сигнала, где выход источника оптического излучения подключен к первому входу волоконно-оптического разветвителя, второй вход волоконно-оптического разветвителя подключен к интерферометрическому сенсору для возможности передачи света от источника оптического излучения и приема оптического интерференционного сигнала от сенсора, выход волоконно-оптического разветвителя связан с оптическим входом фотодетектора, а выход фотодетектора подключен к входу усилителя электрического сигнала, вносится следующее изменение: в качестве источника оптического излучения использован лазер.The solution to this technical problem lies in the fact that in the design of a fiber-optic sensor system containing an optical radiation source, an interferometric sensor equipped with a sensitive membrane, a fiber optic splitter made of single-mode optical fibers, a photodetector and an electric signal amplifier, where the output of the optical source radiation is connected to the first input of the fiber optic splitter, the second input of the fiber optic splitter is connected to the interferometric In order to transmit light from the optical radiation source and receive the optical interference signal from the sensor, the output of the fiber optic splitter is connected to the optical input of the photodetector, and the output of the photodetector is connected to the input of the electric signal amplifier, the following change is made: the laser is used as the optical radiation source .
Использование лазера в данной конструкции необходимо для расширения диапазона "видности" интерференционной картины за счет увеличения длины когерентности излучения (не менее, чем в 4 раза по сравнению с прототипом). Этот вывод можно обосновать анализом общеизвестной формулыThe use of a laser in this design is necessary to expand the range of "visibility" of the interference pattern by increasing the coherence length of the radiation (not less than 4 times compared with the prototype). This conclusion can be substantiated by analysis of the well-known formula
где lког - длина когерентности источника излучения, мкм;where l coh is the coherence length of the radiation source, microns;
l - расстояние от торца оптического волокна второго входа волоконно-оптического разветвителя до светоотражающей поверхности мембраны интерферометрического сенсора (мкм).l is the distance from the end of the optical fiber of the second input of the fiber optic splitter to the reflective surface of the membrane of the interferometric sensor (μm).
Из неравенства (1) можно заключить, чтоFrom inequality (1) we can conclude that
т.е. "зона видности" тем больше, чем больше длина когерентности источника излучения. Увеличение "зоны видности" приводит к расширению диапазона принимаемых перемещений чувствительной мембраны, т.е. к отсутствию необходимости стабилизировать положение рабочей точки на статической характеристике системы. Это позволяет при необходимости упростить систему за счет изъятия входившего в конструкцию прототипа контура автоподстройки. Данный вариант (п.1 формулы) в дальнейшем называется минимальным. При его технической реализации расстояние l настраивают из условия четкости интерференционной картины на выходе фотодетектора.those. The "visibility zone" is greater, the longer the coherence length of the radiation source. The increase in the "visibility zone" leads to the expansion of the range of received movements of the sensitive membrane, i.e. to the lack of the need to stabilize the position of the operating point on the static characteristic of the system. This allows, if necessary, to simplify the system by removing the auto-tuning loop included in the prototype design. This option (
Оптимальное значение параметра l (вариант по п.2 формулы) наблюдается при условииThe optimal value of the parameter l (option according to
где λ - длина волны оптического излучения, мкм;where λ is the wavelength of optical radiation, microns;
n - нечетное число из экспериментально установленного интервала [1001÷3001].n is an odd number from the experimentally established interval [1001 ÷ 3001].
Далее под настройкой положения рабочей точки системы понимается конкретное значение l.Further, by setting the position of the operating point of the system is meant a specific value of l.
Формула (3) удобна для юстировки положения соответствующего торца оптического волокна относительно мембраны с помощью системы прецизионного позиционирования. Она может использоваться также для проверки оптимальности настройки варианта по п.1.Formula (3) is convenient for adjusting the position of the corresponding end of the optical fiber relative to the membrane using a precision positioning system. It can also be used to check the optimality of the settings option according to
Достигнутое увеличение "зоны видности" обеспечивает, при необходимости, данной системе возможность приема звуковых сигналов, т.е. работы в качестве микрофона. В этом случае в ней используют усилитель электрических сигналов и мембрану интерферометрического сенсора, чувствительные в звуковом диапазоне частот (вариант по п.3 формулы). Для работы в составе конструкции такого микрофона целесообразно использовать сенсор с чувствительностью мембраны не менее 0,1 нм/Па в данном диапазоне частот.The achieved increase in the "visibility zone" provides, if necessary, this system the ability to receive audio signals, i.e. work as a microphone. In this case, it uses an electric signal amplifier and an interferometric sensor membrane that are sensitive in the sound frequency range (option according to
В предлагаемой системе может быть использован лазер любого конструктивного исполнения, например, газовый или твердотельный. Наиболее целесообразно использовать полупроводниковый лазерный источник оптического излучения с электрическим питанием от стабилизатора тока, что позволяет миниатюризировать конструкцию и уменьшить ее энергопотребление. Данный вариант конструкции может дополнительно содержать контур прецизионного регулирования положения рабочей точки с управляющим воздействием на температуру лазера по статической составляющей сигнала обратной связи от фотодетектора (п.4 формулы). Этот вариант целесообразно использовать в условиях действия на сенсор интенсивных помех (температуры, давления, вибрации и др.), вызывающих смещение положения рабочей точки системы. В качестве терморегулирующего органа в контуре прецизионного регулирования положения рабочей точки целесообразно использовать элемент Пельтье (п.5 формулы), что дает возможность работать как в режиме нагрева лазера, так и его охлаждения.In the proposed system, a laser of any design, for example, gas or solid-state, can be used. It is most advisable to use a semiconductor laser source of optical radiation with electric power from a current stabilizer, which allows you to miniaturize the structure and reduce its energy consumption. This design option may additionally contain a contour of precise regulation of the position of the operating point with a control action on the laser temperature by the static component of the feedback signal from the photodetector (
Принцип действия вариантов по пп.4 и 5 формулы основан на впервые использованной авторами зависимости длины волны излучения полупроводникового лазера от температуры данного источника оптического излучения для регулирования положения рабочей точки на статической характеристике системы.The principle of operation of the variants according to
На фиг.1 приведен минимальный вариант волоконно-оптической сенсорной системы; на фиг.2 приведен вариант системы с регулированием положения рабочей точки; на фиг.3 представлена амплитудно-частотная характеристика микрофона, изготовленного на базе предлагаемой волоконно-оптической сенсорной системы.Figure 1 shows the minimum version of a fiber optic sensor system; figure 2 shows a variant of the system with the regulation of the position of the operating point; figure 3 presents the amplitude-frequency characteristic of a microphone made on the basis of the proposed fiber-optic sensor system.
В таблице указаны значения технических характеристик образцов минимального варианта системы.The table shows the values of the technical characteristics of the samples of the minimum version of the system.
Волоконно-оптическая сенсорная система (фиг.1) содержит лазерный источник 1 оптического излучения, интерферометрический сенсор 2, оснащенный чувствительной мембраной 3, волоконно-оптический разветвитель 4, выполненный из одномодовых оптических волокон, фотодетектор 5 и усилитель 6 электрического сигнала. Выход источника 1 оптического излучения подключен к первому входу волоконно-оптического разветвителя 4, второй вход волоконно-оптического разветвителя 4 подключен к интерферометрическому сенсору 2 с возможностью передачи света от источника 1 оптического излучения и приема оптического интерференционного сигнала от сенсора 2. Выход волоконно-оптического разветвителя 4 связан с оптическим входом фотодетектора 5, а выход фотодетектора 5 подключен к усилителю 6 электрического сигнала. В зависимости от назначения системы к выходу усилителя 6 подключено соответствующее регистрирующее устройство 7 (осциллограф, компьютер, световой индикатор, динамик и т.д.). Расстояние l от выходного торца оптического волокна до мембраны 3 сенсора 2 установлено по интерференционной картине или с помощью микропозиционера в соответствии с формулами (2) и (3).The fiber optic sensor system (Fig. 1) contains a laser source of
Лазерное излучение от источника 1, пройдя через разветвитель 4, поступает на интерферометрический сенсор 2. Часть этого излучения отражается от выходного торца оптического волокна, а другая часть излучения проходит расстояние l, и, отразившись от мембраны 3 сенсора 2, поступает в обратном направлении в указанный торец того же оптического волокна. В связи с тем, что установочное значение l не превышает 0,5lког, указанные световые потоки складываются когерентно, формируя таким образом интерференционную картину, которая с выхода разветвителя 4 поступает на фотодетектор 5, с которого принимается усилителем 6 электрического сигнала и поступает с выхода последнего на блок регистрации 7.Laser radiation from
Результаты испытания минимальных вариантов целевых конструкций с источниками оптического излучения при длине волны λ=1,55 и 1,30 мкм представлены в табл.1. Как видно из таблицы, пороговая чувствительность образцов волоконно-оптической сенсорной системы максимальна при установке торца оптического волокна в сенсоре 2 на оптимальном расстоянии от мембраны 3, определяемом формулой (3), а именно l=0,125λn при нечетном значении n в диапазоне [1001÷3001]. В этом случае пороговая чувствительность составляет 0,008÷0,01 нм при λ=1,55 мкм и 0,005÷0,006 нм при λ=1,30 мкм. При выходе за указанный диапазон изменения n чувствительность системы уменьшается за счет потери контраста интерференционной картины. При четных значениях n система нечувствительна из-за попадания рабочей точки на нечувствительный участок косинусоидальной интерференционной зависимости выходного сигнала системы от значения l.The test results of the minimum options for target structures with optical radiation sources at a wavelength of λ = 1.55 and 1.30 μm are presented in Table 1. As can be seen from the table, the threshold sensitivity of the samples of the fiber-optic sensor system is maximum when the end of the optical fiber in the
В варианте микрофона (п.3 формулы) различают статическую и динамическую характеристики волоконно-оптической сенсорной системы. Статическая характеристика представляет собой установившееся значение сигнала на выходе фотодетектора в зависимости от положения рабочей точки при отсутствии помехи. Динамическая характеристика формируется в результате действия принимаемого звукового сигнала и зависит от амплитудно-частотной характеристики (АЧХ) мембраны сенсора. На фиг.3 приведена экспериментально отснятая АЧХ волоконно-оптической сенсорной системы с длиной волны λ=1,55 мкм излучения полупроводникового лазера 1 мощностью 2 мВт и образцом мембраны сенсора 3 чувствительностью 1,5 нм/Па. АЧХ такой системы в звуковом диапазоне частот является равномерной. Ее неравномерность не превышает 3 дБ при среднем значении АЧХ, равном 135 дБ.In the microphone variant (
Оптимальный вариант системы, оснащенной полупроводниковым лазерным источником 1 оптического излучения с электрическим питанием от стабилизатора тока, дополнительно содержит контур 8 прецизионного регулирования положения рабочей точки с управляющим воздействием на температуру лазера по статической составляющей сигнала обратной связи от фотодетектора, включающий автоматический регулятор 9 с исполнительным механизмом и регулирующий орган 10 (фиг.2, пункт 4 формулы). Вход регулятора 9 связан с выходом фотодетектора 5 непосредственно, как показано на фиг.2, или через усилитель 6, выход регулятора 9 связан с помощью входящего в его структуру исполнительного механизма с терморегулирующим органом 10, установленным с возможностью изменения температуры лазера 1. Изменение температуры лазера 1 приводит к изменению длины волны λ его излучения относительно номинала для компенсации отклонения рабочей точки под действием внешней помехи на сенсор 2.The optimal version of the system, equipped with a
В качестве терморегулирующего органа 10 может использоваться соответствующий нагреватель, например, выполненный в виде нихромовой спирали. Возможно также включение элемента 10 в цепь задатчика стабилизатора тока, питающего лазер 1. Наиболее целесообразно в терморегулирующем органе 10 использовать элемент Пельтье (п.5 формулы). Это дает возможность работать как в режиме нагрева так и охлаждения лазера, что расширяет диапазон управляющих воздействий.As a temperature-regulating
Как пояснено описанием, приведенными примерами и графическим приложением, использование предлагаемой волоконно-оптической сенсорной системы по сравнению с прототипом позволяет упростить и миниатюризировать конструкцию целевого комплекса за счет одноканального исполнения контура интерферометрических измерений и изъятия громоздкого электромеханического узла автоподстройки положения рабочей точки. Кроме того, достигнуто расширение частотного диапазона чувствительности, что подтверждается АЧХ варианта работы системы в качестве микрофона. Достигнуто также обеспечение работы системы в условиях действия помех за счет впервые реализованной компенсации помехи изменением длины волны источника излучения.As explained by the description, examples and graphical application, the use of the proposed fiber-optic sensor system in comparison with the prototype allows to simplify and miniaturize the design of the target complex due to the single-channel execution of the interferometric measurement circuit and the removal of the bulky electromechanical node for automatically adjusting the position of the operating point. In addition, the expansion of the frequency range of sensitivity has been achieved, which is confirmed by the frequency response of the system as a microphone. It has also been achieved that the system operates under conditions of interference due to the first implemented interference compensation by changing the wavelength of the radiation source.
Техническим результатом, производным от достигнутого, является снижение себестоимости системы за счет упрощения ее конструкции и юстировки.The technical result, derived from the achieved, is to reduce the cost of the system by simplifying its design and alignment.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2004128514/28A RU2279112C2 (en) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | Fiber-optic sensor system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2004128514/28A RU2279112C2 (en) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | Fiber-optic sensor system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2004128514A RU2004128514A (en) | 2006-03-10 |
| RU2279112C2 true RU2279112C2 (en) | 2006-06-27 |
Family
ID=36115743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2004128514/28A RU2279112C2 (en) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | Fiber-optic sensor system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2279112C2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2498226C1 (en) * | 2012-06-01 | 2013-11-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) | Fiber-optic sensor system |
| RU2515339C2 (en) * | 2012-01-11 | 2014-05-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики имени академика Е.И. Забабахина" | Method to measure linear movements |
| RU2624786C1 (en) * | 2016-10-17 | 2017-07-06 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Петербургский государственный университет путей сообщения Императора Александра I" | Device for measuring aerodynamic pressure on tunnel constructions |
| WO2021113793A1 (en) * | 2019-12-05 | 2021-06-10 | Ipg Photonics Corporation | Bidirectional single-fiber coherent transmission system |
-
2004
- 2004-09-27 RU RU2004128514/28A patent/RU2279112C2/en not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2515339C2 (en) * | 2012-01-11 | 2014-05-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики имени академика Е.И. Забабахина" | Method to measure linear movements |
| RU2498226C1 (en) * | 2012-06-01 | 2013-11-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) | Fiber-optic sensor system |
| RU2624786C1 (en) * | 2016-10-17 | 2017-07-06 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Петербургский государственный университет путей сообщения Императора Александра I" | Device for measuring aerodynamic pressure on tunnel constructions |
| WO2021113793A1 (en) * | 2019-12-05 | 2021-06-10 | Ipg Photonics Corporation | Bidirectional single-fiber coherent transmission system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2004128514A (en) | 2006-03-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3037639B2 (en) | Optical microphone | |
| US6618523B2 (en) | Unbalanced fiber optic Michelson interferometer as an optical pick-off | |
| US11215481B2 (en) | Diaphragm-based fiber acoustic sensor | |
| JPH0663727B2 (en) | Position detection device and method | |
| US20040071383A1 (en) | Fiber tip based sensor system for acoustic measurements | |
| JP5306386B2 (en) | A device that acquires position using a Fabry-Perot interferometer | |
| EP2530431A1 (en) | Improved optical filtering for resonator-fiber-optic gyroscopes | |
| Akkaya et al. | Modeling and demonstration of thermally stable high-sensitivity reproducible acoustic sensors | |
| US5063781A (en) | Fiber-optic vibration sensor | |
| JP2009512199A (en) | Method and apparatus for suppressing laser phase noise | |
| CN111289085B (en) | Microphone diaphragm amplitude measuring method and device | |
| US5177566A (en) | Interferometer with environment sensitive static etalon | |
| TW201719109A (en) | Apparatus for measuring cavity length of optical resonant cavity | |
| RU2305253C1 (en) | Fiber-optical sensor system | |
| RU2279112C2 (en) | Fiber-optic sensor system | |
| RU2498226C1 (en) | Fiber-optic sensor system | |
| JPH11257920A (en) | Noncontact type optical measuring apparatus and method of using the same | |
| JP2000292433A (en) | Optical vibration sensor and optical vibration evaluation method | |
| Ribeiro et al. | Low coherence fiber optic system for remote sensors illuminated by a 1.3 μm multimode laser diode | |
| CN114175683B (en) | Optical transducer and method for measuring displacement | |
| CA1334630C (en) | Measuring device | |
| JPH0560781A (en) | Acceleration measuring apparatus | |
| US20120314200A1 (en) | Coupled multi-wavelength confocal systems for distance measurements | |
| KR102443921B1 (en) | Phase shifting interferometer using optical fiber doped with rare earth elements | |
| RU2113697C1 (en) | Optical pressure gauge |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20070928 |