RU2209456C2

RU2209456C2 - Жидкокристаллический дисплей и способ его изготовления

Info

Publication number: RU2209456C2
Application number: RU2001120831/28A
Authority: RU
Inventors: П.И. Лазарев (RU); П.И. Лазарев
Original assignee: ОПТИВА, Инк.
Priority date: 2001-07-26
Filing date: 2001-07-26
Publication date: 2003-07-27
Also published as: JP4400914B2; CN1287201C; JP2004537069A; CN1535394A; DE60215663D1; DE60215663T2; EP1412810B1; WO2003010594A1; ATE343811T1; EP1412810A1

Abstract

Изобретение относится к устройствам отображения информации. Жидкокристаллический дисплей содержит слой жидкого кристалла, размещенный между двумя пластинами, на каждой из которых размещены или сформированы электроды и по крайней мере один слой поляризатора. Электроды по крайней мере одной из пластин выполнены прозрачными, а по крайней мере один слой по крайней мере одного поляризатора сформирован с внутренней стороны прозрачных электродов по крайней мере одной из пластин дисплея, является поляризатором Е-типа и выполнен из по крайней мере частично кристаллической пленки молекулярно упорядоченной структуры органического красителя. Расположенные над прозрачными электродами (в местах расположения прозрачных электродов в плане) локальные области по крайней мере одного слоя поляризатора Е-типа, сформированного с внутренней стороны прозрачных электродов, модифицированы для обеспечения повышения их проводимости. Технический результат - понижение энергоемкости. 2 с. и 16 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам отображения информации, в частности к жидкокристаллическим (ЖК) дисплеям, и может быть использовано в средствах индикаторной техники различного назначения.

Известны ЖК-дисплеи, выполненные в виде плоской кюветы, образованной двумя параллельными стеклянными пластинами, на внутренних поверхностях которых нанесены электроды из оптически прозрачного электропроводящего материала и ориентирующие слои. После сборки кюветы ее заполняют жидким кристаллом, который образует слой толщиной 5-20 мкм, являющийся активной средой, изменяющей свои оптические свойства (угол вращения плоскости поляризации) под действием электрического поля. Изменение оптических свойств регистрируется в скрещенных поляризаторах, которые обычно наклеиваются на внешние поверхности кюветы. При этом участки дисплея, в которых к электродам не приложено напряжение, пропускают свет и выглядят светлыми, а участки дисплея под напряжением выглядят, как темные области [1].

Основными недостатками указанных дисплеев являются ограниченное быстродействие, невысокий контраст изображения, а также малый угол обзора, так как многослойная конструкция ЖК-дисплея эффективно управляется потоком света, распространяющимся только в пределах ограниченного телесного угла относительно нормали к лицевой поверхности дисплея.

В качестве поляризаторов в таких дисплеях обычно используют поляризаторы на основе одноосно растянутой полимерной пленки (например, поливинилового спирта), окрашенной парами йода или органического красителя [2]. Поляризационная эффективность таких пленок определяется концентрацией йода или другого красителя в полимерной пленке и степенью упорядоченности полимерных цепей.

Такие пленки обладают так называемой положительной диэлектрической анизотропией и положительным дихроизмом. Это означает, что дипольные моменты оптического перехода молекул, ответственных за поглощение света, ориентированы вдоль направления, совпадающего с направлением вытягивания полимера. При этом эллипсоиды угловой зависимости действительной и мнимой частей показателя преломления имеют вытянутую (игольчатую) форму. Поляризаторы, полученные из указанных пленок, являются поляризаторами 0-типа, поскольку в них обыкновенная волна пропускается, а необыкновенная гасится.

Несмотря на высокую поляризационную эффективность поляризаторов, полученных из указанных материалов, они обладают существенными недостатками, к которым относится их низкая свето- и термостойкость, необходимость формировать пленки значительной толщины для обеспечения высокой эффективности. Одним из основных недостатков указанных поляризаторов является то, что два скрещенных поляризатора имеют значительное пропускание света, падающего под углом к поверхности поляризатора, особенно в направлениях, азимут которых составляет ±45^o относительно оси поляризации.

Известен ЖК-дисплей с внутренними поляризаторами [3]. В качестве поляризаторов в известном ЖК-дисплее используют тонкие кристаллические пленки молекулярно упорядоченной структуры органических соединений красителей [4]. Плоские молекулы красителей сгруппированы в ориентационно упорядоченные ансамбли-надмолекулярные (супрамолекулярные) комплексы. Плоскости молекул и лежащие в них дипольные моменты оптического перехода ориентированы перпендикулярно оси макроскопической ориентации получаемой пленки. Для создания такой структуры используется жидкокристаллическое состояние раствора красителя, в котором молекулы уже обладают локальной упорядоченностью, находясь в одно -или двумерных квазикристаллических агрегатах, ориентированных относительно друг друга. При нанесении такой системы на поверхность основы при одновременном наложении внешнего ориентирующего воздействия она приобретает макроскопическую ориентацию, которая в процессе высыхания раствора не только сохраняется, но может и повышаться за счет явления кристаллизации. Ось поляризации при этом направлена вдоль ориентирующего воздействия, совпадающего с направлением нанесения поляризатора. В этом случае эллипсоиды угловой зависимости действительной и мнимой частей показателя преломления имеют дискообразную форму.

Данные поляризаторы являются поляризаторами Е-типа, поскольку в них необыкновенная волна пропускается, а обыкновенная гасится. Указанные поляризаторы обладают хорошими угловыми характеристиками, свето- и термостойки, применимы для формирования структур дисплеев по тонкопленочной технологии, в связи с чем являются перспективными в данной области.

Поскольку в последнее время основным направлением производства является миниатюризация выпускаемых приборов, в качестве первоочередной задачи при производстве вышеописанных дисплеев стоит задача снижения размеров как отдельных областей прибора, так и сопутствующих функциональных элементов, обеспечивающих их работоспособность. Вышеописанные поляризаторы, а также иные анизотропные пленки на их основе находят широкое применение в портативных дисплеях различного назначения. Одной из основных проблем, возникающих при изготовлении миниатюрных дисплеев, является уменьшение размеров их элементов питания, что влечет за собой снижение энергоемкости и увеличение эффективности использования управляющего электрического поля в дисплее. Потери напряжения обусловлены как низкой проводимостью используемых прозрачных электродов, так и падением потенциала в структуре дисплея на промежуточных слоях между электродами и слоем жидкого кристалла.

Известны различные пути повышения проводимости используемых прозрачных электродов, обычно изготовляемых из индий-оловянных оксидов, обладающих недостаточной проводимостью. Так, для повышения проводимости прозрачных электродов их отжигают при повышенной температуре порядка 250^oС [5]. Также нашло применение формирование вспомогательной электродной структуры, которая выполняется из материалов с высокой проводимостью, либо на части поверхности прозрачных электродов в виде сплошных полос, либо на всей поверхности электродов в виде ячеистого покрытия [5].

Задачей изобретения является разработка конструкции и способа изготовления жидкокристаллического дисплея с внутренними поляризаторами, для которого характерны низкая энергоемкость при сохранении высоких эксплуатационных характеристик, малые габаритные размеры, технологичность изготовления и простота конструкции.

Для достижения указанного технического результата в ЖК-дисплее, содержащем слой жидкого кристалла, размещенный между двумя пластинами, на каждой из которых размещены или сформированы электроды и по крайней мере один слой поляризатора. Указанный слой поляризатора по крайней мере для одной пластины является поляризатором Е-типа и сформирован с внутренней стороны прозрачных электродов. Поляризатор Е-типа выполнен из по крайней мере частично кристаллической пленки молекулярно упорядоченной структуры органического красителя, причем расположенные над прозрачными электродами локальные области поляризатора Е-типа модифицированы для обеспечения повышения их проводимости.

В качестве органического вещества поляризатора Е-типа может быть использовано по крайней мере одно органическое вещество, химическая формула которого содержит по крайней мере одну ионогенную группу, которая обеспечивает его растворимость в полярных или неполярных растворителях для образования лиотропной жидкокристаллической фазы и по крайней мере один противоион. Это могут быть любые органические красители, которые, или производные которых, способны образовывать стабильную лиотропную жидкокристаллическую фазу. Эти красители используют при изготовлении оптически анизотропных пленок, в том числе поляризующих покрытий [4]. К таким красителям относятся, например, индантрон (Vat Blue 4), дибензоимидазол 1, 4, 5, 8-нафталинтетракарбоновой кислоты (Vat Red 14), дибензоимидазол 3, 4, 9, 10-перилентетракарбоновой кислоты, хинакридон (Pigment Violet 19 ) и другие, а также их смеси.

Указанные органические красители способны поглощать по крайней мере в одном из указанных спектральных диапазонов 200 - 400 нм, 400 - 700 нм, 0,7 - 13,0 мкм.

Локальные области слоя поляризатора Е-типа могут быть модифицированы путем импрегнирования в структуру поляризатора атомов по крайней мере одного вещества, обеспечивающего повышение проводимости локальных областей слоя поляризатора.

В качестве вещества, обеспечивающего повышение проводимости локальных областей слоя поляризатора, может быть использовано серебро, и/или алюминий, и/или никель, и/или другой проводящий материал.

Дисплей дополнительно может содержать по крайней мере один ориентирующий жидкий кристалл слой, и/или по крайней мере один диффузно отражающий слой, и/или по крайней мере один фазозадерживающий слой, и/или по крайней мере один двулучепреломляющий слой, и/или по крайней мере один проводящий слой, и/или по крайней мере один защитный слой, и/или по крайней мере один изотропный и/или анизотропный слой, и/или по крайней мере один изолирующий слой, и/или по крайней мере один выравнивающий слой, и/или один диффузно или зеркально отражающий свет слой, и/или по крайней мере один слой, одновременно выполняющий функции по крайней мере двух из указанных слоев.

Слой поляризатора Е-типа одновременно может выполнять функции фазозадерживающего слоя, и/или двулучепреломляющего слоя, и/или ориентирующего жидкий кристалл слоя, и/или защитного слоя, и/или слоя, одновременно выполняющего функции любого сочетания по крайней мере двух из указанных слоев.

Каждый из прозрачных электродов может иметь металлическую вспомогательную структуру, выполненную на части поверхности электродов для повышения их проводимости.

Предпочтительно, чтобы оптическая толщина слоев дисплея выбиралась из условия обеспечения интерференционного максимума на выходе дисплея.

Способ изготовления описанного выше жидкокристаллического дисплея включает формирование пластин дисплея с электродами и поляризаторами, соединение пластин с образованием полости для жидкого кристалла посредством спейсеров, заполнение полости жидким кристаллом и герметизацию, причем на поверхности прозрачных электродов, сформированных с внутренней стороны по крайней мере одной из пластин дисплея, формируют по крайней мере один слой поляризатора Е-типа из по крайней мере частично кристаллической ориентированной пленки органического красителя, после чего проводят локальное импрегнирование над областями расположения электродов в структуру кристаллической пленки ионов металлов в количестве, достаточном для повышения проводимости материала пленки в локальных областях.

Для импрегнирования ионов металлов в локальные области пленки поляризатора могут проводить электрохимическую обработку пластины дисплея с нанесенными прозрачными электродами и пленкой поляризатора в растворе электролита, содержащего ионы внедряемого металла. В качестве катода при этом используют прозрачные электроды пластины, а в качестве анода - электрод с каталитическим, например платиновым, покрытием. Концентрацию раствора электролита и параметры электрохимической обработки выбирают из условия осуществления внедрения атомов металла без снижения степени анизотропии пленки поляризатора. При использовании водного раствора электролита перед проведением электрохимической обработки проводят обработку пленки поляризатора для перевода материала пленки в водонерастворимую фазу. Для чего обрабатывают пленку поляризатора раствором солей двух- и/или трехвалентных металлов, например хлорида бария. Структура и оптические параметры поляризатора при этом существенно не изменяются.

Для импрегнирования в локальные области пленки поляризатора атомов вещества, обеспечивающего повышение проводимости указанных областей, могут использовать ионную имплантацию, задавая концентрацию внедряемой примеси дозой имплантации, а глубину проникновения - энергией и типом внедряемых ионов.

Ионную имплантацию могут проводить в реакторе с дополнительным электродом, на котором размещают обрабатываемую структуру дисплея.

После формирования электродов в межэлектродном пространстве обычно формируют выравнивающий структуру слой диэлектрика, обеспечивающий планаризацию поверхности.

Изначально кристаллическую пленку поляризатора Е-типа формируют путем нанесения жидкокристаллического раствора по крайней мере одного органического красителя с одновременным и/или последующим ориентирующим воздействием и удалением растворителя.

При изготовлении дисплея по заявляемому способу дополнительно формируют по крайней мере один ориентирующий жидкий кристалл слой, и/или по крайней мере один диффузно отражающий слой, и/или по крайней мере один фазозадерживающий слой, и/или по крайней мере один двулучепреломляющий слой, и/или по крайней мере один проводящий слой, и/или по крайней мере один защитный слой, и/или по крайней мере один изотропный и/или анизотропный слой, и/или по крайней мере один изолирующий слой, и/или по крайней мере один выравнивающий слой, и/или один диффузно или зеркально отражающий свет слой, и/или по крайней мере один слой, одновременно выполняющий функции по крайней мере двух из указанных слоев.

Для более детального раскрытия существа изобретения на фиг.1 схематично представлена структура дисплея. Указаны только те элементы, которые в той или иной степени необходимы для представления вносимых изобретением усовершенствований. Элементы, которые обычно присутствуют в жидкокристаллическом дисплее, но не используются для раскрытия изобретения, для простоты изложения не показаны.

Жидкокристаллический дисплей 1 содержит слой жидкого кристалла 2, размещенный между двумя пластинами 3, на каждой из которых сформированы электроды 4 и поляризаторы 5. Под слоем поляризатора в межэлектродном пространстве на пластине дисплея показаны области выравнивающего изолирующего слоя 6. Особенностью структуры дисплея является то, что по крайней мере один из поляризаторов является внутренним и размещен поверх электродной системы. Указанный поляризатор получен из органического красителя, является поляризатором Е-типа. Для его формирования на поверхность структуры (пластины с электродами и выравнивающим слоем) наносят жидкокристаллический раствор одного соответствующего органического красителя (или смеси красителей).

Краситель в жидкокристаллическом растворе находится в высокоупорядоченном состоянии. Структурной единицей таких жидкокристаллических растворов являются высокоорганизованные ансамбли молекул - надмолекулярные или супрамолекулярные комплексы, в которых плоские молекулы органического вещества (или плоские части молекул) образуют "стопки". При механическом ориентировании жидкокристаллического раствора дихроичного органического вещества на поверхности подложки (структуры) происходит упорядочивание молекулярных ансамблей вдоль направления ориентирования так, что плоскости молекул оказываются преимущественно перпендикулярны направлению ориентирования. Этим облегчается встраивание молекул красителя в кристаллическую решетку в ходе последующего испарения растворителя из слоя ЖК. При этом структурной единицей кристаллической решетки являются отдельные молекулы красителя, а не линейные ансамбли, которые "исчезают" в ходе кристаллизации. При этом кристаллическая решетка получается достаточно "рыхлая", чтобы быть проницаемой для ионов металлов.

Управляя условиями формирования пленки и скоростью удаления растворителя в процессе сушки можно контролировать степень совершенства кристаллической структуры пленки. Описанный технологический процесс используется для формирования оптически анизотропных пленок. Для указанных пленок импрегнирование атомов проводящих материалов позволяет повысить проводимость пленки без нарушения ее кристаллической структуры и степени анизотропии. Причем, импрегнируя атомы проводящих элементов в локальные области 7 внутреннего поляризатора дисплея, расположенные над областями электродов, можно значительно снизить падение напряжения на слое поляризатора при работе дисплея. В результате создания модифицированных локальных областей можно снизить падение напряжения на пленках поляризатора толщиной порядка от 1 мкм до 0,1 В.

Необходимо отметить, что указанные области могут быть получены различными известными способами. Основное требование к процессу внедрения - пленка должна оставаться оптически анизотропной и не изменять своего назначения, оставаться пленкой поляризатора.

Для получения локальных модифицированных областей может быть использована обычно формируемая для локальной обработки тонкопленочных структур литографическая маска. Однако специфика структуры пленки поляризатора позволяет формировать локальные модифицированные области с повышенной проводимостью и безмасочным способом. Так, исследуя структуру оптически анизотропных пленок, полученных из жидкокристаллических растворов органических красителей, мы установили, что она обладает определенной степенью пористости, что позволяет проводить электрохимические процессы непосредственно через толщину пленки, используя в качестве одного из электродов электролитической ячейки сформированную на пластине систему электродов жидкокристаллического дисплея. В качестве другого электрода может быть использован любой химически инертный электрод, не вносящий "вредных" примесей в структуру дисплея. Для обработки могут быть использованы любые известные электролиты, в том числе и водные, содержащие ионы импрегнируемых веществ. Однако, поскольку необходимо сохранить структуру обрабатываемой пленки, целесообразно использовать низко концентрированные растворы, особенно с органическими добавками, такими как глицерин и др., позволяющими снизить агрессивность воздействия электролита на пленку. Обычно используют электролит с рН порядка 8. Кроме того, также целесообразно использовать щадяший режим электрохимического импрегнирования, поскольку быстро протекающий электролиз может способствовать разрушению структуры поляризатора и снижению степени анизотропии пленки.

На фиг.2 схематично представлена электрохимическая ячейка 8, где в кювете 9 в растворе электролита 10 размещены анод 11 и заготовка пластины дисплея 12 с электродами, которые подключены в цепь электрохимической ячейки в качестве катода 13, и слоя поляризатора поверх электродов.

Также локальные области с повышенной проводимостью в пленке поляризатора могут быть получены путем облучения структуры (пластины дисплея с электродами и пленкой поляризатора) ионами металла Ni, Со, Сr, Pt, Mo, Ag и др. Толщину локальных областей регулируют введенной дозой ионов, длиной волны излучения, длительностью и плотностью энергии греющего импульса, используемого для последующей термообработки. Условия процесса контролируются для предотвращения нарушения структуры пленки поляризатора и исключения влияния условий обработки на снижение степени анизотропии пленки. Для получения локальных областей могут быть использованы различные условия обработки: защитные маски, шаблоны. Обрабатываемую пластину дисплея можно располагать на дополнительном электроде реактора с подачей необходимого потенциала на этот электрод. При этом указанный электрод соединяют со сформированными электродами пластины, что в значительной степени активизирует процесс импрегнирования, тем самым позволяя добиться желаемого результата при значительно сниженных параметрах процесса.

В качестве примера реализации заявленного изобретения рассмотрим способ изготовления жидкокристаллического дисплея отражающего типа с внутренними поляризаторами, полученными из жидкокристаллического раствора органического красителя - сульфированного индантрона. Для формирования передней панели дисплея на стеклянной пластине с использованием обычных процессов очистки и фотолитографии формируют систему электродов передней панели из оксида индий-олово. После чего в межэлектродном пространстве формируют выравнивающий слой из диоксида кремния. Выравнивающий слой планаризует структуру, не накрывая области электродов. Поверх электродов и планаризующего слоя описанным выше способом формируют кристаллическую пленку поляризатора. Перед электрохимической обработкой пленки в растворе электролита переводят ее в водонерастворимое состояние, например обработкой раствором, содержащим ионы двух или трехвалентных металлов. Затем структуры опускают в кювету, заполненную слабым раствором обычно используемого электролита серебрения. Концентрацию ионов серебра в растворе электролита обычно выбирают из интервала 0,1-0,001 моль/л. В качестве добавок могут быть использованы глицерин, этиленгликоль, этилендиаминтетрауксусная кислота. Подключают электроды пластины к катоду электролитической ячейки. В качестве анода подключают электрод с каталитическим платиновым покрытием. Прикладывают напряжение между электродами и осуществляют выдержку при заранее установленных электрических параметрах до получения модифицированных локальных областей в пленке поляризатора с повышенной проводимостью. Обычно процесс импрегнирования проводят при гальваностатическом режиме при плотности тока, не превышающей 0,01 мА/см². Однако не исключается возможность и вольтстатического, и смешанного режима электрохимической обработки, а также возможность импульсной обработки. После изготовления пластин дисплея их соединяют с образованием полости. Вводят между пластинами жидкий кристалл и герметизируют дисплей. Измерения показали, что в результате формирования локальных областей с повышенной проводимостью в пленке поляризатора над областями расположения электродов достигнута значительная экономия энергии источника, что позволило значительно снизить общие габариты дисплея.

Источники информации
1. Л.К.Вистинь. ЖВХО, 1983, том XXVII, вып.2, с.141-148.

2. US 5007942, 1991 г.

3. RU 2120651,1998 г.

4. US 5739296, 1998 г.

5. US 6198051, 2001 г.

Claims

1. Жидкокристаллический дисплей, содержащий слой жидкого кристалла, размещенный между двумя пластинами, на каждой из которых размещены или сформированы электроды и по крайней мере один слой поляризатора, причем электроды по крайней мере одной из пластин выполнены прозрачными, а по крайней мере один слой поляризатора сформирован сверху прозрачных электродов относительно пластины, является поляризатором Е-типа и выполнен из по крайней мере частично кристаллической анизотропной пленки по крайней мере одного органического красителя, отличающийся тем, что расположенные над прозрачными электродами локальные области по крайней мере одного поляризатора Е-типа модифицированы для обеспечения повышения их проводимости.

2. Дисплей по п.1, отличающийся тем, что в качестве органического вещества поляризатора Е-типа использовано по крайней мере одно органическое вещество, химическая формула которого содержит по крайней мере одну ионогенную группу, которая обеспечивает его растворимость в полярных растворителях для образования лиотропной жидкокристаллической фазы и по крайней мере один противоион.

3. Дисплей по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, что в качестве органического вещества использован по крайней мере один органический краситель, способный поглощать по крайней мере в одном из указанных спектральных диапазонов 200 - 400 нм, 400 - 700 нм, 0,7 - 13,0 мкм.

4. Дисплей по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что локальные области слоя поляризатора Е-типа модифицированы путем импрегнирования в структуру поляризатора атомов по крайней мере одного вещества, обеспечивающего повышение проводимости локальных областей слоя поляризатора.

5. Дисплей по п.4, отличающийся тем, что в качестве вещества, обеспечивающего повышение проводимости локальных областей слоя поляризатора, использовано серебро, и/или алюминий, и/или никель, и/или другой металл.

6. Дисплей по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что он дополнительно содержит по крайней мере один ориентирующий жидкий кристалл слой, и/или по крайней мере один диффузно отражающий слой, и/или по крайней мере один фазозадерживающий слой, и/или по крайней мере один двулучепреломляющий слой, и/или по крайней мере один проводящий слой, и/или по крайней мере один защитный слой, и/или по крайней мере один изотропный и/или анизотропный слой, и/или по крайней мере один изолирующий слой, и/или по крайней мере один выравнивающий слой, и/или один диффузно или зеркально отражающий свет слой, и/или по крайней мере один слой, одновременно выполняющий функции по крайней мере двух из указанных слоев.

7. Дисплей по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что слой поляризатора Е-типа одновременно выполняет функции фазозадерживающего слоя, и/или двулучепреломляющего слоя, и/или ориентирующего жидкий кристалл слоя, и/или защитного слоя, и/или слоя, одновременно выполняющего функции любого сочетания по крайней мере двух из указанных слоев.

8. Дисплей по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что каждый из прозрачных электродов имеет металлическую вспомогательную структуру, выполненную на части поверхности электродов для повышения их проводимости.

9. Дисплей по любому из пп.1-8, отличающийся тем, что оптическая толщина слоев дисплея выбрана из условия обеспечения интерференционного экстремума по крайней мере с одной стороны дисплея.

10. Способ изготовления жидкокристаллического дисплея по п.1, включающий формирование пластин дисплея с электродами и поляризаторами, соединение пластин с образованием полости для жидкого кристалла посредством спейсеров, заполнение полости жидким кристаллом и герметизацию, отличающийся тем, что на поверхности прозрачных электродов, сформированных с внутренней стороны по крайней мере одной из пластин дисплея, формируют по крайней мере один слой поляризатора Е-типа из по крайней мере частично кристаллической оптически анизотропной пленки по крайней мере одного органического красителя, после чего проводят локальное импрегнирование над областями расположения электродов в структуру кристаллической пленки ионов металлов в количестве достаточном для повышения проводимости материала пленки в локальных областях.

11. Способ по п.10, отличающийся тем, что для импрегнирования ионов металлов в локальные области пленки поляризатора проводят электрохимическую обработку пластины дисплея с нанесенными прозрачными электродами и пленкой поляризатора в растворе электролита, содержащего ионы внедряемого металла, в качестве катода используют прозрачные электроды пластины, а в качестве анода - электрод с каталитическим, например платиновым покрытием.

12. Способ по п.10 или 11, отличающийся тем, что концентрацию раствора электролита и параметры электрохимической обработки выбирают из условия осуществления внедрения атомов металла без снижения степени анизотропии пленки поляризатора.

13. Способ по п.10 или 11, отличающийся тем, что в случае использования водного раствора электролита перед проведением электрохимической обработки проводят обработку пленки поляризатора для перевода материала пленки в водонерастворимую фазу.

14. Способ по п. 10, отличающийся тем, что локальное импрегнирование осуществляют ионной имплантацией, задавая концентрацию внедряемой примеси дозой имплантации, а глубину проникновения - энергией и типом внедряемых ионов.

15. Способ по п.14, отличающийся тем, что ионную имплантацию проводят в реакторе с дополнительным электродом, на котором размещают обрабатываемую структуру дисплея.

16. Способ по любому из пп.10-15, отличающийся тем, что после формирования электродов в межэлектродном пространстве формируют выравнивающий структуру слой диэлектрика, обеспечивающий планаризацию поверхности.

17. Способ по любому из пп.10-16, отличающийся тем, что кристаллическую пленку поляризатора Е-типа формируют путем нанесения жидкокристаллического раствора по крайней мере одного органического красителя с одновременным и/или последующим ориентирующим воздействием и удалением растворителя.

18. Способ по любому из пп.10-17, отличающийся тем, что дополнительно формируют по крайней мере один ориентирующий жидкий кристалл слой, и/или по крайней мере один диффузно отражающий слой, и/или по крайней мере один фазозадерживающий слой, и/или по крайней мере один двулучепреломляющий слой, и/или по крайней мере один проводящий слой, и/или по крайней мере один защитный слой, и/или по крайней мере один изотропный и/или анизотропный слой, и/или по крайней мере один изолирующий слой, и/или по крайней мере один выравнивающий слой, и/или один диффузно или зеркально отражающий свет слой, и/или по крайней мере один слой, одновременно выполняющий функции по крайней мере двух из указанных слоев.