RU2263242C1 - Вакуумный ввод вращения - Google Patents

Вакуумный ввод вращения Download PDF

Info

Publication number
RU2263242C1
RU2263242C1 RU2004109409/06A RU2004109409A RU2263242C1 RU 2263242 C1 RU2263242 C1 RU 2263242C1 RU 2004109409/06 A RU2004109409/06 A RU 2004109409/06A RU 2004109409 A RU2004109409 A RU 2004109409A RU 2263242 C1 RU2263242 C1 RU 2263242C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vacuum
shaft
bearings
bushings
housing
Prior art date
Application number
RU2004109409/06A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2004109409A (ru
Inventor
А.Н. Семёнов (RU)
А.Н. Семёнов
В.Н. Тюрин (RU)
В.Н. Тюрин
В.П. Гордо (RU)
В.П. Гордо
Г.Н. Шевелёв (RU)
Г.Н. Шевелёв
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский и конструкторский институт энерготехники им. Н.А. Доллежаля"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский и конструкторский институт энерготехники им. Н.А. Доллежаля" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский и конструкторский институт энерготехники им. Н.А. Доллежаля"
Priority to RU2004109409/06A priority Critical patent/RU2263242C1/ru
Publication of RU2004109409A publication Critical patent/RU2004109409A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2263242C1 publication Critical patent/RU2263242C1/ru

Links

Landscapes

  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Sliding-Contact Bearings (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

Изобретение применимо для ввода вращающихся валов в вакуумные камеры, в которых осуществляются механические технологические процессы, например горячая прокатка фольги из химически активных металлов. Корпус с валом на подшипниках и вакуумными уплотнениями выполнен секционным, состоящим, по крайней мере, из двух секций, в каждой из которых установлено по два подшипника скольжения в виде втулок из фторопласта, разделенных кольцевой полостью, снабженной ниппелем для откачки воздуха. Технический результат состоит в длительной стабильной работе вакуумного ввода без потери вакуумной плотности на скоростях вращения вала до 600 об/мин. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам, с помощью которых осуществляют ввод вращающихся валов в вакуумные камеры технологических установок. Для многих технологических процессов под вакуумом необходим механический привод, например, для горячей прокатки фольги из химически активных металлов, таких как цирконий, титан и др. Применять электропривод в вакууме невозможно, т.к. без охлаждения обмотки электромоторы быстро перегреются и выйдут из строя.
Во всех механических устройствах, работающих в вакууме, электроприводы устанавливают вне вакуумной камеры, а силовой вращающийся вал вводят в вакуумную камеру через специальный механический вакуумный ввод, снабженный вакуумными уплотнениями на вращающемся валу. Такие вводы герметично крепятся на стенке вакуумной камеры (см. Вакуумная техника. Справочник. М.: Машиностроение, 1985 г., стр.124-132). В этом справочнике на стр. 125 приведен рисунок 8-1, на котором показана конструкция вакуумного ввода вращения с манжетными вакуумными уплотнителями, взятая в настоящей заявке в качестве прототипа.
Вакуумный ввод на рис. 8-1 содержит корпус, закрепляемый на стенке вакуумной камеры, в котором на подшипниках качения установлен вал вращения, при этом подшипники разнесены с образованием между ними кольцевой полости. Вакуумная плотность вращающегося вала обеспечивается за счет двух резиновых манжет, которые вакуумно-плотно закреплены в корпусе ввода, а на валу вакуумная плотность обеспечивается за счет прижима их внутренних отворотов к гладкой поверхности вала с помощью упругих спиральных колец. Между манжетами установлено фетровое кольцо, пропитанное вакуумным маслом. Наружный диаметр фетрового кольца закреплен в корпусе, а внутренний диаметр охватывает поверхность вала, обеспечивая тем самым смазку трущихся поверхностей вала и отворотов манжет, соприкасающихся с поверхностью вращающегося вала.
Эта конструкция вакуумного ввода хорошо работает на малых оборотах вала, т.к. на больших оборотах, свыше 100 об/мин, резиновая манжета начинает быстро истираться от трения о поверхность вала, что сопровождается достаточно большим газовыделением и со временем начинает терять вакуумную плотность, поэтому такие вводы применяют только в системах с динамическим вакуумом и небольшими периодами включения вращения вала на скоростях до 100 об/мин.
Задача, на решение которой направлено заявляемое изобретение, состоит в создании конструкции вакуумного ввода вращения, способного длительно сохранять вакуумную плотность при вращении вала на скоростях свыше 100 об/мин.
Технический результат, получаемый в результате осуществления заявленной конструкции вакуумного ввода вращения состоит:
1) в отсутствии газообразования при длительной непрерывной работе, что позволяет применять его в технологических вакуумных камерах со статическим вакуумом;
2) в стабильной работоспособности вакуумного ввода без потери вакуумной плотности на скоростях вращения вала до 600 об/мин;
3) в большом периоде (до года) между профилактическими остановками по замене трущихся элементов вакуумного ввода.
Указанный технический результат достигается тем, что в вакуумном вводе вращения, содержащем корпус, в котором на подшипниках, разделенных кольцевой полостью, установлен вал, уплотненный вакуумными уплотнениями, снабженными устройством для смазывания трущихся поверхностей,
- корпус выполнен секционным, состоящим, по крайней мере, из двух секций, вакуумно плотно скрепленных между собой, в каждый из которых установлено по два подшипника скольжения, в виде втулок из антифрикционного материала, а кольцевая полость снабжена ниппелем для откачки воздуха;
- кроме того, одна секция закреплена на фланце для установки вакуумного ввода на стенке вакуумной камеры;
- кроме того, на валу дополнительно установлен упорный подшипник, закрепленный на крайней секции;
- кроме того, втулка выполнена из второпласта.
Замена подшипников качения на подшипники скольжения в виде втулок, например, из фторопласта, со смазкой вакуумным маслом, а также выполнение корпуса ввода в виде набора из секций позволяет отказаться от резиновых манжет, которые интенсивно истираются при скоростях вала свыше 100 об./мин.
Применение подшипников скольжения в виде втулок вместо подшипников качения позволяет повысить число оборотов вала без потери вакуума при условии создания постоянного автономного разрежения в кольцевой полости между подшипниками скольжения. Подшипники скольжения, изготовленные в виде втулок из антифрикционного материала, например из фторопласта или оловянистой бронзы, выполняют двойную роль: полноценных подшипников для скоростного вала, а также долговечных вакуумных уплотнителей вращающегося вала, при этом вакуумная плотность таких уплотнителей дополнительно обеспечивается широко известной системой смазки подшипников скольжения, когда смазка постоянно подается непосредственно в проточку в середине подшипника скольжения.
Для предотвращения возможных протечек воздуха в вакуумную камеру через подвижную посадку вала между втулками и валом сохранена кольцевая полость с ниппелем, с помощью которого постоянно на протяжении всей работы вакуумной камеры откачивают из этой полости воздух с помощью имеющегося в комплекте вакуумной камеры форвакуумного насоса до разрежения 2·10-3-5·10-3 мм рт. ст. Этого разрежения вполне достаточно, чтобы в камере было минимально допустимое натекание. Для полного исключения какого-либо натекания корпус вакуумного ввода вращения выполняют в виде набора нескольких секций со втулками, например, не менее двух, вакуумно-плотно скрепленных между собой. В этом случае в секции, непосредственно контактирующие с вауумной камерой, не может попасть воздух даже в том случае, когда посадка между валом и втулками за счет износа при длительной работе может перейти от скользящей или ходовой до широкоходовой посадки.
Наличие стандартного устройства для постоянной смазки вакуумным маслом трущихся поверхностей втулка-вал обеспечивает не только долговечность работы подшипников скольжения, но и дополнительно гарантирует вводу вакуумную плотность из-за наличия в зазоре вал-втулка масляной пленки, которая препятствует образованию каких-либо микротечей в случае износа поверхности втулки.
В тех случаях, когда вал испытывает осевые рабочие нагрузки, на крайнюю, преимущественно наружную, секцию устанавливают один или два упорных подшипника качения, которые полностью берут на себя все осевые рабочие нагрузки вала.
Для удобства крепления вакуумного ввода вращения на стенке вакуумной камеры, когда уже есть готовое фланцевое отверстие, вакуумный ввод крепят на фланце, соответствующем этому фланцевому отверстию.
Сущность изобретения поясняется чертежом, где показан в разрезе вакуумный ввод вращения. Приведенная конструкция ввода состоит из двух секций 1, вала 2, втулок 3, попарно установленных в каждой секции 1, между которыми образованы кольцевые полости 4, в которых во время работы вакуумной камеры создается разрежение с помощью ниппелей 5, на которые одеваются вакуумные шланги, соединяющие кольцевые полости 4 с форвакуумным насосом вакуумной станции. Для удобства монтажа вакуумного ввода на стенке вакуумной камеры 12 все секции 1 смонтированы на сменном фланце 6, который изготавливается по размерам готового отверстия в стенке вакуумной камеры, где будет требоваться необходимость во вращении какого-либо механизма.
Вакуумный ввод изготавливают и собирают в следующей последовательности.
Сначала изготавливают вал 2 с учетом характера его работы и передаваемого им крутящего момента. Если вал в процессе работы испытывает осевые нагрузки, то на валу предусматривают место установки одного или двух радиально-упорных или упорных подшипников 7, заключенных в корпус 8 и поджатых фланцем 9. В секции 1 с двух сторон запрессовывают втулка 3, например, из фторопласта. Внутренний диаметр втулок изготавливают с припуском, чтобы после запрессовки внутренний диаметр втулок точно изготовить по фактическому диаметру вала, обеспечив при этом скользящую посадку с возможностью проворота вала от руки.
Секции изготавливают с каналами для подачи в места трения вакуумного масла (система смазки на чертеже условно не показана, т.к. является широко известной).
Сборку ведут в следующей последовательности. Сначала на вал устанавливают (при необходимости) упорные подшипники 7, снаружи которых устанавливают кольцевой корпус 8. После установки подшипников на вал 2 надевают секции 1 с запрессованными в них втулками 3. Между секциями 1 устанавливают прокладки 11 из вакуумной резины.
По входному отверстию (фланцу) на вакуумной камере изготавливают сменный фланец 6 с тремя шпильками 10, вваренными в стенку фланца 6, при этом оси шпилек и оси сквозных отверстий в секциях 1 и корпусе 8 должны совпадать с обеспечением сборочного люфта. Такие же отверстия должны быть выполнены в прижимном фланце 9.
Собранные детали (1, 6, 8, 9) стягивают гайками на концах шпилек 10 до обеспечения вакуумной плотности между сменным фланцем 6 и секциями 1. Собранный таким образом вакуумный ввод вращения может устанавливаться с обеспечением вакуумной плотности на стенке 12 рабочей вакуумной камеры.
Работает вакуумный ввод вращения следующим образом.
После установки ввода на вакуумной камере к ниппелям 5 секции 1 вакуумными шлангами подключают форвакуумный насос, который в кольцевых полостях 4 создает разрежение не хуже 5·10-3 мм рт. ст. При рабочем разряжении в вакуумной камере 5·10-5-5·10-6 мм рт. ст. при остановленном вале и при его вращении через зазор между валом 2 и последней втулкой 3, примыкающей к сменному фланцу 6, воздух не может просочиться, т.к. основная течь откачивается форвакуумным насосом из кольцевой камеры 4 секции 1, контактирующей с наружным воздухом. Возможные остатки от течи, которые могут просочиться во вторую кольцевую полость 4 секции 1, примыкающей к сменному фланцу 6, гарантированно откачиваются форвакуумным насосом до разрежения 5·10-3 мм рт. ст., что в итоге обеспечивает сохранение рабочего вакуума в камере при скорости вращения вала 2 до 600 об/мин.

Claims (4)

1. Вакуумный ввод вращения, содержащий корпус, в котором на подшипниках, разделенных кольцевой полостью, установлен вал, уплотненный вакуумными уплотнениями, снабженными устройством для смазывания трущихся поверхностей, отличающийся тем, что корпус выполнен секционным, состоящим, по крайней мере, из двух секций, вакуумно-плотно скрепленных между собой, в каждой из которых установлено по два подшипника скольжения в виде втулок из антифрикционного материала, а кольцевая полость снабжена ниппелем для откачки воздуха.
2. Вакуумный ввод по п.1, отличающийся тем, что одна секция закреплена на фланце для установки вакуумного ввода на стенке вакуумной камеры.
3. Вакуумный ввод по п.1, отличающийся тем, что на валу дополнительно установлен упорный подшипник, закрепленный на крайней секции.
4. Вакуумный ввод по п.1, отличающийся тем, что втулки выполнены из фторопласта.
RU2004109409/06A 2004-03-29 2004-03-29 Вакуумный ввод вращения RU2263242C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004109409/06A RU2263242C1 (ru) 2004-03-29 2004-03-29 Вакуумный ввод вращения

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004109409/06A RU2263242C1 (ru) 2004-03-29 2004-03-29 Вакуумный ввод вращения

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2004109409A RU2004109409A (ru) 2005-09-20
RU2263242C1 true RU2263242C1 (ru) 2005-10-27

Family

ID=35848786

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004109409/06A RU2263242C1 (ru) 2004-03-29 2004-03-29 Вакуумный ввод вращения

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2263242C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2471883C1 (ru) * 2011-11-23 2013-01-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") Устройство для вакуумного нанесения материала
RU2477815C2 (ru) * 2008-11-13 2013-03-20 Смс Зимаг Аг Вращающийся ввод

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА Справочник, Москва, Машиностроение, 1985, с.124-132, рис. 8-1. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2477815C2 (ru) * 2008-11-13 2013-03-20 Смс Зимаг Аг Вращающийся ввод
RU2471883C1 (ru) * 2011-11-23 2013-01-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") Устройство для вакуумного нанесения материала

Also Published As

Publication number Publication date
RU2004109409A (ru) 2005-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9068571B2 (en) Seal for oil-free rotary displacement compressor
US7484734B2 (en) Pressure resistant static and dynamic expeller shaft sealing
US20100253005A1 (en) Seal for oil-free rotary displacement compressor
ATE347062T1 (de) Berührungsfreie dichtung für anwendungen mit grossem achsversatz
JP5577297B2 (ja) スクロール式流体機械
US5387040A (en) Sealing system
US20220235772A1 (en) Vacuum pumping system having an oil-lubricated vacuum pump
US3292847A (en) Lubricant sealing means for rotary positive displacement pump
RU2263242C1 (ru) Вакуумный ввод вращения
RU41106U1 (ru) Вакуумное уплотнение вала
JP2011144933A (ja) 静的および動的な排出機の耐圧シャフトシール
AU2002329686A1 (en) Seal and bearing assembly
EP1412647A2 (en) Seal and bearing assembly
KR20190056724A (ko) 오일 회수 장치
JP2021193292A (ja) ルーツ式ブロワ又はルーツ式真空ポンプ
JP5865960B2 (ja) 圧縮機
CA2993290C (en) Modular thrust-compensating rotor assembly
JP3238896U (ja) ルーツ式ブロワ又はルーツ式真空ポンプ
KR20180107943A (ko) 오일 시일 구조체
JPS61132797A (ja) タ−ボ分子ポンプの軸受装置
CN118030850A (zh) 液压马达及潜水泵系统
JPH0223836Y2 (ru)
US20060188381A1 (en) Seal assembly for hydraulic pump output shaft
JPH05321937A (ja) 軸受装置
JP2006118450A (ja) ポンプにおけるシール機構

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090330