RU2243569C1 - Inertial measuring device - Google Patents
Inertial measuring device Download PDFInfo
- Publication number
- RU2243569C1 RU2243569C1 RU2003110882/28A RU2003110882A RU2243569C1 RU 2243569 C1 RU2243569 C1 RU 2243569C1 RU 2003110882/28 A RU2003110882/28 A RU 2003110882/28A RU 2003110882 A RU2003110882 A RU 2003110882A RU 2243569 C1 RU2243569 C1 RU 2243569C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- rotor
- plane
- accelerometers
- sensing elements
- pendulous
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к области приборостроения, и может найти применение в инерциальных системах подвижных объектов - преимущественно в малоразмерной авиационной и космической технике и других транспортных средствах.The invention relates to measuring equipment, in particular to the field of instrumentation, and can find application in inertial systems of moving objects - mainly in small aircraft and space technology and other vehicles.
Известно инерциальное измерительное устройство, выполненное в виде гироскопа-акселерометра, в котором инерционная масса закреплена в двухосном рамочном (кардановом) подвесе со смещенным относительно плоскости рамок центром масс (см. заявку GB №2151022, МКИ G 01 С 19/56, 1987 г.). При этом внешняя рамка совершает принудительное колебание, а вторая рамка с ортогональным упругим торсионным подвесом также совершает колебания при наличии измеряемого вращения основания в результате возникающего при этом кориолисова ускорения. Таким образом, данное устройство проявляет себя как гироскоп.There is an inertial measuring device made in the form of a gyroscope-accelerometer, in which the inertial mass is fixed in a biaxial frame (cardan) suspension with a center of mass displaced relative to the plane of the frames (see application GB No. 2151022, MKI G 01 C 19/56, 1987 ) In this case, the outer frame makes a forced oscillation, and the second frame with an orthogonal elastic torsion suspension also oscillates in the presence of a measured rotation of the base as a result of Coriolis acceleration. Thus, this device manifests itself as a gyroscope.
При наличии линейного (и углового) ускорения смещенная относительно плоскости рамок инерционная масса отклонится на некоторый угол относительно оси, лежащей в плоскости рамок.In the presence of linear (and angular) acceleration, the inertial mass displaced relative to the plane of the frames will deviate by an angle relative to the axis lying in the plane of the frames.
Недостаток данной конструктивной схемы заключается в ее критичности даже к очень малым отклонениям от ортогональности осей подвеса рамок, поскольку при наличии неортогональности задаваемые (принудительные) колебания одной из рамок напрямую частично (пропорционально углу неортогональности) передаются на другую рамку и могут восприниматься как сигнал измеряемого вращения основания, что недопустимо.The disadvantage of this design scheme is its criticality even to very small deviations from the orthogonality of the axes of the suspension of the frames, since in the presence of non-orthogonality, the set (forced) vibrations of one of the frames are directly partially transmitted (in proportion to the angle of non-orthogonality) to the other frame and can be perceived as a signal of the measured rotation of the base that is unacceptable.
Известно также инерциальное измерительное устройство, содержащее корпус и подвижное основание, на котором установлен чувствительный элемент (ЧЭ) маятникового акселерометра с блоком преобразования сигналов. При этом плечо ЧЭ маятникового акселерометра расположено в плоскости движения ортогонально направлению этого движения (пат. РФ №2.162.229, кл. G 01 С, 19/56). Движение, как и в первом аналоге, совершается в виде вибраций основания. Линейное ускорение измеряется маятниковым акселерометром традиционно, а угловая скорость - в виде кориолисова ускорения при воздействиях на основание и подвес ЧЭ маятникового акселерометра измеряемой угловой скорости. Данное техническое решение принято за прототип.An inertial measuring device is also known comprising a housing and a movable base on which a sensing element (SE) of a pendulum accelerometer with a signal conversion unit is mounted. In this case, the arm of the CE of the pendulum accelerometer is located in the plane of motion orthogonal to the direction of this movement (Pat. RF No. 2.162.229, class G 01 C, 19/56). The movement, as in the first analogue, takes place in the form of vibrations of the base. Linear acceleration is traditionally measured by a pendulum accelerometer, and the angular velocity is in the form of Coriolis acceleration when the pendulum accelerometer is exposed to the base and suspension of the measured angular velocity. This technical solution is taken as a prototype.
Основная особенность данного технического решения заключается в его малогабаритном исполнении. Для получения информации о шести (трех линейных и трех угловых) параметрах движения подвижного объекта требуется три таких прибора. Их оси чувствительности образуют триаду ортогональных направлений. Каждый из приборов выдает информацию об угловой скорости (на частоте вибраций основания) и линейном ускорении (в виде сигнала постоянного тока). В этом приборе трудно обеспечить высокую чувствительность при малогабаритном исполнении. Недостаточными представляются также и функциональные возможности (шесть параметров движения измеряются тремя приборами). Данное изобретение направлено на решение задачи повышения чувствительности и функциональных возможностей прибора при малогабаритном исполнении. Решение поставленной задачи достигается путем применения соответствующей схемы размещения ЧЭ на подвижном основании и конструктивного исполнения ЧЭ.The main feature of this technical solution lies in its compact design. To obtain information on six (three linear and three angular) motion parameters of a moving object, three such devices are required. Their sensitivity axes form a triad of orthogonal directions. Each of the devices provides information about the angular velocity (at the vibration frequency of the base) and linear acceleration (in the form of a DC signal). In this device, it is difficult to provide high sensitivity with a small design. Functionality is also considered insufficient (six movement parameters are measured by three devices). This invention is aimed at solving the problem of increasing the sensitivity and functionality of the device with a small design. The solution to this problem is achieved by applying the appropriate layout of the SE on a moving base and the design of the SE.
Сущность предлагаемого изобретения заключается в том, что подвижное основание выполнено в виде полого ротора с возможностью задания ему вращения, и снабжено дополнительно, как минимум, тремя аналогичными акселерометрами, закрепленными в полости ротора так, что они образуют пары, симметрично расположенные относительно оси вращения ротора, причем оси колебаний чувствительных элементов маятниковых акселерометров размещены на периферии, а их плечи расположены радиально с возможностью совершения колебаний в плоскости, выбранной, как минимум, из двух взаимно перпендикулярных плоскостей, одна из которых для ротора является экваториальной, а остальные меридиональными.The essence of the invention lies in the fact that the movable base is made in the form of a hollow rotor with the possibility of setting it to rotation, and is additionally equipped with at least three similar accelerometers fixed in the cavity of the rotor so that they form pairs symmetrically located relative to the axis of rotation of the rotor, moreover, the oscillation axes of the sensitive elements of the pendulum accelerometers are located on the periphery, and their shoulders are located radially with the possibility of oscillations in the plane selected as mini a maximum of two mutually perpendicular planes, one of which is equatorial for the rotor and the other meridional.
Кроме того, чувствительные элементы маятниковых акселерометров выполнены в виде двух монолитных узлов, один из которых включает в себя чувствительные элементы, выполненные с возможностью их колебаний в экваториальной плоскости ротора, а второй - в меридиональной.In addition, the sensitive elements of the pendulum accelerometers are made in the form of two monolithic nodes, one of which includes sensitive elements configured to oscillate in the equatorial plane of the rotor, and the second in the meridional plane.
Кроме того, инерционные массы чувствительных элементов маятниковых акселерометров имеют плоскую форму и выполняют функцию подвижного электрода конденсатора, а неподвижный электрод в виде пластины прикреплен к корпусу с возможностью формирования сигнала ЧЭ маятникового акселерометра.In addition, the inertial masses of the sensing elements of the pendulum accelerometers are flat and perform the function of a movable capacitor electrode, and a fixed electrode in the form of a plate is attached to the housing with the possibility of generating a signal of the pendulum accelerometer.
Размещение ЧЭ маятниковых акселерометров с направлением их плеч от периферии к оси вращения ротора приводит к неустойчивому характеру работы маятника при отсутствующей отрицательной обратной связи. Фактор неустойчивости в данном случае проявляется как положительная обратная связь, приводящая к повышению чувствительности при измерении параметров движения. При указанном конструктивном исполнении возникает возможность однотипными приборами измерять пять параметров движения: линейное (а при необходимости и угловое) ускорение по трем ортогональным осям и угловую скорость (как составную часть кориолисова ускорения) по двум ортогональным осям. Третий угловой параметр углового движения определяется как изменение угловой скорости корпуса прибора относительно стабилизированной в инерциальном пространстве угловой скоростью ротора.The placement of the pendulum pendulum accelerometers with the direction of their shoulders from the periphery to the axis of rotation of the rotor leads to an unstable nature of the pendulum in the absence of negative feedback. The instability factor in this case manifests itself as positive feedback, leading to an increase in sensitivity when measuring motion parameters. With this design, it becomes possible to use the same type of instruments to measure five motion parameters: linear (and if necessary angular) acceleration along three orthogonal axes and angular velocity (as a component of Coriolis acceleration) along two orthogonal axes. The third angular parameter of the angular motion is defined as the change in the angular velocity of the device body relative to the rotor angular velocity stabilized in inertial space.
Для пояснения сущности изобретения в описании приводятся чертежи.To clarify the invention in the description are drawings.
На фиг.1 приведен общий вид устройства с емкостными элементами связи его невращающейся части с вращающимся ротором. На фиг.2 показана конструктивная схема устройства с видом на ЧЭ маятниковых акселерометров с колебательными движениями ЧЭ в меридиональных плоскостях. На фиг.3 показана конструктивная схема устройства с видом на маятниковые ЧЭ с колебательными движениями в экваториальной плоскости. На фиг.4 поясняется принцип действия маятниковых акселерометров при измерении линейных ускорений. На фиг.5 поясняется принцип действия маятниковых акселерометров при измерении составляющих вектора угловой скорости, направленных радиально, а также составляющих вектора углового ускорения, направленных по второму (ортогональному по отношению к первому) радиусу (работают меридиональные ЧЭ). На фиг.6 поясняется принцип действия “экваториальных” маятниковых акселерометров при измерении составляющих вектора углового ускорения, направленных по оси вращения ротора. На фиг.7 поясняется принцип действия “экваториальных” маятниковых акселерометров при измерении гравитационного градиента.Figure 1 shows a General view of the device with capacitive elements of communication of its non-rotating parts with a rotating rotor. Figure 2 shows a structural diagram of a device with a view of the SE of the pendulum accelerometers with oscillatory movements of the SE in the meridional planes. Figure 3 shows a structural diagram of the device with a view of the pendulum CE with oscillatory movements in the equatorial plane. Figure 4 explains the principle of operation of pendulum accelerometers when measuring linear accelerations. Figure 5 explains the principle of operation of pendulum accelerometers when measuring the components of the angular velocity vector directed radially, as well as the components of the angular acceleration vector directed along the second (orthogonal to the first) radius (meridional SEs work). Figure 6 explains the principle of operation of the "equatorial" pendulum accelerometers when measuring the components of the angular acceleration vector directed along the axis of rotation of the rotor. Figure 7 explains the principle of operation of the "equatorial" pendulum accelerometers when measuring the gravitational gradient.
Предлагаемое инерциальное измерительное устройство содержит корпус 1 и подвижное основание 2, которое выполнено в виде полого ротора. Ротор 2 с помощью цапф 3 и подшипников 4 подвешен в корпусе 1. В средней части полости ротора размещена система с ЧЭ маятниковых акселерометров, содержащая блок преобразования сигналов (на чертежах не показан) и ЧЭ 5 маятниковых акселерометров, которые размещены радиально и имеют направление плеч от места крепления на периферии 6 к центру - к оси вращения ротора. ЧЭ маятниковых акселерометров размещены попарно симметрично относительно оси вращения и имеют возможность совершения колебательных движений в плоскости, выбранной, как минимум, из двух взаимно перпендикулярных плоскостей, одна из которых является экваториальной (ЧЭ 7 на фиг.1), а остальные - меридиональными ЧЭ 5 (фиг.2). Узлы, в которых колеблются однотипные меридиональные ЧЭ 5 и экваториальные ЧЭ 7 по радиальным направлениям, изготовлены из единой заготовки, то есть в монолитном исполнении. ЧЭ маятниковых акселерометров имеют плоскую форму и выполняют функцию подвижного электрода конденсатора. Неподвижные электроды выполнены в виде электропроводной поверхности на пластинах, закрепленных к корпусу с изменяющимся зазором из-за подвижности подвижного электрода.The proposed inertial measuring device comprises a
Для передачи питания в полость ротора на корпусе 1 и роторе 2 закреплены токопроводящие кольца 8 и 9 с минимальным между ними радиальным зазором. Кольца выполняют роль обкладок конденсатора, включенных в разрыв одного из проводов, передающих в полость ротора напряжение питания. В разрыв второго такого же провода включены аналогичные кольца 10 и 11. Кольца 12 и 13 включены в разрыв проводов, передающих информацию от ЧЭ по мультиплексному принципу на неподвижную часть прибора. Вторым проводом является общий провод с кольцами 10 и 11.To transfer power to the rotor cavity on the
Акселерометры имеют ограниченную отрицательную обратную связь, которая, помимо прочего, необходима также и для обеспечения устойчивой работы ЧЭ. Для электрической “привязки” выходных сигналов акселерометров к системе координат, связанной с неподвижной частью прибора, на роторе размещен элемент постоянного магнита 14, а на неподвижной части - приемная катушка 15 индуктивности.Accelerometers have limited negative feedback, which, among other things, is also necessary to ensure the stable operation of the SE. To electrically “bind” the output signals of the accelerometers to the coordinate system associated with the fixed part of the device, a
Принцип действия предлагаемого инерциального измерительного устройства заключается в следующем. Каждый ЧЭ маятникового акселерометра функционирует в условиях вращения основания (ротора), в полости которого закреплены ЧЭ. ЧЭ начинает отклоняться от начального положения при воздействии на него линейного, углового или кориолисова ускорения (фиг.5 и 6), а также градиента гравитации (фиг.7).The principle of operation of the proposed inertial measuring device is as follows. Each CE of the pendulum accelerometer operates under conditions of rotation of the base (rotor), in the cavity of which the CE is fixed. The SE starts to deviate from the initial position when exposed to linear, angular or Coriolis acceleration (Figs. 5 and 6), as well as the gravity gradient (Fig. 7).
Помимо перечисленных воздействующих факторов, на отклоняемый от нейтрального положения (направленного радиально) маятник оказывает воздействие центробежная (Fцб) сила (фиг 5... 7). Величина этой силы определяется по формуле:In addition to the listed factors, the centrifugal (F cb ) force exerts an influence on the pendulum that deviates from the neutral position (radially directed ) (Figs. 5 ... 7). The magnitude of this force is determined by the formula:
где m, Q, r - инерционная масса, угловая скорость вращения ротора и расстояние от оси вращения до инерционной массы ЧЭ маятникового акселерометра соответственно. Проекция Fцб на направление оси чувствительности (фиг.4) определяется по формуле:where m, Q, r are the inertial mass, the angular velocity of the rotor and the distance from the axis of rotation to the inertial mass of the SE of the pendulum accelerometer, respectively. The projection F CB on the direction of the axis of sensitivity (figure 4) is determined by the formula:
или, поскольку угол α малый,or, since the angle α is small,
Эта формула справедлива для “экваториальных” акселерометров (фиг.4). Для “меридиональных” акселерометров справедлива формула:This formula is valid for "equatorial" accelerometers (figure 4). For “meridional” accelerometers, the following formula is valid:
где β - угол отклонения маятника относительно радиального направления в меридиональной плоскости ротора.where β is the angle of deviation of the pendulum relative to the radial direction in the meridional plane of the rotor.
Экваториальные ЧЭ могут измерять кажущееся ускорение W*, угловое ускорение ∈ и градиент гравитации Г. “Меридиональные” ЧЭ наряду с возможностью измерения кажущегося ускорения W* и углового ускорения ∈ могут измерять также и кориолисово ускорение Wc для формирования измерения угловой скорости ω :Equatorial CEs can measure apparent acceleration W *, angular acceleration ∈, and the gravitational gradient G. Meridional CEs, along with the ability to measure apparent acceleration W * and angular acceleration ∈, can also measure Coriolis acceleration W c to form a measurement of angular velocity ω:
Wc=2Ω rω sin(Ω t+ψ ).W c = 2Ω rω sin (Ω t + ψ).
Идентификация воздействующих (в том числе измеряемых) факторов может быть осуществлена с помощью следующих алгоритмов для выходных напряжений ЧЭIdentification of influencing (including measured) factors can be carried out using the following algorithms for the output voltage of the SE
Здесь Uw1 и Uw2 - напряжения, несущие информацию о кажущихся ускорениях в двух ортогональных направлениях в экваториальной плоскости. Напряжения периодические - на частоте вращения ротора. По третьей оси (Uw3) напряжения снимаются с каждого из меридиональных акселерометров в виде постоянного тока. Uс1, Uс2 - то же для кориолисовых ускорений (или измеряемых угловых скоростей) в двух ортогональных (меридиональных) направлениях. Снимаемые выходные напряжения - также периодические.Here, U w1 and U w2 are voltages carrying information about apparent accelerations in two orthogonal directions in the equatorial plane. Periodic voltages - at the rotor speed. On the third axis (U w3 ), the voltages are removed from each of the meridional accelerometers in the form of a direct current. U с1 , U с2 - the same for Coriolis accelerations (or measured angular velocities) in two orthogonal (meridional) directions. Removable output voltages are also periodic.
Третий угловой параметр, как уже было отмечено, проявляется при угловой эволюции (изменении фазы) корпуса прибора относительно стабильно вращающегося в абсолютном пространстве ротора.The third angular parameter, as already noted, manifests itself during the angular evolution (phase change) of the device body relatively rotor rotates relatively stably in absolute space.
U∈ - сигнал об угловом ускорении (в виде постоянного тока), снимаемого с двух или четырех акселерометров, расположенных соответственно в одной или двух меридиональных плоскостях. Для обеспечения возможности измерения углового параметра в экваториальной плоскости сигнал (U∈ 1→ 0) отрабатывается на обнуление. При использовании двух "меридиональных" акселерометров используется полусумма их выходных сигналов, при использовании четырех "меридиональных" акселерометров используется четвертая часть суммы четырех сигналов.U∈ is the signal of angular acceleration (in the form of direct current), taken from two or four accelerometers located respectively in one or two meridional planes. To ensure the possibility of measuring the angular parameter in the equatorial plane, the signal (U∈ 1 → 0) is processed to zero. When using two "meridional" accelerometers, half the sum of their output signals is used, when using four "meridional" accelerometers, the fourth part of the sum of four signals is used.
Градиент гравитации (сигнал Uг) проявляет себя как результат разницы моментов сил притяжения к Земле в паре противолежащих акселерометров и зависит от расстояния до Земли. Момент, действующий на ближайшую к Земле массу, больше, чем на удаленную. При равноудаленных массах и в случаях расположения их по вертикали (при нулевых плечах момента) указанные моменты равны, а следовательно, их разница и совокупные сигналы - нулевые. За один оборот возникают четыре нулевых значения, следовательно, выходной сигнал о градиенте гравитации проявляется на удвоенной частоте вращения ротора.The gravity gradient (signal U g ) manifests itself as a result of the difference in the moments of the forces of attraction to the Earth in a pair of opposite accelerometers and depends on the distance to the Earth. The moment acting on the mass closest to the Earth is greater than the remote. With equidistant masses and in cases of their vertical position (with zero moment arms), the indicated moments are equal, and therefore, their difference and the total signals are zero. For one revolution, four zero values occur, therefore, the output signal about the gradient of gravity is manifested at twice the rotational speed of the rotor.
При вращении ротора за каждый оборот постоянный магнит 11 наводит электрический импульс в приемной катушке индуктивности 12. Фазовое пространство между этими импульсами заполняется тактовыми импульсами высокой частоты. При стабильном положении корпуса прибора в абсолютном пространстве количество тактовых импульсов между магнитокатушечными импульсами постоянно, поскольку Ω =const. При возникновении угловых эволюции корпуса в зависимости от ее направления количество тактовых импульсов на базе одного оборота ротора может увеличиваться или уменьшаться. Величина и знак этого изменения будут характеризовать величину и направление углового отклонения корпуса прибора в экваториальной плоскости ротора.When the rotor rotates for each revolution, the
Уравнение движения ЧЭ маятникового акселерометра с учетом центробежных сил имеет видThe equation of motion for the pendulum accelerometer taking into account centrifugal forces has the form
где I, В, Кмех, М - соответственно момент инерции, коэффициент демпфирования, коэффициент механической жесткости и суммарный момент от действующих (в том числе) измеряемых факторов.where I, B, Kmeh, M - respectively, the moment of inertia, damping coefficient, coefficient of mechanical stiffness and the total moment from the current (including) measured factors.
Кдин=2mΩ 2r - динамическая (отрицательная) жесткость, проявляющаяся как положительная обратная связь. Отрицательный знак этого члена в уравнении позволяет реализовать любую результирующую жесткость подвеса ЧЭ, включая нулевую, создающую эквивалент свободного подвеса инерционной массы при обеспечении необходимой прочности подвеса.Kdin = 2mΩ 2 r - dynamic (negative) stiffness, manifested as positive feedback. The negative sign of this term in the equation allows you to realize any resulting stiffness of the suspension of the SE, including zero, creating the equivalent of a free suspension of inertial mass while ensuring the necessary strength of the suspension.
Частота свободных колебаний ω 0 будет в данном случае определяться выражениемThe frequency of free oscillations ω 0 will in this case be determined by the expression
Чувствительность (статическая - без учета динамики) h определяется какSensitivity (static - excluding dynamics) h is defined as
Для прибора традиционного типа (прототипа) hT равноFor the device of the traditional type (prototype) h T is
Возьмем отношениеTake the attitude
Как видим, в предельном случае при 
Введенная положительная обратная связь на практике означает форсированное проявление неустойчивости, как в системе. Для обеспечения устойчивости в приборе должна быть предусмотрена (как и в традиционных прецизионных акселерометрах) электростатическая или магнитоэлектрическая отрицательная обратная связь.The introduced positive feedback in practice means a forced manifestation of instability, as in a system. To ensure stability, the device must be provided (as in traditional precision accelerometers) with electrostatic or magnetoelectric negative feedback.
Съем сигналов, несущих информацию об измеряемых параметрах, осуществляется по величине осредненного сигнала за моменты времени, соответствующие четверти, двум, трем четвертям и полному обороту ротора, определяемым по количеству тактовых импульсов относительно магнитно-катушечных импульсов. В данном случае речь идет о получении информации в декартовой системе координат.The signals carrying information about the measured parameters are removed by the value of the averaged signal for time points corresponding to a quarter, two, three quarters and a complete revolution of the rotor, determined by the number of clock pulses relative to the magnetic coil pulses. In this case, we are talking about obtaining information in a Cartesian coordinate system.
Возможно также построение полярной системы координат путем определения амплитуды и фазы сигналов. В частности, при этом можно определять азимут нужного направления в наземных условиях, а также углы ориентации космических аппаратов на орбите и гравитационную местную вертикаль.It is also possible to construct a polar coordinate system by determining the amplitude and phase of the signals. In particular, it is possible to determine the azimuth of the desired direction in terrestrial conditions, as well as the orientation angles of spacecraft in orbit and the local gravitational vertical.
Таким образом, можно считать, что поставленная цель повышения чувствительности и расширения функциональных возможностей при малогабаритном исполнении прибора вполне реализуема. Эта реализуемость подтверждается всей совокупностью признаков предложенных решений в соответствии с описанием устройства прибора, его принципа действия и чертежами.Thus, we can assume that the goal of increasing sensitivity and expanding functionality with the small-sized version of the device is quite feasible. This feasibility is confirmed by the totality of the features of the proposed solutions in accordance with the description of the device device, its operating principle and drawings.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003110882/28A RU2243569C1 (en) | 2003-04-16 | 2003-04-16 | Inertial measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003110882/28A RU2243569C1 (en) | 2003-04-16 | 2003-04-16 | Inertial measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2003110882A RU2003110882A (en) | 2004-10-20 |
| RU2243569C1 true RU2243569C1 (en) | 2004-12-27 |
Family
ID=34387891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2003110882/28A RU2243569C1 (en) | 2003-04-16 | 2003-04-16 | Inertial measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2243569C1 (en) |
-
2003
- 2003-04-16 RU RU2003110882/28A patent/RU2243569C1/en not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6701786B2 (en) | Closed loop analog gyro rate sensor | |
| US6032531A (en) | Micromachined acceleration and coriolis sensor | |
| TW468035B (en) | Micro inertial measurement unit | |
| US7549334B2 (en) | Small angle bias measurement mechanism for MEMS instruments | |
| US4590801A (en) | Apparatus for measuring inertial specific force and angular rate of a moving body | |
| US5987986A (en) | Navigation grade micromachined rotation sensor system | |
| TW466334B (en) | Angular rate producer with microelectromechanical system technology | |
| US6481283B1 (en) | Coriolis oscillating gyroscopic instrument | |
| KR101823325B1 (en) | Improved gyroscope structure and gyroscope | |
| US10113873B2 (en) | Whole angle MEMS gyroscope | |
| Geiger et al. | MEMS IMU for ahrs applications | |
| US8397568B2 (en) | Bias measurement for MEMS gyroscopes and accelerometers | |
| US3559492A (en) | Two-axes angular rate and linear acceleration multisensor | |
| US5428995A (en) | Counterbalanced vibratory triaxial angular rate sensor with open loop output | |
| JP2003511684A (en) | Feedback mechanism for rate gyroscope | |
| US20140013845A1 (en) | Class ii coriolis vibratory rocking mode gyroscope with central fixed post | |
| US3463016A (en) | Vibra-rotor gyroscopes | |
| RU163835U1 (en) | THREE-COMPONENT ANGULAR SPEED MEASURER BASED ON THE GYROSCOPE OF THE KOVALEV SPHERICAL FORM WITH ELECTROSTATIC SUSPENSION | |
| RU155046U1 (en) | THREE-COMPONENT ANGULAR SPEED MEASURER BASED ON A SPHERICAL GYROSCOPE WITH ELECTROSTATIC SUSPENSION | |
| RU2568147C1 (en) | Gyro accelerometer with rotor electrostatic suspension and complete primary info | |
| Nadig et al. | In-situ calibration of MEMS inertial sensors for long-term reliability | |
| US3367194A (en) | Rate gyroscope | |
| RU2243569C1 (en) | Inertial measuring device | |
| RU2158903C1 (en) | Gyroscope-accelerometer with electrostatic suspension of rotor | |
| KR100203315B1 (en) | Two axis navigation grade micromachined rotation sensor system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20060417 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20090610 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20100417 |