RU2165070C2 - Устройство для измерения малых перемещений - Google Patents

Устройство для измерения малых перемещений Download PDF

Info

Publication number
RU2165070C2
RU2165070C2 RU99109451A RU99109451A RU2165070C2 RU 2165070 C2 RU2165070 C2 RU 2165070C2 RU 99109451 A RU99109451 A RU 99109451A RU 99109451 A RU99109451 A RU 99109451A RU 2165070 C2 RU2165070 C2 RU 2165070C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
reflector
screen
displacements
circular cylinder
axis
Prior art date
Application number
RU99109451A
Other languages
English (en)
Other versions
RU99109451A (ru
Inventor
Е.Н. Петров
Original Assignee
Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики
Министерство Российской Федерации по атомной энергии
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики, Министерство Российской Федерации по атомной энергии filed Critical Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики
Priority to RU99109451A priority Critical patent/RU2165070C2/ru
Publication of RU99109451A publication Critical patent/RU99109451A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2165070C2 publication Critical patent/RU2165070C2/ru

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области оптического приборостроения и может быть использовано для бесконтактного безинерционного измерения малых линейных и угловых перемещений. Устройство содержит отражатель, установленный на объекте, источник света, расположенный под углом к отражателю, блок регистрации отраженных световых лучей. Рабочая поверхность отражателя выполнена в виде отрезка кругового цилиндра, ось которого перпендикулярна направлению перемещения объекта измерения и параллельна оси его поворота. Экран блока регистрации выполнен в виде отрезка кругового цилиндра, охватывающего отражатель. Оси экрана и отражателя совпадают. В экране выполнена щель для светового луча. Изобретение позволяет повысить точность и чувствительность определения перемещений. 2 ил.

Description

Заявляемое изобретение относится к области измерительной техники, а более конкретно к области оптического приборостроения, и может быть использовано, в частности, для бесконтактного безинерционного измерения малых линейных и угловых перемещений, например измерения угловых и линейных перемещений при исследовании и регистрации микроперемещений в трибоконтакте резьбовой пары.
Известно устройство для измерения малых перемещений объекта, содержащее отражатель, установленный на объекте, источник когерентного излучения, регистратор положения отраженного от отражателя светового пучка, по которому судят о величине перемещения объекта. Данное устройство используется при реализации способа измерения малых перемещений, защищенного патентом Японии N 51-17062, G 01 B 11/02, 1976 г.
Недостатком известного устройства является то, что оно не позволяет определить малые перемещения с высокой точностью.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому устройству является устройство, защищенное а.с. СССР N 847017, G 01 B 11/00, опубл. 1981 г., которое выбрано в качестве прототипа заявляемого устройства.
Это устройство содержит отражатель, связываемый с перемещающимся объектом, источник когерентного света, расположенный под углом к отражателю, регистрирующий блок, на который падает отраженный от отражателя световой луч. На объекте установлено не менее двух отражателей, каждый из которых выполнен в виде микроскопических кристаллов минерала, напыленых на тонкий слой клея, наносимого на исследуемую точку объекта.
Наличие микроскопических кристаллов, хаотически расположенных на поверхности, позволяет зафиксировать малейшие перемещения, однако точно определить и рассчитать величину перемещений при такой их регистрации сложно, особенно если плоскость объекта, на которой установлен отражатель, совершает сложное перемещение, например одновременное горизонтальное или вертикальное перемещение и поворот, что может иметь место при исследовании резьбовых соединений. Наличие микрокристаллов на отражаемой поверхности приводит к расфокусированию отраженного света и, как следствие, к снижению точности регистрации перемещения.
Заявляемым устройством решается задача повышения точности и чувствительности определения перемещений, особенно при одновременной реализации нескольких различных перемещений.
Поставленная задача решается за счет того, что в устройстве для измерения малых перемещений, содержащем отражатель, установленный на объекте, источник света, расположенный под углом к отражателю, и блок регистрации отраженных световых лучей, согласно изобретению рабочая поверхность отражателя выполнена в виде отрезка кругового цилиндра, ось которого перпендикулярна направлению перемещения объекта измерения и параллельна оси его поворота, а экран блока регистрации выполнен в виде отрезка кругового цилиндра охватывающего отражатель, при этом оси экрана и отражателя совпадают, в экране выполнена щель для светового луча.
Возможность решения поставленной задачи обусловлена тем, что при малом перемещении или повороте даже небольшое смещение луча по цилиндрической поверхности приведет к изменению угла падения луча на поверхность, соответственно изменится и угол отражения луча. На экране зафиксируется положение луча на значительном расстоянии (по сравнению с величиной перемещения) от точки фиксации луча до перемещения. Это позволит повысить точность измерения микроперемещений, которые имеют место в трибоконтакте резьбовой пары.
Наличие отличительных от прототипа признаков позволяет сделать вывод о соответствии заявляемого изобретения критерию "новизна"
В процессе поиска не выявлено технических решений, содержащих признаки, сходные с отличительными признаками заявляемого устройства, что позволяет сделать вывод о соответствии заявляемого решения критерию " изобретательский уровень"
Предлагаемое устройство иллюстрируется чертежами, представленными на фиг. 1-2.
На фиг. 1 показана работа устройства при горизонтальном перемещении.
На фиг. 2 показана работа устройства при повороте.
Устройство для измерения малых перемещений содержит источник света 1, направляющий луч света через щель 2 в экране 3 на отражатель 4, закрепленный на поверхности объекта 5 измерения. Отражатель 4 выполнен в виде отрезка кругового цилиндра, ось 6 которого перпендикулярна направлению линейных перемещений поверхности объекта 5 и параллельна оси вращения 7 поверхности объекта 5.
Устройство работает следующим образом. На поверхность объекта 5, который будет испытывать линейные перемещения в горизонтальной плоскости, угловые перемещения вокруг оси 7, перпендикулярной плоскости линейных перемещений, крепится отражатель 4 в виде отрезка кругового цилиндра, ось которого параллельна с осью 7. Над отражателем устанавливается экран 3 с щелью 2, через которую на отражатель направляется луч 1. Луч 1 попадает на зеркало 4, отражается от него, и отраженный луч попадает на экран 3, фиксируя место "a1", его координаты определяются регистрирующим блоком (на чертеже не показан). Затем плоскость 5 перемещается в горизонтальном направлении на расстояние "L", зеркало 4 переместится на расстояние "L", луч, отразившись от новой точки на зеркале "в", будет иметь другой угол падения, соответственно изменится и угол отражения. На экране зафиксируется точка "в1". Расстояние "а11" больше, чем "L".
Разработанное устройство позволяет измерять сверхмалые линейные (10-8 м) и угловые (10-3 угловой секунды) перемещения. Система основана на измерении перемещения светового потока на удаленном экране от отклоненного от измерительного микрозеркала луча света и позволяет проводить исследования микроперемещений в трибоконтакте при исследовании самоотвинчивания резьбового соединения.

Claims (1)

  1. Устройство для измерения малых перемещений, содержащее отражатель, установленный на объекте, источник света, расположенный под углом к отражателю, и блок регистрации отраженных световых лучей, отличающееся тем, что рабочая поверхность отражателя выполнена в виде отрезка кругового цилиндра, ось которого перпендикулярна направлению перемещения объекта измерения и параллельна оси его поворота, а экран блока регистрации выполнен в виде отрезка кругового цилиндра, охватывающего отражатель, при этом оси экрана и отражателя совпадают, а в экране выполнена щель для светового луча.
RU99109451A 1999-04-27 1999-04-27 Устройство для измерения малых перемещений RU2165070C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU99109451A RU2165070C2 (ru) 1999-04-27 1999-04-27 Устройство для измерения малых перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU99109451A RU2165070C2 (ru) 1999-04-27 1999-04-27 Устройство для измерения малых перемещений

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU99109451A RU99109451A (ru) 2001-01-27
RU2165070C2 true RU2165070C2 (ru) 2001-04-10

Family

ID=20219460

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU99109451A RU2165070C2 (ru) 1999-04-27 1999-04-27 Устройство для измерения малых перемещений

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2165070C2 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4897536A (en) Optical axis displacement sensor with cylindrical lens means
WO1986007444A1 (en) An instrument for measuring the topography of a surface
US4766323A (en) Method and apparatus for determining the distance of an object
US4969744A (en) Optical angle-measuring device
KR880000771A (ko) 광학적 거리측정장치
JPH1114357A (ja) 測量機の自動追尾装置
EP2793042B1 (en) Positioning device comprising a light beam
JPS63163313A (ja) 非接触自動焦点位置合わせ装置
US4457626A (en) Apparatus for determining the position of a mark on an object
RU2165070C2 (ru) Устройство для измерения малых перемещений
EP3696499A1 (en) Surveying system having a rotating mirror
JP2006132955A (ja) ポリゴンミラーモータのミラー偏心および面出入りを測定する装置
RU2165069C2 (ru) Оптическое устройство для измерения малых перемещений
JPS57199909A (en) Distance measuring device
RU2650432C1 (ru) Трёхкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор
Frank et al. General purpose position sensor
RU2092786C1 (ru) Интерферометр майкельсона с подвижным отражателем (его варианты)
SU1196686A1 (ru) Система компенсации угловых смещений объекта дл двухлучевых интерференционных измерителей перемещений
SU419721A1 (ru) Оптическая система фотоэлектрических угломеров следящей отработки
RU2075727C1 (ru) Способ измерения углов поворота нескольких объектов и устройство для его осуществления
SU1203356A1 (ru) Светопроекционный дальномер
US9176391B2 (en) Method and arrangement for displacement
RU94006567A (ru) Лазерный дальномер
SU1413412A1 (ru) Способ измерени линейных перемещений светоотражающих объектов
JPS6112203B2 (ru)