RU2209406C1 - Interferometer ( variants ) - Google Patents

Interferometer ( variants ) Download PDF

Info

Publication number
RU2209406C1
RU2209406C1 RU2002126962/28A RU2002126962A RU2209406C1 RU 2209406 C1 RU2209406 C1 RU 2209406C1 RU 2002126962/28 A RU2002126962/28 A RU 2002126962/28A RU 2002126962 A RU2002126962 A RU 2002126962A RU 2209406 C1 RU2209406 C1 RU 2209406C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
liquid
gas
partially transmitting
reflecting mirror
wedge
Prior art date
Application number
RU2002126962/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
А.В. Атнашев
В.Б. Атнашев
П.В. Атнашев
рченков А.С. Бо
А.С. Боярченков
Original Assignee
Атнашев Виталий Борисович
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Атнашев Виталий Борисович filed Critical Атнашев Виталий Борисович
Priority to RU2002126962/28A priority Critical patent/RU2209406C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2209406C1 publication Critical patent/RU2209406C1/en
Priority to AU2003275748A priority patent/AU2003275748A1/en
Priority to PCT/RU2003/000432 priority patent/WO2004033988A1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

FIELD: measurement technology, measurement of optical characteristics of substances, measurement of refractive index of liquid or gas. SUBSTANCE: interferometer has optically coupled source of luminous radiation, reflecting mirror that partially transmits luminous radiation, thin layer with thickness under λ/2 located on one surface of wedge-shaped element whose second surface is reflecting mirror coming in the form of reflecting coat, periodic system incorporating photoelements placed behind reflecting mirror and spectrum analyzer. Wedge-shaped element is fabricated in the form of dish filled with liquid or gas. Angle φ included between opposite edges of mentioned dish which carry correspondingly thin partially transmitting layer and reflecting mirror is specified by relation sinφ = λ/2dn where λ is wave length of light wave; d is period of interference bands which system is formed in thin partially transmitting layer under action of standing light wave; n is refractive index of liquid or gas filling dish. According to one variant above-mentioned dish is flow dish. EFFECT: high accuracy of measurement of absolute value of refractive index of liquid or gas. 2 cl, 2 dwg

Description

Изобретения относятся к области измерения оптических характеристик веществ и могут быть использованы для измерения показателя преломления жидкости или газа. The invention relates to the field of measuring the optical characteristics of substances and can be used to measure the refractive index of a liquid or gas.

Классическим устройством для измерения показателя преломления газа является интерферометр Жамена, выполненный в виде двух плоскопараллельных пластин одинаковой толщины. При этом на одну из поверхностей каждой пластины нанесено зеркальное покрытие, а между упомянутыми пластинами расположены газовые кюветы (Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973, с.285-286). A classic device for measuring the refractive index of a gas is a Jamen interferometer made in the form of two plane-parallel plates of the same thickness. At the same time, one of the surfaces of each plate is coated with a mirror, and gas cells are located between the plates (Born M., Wolf E. Fundamentals of Optics. M .: Nauka, 1973, p. 285-286).

Данный интерферометр обладает высокой точностью измерения показателя преломления газа, находящегося в кюветах. This interferometer has high accuracy in measuring the refractive index of the gas in the cells.

К его недостаткам следует отнести сложность измерения абсолютного значения показателя преломления. Its disadvantages include the difficulty of measuring the absolute value of the refractive index.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому изобретению является интерферометр, содержащий оптически сопряженные источник светового излучения, отражающее зеркало, выполненное частично пропускающим световое излучение, тонкий частично пропускающий слой толщиной не более λ/2, рассеивающий или поглощающий энергию электрического поля стоячей световой волны, и расположенный на одной из поверхностей клиновидного элемента, на второй поверхности которого расположено в виде отражающего покрытия упомянутое отражающее зеркало, периодическую систему, содержащую фотоэлементы, расположенную позади отражающего зеркала, и спектроанализатор [патент РФ 2189017, по МКИ 7 G 01 J 3/00, G 01 В 9/02, G 01 R 23/17, опубл. 10.09.2002 (прототип)]. При этом клиновидный элемент выполнен в виде воздушного клина или в виде оптического клина из оптически прозрачного материала. The closest in technical essence and the achieved effect to the present invention is an interferometer containing an optically coupled light source, a reflecting mirror made partially transmitting light radiation, a thin partially transmitting layer with a thickness of not more than λ / 2, scattering or absorbing the energy of the electric field of a standing light wave , and located on one of the surfaces of the wedge-shaped element, on the second surface of which is located in the form of a reflective coating mentioned e reflecting mirror periodic system containing photovoltaic cells disposed behind the reflecting mirror, and a spectrum analyzer [RF patent 2189017, IPC 7 by G 01 J 3/00, G 01 B 9/02, G 01 R 23/17, publ. 09/10/2002 (prototype)]. In this case, the wedge-shaped element is made in the form of an air wedge or in the form of an optical wedge from an optically transparent material.

К его недостаткам следует отнести сложность измерения показателя преломления жидкости или газа. Its disadvantages include the difficulty of measuring the refractive index of a liquid or gas.

Задачей изобретения является измерение абсолютного значения показателя преломления жидкости или газа, в том числе и в потоке. The objective of the invention is to measure the absolute value of the refractive index of a liquid or gas, including in a stream.

Кроме того, один из предлагаемых интерферометров позволяет одновременно с измерением показателя преломления жидкости или газа в потоке измерять скорость упомянутого потока жидкости или газа. In addition, one of the proposed interferometers allows simultaneously with the measurement of the refractive index of a liquid or gas in a stream to measure the speed of said stream of liquid or gas.

Поставленная задача может быть решена за счет того, что в интерферометре, содержащем оптически сопряженные источник светового излучения, отражающее зеркало, выполненное частично пропускающим световое излучение, тонкий частично пропускающий слой толщиной не более λ/2, рассеивающий или поглощающий энергию электрического поля стоячей световой волны, и расположенный на одной из поверхностей клиновидного элемента, на второй поверхности которого расположено в виде отражающего покрытия упомянутое отражающее зеркало, периодическую систему, содержащую фотоэлементы, расположенную позади отражающего зеркала, и спектроанализатор, упомянутый клиновидный элемент выполнен в виде жидкостной или газовой кюветы, при этом угол φ между противоположными гранями упомянутой кюветы, на которых расположены, соответственно, упомянутые тонкий частично пропускающий слой и отражающее зеркало, задан из соотношения sin φ= λ/2dn, где λ - длина световой волны; d - период интерференционных полос, система которых образуется в тонком частично пропускающем слое при воздействии стоячей световой волны, n - показатель преломления жидкости или газа, заполняющего кювету. The problem can be solved due to the fact that in the interferometer containing an optically conjugated light source, a reflecting mirror made partially transmitting light radiation, a thin partially transmitting layer with a thickness of not more than λ / 2, scattering or absorbing the energy of the electric field of a standing light wave, and located on one of the surfaces of the wedge-shaped element, on the second surface of which is mentioned in the form of a reflective coating said reflective mirror, a periodic system, containing photocells located behind the reflective mirror, and a spectrum analyzer, the said wedge-shaped element is made in the form of a liquid or gas cuvette, while the angle φ between the opposite faces of the said cuvette, on which, respectively, the said thin partially transmitting layer and the reflecting mirror are set, is given from the relation sin φ = λ / 2dn, where λ is the light wavelength; d is the period of interference fringes, the system of which is formed in a thin partially transmissive layer when exposed to a standing light wave, n is the refractive index of the liquid or gas filling the cuvette.

Сущность изобретения поясняется чертежом (фиг.1), на котором представлена схема интерферометра. The invention is illustrated in the drawing (figure 1), which shows a diagram of an interferometer.

Интерферометр содержит оптически сопряженные источник 1 светового излучения, отражающее зеркало 2, выполненное частично пропускающим световое излучение, тонкий частично пропускающий слой 3 толщиной не более λ/2, рассеивающий или поглощающий энергию электрического поля стоячей световой волны, и расположенный на одной из поверхностей клиновидного элемента 4, на второй поверхности которого расположено в виде отражающего покрытия отражающее зеркало 2, периодическую систему 5, содержащую фотоэлементы 6, расположенную позади отражающего зеркала 2, и спектроанализатор 7. Клиновидный элемент 4 выполнен в виде жидкостной или газовой кюветы 8, при этом угол φ между противоположными гранями кюветы 8, на которых расположены, соответственно, тонкий частично пропускающий слой 3 и отражающее зеркало 2, задан из соотношения sin φ= λ/2dn, где λ - длина световой волны; d - период интерференционных полос 9, система которых образуется в тонком частично пропускающем слое 3 при воздействии стоячей световой волны, n - показатель преломления жидкости или газа, заполняющего кювету 8. Заполнение и опорожнение кюветы 8 жидкостью или газом осуществляется посредством запорных кранов 10 и 11. Отражающее зеркало 2 выполнено в виде отражающего покрытия с коэффициентом отражения 0,50-0,99 и коэффициентом пропускания 0,01-0,50. На периодическую систему 5, содержащую фотоэлементы 6, спроецировано изображение системы интерференционных полос 9. Периодическая система 5, содержащая фотоэлементы 6, выполнена в виде линейки или матрицы приборов с зарядовой связью. The interferometer contains an optically coupled light source 1, a reflecting mirror 2, made partially transmitting light radiation, a thin partially transmitting layer 3 with a thickness of not more than λ / 2, scattering or absorbing the energy of the electric field of a standing light wave, and located on one of the surfaces of the wedge-shaped element 4 , on the second surface of which a reflecting mirror 2 is located in the form of a reflective coating, a periodic system 5 containing photocells 6 located behind the reflective mirror Ala 2, and a spectrum analyzer 7. The wedge-shaped element 4 is made in the form of a liquid or gas cuvette 8, while the angle φ between the opposite faces of the cuvette 8, on which, respectively, a thin partially transmitting layer 3 and a reflecting mirror 2, is set from the relation sin φ = λ / 2dn, where λ is the light wavelength; d is the period of interference fringes 9, the system of which is formed in a thin partially transmissive layer 3 when exposed to a standing light wave, n is the refractive index of the liquid or gas filling the cuvette 8. Filling and emptying of the cuvette 8 with liquid or gas is carried out using shut-off valves 10 and 11. The reflecting mirror 2 is made in the form of a reflective coating with a reflection coefficient of 0.50-0.99 and a transmittance of 0.01-0.50. An image of the interference fringe system 9 is projected onto the periodic system 5 containing the photocells 6. The periodic system 5 containing the photocells 6 is made in the form of a ruler or matrix of charge-coupled devices.

Интерферометр работает следующим образом. The interferometer operates as follows.

Световой поток от источника 1 светового излучения поступает на отражающее зеркало 2, отражается от него и в виде стоячей световой волны поступает на тонкий частично пропускающий слой 3. За счет того, что тонкий частично пропускающий слой 3 рассеивает или поглощает энергию электрического поля стоячей световой волны, и расположен наклонно, в нем образуется система интерференционных полос 9, регистрацию которой можно осуществить в виде сигнала пространственной частоты с периодом следования d. При этом период следования d задан из соотношения sin φ=λ/2dn, где λ - длина световой волны; n - показатель преломления жидкости или газа, заполняющего кювету 8. The luminous flux from the light radiation source 1 enters the reflecting mirror 2, is reflected from it, and in the form of a standing light wave enters the thin partially transmitting layer 3. Due to the fact that the thin partially transmitting layer 3 scatters or absorbs the energy of the electric field of the standing light wave, and is located obliquely, a system of interference bands 9 is formed in it, the registration of which can be carried out in the form of a spatial frequency signal with a repetition period d. In this case, the repetition period d is given from the relation sin φ = λ / 2dn, where λ is the light wavelength; n is the refractive index of the liquid or gas filling the cell 8.

Изображение системы интерференционных полос 9 проецируется через частично пропускающее световое излучение отражающее зеркало 2 на периодическую систему 5, содержащую фотоэлементы 6. Далее, спроецированное изображение системы интерференционных полос 9 на упомянутую систему 5, содержащую фотоэлементы 6, регистрируется в виде их зависимости от местоположения фотоэлементов 6 в периодической системе 5. Записанные электрические сигналы подвергаются преобразованию Фурье на спектроанализаторе 7 и находят период d интерференционных полос 9. Затем, зная угол φ между противоположными гранями кюветы 8 и длину λ световой волны, находят по формуле sinφ=λ/2dn показатель преломления n жидкости или газа. An image of the interference fringe system 9 is projected through a partially transmitting light radiation reflecting mirror 2 onto a periodic system 5 containing photocells 6. Next, a projected image of the interference fringe system 9 onto said system 5 containing photocells 6 is recorded as their dependence on the location of the photocells 6 in periodic system 5. The recorded electrical signals are subjected to Fourier transform on a spectrum analyzer 7 and find the period d of the interference fringes 9. Then m, knowing the angle φ between the opposite faces of the cell 8 and λ the wavelength of light, are from the formula sinφ = λ / 2dn refractive index n of liquid or gas.

Поставленная задача - измерение абсолютного значения показателя преломления жидкости или газа в потоке с одновременным измерением скорости упомянутого потока - может быть решена за счет того, что в интерферометре, содержащем оптически сопряженные источник светового излучения, отражающее зеркало, выполненное частично пропускающим световое излучение, тонкий частично пропускающий слой толщиной не более λ/2, рассеивающий или поглощающий энергию электрического поля стоячей световой волны, и расположенный на одной из поверхностей клиновидного элемента, на второй поверхности которого расположено в виде отражающего покрытия упомянутое отражающее зеркало, периодическую систему, содержащую фотоэлементы, расположенную позади отражающего зеркала, и спектроанализатор, упомянутый клиновидный элемент выполнен в виде проточной жидкостной или газовой кюветы, при этом угол φ между противоположными гранями упомянутой кюветы, на которых расположены, соответственно, упомянутые тонкий частично пропускающий слой и отражающее зеркало, задан из соотношения sinφ= λ/2dn, где λ - длина световой волны; d - период интерференционных полос, система которых образуется в тонком частично пропускающем слое при воздействии стоячей световой волны, n - показатель преломления жидкости или газа, протекающего через кювету. The task - measuring the absolute value of the refractive index of a liquid or gas in a stream while simultaneously measuring the speed of the aforementioned stream - can be solved due to the fact that in an interferometer containing optically conjugated light source, a reflecting mirror made partially transmitting light radiation, partially partially transmitting a layer with a thickness of not more than λ / 2, scattering or absorbing the energy of the electric field of a standing light wave, and located on one of the surfaces of the wedge-shaped element, on the second surface of which the reflection mirror is located, in the form of a reflective coating, a periodic system containing photocells located behind the reflection mirror, and a spectrum analyzer, the said wedge-shaped element is made in the form of a flowing liquid or gas cell, the angle φ between the opposite sides of the said cuvettes on which, respectively, are mentioned the thin partially transmissive layer and the reflecting mirror, are given from the relation sinφ = λ / 2dn, where λ is the length of the lights oh wave; d is the period of interference fringes, the system of which is formed in a thin partially transmitting layer when exposed to a standing light wave, n is the refractive index of a liquid or gas flowing through a cell.

Сущность изобретения поясняется чертежом (фиг.2), на котором представлена схема интерферометра. The invention is illustrated in the drawing (figure 2), which shows a diagram of an interferometer.

Интерферометр содержит оптически сопряженные источник 1 светового излучения, отражающее зеркало 2, выполненное частично пропускающим световое излучение, тонкий частично пропускающий слой 3 толщиной не более λ/2, рассеивающий или поглощающий энергию электрического поля стоячей световой волны, и расположенный на одной из поверхностей клиновидного элемента 4, на второй поверхности которого расположено в виде отражающего покрытия отражающее зеркало 2, периодическую систему 5, содержащую фотоэлементы 6, расположенную позади отражающего зеркала 2, и спектроанализатор 7. Клиновидный элемент 4 выполнен в виде проточной жидкостной или газовой кюветы 8, при этом угол φ между противоположными гранями кюветы 8, на которых расположены, соответственно, тонкий частично пропускающий слой 3 и отражающее зеркало 2, задан из соотношения sinφ=λ/2dn, где λ - длина световой волны; d - период интерференционных полос 9, система которых образуется в тонком частично пропускающем слое 3 при воздействии стоячей световой волны, n - показатель преломления жидкости или газа, протекающего через кювету 8. Протекание жидкости или газа через проточную кювету 8 осуществляется посредством открытия запорных кранов 10 и 11. Отражающее зеркало 2 выполнено в виде отражающего покрытия с коэффициентом отражения 0,50-0,99 и коэффициентом пропускания 0,01-0,50. На периодическую систему 5, содержащую фотоэлементы 6, спроецировано изображение системы интерференционных полос 9. Периодическая система 5, содержащая фотоэлементы 6, выполнена в виде линейки или матрицы приборов с зарядовой связью. The interferometer contains an optically coupled light source 1, a reflecting mirror 2, made partially transmitting light radiation, a thin partially transmitting layer 3 with a thickness of not more than λ / 2, scattering or absorbing the energy of the electric field of a standing light wave, and located on one of the surfaces of the wedge-shaped element 4 , on the second surface of which a reflective mirror 2 is located in the form of a reflective coating, a periodic system 5 containing photocells 6 located behind the reflective mirror Ala 2, and a spectrum analyzer 7. The wedge-shaped element 4 is made in the form of a flowing liquid or gas cuvette 8, and the angle φ between the opposite faces of the cuvette 8, on which, respectively, a thin partially transmitting layer 3 and a reflecting mirror 2, is set from the relation sinφ = λ / 2dn, where λ is the light wavelength; d is the period of interference fringes 9, the system of which is formed in a thin partially transmissive layer 3 when exposed to a standing light wave, n is the refractive index of a liquid or gas flowing through a cell 8. The liquid or gas flows through a flow cell 8 by opening shut-off valves 10 and 11. The reflecting mirror 2 is made in the form of a reflective coating with a reflection coefficient of 0.50-0.99 and a transmittance of 0.01-0.50. An image of the interference fringe system 9 is projected onto the periodic system 5 containing the photocells 6. The periodic system 5 containing the photocells 6 is made in the form of a ruler or matrix of charge-coupled devices.

Интерферометр работает следующим образом. The interferometer operates as follows.

Световой поток от источника 1 светового излучения поступает на отражающее зеркало 2, отражается от него и в виде стоячей световой волны поступает на тонкий частично пропускающий слой 3. За счет того, что тонкий частично пропускающий слой 3 рассеивает или поглощает энергию электрического поля стоячей световой волны, и расположен наклонно, в нем образуется система интерференционных полос 9, регистрацию которой можно осуществить в виде сигнала пространственной частоты с периодом следования d. При этом период следования d задан из соотношения sinφ=λ/2dn, где λ - длина световой волны; n - показатель преломления жидкости или газа, протекающего через кювету 8. The luminous flux from the light radiation source 1 enters into the reflecting mirror 2, is reflected from it and in the form of a standing light wave enters the thin partially transmitting layer 3. Due to the fact that the thin partially transmitting layer 3 scatters or absorbs the energy of the electric field of the standing light wave, and is located obliquely, a system of interference bands 9 is formed in it, the registration of which can be carried out in the form of a spatial frequency signal with a repetition period d. In this case, the repetition period d is given from the relation sinφ = λ / 2dn, where λ is the light wavelength; n is the refractive index of the liquid or gas flowing through the cell 8.

Изображение системы интерференционных полос 9 проецируется через частично пропускающее световое излучение отражающее зеркало 2 на периодическую систему 5, содержащую фотоэлементы 6. Далее, спроецированное изображение системы интерференционных полос 7 на упомянутую систему 5, содержащую фотоэлементы 6, регистрируется в виде их зависимости от местоположения фотоэлементов 6 в периодической системе 5. Записанные электрические сигналы подвергаются преобразованию Фурье на спектроанализаторе 7 и находят период d интерференционных полос 9. Затем, зная угол φ между противоположными гранями кюветы 8 и длину λ световой волны, находят по формуле sinφ=λ/2dn показатель преломления n жидкости или газа. The image of the interference fringe system 9 is projected through a partially transmitting light radiation reflecting mirror 2 onto a periodic system 5 containing photocells 6. Next, the projected image of the interference fringe system 7 onto said system 5 containing photocells 6 is recorded as their dependence on the location of the photocells 6 in periodic system 5. The recorded electrical signals are subjected to Fourier transform on a spectrum analyzer 7 and find the period d of the interference fringes 9. Then m, knowing the angle φ between the opposite faces of the cell 8 and λ the wavelength of light, are from the formula sinφ = λ / 2dn refractive index n of liquid or gas.

Измерение скорости потока жидкости или газа в проточной кювете 8 осуществляется следующим образом. Так как на поток жидкости или газа в проточной кювете 8 воздействуют стоячей световой волной, то, за счет эффекта увлечения средой, на тонком частично пропускающем слое 3 наблюдается бегущая интерференционная картина и регистрацию разностной частоты двух когерентных световых волн (падающей на отражающее зеркало 2 и отраженной от него) осуществляют путем измерения частоты временной модуляции системы интерференционных полос 9. Для этого записанные электрические сигналы подвергаются преобразованию Фурье по координате времени и в результате, после соответствующей математической обработки, находят скорость движения потока жидкости или газа в направлении распространения упомянутого светового излучения. The measurement of the flow rate of a liquid or gas in a flow cell 8 is as follows. Since the flow of liquid or gas in the flow cell 8 is affected by a standing light wave, due to the effect of entrainment of the medium, a traveling interference pattern and registration of the difference frequency of two coherent light waves (incident on reflection mirror 2 and reflected) are observed on a thin partially transmissive layer 3 from it) is carried out by measuring the frequency of the temporal modulation of the system of interference bands 9. For this, the recorded electrical signals are Fourier transform in the coordinate of time and as a result e, after appropriate mathematical processing are the velocity of fluid flow or gas in the direction of propagation of said light radiation.

Предлагаемые интерферометры позволяют измерять с высокой точностью абсолютное значение показателя преломления жидкости или газа и могут найти применение, например, в качестве миниатюрных датчиков для жидкостных или газовых хроматографов. The proposed interferometers can measure with high accuracy the absolute value of the refractive index of a liquid or gas and can be used, for example, as miniature sensors for liquid or gas chromatographs.

Claims (2)

1. Интерферометр, содержащий оптически сопряженные источник светового излучения, отражающее зеркало, выполненное частично пропускающим световое излучение, тонкий частично пропускающий слой толщиной не более λ/2, рассеивающий или поглощающий энергию электрического поля стоячей световой волны и расположенный на одной из поверхностей клиновидного элемента, на второй поверхности которого расположено в виде отражающего покрытия упомянутое отражающее зеркало, периодическую систему, содержащую фотоэлементы, расположенную позади отражающего зеркала, и спектроанализатор, отличающийся тем, что клиновидный элемент выполнен в виде кюветы, заполненной жидкостью или газом, при этом угол φ между противоположными гранями кюветы, на которых расположены соответственно тонкий пропускающий слой и отражающее покрытие, задан из соотношения sinφ=λ/2dn, где λ - длина световой волны, d - период интерференционных полос, система которых образуется в тонком частично пропускающем слое при воздействии стоячей световой волны, n- показатель преломления жидкости или газа, заполняющего кювету. 1. An interferometer containing an optically conjugated light source, a reflecting mirror made partially transmitting light radiation, a thin partially transmitting layer with a thickness of not more than λ / 2, scattering or absorbing the energy of the electric field of a standing light wave and located on one of the surfaces of the wedge-shaped element, on the second surface of which is located in the form of a reflective coating, said reflective mirror, a periodic system containing photocells located behind the reflective mirror, and a spectrum analyzer, characterized in that the wedge-shaped element is made in the form of a cuvette filled with liquid or gas, and the angle φ between the opposite faces of the cuvette, on which there is a thin transmission layer and a reflective coating, respectively, is given from the relation sinφ = λ / 2dn where λ is the light wavelength, d is the period of interference fringes, the system of which is formed in a thin partially transmitting layer when exposed to a standing light wave, n is the refractive index of the liquid or gas filling the cuvette. 2. Интерферометр, содержащий оптически сопряженные источник светового излучения, отражающее зеркало, выполненное частично пропускающим световое излучение, тонкий частично пропускающий слой толщиной не более λ/2, рассеивающий или поглощающий энергию электрического поля стоячей световой волы и расположенный на одной из поверхностей клиновидного элемента, на второй поверхности которого расположено в виде отражающего покрытия упомянутое отражающее зеркало, периодическую систему, содержащую фотоэлементы, расположенную позади отражающего зеркала, и спектроанализатор, отличающийся тем, что клиновидный элемент выполнен в виде кюветы, через которую протекают жидкость или газ, при этом угол φ между противоположными гранями кюветы, на которых расположены соответственно тонкий пропускающий слой и отражающее покрытие, задан из соотношения sinφ=λ/2dn, где λ - длина световой волны, d - период интерференционных полос, система которых образуется в тонком частично пропускающем слое при воздействии стоячей световой волны, n - показатель преломления жидкости или газа, протекающего через кювету. 2. An interferometer containing an optically conjugated light source, a reflecting mirror made partially transmitting light radiation, a thin partially transmitting layer with a thickness of not more than λ / 2, scattering or absorbing the energy of the electric field of a standing light wave and located on one of the surfaces of the wedge-shaped element, on the second surface of which is located in the form of a reflective coating said reflective mirror, a periodic system containing photocells located behind the reflective o mirrors, and a spectrum analyzer, characterized in that the wedge-shaped element is made in the form of a cuvette through which a liquid or gas flows, the angle φ between the opposite faces of the cuvette, on which there is a thin transmission layer and a reflective coating, respectively, is given from the relation sinφ = λ / 2dn, where λ is the light wavelength, d is the period of interference fringes, the system of which is formed in a thin partially transmitting layer when exposed to a standing light wave, n is the refractive index of a liquid or gas flowing through to yuveu.
RU2002126962/28A 2002-10-08 2002-10-08 Interferometer ( variants ) RU2209406C1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002126962/28A RU2209406C1 (en) 2002-10-08 2002-10-08 Interferometer ( variants )
AU2003275748A AU2003275748A1 (en) 2002-10-08 2003-10-06 Interferometer (variants)
PCT/RU2003/000432 WO2004033988A1 (en) 2002-10-08 2003-10-06 Interferometer (variants)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002126962/28A RU2209406C1 (en) 2002-10-08 2002-10-08 Interferometer ( variants )

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2209406C1 true RU2209406C1 (en) 2003-07-27

Family

ID=29212301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002126962/28A RU2209406C1 (en) 2002-10-08 2002-10-08 Interferometer ( variants )

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU2003275748A1 (en)
RU (1) RU2209406C1 (en)
WO (1) WO2004033988A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7623218B2 (en) 2004-11-24 2009-11-24 Carl Zeiss Smt Ag Method of manufacturing a miniaturized device

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1122931A1 (en) * 1983-01-13 1984-11-07 Ленинградский Ордена Октябрьской Революции И Ордена Трудового Красного Знамени Технологический Институт Им.Ленсовета Tray for spectral investigation of solids in medium under checking
SU1124204A1 (en) * 1983-04-28 1984-11-15 Ворошиловградский Филиал Государственного Проектно-Конструкторского И Научно-Исследовательского Института По Автоматизации Угольной Промышленности Through-flow type tray for photometric measurements
US5394244A (en) * 1992-10-06 1995-02-28 Excel Precision Inc. Ambient air refracture index measuring device
RU2190187C1 (en) * 2001-05-21 2002-09-27 Тверской государственный технический университет Device for checking parameters of hole key way

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ЛАНДСБЕРГ Г.С. Оптика. - М.: Наука, 1976, с.444-463. *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004033988A1 (en) 2004-04-22
AU2003275748A1 (en) 2004-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Lukosz et al. Integrated optical interferometer as relative humidity sensor and differential refractometer
CN109297930B (en) Third-order nonlinear measurement device and method based on vortex beam conjugate interference
US7957004B2 (en) Interference filter
EP1180699A2 (en) Jamin-type interferometers and components therefor
US9080990B2 (en) Illumination subsystems of a metrology system, metrology systems, and methods for illuminating a specimen for metrology measurements
CN105593982B (en) Broadband and wide visual field angle compensator
CN107345904A (en) Method and device based on optical absorption and interferometry gas concentration
De Nicola et al. Reflective grating interferometer for measuring the refractive index of transparent materials
SU1152533A3 (en) Scanning interferometer (versions)
RU2209406C1 (en) Interferometer ( variants )
RU2239157C2 (en) Interferometer
JPH06500636A (en) Optical method for selectively detecting specific substances in chemical, biochemical, and biological measurement samples
CN109539998A (en) A kind of nanometer gap measuring device and method based on light-intensity test
RU2212670C1 (en) Procedure measuring flow velocity of liquid or gas
Das et al. A Novel Thiol-Ene-Epoxy Polymer Based Optical Waveguide for Refractometric Sensing
JPH06288902A (en) Attenuated total reflactance type thin film evaluating device
RU2075727C1 (en) Method of measurement of angles of turn of several objects and device for its implementation
CN105698706B (en) The device of automatic detection wafer substrates two-dimensional appearance
RU2377542C1 (en) Device for determining optical absorption losses in thin films
RU2239917C2 (en) Photodetector
SU1392357A1 (en) Interferometric transducer for measuring angle of turn of object
RU2002133007A (en) INTERFEROMETER
SU1483286A1 (en) Interference spectral instrument
RU2217713C1 (en) Interferometer
RU181211U1 (en) DEVICE FOR RECORDING AND TESTING HOLOGRAPHIC VOLUME REFLECTIVE GRILLES

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20041009