RU2258203C1 - Рентгенопрофилограф - Google Patents
Рентгенопрофилограф Download PDFInfo
- Publication number
- RU2258203C1 RU2258203C1 RU2004118235/28A RU2004118235A RU2258203C1 RU 2258203 C1 RU2258203 C1 RU 2258203C1 RU 2004118235/28 A RU2004118235/28 A RU 2004118235/28A RU 2004118235 A RU2004118235 A RU 2004118235A RU 2258203 C1 RU2258203 C1 RU 2258203C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- ray
- crystal
- analyzer
- collimator
- ray radiation
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
Использование: для неразрушающего контроля пористой структуры связки абразивного инструмента. Сущность изобретения заключается в том, что рентгенопрофилограф содержит источник рентгеновского излучения, кристаллический резонатор для получения монохроматического рентгеновского излучения, кристаллические зеркала для разделения и изменения направления распространения рентгеновского излучения, фокусирующие кристаллические системы - коллиматоры, регистрирующую среду - кристалл-анализатор для получения интерференции волн, прошедших различные пути, при этом один из двух полученных пучков рентгеновского излучения, имеющих различные направления, являющийся опорным, направляется системой элементов дифракционной оптики: кристаллическое зеркало, коллиматор непосредственно на регистрирующую среду - кристалл-анализатор, а другой пучок рентгеновского излучения, являющийся объектным, проходя по другому пути через коллиматор, падает на объект, голограмму которого регистрируют, далее вновь проходит через еще один коллиматор, отражательный рентгеновский микроскоп, после чего также попадает на кристалл-анализатор, для измерений используется электронно-оптический преобразователь, при этом увеличение трехмерной интерференционной картины осуществляется отражательным рентгеновским микроскопом при регистрации голографического изображения микрорельефа пористой структуры связки абразивного инструмента. Технический результат: увеличение точности измерений, снижение оперативного времени регистрации профиля микрорельефа. 1 ил.
Description
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для неразрушаемого контроля пористой структуры связки абразивного инструмента.
Известны установки для исследования металлов рентгеноскопическим методом. Общим элементом для рентгеноскопических установок всех групп является рентгеновский аппарат как источник рентгеновского излучения. Выбор типа рентгеновского аппарата для рентгеноскопической установки зависит от ее назначения. Установки по схеме построения в зависимости от используемого преобразователя рентгеновского изображения разделены на пять групп. К первой группе относят установки, в которых в качестве преобразователя используются флуороскопические экраны, ко второй - в которых в качестве преобразователя используются монокристаллические сцинтилляционные кристаллы, к третьей - установки с использованием рентгеновских электронноптических преобразователей, к четвертой - установки, в которых преобразователи рентгеновского изображения, флуороскопические экраны или сцинтилляционные кристаллы используются в сочетании со световыми электронноптическими преобразователями, к пятой - установки прямого преобразования рентгеновского изображения в телевизионное.
Применение рентгеновских стереоскопических установок для контроля отливок позволяет получить объемные изображения дефектов (крупной пористости, газовых и усадочных раковин, неметаллических включений, микрорыхлот и трещин) в контролируемых изделиях и место расположения дефекта по толщине отливки. Основными узлами установок являются два рентгеновских аппарата, флуороскопический экран и телевизионная установка. Рентгеновские стереоскопические установки оснащены манипулятором с шестью степенями свободы, устройствами для измерения глубины залегания дефекта, для маркировки и фотографирования изображения дефектных участков [1].
Недостатками установок для рентгеноскопического контроля являются отсутствие возможности регистрации контурных карт микрорельефа поры через заданный шаг во взаимно перпендикулярных направлениях, необходимой для построения модульной геометрической модели микрорельефа, недостаточная степень увеличения изображения дефекта, восстанавливаемого в видимом диапазоне электромагнитного излучения и различного рода искажения при восстановлении изображения, которые ограничивают информацию о микрогеометрии дефекта.
В качестве прототипа выбран профилограф, содержащий светоделитель луча лазера, оптические преобразователи, регистрирующие среды - толстослойные эмульсии, при этом увеличение трехмерной интерференционной картины осуществляется микроскопом при записи и копировании голографического изображения микрорельефа поверхности, а для измерений используется индикатор электромагнитного поля [2].
Недостатком данного устройства является отсутствие возможности получить трехмерное голографическое изображение пористой структуры связки абразивного инструмента в диапазоне рентгеновского излучения для последующего его преобразования в видимое и регистрации характеристик, необходимых для определения топографии микрорельефа пор.
Задача, на решение которой направлено изобретение, состоит в обеспечении увеличения, точности и возможности измерений микрогеометрии трехмерного голографического изображения пористой структуры связки абразивного инструмента в диапазоне рентгеновского излучения.
Это достигается тем, что в рентгенопрофилографе, содержащем источник рентгеновского излучения, кристаллический резонатор для получения монохроматического рентгеновского излучения, фокусирующие кристаллические системы - коллиматоры, кристаллические зеркала, для разделения и изменения направления распространения рентгеновского излучения, регистрирующую среду - кристалл-анализатор для получения интерференции волн, прошедших различные пути, увеличение трехмерной интерференционной картины осуществляется отражательным рентгеновским микроскопом при регистрации голографического изображения микрорельефа пористой структуры связки абразивного инструмента, а для измерений используется электронно-оптический преобразователь.
Сущность изобретения поясняется чертежом, где изображена схема регистрации объемной голограммы с предварительным увеличением в диапазоне рентгеновского излучения λ~10-103 (мягкий рентген).
Рентгенопрофилограф имеет схему регистрации голограммы. Схема регистрации голограммы (чертеж) содержит рентгеновскую трубку 1, резонатор 2, кристаллические зеркала 3, 4, фокусирующие кристаллические системы - коллиматоры 5, 6, 7, 8, объект измерений 9, отражательный рентгеновский микроскоп 10, регистрирующую среду - кристалл-анализатор 11 и сканирующий индикатор электромагнитного поля - электрооптический преобразователь: координатно-чувствительные микроканальные пластины 12.
Рентгенопрофилограф работает следующим образом. В устройстве реализуется дифракция рентгеновских лучей на кристалле методами «на отражение» и «на просвечивание».
Предварительное увеличение применяется для того, чтобы получить высокое разрешение в небольшом поле зрения.
Пучок рентгеновского излучения трубки 1 пропускается через кристаллический резонатор 2 для получения монохроматического рентгеновского излучения, направляется на кристаллическое зеркало 3, с помощью которого получаются два пучка - объектный и опорный. Опорный пучок направляется системой элементов дифракционной оптики: коллиматор 5, кристаллическое зеркало 4, коллиматор 6, непосредственно на регистрирующую среду - кристалл-анализатор 11. Объектный пучок, пройдя через коллиматор 7, падает на объект 9, голограмму которого регистрируют, проходит через коллиматор 8, отражательный рентгеновский микроскоп 10, попадает на кристалл-анализатор 11. В результате интерференции волн опорного и объектного пучков за кристаллом 11 можно получить увеличенное изображение 13 объекта 9, которое представляет собой стоячую электромагнитную волну.
Кристаллический резонатор 2 - рентгеновский прибор с замкнутой траекторией луча, полученной на основе отражения от плоскостей кристалла и явления полного внешнего отражения.
В качестве коллиматора применяются многослойные структуры (МИС), состоящие из чередующихся слоев двух различных веществ, при толщине слоя, начиная с моноатомного, нанесенные на слегка искривленные подложки. МИС позволяют сфокусировать и концентрировать излучение в существенно большем угле, чем однородные структуры.
Контурные карты микрорельефа исследуемого объекта 9 визуализируются при помощи координатно-чувствительных микроканальных пластин. Информация о снятых контурных картах после последующей обработки ее на персональном компьютере дает возможность построить модульную геометрическую модель пористой структуры связки абразивного инструмента.
В состав устройства рентгенопрофилографа входит кинематический блок (не показан), позволяющий посредством электронно-оптического преобразователя снимать профиль микрорельефа в двух взаимно перпендикулярных направлениях через заданный шаг Δх по оси Х и Δу по оси у.
Точность восстановления профиля микрорельефа определяется координатным разрешением для координатно-чувствительных микроканальных пластин σ=0,01 мм и увеличением отражательного рентгеновского микроскопа. Так, чтобы обеспечить восстановление профиля микрорельефа Rа=0,001 мкм достаточно выбрать отражательный микроскоп с двумя скрещенными зеркалами с увеличением N=104 для λ~10-103 т.к. σ=NRа.
Применение предлагаемого рентгенопрофилографа позволяет увеличить точность, снизить оперативное время регистрации профиля микрорельефа, исследовать реальную картину пористой структуры связки абразивного инструмента.
Источники информации
1. В.С.Токмаков, Ю.В.Мойш. Рентгеноскопия в металлургии. М., «Металлургия», 1976. 264 с.
2. Патент №2215317. Профилограф. G 03 Н 1/00, G 01 В 21/20, 2003.
Claims (1)
- Рентгенопрофилограф, содержащий источник рентгеновского излучения, кристаллический резонатор для получения монохроматического рентгеновского излучения, кристаллические зеркала для разделения и изменения направления распространения рентгеновского излучения, фокусирующие кристаллические системы - коллиматоры, регистрирующую среду - кристалл-анализатор для получения интерференции волн, прошедших различные пути, отличающийся тем, что один из двух полученных пучков рентгеновского излучения, имеющих различные направления, являющийся опорным, направляется системой элементов дифракционной оптики: кристаллическое зеркало, коллиматор непосредственно на регистрирующую среду - кристалл-анализатор, а другой пучок рентгеновского излучения, являющийся объектным, проходя по другому пути через коллиматор, падает на объект, голограмму которого регистрируют, далее вновь проходит через еще один коллиматор, отражательный рентгеновский микроскоп, после чего также попадает на кристалл-анализатор, для измерений используется электронно-оптический преобразователь, при этом увеличение трехмерной интерференционной картины осуществляется отражательным рентгеновским микроскопом при регистрации голографического изображения микрорельефа пористой структуры связки абразивного инструмента.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2004118235/28A RU2258203C1 (ru) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | Рентгенопрофилограф |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2004118235/28A RU2258203C1 (ru) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | Рентгенопрофилограф |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2258203C1 true RU2258203C1 (ru) | 2005-08-10 |
RU2004118235A RU2004118235A (ru) | 2006-01-10 |
Family
ID=35845134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2004118235/28A RU2258203C1 (ru) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | Рентгенопрофилограф |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2258203C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EA015236B1 (ru) * | 2009-07-07 | 2011-06-30 | Владимир Абрамович Намиот | Способ определения внутренней структуры объектов и устройство |
-
2004
- 2004-06-15 RU RU2004118235/28A patent/RU2258203C1/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EA015236B1 (ru) * | 2009-07-07 | 2011-06-30 | Владимир Абрамович Намиот | Способ определения внутренней структуры объектов и устройство |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2004118235A (ru) | 2006-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS63500119A (ja) | 表面形態を測定する計器 | |
JP2009053209A (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP5818341B2 (ja) | 形状計測装置および形状計測方法 | |
WO2003026846A1 (en) | Method and apparatus for polishing a workpiece surface | |
Evans et al. | Measurement of in-plane displacements around crack tips by a laser speckle method | |
Qian et al. | In situ surface profiler for high heat load mirror measurement | |
RU2258203C1 (ru) | Рентгенопрофилограф | |
Ritter | Reflection moire methods for plate bending studies | |
JP7095270B2 (ja) | 欠陥測定装置及び欠陥測定方法 | |
JP2006163399A (ja) | 大規模パターンプリンティング | |
CN114486911A (zh) | 一种体散射缺陷检测设备及方法 | |
Herrmann et al. | Light-in-flight holographic PIV (LiFH-PIV) for wind-tunnel applications: Off-site reconstruction of deep-volume real particle images | |
EP1540271A1 (en) | Method for measuring contour variations | |
JP3232340B2 (ja) | 大口径平面の干渉測定法 | |
JP2005183415A (ja) | シアリング干渉測定方法及びシアリング干渉計 | |
JPH07280535A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
Rommeveaux et al. | Second metrology round-robin of APS, ESRF and SPring-8 laboratories of elliptical and spherical hard-x-ray mirrors | |
JP2007171145A (ja) | 検査装置及び方法 | |
US20040107730A1 (en) | Method and device for quality control and cut optimization of optical raw materials | |
RU2712929C1 (ru) | Способ определения внутренних остаточных напряжений и устройство для его осуществления | |
JP2009244228A (ja) | 光波干渉測定装置 | |
US20220326166A1 (en) | X-ray scattering apparatus | |
Feldkhun et al. | DEEP-dome: towards long-working-distance aberration-free synthetic aperture microscopy | |
Kreuzer et al. | Acoustic holographic techniques for nondestructive testing | |
RU2304272C1 (ru) | Рентгенопрофилограф активного контроля |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20060616 |