RU2269608C1 - Method of depositing of a chromium coating on steel details - Google Patents
Method of depositing of a chromium coating on steel details Download PDFInfo
- Publication number
- RU2269608C1 RU2269608C1 RU2004128010/02A RU2004128010A RU2269608C1 RU 2269608 C1 RU2269608 C1 RU 2269608C1 RU 2004128010/02 A RU2004128010/02 A RU 2004128010/02A RU 2004128010 A RU2004128010 A RU 2004128010A RU 2269608 C1 RU2269608 C1 RU 2269608C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- chromium
- coating
- substrate
- layer
- electrolyte
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для восстановления и упрочнения поверхностей трущихся деталей машин.The invention relates to mechanical engineering and can be used to restore and harden the surfaces of the rubbing parts of machines.
Известен способ нанесения на поверхность изделий (подложку) хромовых покрытий путем термической диссоциации паров гексакарбонила хрома [1]. Способ осуществляют при температуре подложки от 300 до 700°С в вакууме примерно 4-6 Па при непрерывной откачке системы. Количество паров карбонила, подаваемого в реактор, регулируется температурой нагрева кристаллического гексакарбонила хрома в сублиматоре и, как правило, находится интервале от 40 до 80°С. При этих условиях скорость нанесения покрытия составляет 5-10 мкм/мин.A known method of applying to the surface of the product (substrate) of chromium coatings by thermal dissociation of vapor of chromium hexacarbonyl [1]. The method is carried out at a substrate temperature of from 300 to 700 ° C in a vacuum of about 4-6 Pa with continuous pumping of the system. The amount of carbonyl vapor supplied to the reactor is controlled by the heating temperature of crystalline chromium hexacarbonyl in the sublimator and, as a rule, is in the range from 40 to 80 ° C. Under these conditions, the coating rate is 5-10 μm / min.
Характерной особенностью таких покрытий является их высокая микротвердость, достигающая величины 1600 кг/мм2.A characteristic feature of such coatings is their high microhardness, reaching a value of 1600 kg / mm 2 .
Однако при осаждении таких покрытий в указанных режимах прочность сцепления их со стальной подложкой оказывается неудовлетворительной и при механической обработке деталей наблюдается образование трещин в покрытиях и частичное их отслоение от подложки.However, during the deposition of such coatings in the indicated modes, their adhesion to a steel substrate is unsatisfactory, and during machining of parts, cracking in the coatings and their partial detachment from the substrate are observed.
Известен электролитический способ нанесения хромовых покрытий и, в частности, с использованием высокоскоростных саморегулирующихся хромсодержащих электролитов [2]. Способ осуществляют на базе катализирующих анионов в виде труднорастворимых соединений следующего состава:Known electrolytic method for applying chromium coatings and, in particular, using high-speed self-regulating chromium-containing electrolytes [2]. The method is carried out on the basis of catalytic anions in the form of sparingly soluble compounds of the following composition:
1) 250 г/л хромового ангидрида, 5-7 г/л сульфата стронция, 18-22 г/л кремнефторида калия;1) 250 g / l of chromic anhydride, 5-7 g / l of strontium sulfate, 18-22 g / l of potassium silicofluoride;
2) 230-250 г/л хромового ангидрида, 6-8 г/л фторида кальция, 18-22 г/л кремнефторида калия.2) 230-250 g / l of chromic anhydride, 6-8 g / l of calcium fluoride, 18-22 g / l of potassium silicofluoride.
Процесс проводят при температуре электролита 40-70°С и плотности тока 30-70 А/дм2. В этих условиях получают блестящие хромовые покрытия с небольшими внутренними напряжениями, характеризующиеся высокой прочностью сцепления покрытия с подложкой. Однако максимальная микротвердость таких покрытий не превышает 800-900 кг/мм2, что недостаточно для деталей, работающих в условиях интенсивного абразивного износа.The process is carried out at an electrolyte temperature of 40-70 ° C and a current density of 30-70 A / dm 2 . Under these conditions, shiny chrome coatings with small internal stresses are obtained, characterized by high adhesion strength of the coating to the substrate. However, the maximum microhardness of such coatings does not exceed 800-900 kg / mm 2 , which is not enough for parts working in conditions of intense abrasive wear.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ нанесения хромового покрытия, включающий электролитическое осаждение на подложку хромового покрытия из хромсодержащих растворов в присутствии катализатора и нанесение дополнительного слоя хромового покрытия из газовой фазы гексакарбонила хрома путем термической диссоциации [3]. При этом деталь в качестве катода помещают в хромсодержащий электролит, включающий катализирующие добавки. Режим осаждения: температура 50-60°С, плотность тока 60-70 А/дм2. После промывки деталь помещают в вакуумную камеру на графитовый обогреватель. Камеру вакуумируют, деталь нагревают до температуры 350-500°С и подают из предварительно нагретого сублиматора пары гексакарбонила хрома. Продолжительность процесса 7-10 мин. На поверхности нагретой детали пары гексакарбонила хрома разлагаются с образованием дополнительного хромового покрытия, при этом толщина дополнительного слоя покрытия составляет 5-15% от толщины первого слоя.The closest in technical essence to the proposed one is a method of applying a chromium coating, including electrolytic deposition of a chromium coating on a substrate from chromium-containing solutions in the presence of a catalyst and applying an additional layer of chromium coating from the gas phase of chromium hexacarbonyl by thermal dissociation [3]. In this case, the part as a cathode is placed in a chromium-containing electrolyte, including catalytic additives. The deposition mode: temperature 50-60 ° C, current density 60-70 A / DM 2 . After washing, the part is placed in a vacuum chamber on a graphite heater. The chamber is evacuated, the part is heated to a temperature of 350-500 ° C and a pair of chromium hexacarbonyl is fed from a preheated sublimator. The duration of the process is 7-10 minutes. On the surface of the heated part, chromium hexacarbonyl vapors decompose with the formation of an additional chrome coating, while the thickness of the additional coating layer is 5-15% of the thickness of the first layer.
Получаемые покрытия характеризуются высокой микротвердостью (1200-1600 кг/мм2) и удовлетворительной прочностью сцепления покрытия с основой.The resulting coatings are characterized by high microhardness (1200-1600 kg / mm 2 ) and satisfactory adhesion strength of the coating to the base.
Однако в ряде случаев (например, при получении качественных противокоррозионных и износостойких покрытий на высоконагруженных деталях машин) прочность сцепления покрытия с основой является недостаточной, что приводит к образованию трещин и отслаиванию покрытия. Кроме того, данный способ является малопроизводительным из-за того, что 85-95% наращиваемого слоя наносится электролитическим хромированием, которое характеризуется низкой скоростью осаждения (1-2 мкм/мин).However, in some cases (for example, when obtaining high-quality anticorrosive and wear-resistant coatings on highly loaded machine parts), the adhesion of the coating to the base is insufficient, which leads to cracking and peeling of the coating. In addition, this method is inefficient due to the fact that 85-95% of the build-up layer is applied by electrolytic chromium plating, which is characterized by a low deposition rate (1-2 μm / min).
Задача, на решение которой направлено изобретение, состоит в увеличении прочности сцепления покрытия с подложкой и повышении производительности процесса.The problem to which the invention is directed, is to increase the adhesion strength of the coating to the substrate and to increase the productivity of the process.
Технический результат от использования изобретения заключается в повышении адгезионной прочности покрытия на 15-20% и значительном увеличении производительности процесса нанесения покрытия по сравнению со способом-прототипом до 100-250% (в зависимости от толщины двухслойного покрытия).The technical result from the use of the invention is to increase the adhesion strength of the coating by 15-20% and a significant increase in the productivity of the coating process compared to the prototype method to 100-250% (depending on the thickness of the two-layer coating).
Технический результат достигается тем, что в способе нанесения хромового покрытия на стальные детали, включающем электролитическое осаждение на подложку хромового покрытия из хромсодержащих растворов в присутствии катализатора и нанесение дополнительного слоя хромового покрытия из газовой фазы гексакарбонила хрома путем термической диссоциации, после нанесения слоя гальванического хрома деталь подвергают анодному травлению в том же электролите с соблюдением следующих режимов: плотность тока 40-50 А/дм2, температура электролита 50-65°С. Кроме того, толщина слоя, наносимого низкопроизводительным гальваническим осаждением, составляет 5-15 мкм, а увеличение толщины покрытия до требуемого значения получают путем термической диссоциации паров гексакарбонила хрома из газовой фазы.The technical result is achieved by the fact that in the method of applying a chromium coating to steel parts, including electrolytic deposition of a chromium coating from a chromium-containing solution on a substrate in the presence of a catalyst and applying an additional layer of a chromium coating from the gas phase of chromium hexacarbonyl by thermal dissociation, after applying a layer of galvanic chromium, the component is subjected anodic etching in the same electrolyte in compliance with the following modes: current density 40-50 A / dm 2 , electrolyte temperature 50-65 ° FROM. In addition, the thickness of the layer applied by low-performance galvanic deposition is 5-15 μm, and an increase in the coating thickness to the desired value is obtained by thermal dissociation of the vapor of chromium hexacarbonyl from the gas phase.
Изобретение осуществляется следующим образом.The invention is as follows.
Стальные детали, поверхности которых подготовлены общепринятыми методами (обезжиривание, промывка, сушка, дефектация, шлифование под требуемый размер, изоляция мест, не подлежащих нанесению покрытия, и т.д.), в качестве катода помещают в электролит, содержащий соединения хрома и катализирующие добавки. Режим осаждения: температура 50-65°С, плотность тока 60-70 А/дм2, продолжительность процесса 15-25 мин. После нанесения слоя гальванического хрома меняют полярность на противоположную и производят анодное травление с целью нанесения пористости канальчатого типа при плотности тока 40-50 А/дм2 и температуре 50-65°С в электролите того же состава в течение 0,5-0,85 мин (30-50 секунд). За счет травления происходит активация поверхности и увеличение площади сцепления между слоями. Это приводит к повышению прочности сцепления между гальваническим и газофазным хромовыми слоями и, как следствие, увеличению адгезионной прочности всего покрытия. После промывки стальную деталь с нанесенным и протравленным слоем гальванического хрома помещают в вакуумную камеру на графитовый обогреватель. Камеру вакуумируют до остаточного давления 2-3 Па, деталь нагревают до температуры 350-500°С и подают из предварительно нагретого до 40-60°С сублиматора пары гексакарбонила хрома. После подачи паров остаточное давление в камере повышается до 4-6 Па. На поверхности нагретой детали пары гексакарбонила хрома разлагаются с образованием второго слоя хромового покрытия. Процесс ведут до образования покрытия требуемой толщины. Выделяющийся при разложении паров гексакарбонила хрома оксид углерода выводят через ловушки и сжигают. После получения покрытия подачу паров гексакарбонила хрома прекращают, а деталь охлаждают.Steel parts, the surfaces of which are prepared by conventional methods (degreasing, washing, drying, fault finding, grinding to the required size, isolation of places not to be coated, etc.) are placed as an cathode in an electrolyte containing chromium compounds and catalytic additives . The deposition mode: temperature 50-65 ° C, current density 60-70 A / dm 2 , the duration of the process 15-25 minutes After applying a layer of galvanic chromium, the polarity is reversed and anodic etching is performed to apply channel-type porosity at a current density of 40-50 A / dm 2 and a temperature of 50-65 ° C in an electrolyte of the same composition for 0.5-0.85 min (30-50 seconds). Due to etching, surface activation and an increase in the adhesion area between the layers occur. This leads to an increase in the adhesion strength between the galvanic and gas-phase chromium layers and, as a result, an increase in the adhesive strength of the entire coating. After washing, the steel part with the deposited and etched layer of galvanic chromium is placed in a vacuum chamber on a graphite heater. The chamber is evacuated to a residual pressure of 2-3 Pa, the part is heated to a temperature of 350-500 ° C and fed from a sublimator of a pair of chromium hexacarbonyl preheated to 40-60 ° C. After vapor supply, the residual pressure in the chamber rises to 4-6 Pa. On the surface of the heated part, chromium hexacarbonyl vapors decompose to form a second layer of chromium coating. The process is conducted until the formation of the coating of the required thickness. The carbon monoxide released during the decomposition of chromium hexacarbonyl vapor is removed through traps and burned. After receiving the coating, the supply of chromium hexacarbonyl vapor is stopped, and the part is cooled.
Толщину (δ) первого и второго слоев определяют расчетным путем по привесу образца или микрометрическими измерениями. Микротвердость (Нс) определяют на приборе ПМТ-3, а равномерность и качество оценивают визуально и под микроскопом. Прочность сцепления покрытия с основой определяют по методу Лукомского Ю.М. на установке для испытаний на растяжение-сжатие типа ДМ-30М. Значение прочности сцепления покрытия с основой определяют из соотношения силы отрыва к площади отрыва.The thickness (δ) of the first and second layers is determined by calculation by the weight gain of the sample or by micrometric measurements. Microhardness (N s ) is determined on a PMT-3 instrument, and uniformity and quality are evaluated visually and under a microscope. The adhesion strength of the coating to the base is determined by the method of Lukomsky Yu.M. on the installation for tensile-compression tests of the DM-30M type. The value of the adhesion strength of the coating to the base is determined from the ratio of the separation force to the separation area.
Пример 1. Образец из стали 45 помещают в саморегулирующийся сульфатно-кремнефторидный электролит состава: 250 г/л хромового ангидрида; 6 г/л сульфата стронция; 20 г/л кремнефторида калия. Осаждение хрома проводят при температуре электролита 50°С и плотности тока 70 А/дм2 в течение 15 минут. Далее меняют полярность на противоположную и производят анодное травление при плотности тока 40 А/дм2 и температуре 50°С в течение 0,5 мин в том же электролите.Example 1. A sample of steel 45 is placed in a self-regulating sulfate-silicofluoride electrolyte composition: 250 g / l of chromic anhydride; 6 g / l strontium sulfate; 20 g / l potassium silicofluoride. The precipitation of chromium is carried out at an electrolyte temperature of 50 ° C and a current density of 70 A / DM 2 for 15 minutes. Then the polarity is reversed and anode etching is performed at a current density of 40 A / dm 2 and a temperature of 50 ° C for 0.5 min in the same electrolyte.
После извлечения из электролита образец промывают дистиллированной водой, высушивают, протирают чистой ветошью, смоченной этиловым спиртом, и помешают в реакционную камеру установки газофазной металлизации на графитовый нагреватель. Камеру вакуумируют до остаточного давления 2-3 Па, деталь нагревают до температуры 350°С и с помощью вакуума подают из предварительно нагретого до 40°С сублиматора пары гексакарбонила хрома. При этом остаточное давление в реакционной камере повышается до 4-6 Па. На поверхности нагретой детали пары гексакарбонила хрома разлагаются с образованием дополнительного слоя хромового покрытия. Продолжительность процесса 20 мин. Толщина гальванического (после травления) и газофазного слоев составила 14 и 215 мкм соответственно. Микротвердость первого слоя составила 770 кг/мм2, второго слоя - 1360 кг/ мм2. Прочность сцепления с основой - 92 МПа.After extraction from the electrolyte, the sample is washed with distilled water, dried, wiped with a clean rag moistened with ethyl alcohol, and placed in a reaction chamber of a gas-phase metallization apparatus on a graphite heater. The chamber is evacuated to a residual pressure of 2-3 Pa, the part is heated to a temperature of 350 ° C and, using a vacuum, chromium hexacarbonyl vapors are preliminarily heated to 40 ° C. In this case, the residual pressure in the reaction chamber rises to 4-6 Pa. On the surface of the heated part, chromium hexacarbonyl vapors decompose to form an additional layer of chromium coating. The duration of the process is 20 minutes The thickness of the galvanic (after etching) and gas-phase layers was 14 and 215 μm, respectively. The microhardness of the first layer was 770 kg / mm 2 , the second layer - 1360 kg / mm 2 . The adhesion to the base is 92 MPa.
Пример 2. Образец из стали 25Х помещают в саморегулирующийся фторидно-кремнефторидный электролит состава: 250 г/л хромового ангидрида; 8 г/л фторида кальция; 20 г/л кремнефторида калия. Осаждение хрома проводят при температуре электролита 65°С и плотности тока 60 А/дм2 в течение 25 мин. Далее меняют полярность на противоположную и производят анодное травление при плотности тока 50 А/дм2 и температуре 65°С в течение 0,8 мин в том же электролите.Example 2. A sample of steel 25X is placed in a self-regulating fluoride-silicofluoride electrolyte composition: 250 g / l of chromic anhydride; 8 g / l calcium fluoride; 20 g / l potassium silicofluoride. The precipitation of chromium is carried out at an electrolyte temperature of 65 ° C and a current density of 60 A / DM 2 for 25 minutes Then the polarity is reversed and anodic etching is performed at a current density of 50 A / dm 2 and a temperature of 65 ° C for 0.8 min in the same electrolyte.
После извлечения из электролита образец промывают дистиллированной водой, высушивают, протирают чистой ветошью, смоченной этиловым спиртом, и помешают в реакционную камеру установки газофазной металлизации на графитовый нагреватель. Камеру вакуумируют до остаточного давления 2-3 Па, деталь нагревают до температуры 500°С и с помощью вакуума подают из предварительно нагретого до 50°С сублиматора пары гексакарбонила хрома. При этом остаточное давление в реакционной камере повышается до 4-6 Па. На поверхности нагретой детали пары гексакарбонила хрома разлагаются с образованием дополнительного слоя хромового покрытия. Продолжительность процесса 16 мин. Толщина гальванического (после травления) и газофазного слоев составила 9 и 224 мкм соответственно. Микротвердость первого слоя составила 830 кг/мм2, второго слоя - 1430 кг/ мм2. Прочность сцепления с основой - 97 МПа.After extraction from the electrolyte, the sample is washed with distilled water, dried, wiped with a clean rag moistened with ethyl alcohol, and placed in a reaction chamber of a gas-phase metallization apparatus on a graphite heater. The chamber is evacuated to a residual pressure of 2-3 Pa, the part is heated to a temperature of 500 ° C and, using vacuum, a pair of chromium hexacarbonyl is preliminarily heated to 50 ° C. In this case, the residual pressure in the reaction chamber rises to 4-6 Pa. On the surface of the heated part, chromium hexacarbonyl vapors decompose to form an additional layer of chromium coating. The duration of the process is 16 minutes The thickness of the galvanic (after etching) and gas-phase layers was 9 and 224 μm, respectively. The microhardness of the first layer was 830 kg / mm 2 , the second layer - 1430 kg / mm 2 . The adhesion to the base is 97 MPa.
Пример 3 (осуществлен в соответствии со способом-прототипом). Образец из стали 45 помещают в саморегулирующийся сульфатно-фторидный электролит состава: 250 г/л хромового ангидрида; 6 г/л сульфата стронция; 8 г/л фторида кальция. Осаждение хрома проводят при температуре электролита 50°С и плотности тока 70 А/дм2 в течение 112 мин. Анодное травление не производят.Example 3 (carried out in accordance with the prototype method). A sample of steel 45 is placed in a self-regulating sulfate-fluoride electrolyte composition: 250 g / l of chromic anhydride; 6 g / l strontium sulfate; 8 g / l calcium fluoride. The precipitation of chromium is carried out at an electrolyte temperature of 50 ° C and a current density of 70 A / DM 2 for 112 minutes Anode etching is not performed.
После извлечения из электролита образец промывают дистиллированной водой, высушивают, протирают чистой ветошью, смоченной этиловым спиртом, и помешают в реакционную камеру установки газофазной металлизации на графитовый нагреватель. Камеру вакуумируют до остаточного давления 2-3 Па, деталь нагревают до температуры 350°С и с помощью вакуума подают из предварительно нагретого до 40°С сублиматора пары гексакарбонила хрома. При этом остаточное давление в реакционной камере повышается до 4-6 Па. На поверхности нагретой детали пары гексакарбонила хрома разлагаются с образованием дополнительного слоя хромового покрытия. Продолжительность процесса 4 мин. Толщина гальванического (после травления) и газофазного слоев составила 212 и 23 мкм соответственно. Микротвердость первого слоя составила 760 кг/мм2, второго слоя - 1390 кг/ мм2. Прочность сцепления с основой - 78 МПа.After extraction from the electrolyte, the sample is washed with distilled water, dried, wiped with a clean rag moistened with ethyl alcohol, and placed in a reaction chamber of a gas-phase metallization apparatus on a graphite heater. The chamber is evacuated to a residual pressure of 2-3 Pa, the part is heated to a temperature of 350 ° C and, using a vacuum, chromium hexacarbonyl vapors are preliminarily heated to 40 ° C. In this case, the residual pressure in the reaction chamber rises to 4-6 Pa. On the surface of the heated part, chromium hexacarbonyl vapors decompose to form an additional layer of chromium coating. The duration of the process is 4 minutes The thickness of the galvanic (after etching) and gas-phase layers was 212 and 23 μm, respectively. The microhardness of the first layer was 760 kg / mm 2 , the second layer - 1390 kg / mm 2 . The adhesion to the base is 78 MPa.
Все примеры и результаты испытаний представлены в таблице. Для удобства сравнения полученных результатов были получены покрытия примерно одинаковой толщины - около 230 мкм.All examples and test results are presented in the table. For the convenience of comparing the results, coatings of approximately the same thickness — about 230 μm — were obtained.
Как видно из примеров 1-3, представленных в таблице, предлагаемым способом получены хромовые покрытия, обладающие высокими рабочими характеристиками. Прочность сцепления с основой покрытий, полученных в соответствии с предлагаемым способом, составила 92-97 МПа, а по способу-прототипу - 78 МПа, таким образом, достигнуто повышение прочности сцепления на 18-24%. Время нанесения покрытий по предлагаемому способу составило 36-42 мин, тогда как по способу прототипу 116 мин, следовательно, производительность повышается на 176-220%. При этом микротвердость обоих слоев, остается достаточно высокой и находится на уровне способа-прототипа.As can be seen from examples 1-3, presented in the table, the proposed method obtained chromium coatings with high performance. The adhesion strength to the base coatings obtained in accordance with the proposed method was 92-97 MPa, and according to the prototype method - 78 MPa, thus, an adhesion strength increase of 18-24% was achieved. The coating time according to the proposed method was 36-42 minutes, while according to the method of the prototype 116 minutes, therefore, the productivity is increased by 176-220%. In this case, the microhardness of both layers remains high enough and is at the level of the prototype method.
Источники информацииInformation sources
1. Сыркин В.Г. Газофазная металлизация через карбонилы. М.: Металлургия, 1985, 248 с.1. Syrkin V.G. Gas-phase metallization through carbonyls. M .: Metallurgy, 1985, 248 p.
2. Шлугер М.А. Ускорение и усовершенствование хромирования деталей машин. М: Машгиз, 1961.2. Shluger M.A. Acceleration and improvement of chrome plating of machine parts. M: Mashgiz, 1961.
3. Патент РФ №2109844 С1, кл. 6 С 23 С 16/16, 28/02, 06.02.1997.3. RF patent No. 2109844 C1, cl. 6 C 23 C 16/16, 28/02, 02/06/1997.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2004128010/02A RU2269608C1 (en) | 2004-09-20 | 2004-09-20 | Method of depositing of a chromium coating on steel details |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2004128010/02A RU2269608C1 (en) | 2004-09-20 | 2004-09-20 | Method of depositing of a chromium coating on steel details |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2269608C1 true RU2269608C1 (en) | 2006-02-10 |
Family
ID=36049973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2004128010/02A RU2269608C1 (en) | 2004-09-20 | 2004-09-20 | Method of depositing of a chromium coating on steel details |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2269608C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108121169A (en) * | 2016-11-30 | 2018-06-05 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | The forming method of far ultraviolet alignment mark |
-
2004
- 2004-09-20 RU RU2004128010/02A patent/RU2269608C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108121169A (en) * | 2016-11-30 | 2018-06-05 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | The forming method of far ultraviolet alignment mark |
| CN108121169B (en) * | 2016-11-30 | 2022-02-18 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | Method for forming far ultraviolet alignment mark |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4738756A (en) | Method of brush chrome plating using tank chrome plating solutions | |
| US5558759A (en) | Metal finishing process | |
| JP5403816B2 (en) | DLC film coated member and method for manufacturing the same | |
| JPH0570718B2 (en) | ||
| JPWO2007135901A1 (en) | Gravure plate making roll and method for producing the same | |
| RU2269608C1 (en) | Method of depositing of a chromium coating on steel details | |
| JP6576232B2 (en) | Soft-nitriding steel member and manufacturing method thereof, pressure plate, and brake pad | |
| JPH0558057B2 (en) | ||
| Bonou et al. | Nucleation and growth of copper on glassy carbon and steel | |
| US10519322B2 (en) | Composition and method for inhibiting corrosion | |
| RU2109844C1 (en) | Method for deposition of chromium coating | |
| JP5586951B2 (en) | Use of phosphinic acid and / or phosphonic acid in redox processes | |
| Yu et al. | Corrosion resistance, composition and structure of RE chemical conversion coating on magnesium alloy | |
| Singh et al. | TiN coatings on nickel and electroless nickel (EN) plated mild steel | |
| JP2876095B2 (en) | Graphite electrolytic electrode | |
| JPS63317699A (en) | Pretreatment of metallic plating | |
| JPS5911678B2 (en) | Manufacturing method of porous copper thin film | |
| KR100368444B1 (en) | Method for improving the wear resistance and corrosion resistance of chrome plating layer | |
| Sheu et al. | Effect of pretreatment process on the adhesion and corrosion resistance of chromium-carbon coatings deposited on copper substrates | |
| JP2005082844A (en) | Coating method for base material and coating structure | |
| JP3102663B2 (en) | Pre-painting method and painting method for magnesium alloy products | |
| KR20190034910A (en) | Surface treating method of magnesium metal | |
| CN117821989A (en) | Controllable deplating method for diamond-like coating on surface of workpiece | |
| Arrowsmith | Seeing is believing on surface treated aluminium | |
| KR960004629B1 (en) | Method for treating a surface of a base metal for coated cutting tool |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20060921 |