RU2144471C1 - Method and device for assembling of microinjector - Google Patents

Method and device for assembling of microinjector Download PDF

Info

Publication number
RU2144471C1
RU2144471C1 RU98119953A RU98119953A RU2144471C1 RU 2144471 C1 RU2144471 C1 RU 2144471C1 RU 98119953 A RU98119953 A RU 98119953A RU 98119953 A RU98119953 A RU 98119953A RU 2144471 C1 RU2144471 C1 RU 2144471C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
membrane
heating elements
plate
heating
membranes
Prior art date
Application number
RU98119953A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Бьюнг-сун Ахн
Б.Н. Дунаев
Original Assignee
Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Самсунг Электроникс Ко., Лтд. filed Critical Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Priority to RU98119953A priority Critical patent/RU2144471C1/en
Priority to KR1019990007329A priority patent/KR100288700B1/en
Priority to JP11077330A priority patent/JP3045500B2/en
Priority to CN99126093A priority patent/CN1253038A/en
Priority to EP99308741A priority patent/EP0999051A3/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2144471C1 publication Critical patent/RU2144471C1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1635—Manufacturing processes dividing the wafer into individual chips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
    • B41J2/14064—Heater chamber separated from ink chamber by a membrane
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
    • B41J2/1603—Production of bubble jet print heads of the front shooter type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1632—Manufacturing processes machining
    • B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

FIELD: jet printing equipment. SUBSTANCE: in method and device for assembly of microinjector, strip with multiplicity of heating elements is fixed on vacuum mounting table. Membrane of microinjector is manufactured independently from jet component. Membrane is installed so that it is located at required distance from strip with heating elements. Membrane is secured on strip with heating elements so that it allows for preventing frequent displacements of membrane during its setting and assembling. This helps prevent damage to membrane together with elimination of need to reset membrane relative to each heating element. Thus assembling period is substantially shortened. Characteristics prevent risk of damaging membrane during its assembling and improve functioning of microinjector. EFFECT: higher efficiency. 12 cl, 7 dwg

Description

Изобретение относится к микроинжектору, приспособленному для использования в струйном принтере, микронасосе, применяемом в медицинских приспособлениях, и в устройстве для впрыска топлива, и более точно к способу сборки микроинжектора, при котором мембрана может быть одновременно приклеена к множеству нагревательных элементов. Настоящее изобретение также относится к устройству для сборки такого микроинжектора. The invention relates to a microinjector adapted for use in an inkjet printer, a micropump used in medical devices, and in a device for fuel injection, and more specifically to a method for assembling a microinjector in which the membrane can be simultaneously adhered to a plurality of heating elements. The present invention also relates to a device for assembling such a microinjector.

В целом микроинжектор представляет собой устройство, которое предназначено для того, чтобы подавать на бумагу для печати, человеческое тело или транспортное средство определенное количество жидкости, например чернил, впрыскиваемой жидкости или нефти, используя способ, при котором к вышеупомянутой жидкости прикладывают электрическую или тепловую энергию заданной величины с тем, чтобы можно было вызвать объемную трансформацию такой жидкости. Таким образом, к конкретному объекту может быть подведено заданное количество такой жидкости. In general, a micro-injector is a device that is designed to supply a certain amount of liquid, such as ink, injected liquid or oil, to a printing paper, human body or vehicle, using a method in which electrical or thermal energy of a predetermined amount is applied to said liquid values so that it is possible to cause volumetric transformation of such a liquid. Thus, a predetermined amount of such a liquid can be supplied to a specific object.

За последнее время развитие электрической и электронной технологии обеспечило возможность быстрого прогресса в разработке подобных микроинжекторов. Вследствие этого микроинжекторы повсеместно широко используются человеком в быту и на производстве. В качестве примера применения микроинжектора в жизни человека можно привести струйный принтер. Recently, the development of electrical and electronic technology has made possible rapid progress in the development of such microinjectors. As a result of this, microinjectors are universally widely used by humans in everyday life and in production. An example of the use of a microinjector in a person’s life is an inkjet printer.

В отличие от обычного матричного принтера струйный принтер, то есть один из видов микроинжектора, способен выполнять печатные работы различными цветами путем использования картриджей, и к его преимуществам относятся меньший шум и улучшенное качество печати, по этой причине струйный принтер завоевывает все большую популярность. Unlike a conventional dot-matrix printer, an inkjet printer, that is, one of the types of micro-injectors, is capable of printing in various colors by using cartridges, and its advantages include less noise and improved print quality, for this reason the inkjet printer is gaining more and more popularity.

В настоящее время струйный принтер, как правило, снабжен печатающей головкой, имеющей отверстия (сопла) с мельчайшим диаметром. В такой печатающей головке струйного принтера чернила, которые находятся в жидком состоянии, преобразуются и расширяются до состояния пузырьков путем включения или выключения электрического сигнала, принимаемого от внешнего устройства. После этого чернила, превращенные в пузырьки таким способом, выдавливаются для выполнения печати на бумаге для печати. Currently, an inkjet printer, as a rule, is equipped with a print head having holes (nozzles) with a smallest diameter. In such a printhead of an inkjet printer, ink that is in a liquid state is converted and expanded to a state of bubbles by turning on or off an electrical signal received from an external device. After that, the ink turned into bubbles in this way is squeezed out to print on the printing paper.

Различные конструктивные исполнения и операции струйной печатающей головки по предшествующему уровню техники были раскрыты в патенте США N 4490728, озаглавленном "Thermal inkjet printer" ("Струйный принтер с нагреваемыми печатающими элементами"), в патенте США N 4809428, озаглавленном "Thin film device for an inkjet printhead and process for manufacturing the same" ("Тонкопленочное устройство для струйной печатающей головки и способ его изготовления"), в патенте США N 5140345 "Method of manufacturing a substrate for a liquid jet recording head and substrate manufactured by the method" ("Способ изготовления подложки для струйной записывающей головки и подложка, изготовленная данным способом"), в патенте США N 5274400 "Ink path geometry for high temperature operation of inkjet printheads" ("Геометрия траектории чернил для высокотемпературной работы струйных печатающих головок") и в патенте США N 5420627 "Inkjet printhead" ("Струйная печатающая головка"). Various designs and operations of the prior art inkjet printhead have been disclosed in US Pat. No. 4,490,728, entitled "Thermal inkjet printer", in US Pat. No. 4,809,428, entitled "Thin film device for an inkjet printhead and process for manufacturing the same "(" Thin-film device for an inkjet printhead and method of its manufacture "), in US patent N 5140345" Method of manufacturing a substrate for a liquid jet recording head and substrate manufactured by the method "(" A method of manufacturing a substrate for inkjet recording heads and a substrate made by this method "), in US Pat. No. 5,274,400," Ink path geometry for high temperature operation of inkjet printheads "and US Pat. No. 5,420,627," Inkjet printhead " ("Inkjet print head").

В такой обычной струйной печатающей головке для выдавливания чернил наружу используется высокая температура, которая создается резистивным нагревательным слоем. В данном случае, если такая высокая температура в течение длительного времени воздействует на чернила, содержащиеся в камере для чернил, тепловые изменения в компонентах чернил могут существенно уменьшить долговечность устройства. In such a conventional inkjet printhead, high temperature is used to squeeze the ink out, which is created by the resistive heating layer. In this case, if such a high temperature for a long time affects the ink contained in the ink chamber, thermal changes in the components of the ink can significantly reduce the durability of the device.

В последнее время для преодоления вышеуказанной проблемы был предложен способ, при котором между резистивным нагревательным слоем и камерой для чернил вставляют мембрану в форме подложки, и объемная трансформация мембраны вызывается давлением пара рабочей жидкости, например жидкого гептана, который заполняет камеру для нагрева. Таким образом, чернила, содержащиеся в камере для чернил, плавно выходят из нее. Recently, to overcome the above problem, a method has been proposed in which a substrate-shaped membrane is inserted between the resistive heating layer and the ink chamber, and the volumetric transformation of the membrane is caused by the vapor pressure of the working fluid, for example liquid heptane, which fills the heating chamber. In this way, the ink contained in the ink chamber exits smoothly.

В данном случае можно избежать непосредственного контакта между чернилами и резистивным нагревательным слоем, поскольку между камерой для чернил и резистивным нагревательным слоем вставлена мембрана. Тем самым можно свести к минимуму тепловые изменения в чернилах. In this case, direct contact between the ink and the resistive heating layer can be avoided since a membrane is inserted between the ink chamber and the resistive heating layer. In this way, thermal changes in the ink can be minimized.

В патенте США N 5681152 "Membrane type fluid pump" ("Насос мембранного типа для текучей среды") и в патенте США N 5659346 "Simplified inkjet head" ("Упрощенная чернильно-струйная головка") раскрыты аналогичные случаи, в которых применяется описанная выше мембрана. In US patent N 5681152 "Membrane type fluid pump" and in US patent N 5659346 "Simplified inkjet head" (Simplified inkjet head ") disclosed similar cases in which the above is applied membrane.

Как правило, такую мембрану осаждают на струйном элементе, состоящем из пластины сопла, и из запирающего слоя камеры для чернил, посредством заданного способа осаждения, например, посредством способа химического осаждения из паровой фазы. Typically, such a membrane is deposited on an inkjet element consisting of a nozzle plate and from the barrier layer of the ink chamber by a predetermined deposition method, for example, by a chemical vapor deposition method.

После этого струйный элемент, на котором осаждена мембрана, собирают за одно целое (интегрально) с нагревательным элементом, состоящим из резистивного нагревательного слоя и из запирающего слоя камеры для нагрева, чтобы тем самым получить полностью готовую струйную печатающую головку. В данном случае струйный элемент, на котором осаждена мембрана, размещают независимо на каждом нагревательном элементе. After that, the inkjet element on which the membrane is deposited is assembled in one piece (integrally) with a heating element consisting of a resistive heating layer and a locking layer of the heating chamber to thereby obtain a fully finished inkjet print head. In this case, the inkjet element on which the membrane is deposited is placed independently on each heating element.

Вышеописанный способ образования мембраны и размещения струйного элемента на нагревательном элементе раскрыт в патенте США N 5752303 "Method for manufacturing a face shooter inkjet printing head" ("Способ изготовления струйной печатающей головки направленного действия") и в патенте США N 5703622 "Inkjet head orifice plate mounting arrangement" ("Приспособление для монтажа пластины с отверстиями для струйной головки"). The above-described method of forming a membrane and arranging an inkjet element on a heating element is disclosed in US Pat. No. 5,752,303 "Method for manufacturing a face shooter inkjet printing head" and US Pat. No. 5,703,622 "Inkjet head orifice plate." mounting arrangement "(" Mounting plate with holes for the inkjet head ").

Однако с подобным обычным способом изготовления струйной печатающей головки связан ряд проблем. Как описано выше, струйный элемент, на котором осаждена мембрана, независимо размещен на каждом нагревательном элементе. В данном случае, поскольку мембрана перемещается, будучи выполненной за одно целое со струйным элементом, она также независимо размещается на соответствующем нагревательном элементе. However, a number of problems are associated with such a conventional method for manufacturing an inkjet printhead. As described above, the inkjet element on which the membrane is deposited is independently located on each heating element. In this case, since the membrane moves, being made in one piece with the inkjet element, it is also independently placed on the corresponding heating element.

Если мембрана независимо размещается на каждом нагревательном элементе, время, требуемое для завершения сборки струйной печатающей головки, существенно увеличивается. If the membrane is independently placed on each heating element, the time required to complete the assembly of the inkjet printhead is significantly increased.

Таким образом, производственная система в целом не может гибко реагировать на недавно возникшую потребность в массовом производстве таких устройств. Thus, the production system as a whole cannot flexibly respond to the recent need for mass production of such devices.

Между тем, как описано выше, струйный элемент, на котором осаждена мембрана, размещают интегрально с нагревательным элементом для получения полностью готовой струйной печатающей головки. В данном случае для того, чтобы установить струйный элемент в соответствующем месте нагревательного элемента, абсолютно необходим процесс выставления в заданное положение, служащий для надлежащего регулирования положения двух элементов друг относительно друга. Meanwhile, as described above, the inkjet element on which the membrane is deposited is integrated with the heating element to obtain a fully finished inkjet print head. In this case, in order to install the inkjet element in the corresponding place of the heating element, it is absolutely necessary to set it to a predetermined position, which serves to properly control the position of the two elements relative to each other.

Однако мембрана, вставленная между струйным элементом и нагревательным элементом, как правило, выполнена в виде чрезвычайно тонкой пленки. Следовательно, в том случае, когда операции выставления и размещения выполняют со струйным элементом, на котором осаждена мембрана и который тем самым перемещается вместе с мембраной, такая мембрана может быть повреждена из-за контакта с различными периферийными вспомогательными инструментами, например инструментами для передачи или прижатия. However, the membrane inserted between the inkjet element and the heating element, as a rule, is made in the form of an extremely thin film. Therefore, in the case when the exposure and placement operations are performed with the inkjet element on which the membrane is deposited and which thereby moves together with the membrane, such a membrane can be damaged due to contact with various peripheral auxiliary tools, for example, transfer or pressure tools .

В этом случае эксплуатационные характеристики мембраны существенно ухудшаются, и вследствие этого ее функция инжекции чернил не может выполняться быстро. In this case, the performance of the membrane is significantly degraded, and as a result, its ink injection function cannot be performed quickly.

Кроме того, если сборка еще не завершена, мембрана вставлена между струйным элементом и нагревательным элементом таким образом, чтобы она не была открыта для воздействия (со стороны окружающей среды). Следовательно, рабочий не может быстро распознать любое повреждение, имеющее место на заданном участке мембраны. In addition, if the assembly is not yet completed, the membrane is inserted between the inkjet element and the heating element so that it is not exposed to impact (from the environment). Therefore, the worker cannot quickly recognize any damage that occurs in a given area of the membrane.

Если электронное устройство оснащено печатающей головкой, находящейся в том состоянии, при котором любое повреждение на мембране не выявлено, то электронное устройство, например струйный принтер, оснащенный такой печатающей головкой, не может обеспечить отличное качество печати. If the electronic device is equipped with a print head in a state in which no damage to the membrane is detected, then an electronic device, such as an inkjet printer equipped with such a print head, cannot provide excellent print quality.

В результате вследствие вышеуказанных проблем производительность и другие характеристики печати в целом существенно снижаются. As a result, due to the above problems, productivity and other printing characteristics are generally substantially reduced.

Следовательно, целью настоящего изобретения является разработка способа сборки микроинжектора, при котором мембрану и нагревательный элемент устанавливают зависимо друг от друга (совместно), чтобы тем самым уменьшить время, требуемое для осуществления полной сборки всего микроинжектора. Therefore, the aim of the present invention is to develop a method of assembling a microinjector, in which the membrane and the heating element are installed independently of each other (together), thereby reducing the time required to complete assembly of the entire microinjector.

Еще одной целью настоящего изобретения является разработка способа сборки микроинжектора за более короткое время, тем самым производственная система в целом может гибко отвечать на требования массового производства. Another objective of the present invention is to develop a method of assembling a microinjector in a shorter time, thereby the production system as a whole can flexibly respond to the requirements of mass production.

Еще одной целью настоящего изобретения является разработка способа сборки микроинжектора, при котором смещение мембраны во время выставления или сборки ограничено, с тем, чтобы тем самым предотвратить повреждения, которые могут иметь место на мембране. Another objective of the present invention is to develop a method of assembling a microinjector in which the displacement of the membrane during exposure or assembly is limited, so as to prevent damage that may occur on the membrane.

Следующей целью настоящего изобретения является разработка способа сборки микроинжектора, при котором реализация функции инжекции чернил, осуществляемой мембраной, может быть улучшена за счет такого предотвращения повреждений. A further object of the present invention is to provide a method for assembling a micro-injector in which the implementation of the ink injection function provided by the membrane can be improved by such damage prevention.

Еще одной целью настоящего изобретения является разработка способа сборки микроинжектора, при котором мембрана может быть открыта (обнажена), когда сборка еще не завершена, так что любое повреждение на мембране может быть быстро выявлено. Another objective of the present invention is to develop a method of assembling a microinjector in which the membrane can be opened (exposed) when the assembly is not yet completed, so that any damage to the membrane can be quickly detected.

Еще одной целью настоящего изобретения является разработка способа сборки микроинжектора, при котором любое повреждение на мембране может быть быстро выявлено, так что может быть значительно улучшена реализация всей функции печати микроинжектора. Another objective of the present invention is to develop a method of assembling a microinjector, in which any damage to the membrane can be quickly detected, so that the implementation of the entire printing function of the microinjector can be significantly improved.

Для достижения вышеуказанных целей согласно первому аспекту изобретения предложен способ сборки микроинжектора, содержащий операции:
фиксации пластины с нагревательными элементами, на которой образовано множество нагревательных элементов, на вакуумном монтажном столе;
выставления мембраны с осажденным на ней клеем с ее отделением от пластины с нагревательными элементами на заданное расстояние;
фиксации мембраны на пластине с нагревательными элементами; и
приклеивания пластины с нагревательными элементами и мембраны друг к другу.To achieve the above objectives, according to a first aspect of the invention, there is provided a method for assembling a micro-injector comprising the steps of:
fixing a plate with heating elements, on which a plurality of heating elements are formed, on a vacuum mounting table;
exposing the membrane with adhesive deposited on it with its separation from the plate with heating elements at a predetermined distance;
fixing the membrane on a plate with heating elements; and
gluing plates with heating elements and membranes to each other.

Целесообразно, чтобы расстояние между пластиной с нагревательными элементами и мембраной на операции выставления составляло от 4 до 6 мкм. It is advisable that the distance between the plate with heating elements and the membrane during the exposure operation is from 4 to 6 microns.

Предпочтительно, чтобы пластину с нагревательными элементами и мембрану выставляли на операции выставления для совпадения их центральных точек. It is preferable that the plate with the heating elements and the membrane are exposed to the alignment operations to match their center points.

Желательно, чтобы операция приклеивания пластины с нагревательными элементами и мембраны друг к другу содержала операции первоначального нагрева пластины с нагревательными элементами и мембраны за счет излучения нагревательного инструмента, и повторного нагрева пластины с нагревательными элементами и мембраны в печи с высокой температурой и высоким давлением. It is desirable that the operation of gluing the plate with the heating elements and the membrane to each other contains the operation of the initial heating of the plate with the heating elements and the membrane by emitting a heating tool, and re-heating the plate with the heating elements and the membrane in a furnace with high temperature and high pressure.

Возможно, чтобы излучение нагревательного инструмента, представляло собой инфракрасное излучение. It is possible that the radiation of the heating instrument was infrared radiation.

Целесообразно, чтобы операцию первоначального нагрева пластины с нагревательными элементами и мембраны выполняли при температуре от 200 до 280oC в течение 15-30 с.It is advisable that the operation of the initial heating of the plate with heating elements and membranes was performed at a temperature of from 200 to 280 o C for 15-30 seconds.

Предпочтительно, чтобы операцию повторного нагрева пластины с нагревательными элементами и мембраны выполняли при температуре от 150 до 400oC и давлении от 1 до 15 кг/см2.Preferably, the operation of re-heating the plate with heating elements and membranes was performed at a temperature of from 150 to 400 o C and a pressure of from 1 to 15 kg / cm 2 .

Желательно, чтобы операцию повторного нагрева пластины с нагревательными элементами и мембраны выполняли при температуре от 200 до 350oC и давлении от 2 до 10 кг/см2.It is desirable that the operation of re-heating the plate with heating elements and membranes was performed at a temperature of from 200 to 350 o C and a pressure of from 2 to 10 kg / cm 2 .

Возможно, чтобы способ содержал операцию образования сквозных отверстий для чернил в пластине с нагревательными элементами и в мембране после операции приклеивания пластины с нагревательными элементами и мембраны друг к другу. It is possible that the method comprises the step of forming through holes for ink in the plate with the heating elements and in the membrane after the operation of gluing the plate with the heating elements and the membrane to each other.

Целесообразно, чтобы сквозные отверстия для чернил образовывали с помощью газового лазера на диоксиде углерода (CO2-лазера).It is advisable that the through holes for ink formed using a gas laser on carbon dioxide (CO 2 laser).

Для достижения вышеуказанных целей согласно следующему аспекту изобретения предложено устройство для сборки микроинжектора, содержащее:
вакуумный монтажный стол для фиксации пластины с нагревательными элементами с использованием вакуума;
фиксирующее мембрану кольцо, расположенное над вакуумным монтажным столом и предназначенное для прижима периферии мембраны с регулярным давлением для фиксации мембраны на пластине с нагревательными элементами;
опорный держатель фиксирующего кольца для создания опоры для фиксирующего мембрану кольца;
координатный стол для выставления мембраны, предназначенный для фиксации опорного держателя для фиксирующего кольца и для позиционирования центра мембраны посредством ее перемещения в любом направлении с соответствием центра мембраны центру пластины с нагревательными элементами при выставлении мембраны относительно пластины с нагревательными элементами; и
нагревательный инструмент, размещенный над координатным столом для выставления мембраны и предназначенный для испускания инфракрасного излучения, действующего на мембрану и на пластину с нагревательными элементами для нагрева и приклеивания мембраны и пластины с нагревательными элементами друг к другу.In order to achieve the above objectives, according to a further aspect of the invention, there is provided a device for assembling a micro-injector, comprising:
vacuum mounting table for fixing the plate with heating elements using vacuum;
a membrane fixing ring located above the vacuum mounting table and designed to clamp the periphery of the membrane with regular pressure to fix the membrane on a plate with heating elements;
a retainer for the retaining ring to support the membrane retaining ring;
a coordinate table for exposing the membrane, designed to fix the support holder for the retaining ring and to position the center of the membrane by moving it in any direction with the center of the membrane matching the center of the plate with heating elements when setting the membrane relative to the plate with heating elements; and
a heating tool placed above the coordinate table for exposing the membrane and designed to emit infrared radiation acting on the membrane and on the plate with heating elements for heating and gluing the membrane and the plate with heating elements to each other.

Целесообразно, чтобы координатный стол для выставления мембраны содержал проникающее отверстие для пропускания инфракрасного излучения, создаваемого нагревательным инструментом, через мембрану и пластину с нагревательными элементами. It is advisable that the coordinate table for exhibiting the membrane contains a penetrating hole for transmitting infrared radiation generated by the heating tool through the membrane and the plate with heating elements.

Для достижения вышеуказанных целей и других преимуществ настоящего изобретения мембрану не осаждают интегрально на струйном элементе, и, таким образом, ее изготавливают как отдельную деталь. В этом случае мембрана может быть смонтирована на нагревательном элементе за счет дополнительной операции, а не за счет смещения струйного элемента, даже в том случае, когда процесс монтажа микроинжектора еще не завершен. В результате можно предотвратить частое смещение мембраны в процессе выставления или монтажа с тем, чтобы предотвратить повреждения, которые могут иметь место на мембране. Кроме того, поскольку мембрану монтируют в состоянии, при котором она отделена от струйного элемента, мембрана оказывается не вставленной между струйным элементом и нагревательным элементом в процессе сборки. Таким образом, мембрана может быть открыта, так что рабочий может легко выявить любое повреждение на мембране, что позволяет быстро принять меры. To achieve the above objectives and other advantages of the present invention, the membrane is not deposited integrally on the inkjet element, and thus it is manufactured as a separate part. In this case, the membrane can be mounted on the heating element due to an additional operation, and not due to the displacement of the inkjet element, even in the case when the installation process of the microinjector is not yet completed. As a result, frequent displacement of the membrane during exposure or installation can be prevented in order to prevent damage that may occur on the membrane. In addition, since the membrane is mounted in a state in which it is separated from the jet element, the membrane is not inserted between the jet element and the heating element during the assembly process. Thus, the membrane can be opened, so that the worker can easily detect any damage to the membrane, which allows quick action.

Кроме того, в соответствии с настоящим изобретением мембрану приклеивают одновременно к множеству нагревательных элементов, образующих блок полупроводниковых пластин, вместо приклеивания мембраны к каждому нагревательному элементу по одному. В этом случае мембрана может быть выставлена относительно множества нагревательных элементов одновременно (за один раз). В результате отсутствует необходимость в выставлении мембраны относительно каждого нагревательного элемента, и, таким образом, время, требуемое для завершения всего процесса сборки микроинжектора, существенно уменьшается. Благодаря такому уменьшению времени, необходимого для сборки, можно получить производственную систему, способную гибко реагировать на требования массового производства, которые возникли за последнее время. In addition, in accordance with the present invention, the membrane is glued simultaneously to a plurality of heating elements forming a block of semiconductor plates, instead of gluing the membrane to each heating element one at a time. In this case, the membrane can be set relative to the plurality of heating elements simultaneously (at a time). As a result, there is no need to set the membrane relative to each heating element, and thus, the time required to complete the entire assembly process of the microinjector is significantly reduced. Due to this reduction in the time required for assembly, it is possible to obtain a production system that is able to flexibly respond to the requirements of mass production that have arisen recently.

С этой целью в соответствии с настоящим изобретением (полупроводниковую) пластину с нагревательными элементами, на которой образовано множество нагревательных элементов, жестко фиксируют на вакуумном монтажном столе. Затем мембрану, которая изготовлена в виде отдельной детали, выставляют с целью смещения ее от нагревательного элемента на заданное расстояние, например от 4 до 6 мкм. После этого мембрану фиксируют на пластине с нагревательными элементами, и пластину с нагревательными элементами и мембрану приклеивают друг к другу. Таким образом, мембрана оказывается выровненной относительно множества нагревательных элементов и смонтирована зараз. To this end, in accordance with the present invention, a (semiconductor) plate with heating elements, on which a plurality of heating elements are formed, is rigidly fixed to a vacuum mounting table. Then the membrane, which is made in the form of a separate part, is exposed with the aim of displacing it from the heating element by a predetermined distance, for example from 4 to 6 microns. After that, the membrane is fixed on the plate with heating elements, and the plate with heating elements and the membrane are glued to each other. Thus, the membrane is aligned with the plurality of heating elements and mounted at once.

Между тем для реализации целей настоящего изобретения, в соответствии с еще одним аспектом настоящего изобретения, разработано дополнительное монтажное устройство. Meanwhile, to achieve the objectives of the present invention, in accordance with another aspect of the present invention, an additional mounting device is developed.

Такое монтажное устройство включает вакуумный монтажный стол для фиксации пластины с нагревательными элементами в вакуумной среде, фиксирующее мембрану кольцо, предназначенное для прижима периферии мембраны на вакуумном монтажном столе и фиксации мембраны на пластине с нагревательными элементами, опорный держатель фиксирующего кольца, предназначенный для создания опоры фиксирующего мембрану кольца, координатный стол для выставления мембраны, предназначенный для фиксации опорного держателя фиксирующего кольца и для выставления мембраны относительно пластины с нагревательными элементами, и нагревательный инструмент, предназначенный для создания инфракрасного излучения, действующего на мембрану и на пластину с нагревательными элементами для нагревания и приклеивания мембраны и пластины с нагревательными элементами друг к другу. Мембрану можно одновременно присоединить к множеству нагревательных элементов благодаря работе монтажного устройства, описанного выше. Such a mounting device includes a vacuum mounting table for fixing the plate with heating elements in a vacuum environment, a membrane fixing ring for clamping the periphery of the membrane on the vacuum mounting table and fixing the membrane on the heating plate, a retaining ring support holder for supporting the fixing membrane rings, a coordinate table for exposing the membrane, designed to fix the support holder of the retaining ring and to expose the mbranes relative to the plate with heating elements, and a heating tool designed to create infrared radiation acting on the membrane and on the plate with heating elements for heating and gluing the membrane and the plate with heating elements to each other. The membrane can be simultaneously connected to a plurality of heating elements due to the operation of the mounting device described above.

Как описано выше, в соответствии с настоящим изобретением мембрана подается в процесс сборки независимо от струйного элемента, и множество нагревательных элементов крепятся к мембране одновременно. В результате время, требуемое для сборки микроинжектора, существенно уменьшается. As described above, in accordance with the present invention, the membrane is supplied to the assembly process independently of the inkjet element, and a plurality of heating elements are attached to the membrane at the same time. As a result, the time required to assemble the microinjector is significantly reduced.

Вышеуказанная цель и другие преимущества настоящего изобретения станут более очевидными при изучении подробного описания предпочтительных вариантов осуществления настоящего изобретения со ссылкой на сопроводительные чертежи, где
фиг. 1 представляет собой блок-схему, иллюстрирующую способ сборки микроинжектора в соответствии с настоящим изобретением;
фиг. 2 - изображение в изометрии с пространственным разделением деталей монтажного устройства для микроинжектора в соответствии с еще одним аспектом настоящего изобретения;
фиг. 3 - сечение микроинжектора, показанного на фиг. 2;
фиг. 4 - изображение, показывающее вариант осуществления печи, обеспечивающей высокую температуру и высокое давление, в соответствии со способом сборки согласно настоящему изобретению;
фиг. 5 - изображение, показывающее вариант осуществления микроинжектора, собранного в соответствии с настоящим изобретением; и
фиг. 6 и 7 представляют собой виды, иллюстрирующие работу микроинжектора, изображенного на фиг. 5.The above object and other advantages of the present invention will become more apparent upon examination of the detailed description of preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings, wherein
FIG. 1 is a flowchart illustrating a method for assembling a microinjector in accordance with the present invention;
FIG. 2 is an exploded perspective view of a mounting device for a micro-injector in accordance with yet another aspect of the present invention;
FIG. 3 is a sectional view of the microinjector shown in FIG. 2;
FIG. 4 is a view showing an embodiment of a furnace providing high temperature and high pressure in accordance with an assembly method according to the present invention;
FIG. 5 is a view showing an embodiment of a micro-injector assembled in accordance with the present invention; and
FIG. 6 and 7 are views illustrating the operation of the microinjector shown in FIG. 5.

Далее настоящее изобретение будет описано более подробно со ссылкой на сопроводительные чертежи, на которых показаны предпочтительные варианты осуществления изобретения. The present invention will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings, in which preferred embodiments of the invention are shown.

Предусмотрено, что все термины, упомянутые в описании, базируются на функционировании настоящего изобретения, и они могут быть изменены в соответствии с намерениями специалиста в данной области техники или с обычной практикой, причем термины должны быть определены с учетом рассмотрения всего содержания описания настоящего изобретения. It is envisaged that all the terms mentioned in the description are based on the functioning of the present invention, and they can be changed in accordance with the intentions of a person skilled in the art or with ordinary practice, and the terms should be defined taking into account the entire contents of the description of the present invention.

Во-первых, устройство для сборки микроинжектора согласно настоящему изобретению выполнено следующим образом. Firstly, the device for assembling the microinjector according to the present invention is made as follows.

Как показано на фиг. 2 и 3, в монтажном устройстве 200 согласно еще одному аспекту настоящего изобретения вакуумный монтажный стол 201 посредством вакуумного воздушного отверстия 205 фиксирует пластину 100 со множеством нагревательных элементов 101. В данном случае каждое вакуумное воздушное отверстие 205 соединяют с вакуумным насосом 208 для поддержания очень хорошего усилия отсасывания. As shown in FIG. 2 and 3, in the mounting device 200 according to another aspect of the present invention, the vacuum mounting table 201 fixes a plate 100 with a plurality of heating elements 101 through the vacuum air hole 205. In this case, each vacuum air hole 205 is connected to the vacuum pump 208 to maintain a very good force suctioning.

Над вакуумным монтажным столом 201 устанавливают фиксирующее мембрану кольцо 202. Фиксирующее мембрану кольцо 202 служит для манипулирования и прижима периферии мембраны 20 таким образом, чтобы мембрану 20 можно было зафиксировать в заданном положении на заданном расстоянии от пластины 100 с нагревательными элементами. В данном случае мембрана 20, подлежащая фиксации с помощью фиксирующего мембрану кольца 202, имеет структуру широкого тонкопленочного слоя, так что она может полностью закрыть пластину 100 с нагревательными элементами. A membrane retaining ring 202 is mounted above the vacuum mounting table 201. The membrane holding ring 202 is used to manipulate and press the periphery of the membrane 20 so that the membrane 20 can be fixed in a predetermined position at a predetermined distance from the plate 100 with heating elements. In this case, the membrane 20 to be fixed with the membrane fixing ring 202 has the structure of a wide thin-film layer so that it can completely cover the plate 100 with heating elements.

При этом фиксирующее мембрану кольцо 202 опирается на опорный держатель 204 для фиксирующего кольца, который, в свою очередь, вставлен на определенную длину под нижнюю поверхность мембраны 20, так что мембрана 20 может удерживаться на заданном расстоянии от пластины 100 с нагревательными элементами. In this case, the membrane fixing ring 202 rests on the support holder 204 for the locking ring, which, in turn, is inserted a certain length under the bottom surface of the membrane 20, so that the membrane 20 can be held at a predetermined distance from the plate 100 with heating elements.

В это время опорный держатель 204 фиксирующего кольца фиксируют, пропуская через отверстия в координатном столе 203 для выставления мембраны. Кроме того, координатный стол 203 для выставления мембраны соединяют с приводным цилиндром (не показанным) для обеспечения возможности плавного перемещения в любом направлении. Если мембрану 20 выставляют относительно пластины 100 с нагревательными элементами, координатный стол 203 для выставления мембраны быстро перемещается в любом направлении за счет работы приводного цилиндра. Следовательно, перемещение координатного стола 203 для выставления мембраны может быть надлежащим образом передано мембране 20 посредством опорного держателя 204 фиксирующего кольца. В результате мембрана 20 может быть быстро выставлена в соответствующее положение относительно пластины 100 с нагревательными элементами. At this time, the retaining ring support holder 204 is locked by passing through the holes in the coordinate table 203 to expose the membrane. In addition, the coordinate table 203 for setting the membrane is connected to a drive cylinder (not shown) to allow smooth movement in any direction. If the membrane 20 is set relative to the plate 100 with heating elements, the coordinate table 203 for setting the membrane quickly moves in any direction due to the operation of the drive cylinder. Therefore, the movement of the membrane alignment table 203 can be appropriately transmitted to the membrane 20 by means of a retaining ring support holder 204. As a result, the membrane 20 can be quickly set to an appropriate position relative to the plate 100 with heating elements.

Между тем нагревательный инструмент 207, который предназначен для создания инфракрасного излучения, установлен над координатным столом 203 для выставления мембраны. Нагревательный инструмент 207 создает инфракрасное излучение, действующее на мембрану 20 и пластину 100 с нагревательными элементами таким образом, что мембрана 20 может быть прочно приклеена к пластине 100 с нагревательными элементами. В этот момент клей 21 осажден до заданной толщины, например 1 мкм, на нижнюю поверхность мембраны 20. Клей 21 расплавляется под действием инфракрасного излучения, испускаемого нагревательным элементом 207, так что мембрана 20 может быть более прочно приклеена к пластине 100 с нагревательными элементами. Meanwhile, the heating tool 207, which is designed to create infrared radiation, is mounted above the coordinate table 203 for exposing the membrane. The heating tool 207 creates infrared radiation acting on the membrane 20 and the plate 100 with heating elements so that the membrane 20 can be firmly adhered to the plate 100 with heating elements. At this point, the adhesive 21 is deposited to a predetermined thickness, for example 1 μm, on the lower surface of the membrane 20. The adhesive 21 is melted by infrared radiation emitted by the heating element 207, so that the membrane 20 can be more firmly glued to the plate 100 with heating elements.

Предпочтительно в координатном столе 203 для выставления мембраны дополнительно образовано проникающее отверстие 206, через которое инфракрасное излучение, создаваемое нагревательным инструментом 207, проходит и достигает мембраны 20 и пластины 100 с нагревательными элементами. Следовательно, инфракрасное излучение, создаваемое нагревательным инструментом 207, может быстро достичь мембраны 20 и пластины 100 с нагревательными элементами, при этом на его пути не возникают препятствия. Preferably, a penetration hole 206 is further formed in the coordinate table 203 for exposing the membrane, through which infrared radiation generated by the heating tool 207 passes and reaches the membrane 20 and the plate 100 with heating elements. Therefore, the infrared radiation generated by the heating tool 207 can quickly reach the membrane 20 and the plate 100 with the heating elements, while there are no obstacles in its path.

Далее подробно будет описан способ сборки мембраны и пластины с нагревательными элементами с использованием вышеописанного монтажного устройства. Next, a method for assembling a membrane and a plate with heating elements using the above-described mounting device will be described in detail.

Как показано на фиг. 1, рабочий сначала перемещает пластину 100 с нагревательными элементами к монтажному устройству 200 с помощью передаточного устройства (не показанного) и на шаге S1 фиксирует переданную таким образом пластину 100 с нагревательными элементами на вакуумном монтажном столе 201. В данном случае, как описано выше, множество нагревательных элементов 101 расположены в определенном порядке на пластине 100 с нагревательными элементами. Вакуумный монтажный стол 201 обеспечивает присасывание нижней поверхности пластины 100 с нагревательными элементами с помощью вакуумного насоса 208, соединенного с вакуумным воздушным отверстием 205, таким образом, что пластина 100 с нагревательными элементами может быть более прочно зафиксирована на вакуумном монтажном столе 201. As shown in FIG. 1, the worker first moves the plate 100 with heating elements to the mounting device 200 with a transmission device (not shown) and, in step S1, fixes the plate 100 with heating elements so transmitted on the vacuum mounting table 201. In this case, as described above, a plurality heating elements 101 are arranged in a specific order on a plate 100 with heating elements. The vacuum mounting table 201 allows the lower surface of the plate 100 with heating elements to be suctioned by means of a vacuum pump 208 connected to the vacuum air hole 205, so that the plate 100 with heating elements can be more firmly fixed to the vacuum mounting table 201.

При этом мембрана 20 прижимается фиксирующим мембрану кольцом 202 и удерживается опорным держателем 204 фиксирующего кольца. Таким образом, мембрана 20 оказывается зафиксированной в определенном положении, при котором она находится на заданном расстоянии от пластины 100 с нагревательными элементами, предпочтительно на расстоянии от 4 до 6 мкм. В этом случае мембрана 20 имеет структуру широкого слоя тонкой пленки с тем, чтобы обеспечить возможность крепления ее одновременно к множеству нагревательных элементов 101, образованных на пластине 100 с нагревательными элементами. In this case, the membrane 20 is pressed by the membrane fixing ring 202 and held by the retaining ring support holder 204. Thus, the membrane 20 is fixed in a certain position at which it is at a predetermined distance from the plate 100 with heating elements, preferably at a distance of 4 to 6 microns. In this case, the membrane 20 has the structure of a wide layer of a thin film so as to enable it to be attached simultaneously to a plurality of heating elements 101 formed on a plate 100 with heating elements.

Предпочтительно в соответствии с настоящим изобретением для процесса монтажа применяются мембрана 20 и каждый нагревательный элемент 101, в которых некоторые конфигурации, например сквозное отверстие для чернил, не образованы. То есть в соответствии с настоящим изобретением монтаж выполняется перед образованием сквозных отверстий для чернил в мембране 20 и в каждом нагревательном элементе 101. Preferably, in accordance with the present invention, a membrane 20 and each heating element 101 are used for the mounting process, in which some configurations, for example a through hole for ink, are not formed. That is, in accordance with the present invention, the installation is carried out before the formation of through holes for ink in the membrane 20 and in each heating element 101.

Согласно настоящему изобретению способ, при котором процесс сборки выполняется перед образованием сквозных отверстий для чернил в мембране 20 и в каждом нагревательном элементе 101, применяется для следующих целей: мембрана 20 должна быть соединена одновременно с множеством нагревательных элементов 101, после этого операция образования сквозного отверстия для чернил выполняется одновременно в мембране 20 и нагревательных элементах 101. В таком случае устраняется какая-либо необходимость образования сквозных отверстий для чернил отдельно в мембране 20 и в каждом из нагревательных элементов 101, что тем самым позволяет сократить общее время на выполнение технологического процесса. According to the present invention, a method in which the assembly process is performed before forming through holes for ink in the membrane 20 and in each heating element 101 is used for the following purposes: the membrane 20 must be connected simultaneously with the plurality of heating elements 101, after which the operation of forming a through hole for ink is carried out simultaneously in the membrane 20 and the heating elements 101. In this case, there is no need to form through holes for the ink separately in the membrane 20 and in each of the heating elements 101, thereby thereby reducing the total time to complete the process.

Затем координатный стол 203 для выставления мембраны смещается во всех направлениях за счет работы приводного цилиндра с тем, чтобы быстро выставить мембрану 20 в соответствующее положение относительно пластины 100 с нагревательными элементами на шаге S2. В данном случае предпочтительно выставление пластины 100 с нагревательными элементами и мембраны 20 следует производить таким образом, чтобы центральные точки каждого из этих объектов были совмещены надлежащим образом. Then, the coordinate table 203 for exposing the membrane is displaced in all directions due to the operation of the drive cylinder so as to quickly expose the membrane 20 in the corresponding position relative to the plate 100 with heating elements in step S2. In this case, it is preferable that the plate 100 with the heating elements and the membrane 20 are exposed so that the center points of each of these objects are properly aligned.

Таким образом, согласно настоящему изобретению вследствие того что мембрана 20 одновременно приклеивается к множеству нагревательных элементов 101, только операция совмещения соответствующих центральных точек пластины 100 с нагревательными элементами и мембраны 20 может быстро привести к завершению сложного процесса выставления. Thus, according to the present invention, due to the fact that the membrane 20 is simultaneously adhered to the plurality of heating elements 101, only the operation of combining the corresponding central points of the plate 100 with the heating elements and the membrane 20 can quickly lead to the completion of a complex exposure process.

Когда вышеописанный процесс выставления завершен, координатный стол 203 для выставления мембраны перестает перемещаться в любых направлениях и фиксирует мембрану 20 в соответствующем положении относительно пластины 100 с нагревательными элементами на шаге S3. Соответственно мембрана оказывается зафиксированной над пластиной 100 с нагревательными элементами без изменения положения, и, таким образом, она готова для ее соединения в одно целое с пластиной 100 с нагревательными элементами. Кроме того, между мембраной 20 и пластиной 100 с нагревательными элементами введен клей 21, который быстро расплавляется в процессе приклеивания, который будет описан ниже. Таким образом, мембрана 20 и пластина 100 с нагревательными элементами могут быть более прочно приклеены друг к другу. When the above-described alignment process is completed, the membrane alignment table 203 stops moving in any directions and fixes the membrane 20 in the corresponding position relative to the plate 100 with heating elements in step S3. Accordingly, the membrane is fixed above the plate 100 with heating elements without changing position, and thus, it is ready for its connection with the plate 100 with heating elements. In addition, an adhesive 21 is introduced between the membrane 20 and the plate 100 with heating elements, which quickly melts during gluing, which will be described later. Thus, the membrane 20 and the plate 100 with heating elements can be more firmly glued to each other.

Когда операция, выполняемая на шаге S3, завершена, на шаге S4 осуществляется процесс приклеивания мембраны к пластине 100 с нагревательными элементами. When the operation in step S3 is completed, in step S4, the membrane is bonded to the plate 100 with heating elements.

На операции первого приклеивания нагревательный инструмент 207 испускает излучение, более предпочтительно инфракрасное излучение, в направлении мембраны 20 и пластины 100 с нагревательными элементами, помещенной на вакуумном монтажном столе 201, чтобы тем самым быстро расплавить клей 21, осажденный на нижней поверхности мембраны 20 на шаге S5. Таким образом, мембрана 20 может быть прочно приклеена ко всей пластине 100 с нагревательными элементами благодаря нагревающему воздействию нагревательного инструмента 207. In the first gluing operation, the heating tool 207 emits radiation, more preferably infrared radiation, in the direction of the membrane 20 and the plate 100 with heating elements placed on the vacuum mounting table 201, thereby quickly melting the adhesive 21 deposited on the lower surface of the membrane 20 in step S5 . Thus, the membrane 20 can be firmly glued to the entire plate 100 with heating elements due to the heating effect of the heating tool 207.

В данном случае предпочтительно, чтобы операцию первого нагрева мембраны 20 и пластины 100 с нагревательными элементами посредством инфракрасного излучения, испускаемого нагревательным инструментом 207, выполняли при температуре от 200 до 280oC и в течение времени от 15 по 30 с.In this case, it is preferable that the first heating operation of the membrane 20 and the plate 100 with heating elements by means of infrared radiation emitted by the heating tool 207, be performed at a temperature of from 200 to 280 o C and for a period of time from 15 to 30 seconds.

После завершения операции первого приклеивания выполняется операция второго приклеивания. На данной операции рабочий перемещает с помощью передающего устройства узел, состоящий из мембраны и пластины с нагревательными элементами, который собран в единое целое посредством операции первого приклеивания, в печь 300, работающую при высокой температуре и высоком давлении и показанную на фиг. 4; это выполняется на шаге S6. After completion of the first gluing operation, the second gluing operation is performed. In this operation, the worker moves with the aid of a transmitting device a unit consisting of a membrane and a plate with heating elements, which is assembled as a whole by the first gluing operation, into the furnace 300 operating at high temperature and high pressure and shown in FIG. 4; this is performed in step S6.

В данном случае в самой печи 300 создается давление от 1 до 15 кг/см2, более предпочтительно от 2 до 10 кг/см2 при температуре от 150 до 400oC и более предпочтительно от 200 до 350oC, так что в узле, образованном вышеупомянутой мембраной и пластиной с нагревательными элементами, может происходить заданная химическая или физическая реакция на граничной поверхности. Таким образом, на операции второго приклеивания может быть осуществлено более прочное приклеивание в узле из мембраны и пластины с нагревательными элементами.In this case, a pressure of from 1 to 15 kg / cm 2 is created in the furnace 300 itself, more preferably from 2 to 10 kg / cm 2 at a temperature of from 150 to 400 o C and more preferably from 200 to 350 o C, so that in the unit formed by the aforementioned membrane and a plate with heating elements, a predetermined chemical or physical reaction can occur on the boundary surface. Thus, in the second gluing operation, stronger bonding in the assembly of the membrane and the plate with heating elements can be carried out.

После завершения обеих операций приклеивания, то есть первого и второго приклеивания, мембрана и пластина с нагревательными элементами прочно приклеиваются друг к другу, даже если они были отделены друг от друга в узле, образованном мембраной и пластиной с нагревательными элементами, тем самым образуется единый узел, состоящий из мембраны и пластины с нагревательными элементами. After completing both gluing operations, that is, the first and second gluing, the membrane and the plate with heating elements adhere firmly to each other, even if they were separated from each other in the assembly formed by the membrane and the plate with heating elements, thereby forming a single unit, consisting of a membrane and a plate with heating elements.

Подводя итоги, можно сказать, что в соответствии с настоящим изобретением мембрану 20 изготавливают как деталь, не зависящую от струйного элемента и соединяемую с нагревательным элементом 101 вне зависимости от смещения струйного элемента. Таким образом, можно предотвратить вибрацию мембраны 20 в ответ на смещение струйного элемента. В результате можно заранее обеспечить предотвращение повреждения мембраны 20, которое могло бы возникнуть из-за контакта с периферийными вспомогательными инструментами. Summing up, we can say that in accordance with the present invention, the membrane 20 is made as a part independent of the inkjet element and connected to the heating element 101 regardless of the displacement of the inkjet element. Thus, the vibration of the membrane 20 can be prevented in response to the displacement of the inkjet element. As a result, it is possible to provide in advance the prevention of damage to the membrane 20, which could occur due to contact with peripheral auxiliary instruments.

Кроме того, мембрану 20 присоединяют к нагревательному элементу независимо от струйного элемента, так что в процессе монтажа мембрана 20 может быть широко открыта (для наблюдения), поскольку она не вставлена между струйным элементом и нагревательным элементом 101. В результате рабочий может легко распознать любое повреждение мембраны и быстро принять контрмеры для выявленного повреждения. In addition, the membrane 20 is attached to the heating element independently of the inkjet element, so that during installation the membrane 20 can be wide open (for observation), since it is not inserted between the inkjet element and the heating element 101. As a result, the worker can easily recognize any damage membranes and quickly take countermeasures for detected damage.

Кроме того, согласно настоящему изобретению мембрану 20 одновременно приклеивают к множеству нагревательных элементов 101, образующих одну пластину, вместо того, чтобы приклеивать мембрану к каждому нагревательному элементу по одному. В результате можно существенно сократить время, требуемое для сборки микроинжектора. Furthermore, according to the present invention, the membrane 20 is simultaneously glued to the plurality of heating elements 101 forming one plate, instead of gluing the membrane to each heating element one at a time. As a result, the time required to assemble the microinjector can be significantly reduced.

Если адаптировать настоящее изобретение к реальному производству, то можно плавно уменьшить время для получения готового изделия, чтобы тем самым легко осуществить массовый выпуск продукции. If you adapt the present invention to the actual production, then you can smoothly reduce the time to obtain the finished product, thereby making it easy to mass production.

При этом после операции приклеивания пластины с нагревательными элементами и мембраны дополнительно выполняют операцию образования сквозных отверстий для чернил как в пластине 100 с нагревательными элементами, так и в мембране 20. Moreover, after the gluing operation, the plates with heating elements and membranes additionally perform the operation of forming through holes for ink both in the plate 100 with heating elements and in the membrane 20.

Соответственно, каждый компонент, который образует узел, состоящий из мембраны и пластины с нагревательными элементами, например мембрана 20 и пластина 100 с нагревательными элементами, подвергается травлению до получения определенной формы посредством лазерного излучения, создаваемого газовым лазером на диоксиде углерода (CO2-лазером) (не показанным) предпочтительно таким образом, чтобы на шаге S7 можно было образовать сквозное отверстие для чернил в заданной части пластины 100 с нагревательными элементами. В этом случае устраняется необходимость операции, на которой рабочий образует сквозные отверстия для чернил по одному в мембране 20 и в нагревательных элементах 101. Вместо этого рабочий может образовать одновременно сквозные отверстия для чернил во множестве нагревательных элементов 101 и в мембране 20, собранной в одно целое с нагревательными элементами 101. В результате существенно уменьшается время, требуемое для выполнения всей данной работы.Accordingly, each component that forms a node consisting of a membrane and a plate with heating elements, for example, a membrane 20 and a plate 100 with heating elements, is etched to a certain shape by laser radiation generated by a carbon dioxide gas laser (CO 2 laser) (not shown) is preferably such that in step S7 it is possible to form a through hole for ink in a predetermined part of the plate 100 with heating elements. In this case, the need for an operation in which the worker forms through holes for ink one at a time in the membrane 20 and in the heating elements 101 is eliminated. Instead, the worker can simultaneously form through holes for the ink in a plurality of heating elements 101 and in the membrane 20 assembled integrally. with heating elements 101. As a result, the time required to complete all this work is significantly reduced.

После этого узел, состоящий из мембраны и пластины с нагревательными элементами, в котором мембрана и пластина с нагревательными элементами собраны в одно целое за счет операций выставления, сборки и образования сквозных отверстий для чернил, соединяют в процессе общей сборки со струйным элементом, изготовленным посредством дополнительного технологического процесса. В результате можно получить микроинжектор, конструкция которого в целом показана на фиг. 5. After that, the assembly consisting of a membrane and a plate with heating elements, in which the membrane and the plate with heating elements are assembled as a result of the operations of exposure, assembly and formation of through holes for ink, are connected in the course of a general assembly with an inkjet element made by means of an additional technological process. As a result, it is possible to obtain a microinjector, the construction of which is generally shown in FIG. 5.

В таком микроинжекторе на подложке 1, изготовленной из Si, образована защитная пленка 2, выполненная из SiO2, и на защитной пленке 2 образован резистивный нагревательный слой 11, нагреваемый за счет электрической энергии, подаваемой от внешнего устройства. Кроме того, на резистивном нагревательном слое 11 образован слой 3 электрода, предназначенный для снабжения резистивного нагревательного слоя 11 электрической энергией, подаваемой от внешнего устройства. Слой 3 электрода присоединен к общему электроду 12, и электрическая энергия, поступающая от слоя 3 электрода, преобразуется в тепловую энергию резистивным нагревательным слоем 11.In such a micro-injector, a protective film 2 made of SiO 2 is formed on a substrate 1 made of Si, and a resistive heating layer 11 is formed on the protective film 2, which is heated by electric energy supplied from an external device. In addition, an electrode layer 3 is formed on the resistive heating layer 11 for supplying the resistive heating layer 11 with electrical energy supplied from an external device. The electrode layer 3 is connected to the common electrode 12, and the electric energy coming from the electrode layer 3 is converted into thermal energy by the resistive heating layer 11.

В данном случае камера 4 для нагрева, огражденная запирающим (барьерным) слоем 5, образована на слое 3 электрода так, чтобы заизолировать резистивный нагревательный слой 11, и тепло, создаваемое резистивным нагревательным слоем 11, подается в камеру 4 для нагрева. In this case, the heating chamber 4, enclosed by a locking (barrier) layer 5, is formed on the electrode layer 3 so as to insulate the resistive heating layer 11, and the heat generated by the resistive heating layer 11 is supplied to the heating chamber 4.

Резистивный нагревательный слой 11 и запирающий слой 5 камеры для нагрева образуют множество слоев и формируют вышеописанные нагревательные элементы 101. The resistive heating layer 11 and the locking layer 5 of the heating chamber form a plurality of layers and form the heating elements 101 described above.

В этот момент рабочая жидкость, в которой легко образуется давление пара, заполняет камеру 4 для нагрева, и рабочая жидкость быстро испаряется под действием тепла, подаваемого от резистивного нагревательного слоя 11. Кроме того, давление пара, создаваемое в процессе испарения рабочей жидкости, поступает к мембране 20, образованной на запирающем слое 5 камеры для нагрева. At this point, the working fluid, in which the vapor pressure is easily generated, fills the chamber 4 for heating, and the working fluid quickly evaporates under the action of heat supplied from the resistive heating layer 11. In addition, the vapor pressure generated during the evaporation of the working fluid flows to a membrane 20 formed on the barrier layer 5 of the heating chamber.

Мембрана 20 присоединена к множеству нагревательных элементов 101, тем самым обеспечено создание прочной конструкции. The membrane 20 is attached to the plurality of heating elements 101, thereby ensuring the creation of a robust structure.

В данном случае камера 9 для чернил, огражденная запирающим слоем 7 камеры для чернил, образована на мембране 20 так, что она размещена на той же оси относительно камеры 4 для нагрева, и сформированная таким образом камера 9 для чернил заполняется соответствующим количеством чернил. In this case, the ink chamber 9, enclosed by a locking layer 7 of the ink chamber, is formed on the membrane 20 so that it is placed on the same axis relative to the heating chamber 4, and the ink chamber 9 thus formed is filled with an appropriate amount of ink.

Отверстие 10, выполняющее функцию сопла, образовано в запирающем слое 7 камеры для чернил так, что оно охватывает камеру 9 для чернил и служит в качестве струйного прохода для капель чернил, подлежащих выдавливанию. Отверстие 10 образовано путем перфорации пластины 8 сопла так, что оно находится на одной оси с камерой 4 для нагрева и камерой 9 для чернил. Пластина 8 сопла и запирающий слой 7 камеры для чернил образуют множество слоев с тем, чтобы сформировать струйный элемент 102. An opening 10, performing the function of a nozzle, is formed in the locking layer 7 of the ink chamber so that it covers the ink chamber 9 and serves as an inkjet passage for ink droplets to be extruded. The hole 10 is formed by perforating the nozzle plate 8 so that it is on the same axis as the heating chamber 4 and the ink chamber 9. The nozzle plate 8 and the ink chamber locking layer 7 form a plurality of layers so as to form an inkjet element 102.

Между тем, как показано на фиг. 6, если на слой 3 электрода подан электрический сигнал от внешнего источника питания, резистивный нагревательный слой 11, который контактирует со слоем 3 электрода, будет получать электрическую энергию и тем самым быстро нагреваться до температуры 500oC или выше. Во время данного процесса электрическая энергия преобразуется в тепловую энергию, дающую температуру от 500 до 550oC.Meanwhile, as shown in FIG. 6, if an electric signal is supplied to the electrode layer 3 from an external power source, the resistive heating layer 11, which is in contact with the electrode layer 3, will receive electrical energy and thereby quickly heat up to a temperature of 500 ° C. or higher. During this process, electrical energy is converted into thermal energy, giving a temperature of from 500 to 550 o C.

После этого полученная путем преобразования тепловая энергия подается к камере 4 для нагрева, соединенной с резистивным нагревательным слоем 11. Рабочая жидкость, содержащаяся в камере 4 для нагрева, быстро испаряется под действием поступающей таким образом тепловой энергии, чтобы создать давление пара заданной величины. After that, the thermal energy obtained by conversion is supplied to the heating chamber 4, which is connected to the resistive heating layer 11. The working fluid contained in the heating chamber 4 quickly evaporates under the influence of thermal energy supplied in this way to create a vapor pressure of a predetermined value.

Затем давление пара подается к мембране 20, расположенной на запирающем слое 5 камеры для нагрева, и, следовательно, к мембране 20 будет приложена энергия (усилие) P ударного воздействия, имеющая заданную величину. Then the vapor pressure is supplied to the membrane 20 located on the locking layer 5 of the heating chamber, and therefore, the impact energy (force) P will be applied to the membrane 20, having a predetermined value.

После этого мембрана 20 быстро расширяется, как показано стрелками на фиг. 6, и выгибается до округлой формы. Тем самым чернила 400, содержащиеся в камере 9 для чернил, подвергаются сильному ударному воздействию, пузырятся и готовы для выпуска. After that, the membrane 20 expands rapidly, as shown by the arrows in FIG. 6, and bends to a rounded shape. Thereby, the ink 400 contained in the ink chamber 9 is subjected to severe impact, is bubbled, and is ready for release.

Между тем в таком состоянии, как показано на фиг. 7, электрический сигнал, поданный от внешнего источника, отключается, и резистивный нагревательный слой 11 быстро охлаждается. Таким образом, давление пара в камере 4 для нагрева быстро уменьшается, и внутренняя полость камеры 4 для нагрева вакуумируется. После этого вакуум, создающийся в камере 4 для нагрева, обеспечивает приложение сильной энергии В противодействия (выпучивания), соответствующей описанному выше удару, к мембране 20, в результате этого мембрана 20 сжимается и возвращается в исходное состояние. Meanwhile, in such a state, as shown in FIG. 7, the electrical signal supplied from an external source is turned off, and the resistive heating layer 11 is rapidly cooled. Thus, the vapor pressure in the heating chamber 4 decreases rapidly, and the internal cavity of the heating chamber 4 is evacuated. After that, the vacuum created in the chamber 4 for heating, provides the application of strong energy B of the counteraction (buckling) corresponding to the above-described shock to the membrane 20, as a result of which the membrane 20 is compressed and returns to its original state.

В этом случае мембрана 20 быстро сжимается, как показано стрелками на фиг. 7, таким образом, что к внутренней полости камеры 4 для чернил подается сильная энергия выпучивания. Следовательно, чернила 400, которые были готовы для выхода вследствие расширения мембраны 20, преобразуются благодаря их собственному весу по очереди в овальные и круглые формы (капель) и выпускаются на расположенную снаружи бумагу для печати. Таким образом, на бумаге для печати может быть выполнена быстрая печать. In this case, the membrane 20 is rapidly compressed, as shown by the arrows in FIG. 7, so that strong buckling energy is supplied to the inner cavity of the ink chamber 4. Therefore, the ink 400, which was ready to exit due to the expansion of the membrane 20, is converted due to their own weight in turn into oval and round shapes (droplets) and are issued on an external printing paper. Thus, fast printing can be performed on the printing paper.

Как описано выше, в соответствии с настоящим изобретением, мембрану устанавливают независимо от струйного элемента, и множество нагревательных элементов одновременно присоединяют к мембране, чтобы тем самым существенно уменьшить время, требуемое для сборки микроинжектора. As described above, in accordance with the present invention, the membrane is mounted independently of the inkjet element, and a plurality of heating elements are simultaneously attached to the membrane, thereby substantially reducing the time required to assemble the microinjector.

Настоящее изобретение не ограничено процессом сборки вышеописанного микроинжектора и дает полезный эффект в различных микроинжекторах, в которых используется мембрана, например в микронасосе или устройстве для впрыска топлива и т.д. The present invention is not limited to the assembly process of the above-described microinjector and gives a beneficial effect in various microinjectors that use a membrane, for example, a micropump or a fuel injection device, etc.

Как описано выше, при способе и устройстве для монтажа микроинжектора в соответствии с настоящим изобретением пластину с нагревательными элементами, на которой образовано множество нагревательных элементов, фиксируют на вакуумном монтажном столе. Затем мембрану как деталь, изготовленную независимо от струйного элемента, выставляют таким образом, чтобы она была расположена на заданном расстоянии от пластины с нагревательными элементами. После этого мембрану фиксируют на пластине с нагревательными элементами и приклеивают мембрану и пластину с нагревательными элементами друг к другу. As described above, with the method and apparatus for mounting the microinjector in accordance with the present invention, a plate with heating elements on which a plurality of heating elements are formed is fixed on a vacuum mounting table. Then the membrane as a part made independently of the inkjet element is set so that it is located at a predetermined distance from the plate with heating elements. After that, the membrane is fixed on the plate with heating elements and the membrane and the plate with heating elements are glued to each other.

В этом случае можно предотвратить частое смещение мембраны во время процесса выставления и соединения. Таким образом, заранее можно предотвратить любое повреждение мембраны. Кроме того, устраняется необходимость выставления мембраны относительно каждого нагревательного элемента. Таким образом, можно существенно сократить время, требуемое для полного изготовления микроинжектора. In this case, frequent displacement of the membrane during the alignment and bonding process can be prevented. Thus, any damage to the membrane can be prevented in advance. In addition, the need to expose the membrane relative to each heating element is eliminated. Thus, it is possible to significantly reduce the time required for the complete manufacture of the microinjector.

Настоящее изобретение было описано выше со ссылкой на вышеупомянутые варианты его осуществления. Однако ясно, что в свете вышеприведенного описания для специалистов в данной области техники очевидно множество альтернативных модификаций и вариантов. Следовательно, настоящее изобретение охватывает все подобные альтернативные модификации и варианты, которые находятся в рамках изобретательской идеи и объема патентных притязаний приложенных пунктов формулы изобретения. The present invention has been described above with reference to the above embodiments. However, it is clear that in the light of the above description, many alternative modifications and variations are apparent to those skilled in the art. Therefore, the present invention covers all such alternative modifications and variations that are within the scope of the inventive idea and the scope of patent claims of the attached claims.

Claims (12)

1. Способ сборки микроинжектора, содержащий операции фиксации пластины с нагревательными элементами, на которой образовано множество нагревательных элементов, на вакуумном монтажном столе, выставления мембраны с осажденным на ней клеем с ее отделением от пластины с нагревательными элементами на заданное расстояние, фиксации мембраны на пластине с нагревательными элементами и приклеивания пластины с нагревательными элементами и мембраны друг к другу. 1. A method of assembling a micro-injector comprising the steps of fixing a plate with heating elements, on which a plurality of heating elements are formed, on a vacuum mounting table, exposing the membrane with adhesive deposited on it with its separation from the plate with heating elements at a predetermined distance, fixing the membrane on the plate with heating elements and gluing plates with heating elements and membranes to each other. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что расстояние между пластиной с нагревательными элементами и мембраной на операции выставления составляет 4 - 6 мкм. 2. The method according to p. 1, characterized in that the distance between the plate with heating elements and the membrane during the exposure operation is 4 to 6 microns. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что пластину с нагревательными элементами и мембрану выставляют на операции выставления для совпадения их центральных точек. 3. The method according to claim 1, characterized in that the plate with heating elements and the membrane are exposed to the exposure operation to match their center points. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что операция приклеивания пластины с нагревательными элементами и мембраны друг к другу содержит операции первоначального нагрева пластины с нагревательными элементами и мембраны за счет излучения нагревательного инструмента и повторного нагрева пластины с нагревательными элементами и мембраны в печи с высокой температурой и высоким давлением. 4. The method according to claim 1, characterized in that the operation of gluing the plate with heating elements and membranes to each other comprises the steps of initial heating the plate with heating elements and membranes by emitting a heating tool and re-heating the plate with heating elements and membranes in an oven with high temperature and high pressure. 5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что излучение нагревательного инструмента представляет собой инфракрасное излучение. 5. The method according to p. 4, characterized in that the radiation of the heating tool is an infrared radiation. 6. Способ по п.4, отличающийся тем, что операцию первоначального нагрева пластины с нагревательными элементами и мембраны выполняют при температуре 200 - 280oC в течение 15 - 30 с.6. The method according to claim 4, characterized in that the operation of the initial heating of the plate with heating elements and membranes is performed at a temperature of 200 - 280 o C for 15 - 30 s. 7. Способ по п. 4, отличающийся тем, что операцию повторного нагрева пластины с нагревательными элементами и мембраны выполняют при температуре 150 - 400oC и давлении 1 - 15 кг/см2.7. The method according to p. 4, characterized in that the operation of re-heating the plate with heating elements and membranes is performed at a temperature of 150 - 400 o C and a pressure of 1 - 15 kg / cm 2 . 8. Способ по п. 7, отличающийся тем, что операцию повторного нагрева пластины с нагревательными элементами и мембраны выполняют при температуре 200 - 350oC и давлении 2 - 10 кг/см2.8. The method according to p. 7, characterized in that the operation of re-heating the plate with heating elements and membranes is performed at a temperature of 200 - 350 o C and a pressure of 2 - 10 kg / cm 2 . 9. Способ по п.1, отличающийся тем, что он содержит операцию образования сквозных отверстий для чернил в пластине с нагревательными элементами и в мембране после операции приклеивания пластины с нагревательными элементами и мембраны друг к другу. 9. The method according to claim 1, characterized in that it comprises the operation of forming through holes for ink in the plate with heating elements and in the membrane after the operation of gluing the plate with heating elements and membranes to each other. 10. Способ по п.9, отличающийся тем, что сквозные отверстия для чернил образуют с помощью газового лазера на диоксиде углерода (СО2-лазера).10. The method according to claim 9, characterized in that the through holes for the ink form using a gas laser on carbon dioxide (CO 2 laser). 11. Устройство для сборки микроинжектора, содержащее вакуумный монтажный стол для фиксации пластины с нагревательными элементами с использованием вакуума, фиксирующее мембрану кольцо, расположенное над вакуумным монтажным столом и предназначенное для прижима периферии мембраны с регулярным давлением для фиксации мембраны на пластине с нагревательными элементами, опорный держатель фиксирующего кольца для создания опоры для фиксирующего мембрану кольца, координатный стол для выставления мембраны, предназначенный для фиксации опорного держателя для фиксирующего кольца и для позиционирования центра мембраны посредством ее перемещения в любом направлении с соответствием центра мембраны центру пластины с нагревательными элементами при выставлении мембраны относительно пластины с нагревательными элементами, нагревательный инструмент, размещенный над координатным столом для выставления мембраны и предназначенный для испускания инфракрасного излучения, действующего на мембрану и на пластину с нагревательными элементами для нагрева и приклеивания мембраны и пластины с нагревательными элементами друг к другу. 11. Device for assembling a microinjector, containing a vacuum mounting table for fixing the plate with heating elements using vacuum, a membrane fixing ring located above the vacuum mounting table and designed to clamp the periphery of the membrane with regular pressure to fix the membrane on the plate with heating elements, a support holder a fixing ring for creating a support for the membrane fixing ring, a coordinate table for setting the membrane, designed to fix the support about the holder for the retaining ring and for positioning the center of the membrane by moving it in any direction with the center of the membrane matching the center of the plate with heating elements when the membrane is positioned relative to the plate with heating elements, a heating tool placed above the coordinate table to set the membrane and designed to emit infrared radiation acting on the membrane and on the plate with heating elements for heating and gluing the membrane and plas ins with heating elements to each other. 12. Устройство по п.11, отличающееся тем, что координатный стол для выставления мембраны содержит проникающее отверстие для пропускания инфракрасного излучения, создаваемого нагревательным инструментом, через мембрану и пластину с нагревательными элементами. 12. The device according to claim 11, characterized in that the coordinate table for exhibiting the membrane contains a penetrating hole for passing infrared radiation generated by the heating tool through the membrane and the plate with heating elements.
RU98119953A 1998-11-03 1998-11-03 Method and device for assembling of microinjector RU2144471C1 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98119953A RU2144471C1 (en) 1998-11-03 1998-11-03 Method and device for assembling of microinjector
KR1019990007329A KR100288700B1 (en) 1998-11-03 1999-03-05 Method for assembling a micro injecting device and apparatus for assembling the same
JP11077330A JP3045500B2 (en) 1998-11-03 1999-03-23 Injection device assembling method and its assembling device
CN99126093A CN1253038A (en) 1998-11-03 1999-11-03 Method and equipment for assembling minitype ejector
EP99308741A EP0999051A3 (en) 1998-11-03 1999-11-03 Method for assembling micro injecting device and apparatus for the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98119953A RU2144471C1 (en) 1998-11-03 1998-11-03 Method and device for assembling of microinjector

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2144471C1 true RU2144471C1 (en) 2000-01-20

Family

ID=20211961

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98119953A RU2144471C1 (en) 1998-11-03 1998-11-03 Method and device for assembling of microinjector

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0999051A3 (en)
JP (1) JP3045500B2 (en)
KR (1) KR100288700B1 (en)
CN (1) CN1253038A (en)
RU (1) RU2144471C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10926537B2 (en) 2017-04-24 2021-02-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid back pressure sensing with a strain sensor

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4719978B2 (en) * 2001-01-11 2011-07-06 ソニー株式会社 Printer, printer head and printer head manufacturing method
US9096057B2 (en) 2013-11-05 2015-08-04 Xerox Corporation Working fluids for high frequency elevated temperature thermo-pneumatic actuation
CN110240112B (en) * 2018-03-09 2022-08-19 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 Thin film driving structure, method for manufacturing thin film driving structure, and ink jet apparatus
US11655811B2 (en) 2021-05-19 2023-05-23 Graco Minnesota Inc. Method and apparatus for mounting a diaphragm of a pump

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4490728A (en) 1981-08-14 1984-12-25 Hewlett-Packard Company Thermal ink jet printer
US4480259A (en) 1982-07-30 1984-10-30 Hewlett-Packard Company Ink jet printer with bubble driven flexible membrane
US4809428A (en) 1987-12-10 1989-03-07 Hewlett-Packard Company Thin film device for an ink jet printhead and process for the manufacturing same
US5140345A (en) 1989-03-01 1992-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing a substrate for a liquid jet recording head and substrate manufactured by the method
US5420627A (en) 1992-04-02 1995-05-30 Hewlett-Packard Company Inkjet printhead
US5274400A (en) 1992-04-28 1993-12-28 Hewlett-Packard Company Ink path geometry for high temperature operation of ink-jet printheads
SE501139C2 (en) 1993-04-08 1994-11-21 Sem Ab Membrane type fluid pump device
US5408739A (en) * 1993-05-04 1995-04-25 Xerox Corporation Two-step dieing process to form an ink jet face
US5659346A (en) 1994-03-21 1997-08-19 Spectra, Inc. Simplified ink jet head
KR100189155B1 (en) * 1996-06-27 1999-06-01 윤종용 Ejection apparatus and method of inkjet printer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10926537B2 (en) 2017-04-24 2021-02-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid back pressure sensing with a strain sensor

Also Published As

Publication number Publication date
KR20000034823A (en) 2000-06-26
JP2000141668A (en) 2000-05-23
EP0999051A2 (en) 2000-05-10
EP0999051A3 (en) 2000-11-08
CN1253038A (en) 2000-05-17
JP3045500B2 (en) 2000-05-29
KR100288700B1 (en) 2001-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5208604A (en) Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
EP0937579B1 (en) Ink jet head and manufacturing method thereof, discharge opening plate for head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
US5408738A (en) Method of making a nozzle member including ink flow channels
US5442384A (en) Integrated nozzle member and tab circuit for inkjet printhead
US5736998A (en) Inkjet cartridge design for facilitating the adhesive sealing of a printhead to an ink reservoir
US5847356A (en) Laser welded inkjet printhead assembly utilizing a combination laser and fiber optic push connect system
EP0646462B1 (en) Inkjet printhead formed to eliminate ink trajectory errors
EP0564101A2 (en) Laser ablated nozzle member for inkjet printhead
EP0646466A2 (en) Print cartridge body and nozzle member
JPH11129482A (en) Ink jet print head and production of filter element
US20030041455A1 (en) Connection of electrical contacts utilizing a combination laser and fiber optic push connect system
US5682187A (en) Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head
US6412918B1 (en) Back-shooting inkjet print head
RU2144471C1 (en) Method and device for assembling of microinjector
JPH02121842A (en) Ink jet recording head and manufacture thereof
CA2084554C (en) Integrated nozzle member and tab circuit for inkjet printhead
KR100428650B1 (en) Method for manufacturing head of ink jet printer
JPH02121843A (en) Liquid injection recording head and manufacture thereof
JP2764418B2 (en) Method of manufacturing ink jet recording head and ink jet recording head manufactured by the method
JPH08267764A (en) Manufacture of ink jet recording head
JP2001179988A (en) Nozzle forming member, ink jet head and ink jet recorder
JPH03258551A (en) Ink jet printer head
JPH10166595A (en) Manufacture of nozzle forming member and ink jet head
JPH03153357A (en) Ink-jet printer head
JPH03258552A (en) Manufacture of ink jet printer head