RU2124700C1 - Contact-free distance meter - Google Patents
Contact-free distance meter Download PDFInfo
- Publication number
- RU2124700C1 RU2124700C1 RU96117143A RU96117143A RU2124700C1 RU 2124700 C1 RU2124700 C1 RU 2124700C1 RU 96117143 A RU96117143 A RU 96117143A RU 96117143 A RU96117143 A RU 96117143A RU 2124700 C1 RU2124700 C1 RU 2124700C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- points
- meter
- distances
- coordinates
- light line
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Предлагаемое устройство относится к области измерительной техники и может быть применено для измерения линейных размеров и профилей объектов в машиностроении, приборостроении, станкостроении, в автоматических линиях по производству проката, листовых материалов. The proposed device relates to the field of measuring equipment and can be used to measure the linear dimensions and profiles of objects in mechanical engineering, instrument making, machine tool building, in automatic production lines for rolled products, sheet materials.
Известны многочисленные измерители расстояний как контактные, так и бесконтактные; наиболее перспективными из них являются бесконтактные приборы. К бесконтактным измерителям относятся ультразвуковые датчики расстояний (например, "Ультразвуковая техника измерения уровня, Contr. and Instrum. 1990, v. 22, N2 p.31) и светолокационные дальномеры, измеряющие время распространения световой волны до объекта и обратно (см. обзор "Зарубежные электронные тахеометры и спутниковые приемники", Геодезия и картография, N8, 1991). Numerous distance meters are known, both contact and non-contact; the most promising of them are non-contact devices. Non-contact meters include ultrasonic distance sensors (for example, "Ultrasonic level measurement technique, Contr. And Instrum. 1990, v. 22, N2 p.31) and radar range finders that measure the propagation time of a light wave to an object and back (see overview" Foreign electronic tacheometers and satellite receivers ", Geodesy and cartography, N8, 1991).
Общими недостатками этих приборов являются малая абсолютная точность измерений (1мм и хуже) и возможность определения расстояний только в одной осредненной "точке" объекта, задаваемой сечением зондирующего излучения на объекте. Common disadvantages of these devices are the small absolute accuracy of measurements (1 mm and worse) and the ability to determine distances at only one averaged “point” of the object, given by the cross section of the probe radiation at the object.
При необходимости измерения рельефа объекта необходимо осуществить пространственное сканирование зондирующего "луча" по объекту, что усложняет и удорожает прибор и резко увеличивает время измерений. If it is necessary to measure the relief of the object, it is necessary to carry out a spatial scan of the probe "beam" over the object, which complicates and increases the cost of the device and dramatically increases the measurement time.
К классу бесконтактных измерителей относятся также оптические интерферометры, имеющие высокую абсолютную (0,1 мкм и лучше) и относительную (до 10-6)) точность измерений. Однако, они имеют существенные недостатки: накопительный (относительный) принцип измерений и необходимость закрепления на объекте отражателя, т.е. элемента схемы измерителя. Поэтому интерферометры нельзя считать бесконтактными измерителями расстояний в строгом смысле. Они используются, в основном, в метрологических приложениях, поскольку с их помощью невозможно измерение расстояний до произвольного, тем более до движущегося объекта, а также невозможно измерение профиля объекта.Optical interferometers with high absolute (0.1 μm and better) and relative (up to 10 -6) ) measurement accuracy also belong to the class of non-contact meters. However, they have significant drawbacks: the cumulative (relative) measurement principle and the need to fix the reflector on the object, i.e. meter circuit element. Therefore, interferometers cannot be considered non-contact distance meters in the strict sense. They are used mainly in metrological applications, since with their help it is impossible to measure distances to an arbitrary, especially to a moving object, and it is also impossible to measure the profile of an object.
Наиболее близким аналогом предлагаемому устройству является оптический дальномер с внутренней базой (С.Г.Бабушкин и др. Оптико-механические приборы - М.: Машиностроение, 1965, стр. 306-339), принятый за прототип. The closest analogue to the proposed device is an optical rangefinder with an internal base (S. G. Babushkin and other Optical-mechanical devices - M .: Mechanical Engineering, 1965, pp. 306-339), adopted as a prototype.
Эти дальномеры имеют две идентичные оптические приемные системы, оптические оси которых разнесены на базовое расстояние В. В приборе строятся два изображения объекта и путем их совмещения измеряется параллактический угол β между ними, являющийся мерой измеряемого расстояния L = B/β.
Основными недостатками прототипа являются:
низкая абсолютная и относительная точность измерений, вызванная малой угловой чувствительностью человеческого глаза;
необходимость человека-оператора для осуществления сложного алгоритма совмещения двух изображений, субъективные ошибки оператора и низкая скорость измерений;
невозможность измерения профиля объекта;
большие габариты и вес прибора;
отсутствие в приборе системы эталонных расстояний, что исключает абсолютную внутреннюю аттестацию измерителя.These rangefinders have two identical optical receiving systems, the optical axes of which are spaced by the base distance B. Two images of the object are built in the device and by combining them, the parallactic angle β between them is measured, which is a measure of the measured distance L = B / β.
The main disadvantages of the prototype are:
low absolute and relative accuracy of measurements caused by the small angular sensitivity of the human eye;
the need for a human operator to implement a complex algorithm for combining two images, subjective errors of the operator and low measurement speed;
the impossibility of measuring the profile of the object;
large dimensions and weight of the device;
the absence of a reference distance system in the device, which eliminates the absolute internal certification of the meter.
Предлагаемое изобретение направлено на решение следующих задач:
обеспечение параллельного измерения до большого числа точек объекта, т. е. измерение расстояния до объекта и его профиля;
увеличение точности и скорости измерений;
увеличение долговременной и температурной стабильности шкалы прибора.The invention is aimed at solving the following problems:
providing parallel measurement to a large number of points of the object, i.e., measuring the distance to the object and its profile;
increase in accuracy and speed of measurements;
increase in long-term and temperature stability of the instrument scale.
Поставленные цели достигаются тем, что, во-первых, в схему прибора введен осветительный узел, формирующий узкую зондирующую световую линию на объекте. Только точки объекта, освещенные этой щелью являются объектом для приемной схемы (остальные точки объекта являются фоном) и их изображения строятся и анализируются приемной схемой. The goals are achieved by the fact that, firstly, a lighting unit is introduced into the device circuit, forming a narrow probing light line at the object. Only the points of the object illuminated by this gap are the objects for the receiving circuit (the remaining points of the object are the background) and their images are constructed and analyzed by the receiving circuit.
Во-вторых, в схеме в качестве приемника-координатора применена двухкоординатная ПЗС-матрица, по одному направлению которой измеряются координаты точек объекта вдоль зондирующей световой линии, а по перпендикулярному направлению - параллаксы (т. е. расстояния до соответствующих точек объекта). Параметры оптической схемы и структура ПЗС-матриц обеспечивает большое число (103-104) параллельно измеряемых расстояний до точек объекта, а также высокую абсолютную и относительную точность измерений (до 1 мкм).Secondly, in the scheme, a two-coordinate CCD matrix is used as a coordinating receiver, in one direction of which the coordinates of the object’s points are measured along the probing light line, and parallaxes (i.e., the distance to the corresponding points of the object) are measured in the perpendicular direction. The parameters of the optical scheme and the structure of the CCD matrices provide a large number (10 3 -10 4 ) of parallel measured distances to the points of the object, as well as high absolute and relative measurement accuracy (up to 1 μm).
В-третьих, в схеме прибора введена система внутренних эталонных расстояний, периодическое измерение которых позволяет обеспечить долговременную и температурную стабильность выходной информации прибора. Thirdly, a system of internal reference distances has been introduced in the instrument circuit, the periodic measurement of which allows for the long-term and temperature stability of the instrument output information.
В-четвертых, в схему прибора введен встроенный контроллер, осуществляющий определение координат энергетических центров изображений точек объекта и по определенному алгоритму вычисляющий координаты и расстояния до них, а также вырабатывающий поправки, вызванные нелинейностями измерительной шкалы и временными нестабильностями схемы. Fourth, a built-in controller is introduced into the device circuitry, which determines the coordinates of the energy centers of the image of the object’s points and, using a certain algorithm, calculates the coordinates and distances to them, as well as generates corrections caused by nonlinearities of the measuring scale and time instabilities of the circuit.
Таким образом, введение в схему измерителя, содержащего два приемных проекционных канала с базовым расстоянием В между их объективами, осветительной системы, формирующей узкую зондирующую световую щель на объекте, и двух двухкоординатных фотоприемников типа ПЗС-матриц, работающих в режиме выработки координат изображений точек объекта, обеспечивает параллельное измерение линейных параллаксов освещенных точек объекта с высокой абсолютной и относительной точностью. Thus, the introduction into the circuit of a meter containing two receiving projection projection channels with a base distance B between their lenses, an illumination system forming a narrow probing light gap on the object, and two two-coordinate photodetectors like CCD arrays operating in the mode of generating coordinates of images of the object’s points, provides parallel measurement of linear parallaxes of illuminated points of an object with high absolute and relative accuracy.
Кроме того, введение системы внутренних эталонных расстояний обеспечивает выработку поправок к выходной информации, учитывающих нелинейности измерительной шкалы и временные нестабильности схемы. Наличие в схеме встроенного контроллера обеспечивает вычислений расстояний до соответствующих точек объекта по измеренным линейным параллаксам этих точек и вырабатанным поправкам, причем алгоритм вычисления расстояний
Zj=X1j + X2j,
где
X1j и X2j - параллаксы до j-той точки объекта, измеренные по первой и второй ПЗС-матрице.In addition, the introduction of a system of internal reference distances ensures the development of corrections to the output information, taking into account the nonlinearity of the measuring scale and the time instabilities of the circuit. The presence in the circuit of the built-in controller provides the calculation of distances to the corresponding points of the object from the measured linear parallaxes of these points and the generated corrections, moreover, the algorithm for calculating
Z j = X 1j + X 2j ,
Where
X 1j and X 2j are parallaxes to the j-th point of the object, measured by the first and second CCDs.
Предлагаемое устройство поясняется фиг. 1, 2 и 3. На фиг.1 приведена принципиальная схема измерений; на фиг.2 приведен вид приемного изображения в плоскости ПЗС-матрицы; на фиг.3 представлена блок-схема прибора. The proposed device is illustrated in FIG. 1, 2 and 3. Figure 1 shows a schematic diagram of measurements; figure 2 shows a view of the receiving image in the plane of the CCD; figure 3 presents a block diagram of the device.
Принципиальная схема измерения (фиг.1) содержит осветительный узел, состоящий из лазерного диода 1, расположенного в фокальной плоскости объектива 2, и цилиндрической линзы 3. На выходе узла формируется узкая световая зондирующая щель в направлении оси ОУ (перпендикулярно плоскости фиг.1). The measurement principle circuit (FIG. 1) contains a lighting unit consisting of a laser diode 1 located in the focal plane of the
Приемная схема измерителя состоит из объективов 4 и 5, центры которых разнесены на базовое расстояние В относительно оси осветителя, и двух фотоприемных ПЗС-матриц 6 и 7, раположенных на фиксированном расстоянии S' от объективов. Оси приемных каналов наклонены на угол ±β = arctg B/L0 к оси осветителя, где L0 - среднее значение измерительного диапазона, а S' определяет плоскость изображения плоскости объекта с расстоянием L0 от прибора (плоскость ОХУ).The receiving circuit of the meter consists of
При расположении объекта в диапазоне расстояний L1-L2 на нем будет высвечена узкая световая щель по оси ОУ, и только эти освещенные точки объекта и будут восприниматься измерительной схемой (неосвещенные точки являются фоном, имеющим малую яркость). Для поверхностей объекта с диффузным или направленно рассеянным отражением в плоскости ПЗС-матриц будут построены расфокусированные изображения освещенных точек объекта. Эти изображения точек будут иметь круговое сечение, и, следовательно, энергетические центры их будут совпадать с геометрическими. (Для чисто зеркальных поверхностей объекта эти изображения будут отсутствовать, но существуют искусственные способы визуализации этих изображений путем, например, конденсации водяных паров на зеркальной поверхности).When the object is located in the distance range L 1 -L 2, a narrow light gap along the axis of the op-amp will be highlighted on it, and only these illuminated points of the object will be perceived by the measuring circuit (unlit points are the background having low brightness). For the surfaces of an object with diffuse or directionally scattered reflection in the plane of the CCD matrices, defocused images of the illuminated points of the object will be constructed. These images of points will have a circular section, and, therefore, their energy centers will coincide with geometric ones. (For purely mirror surfaces of an object, these images will be absent, but there are artificial ways to visualize these images by, for example, condensing water vapor on a mirror surface).
Из фиг.1 легко получаются выражения для X-координат геометрических центров этих изображений точек объекта. Для плоскости с Y=0 имеем (система OX1Y1 и OX2Y2 проведена в плоскости ПЗС-матриц согласно фиг.1):
tgβ = B/L, tgβ0= B/L0
где
Z=L-L0.From Fig. 1, expressions for the X-coordinates of the geometric centers of these images of the points of the object are easily obtained. For the plane with Y = 0, we have (the system OX 1 Y 1 and OX 2 Y 2 carried out in the plane of the CCD matrices according to figure 1):
tgβ = B / L, tgβ 0 = B / L 0
Where
Z = LL 0 .
Выходная зависимость (1) нелинейна по отношению к измеряемому расстоянию Z. Однако применение в схеме встроенного контроллера делает это несущественным, т.к. с его помощью все нелинейности шкалы могут быть выявлены на этапе эталонирования и скорректированы в выходном коде измерителя. The output dependence (1) is non-linear with respect to the measured distance Z. However, the use of an integrated controller in the circuit makes this insignificant, because with its help, all non-linearities of the scale can be identified at the stage of standardization and adjusted in the output code of the meter.
Для точек объекта с Y≠0 в плоскости ПЗС-матриц формируется двумерное изображение точек предмета, освещенных зондирующей щелью (фиг.2). For points of the object with Y в 0 in the plane of the CCD matrices, a two-dimensional image of the points of the object illuminated by the probing slit is formed (Fig. 2).
Из фиг.2 видно, что прямая световая линия точек объекта превращается за счет линейных параллаксов точек с Z≠0 в кривую линию, где каждой точке М соответствует координата Yj= S′•tgβy (βy - визирная ось на точку объекта в плоскости OYZ), а Xj(Yj)-соответствующий линейный параллакс. Измерение координаты y по ПЗС-матрице производится путем определения номера j строки, поэтому координаты изображений точек объекта будут представляться в виде пар чисел (j, xj).From figure 2 it can be seen that the direct light line of the points of the object is converted due to the linear parallaxes of the points with Z ≠ 0 into a curved line, where each point M corresponds to the coordinate Y j = S ′ • tgβ y (β y is the target axis at the point of the object in plane OYZ), and X j (Y j ) is the corresponding linear parallax. Measurement of the y coordinate by the CCD matrix is carried out by determining the row number j, therefore, the coordinates of the image points of the object will be represented as pairs of numbers (j, x j ).
Информация об Zj в виде отдельных значений параллаксов X1(X2) плохо защищена от шумовых смещений световой щели (в направлении OX) и от влияния фоновых засветок. При наличии последней измеренные параллаксы по ПЗС-матрицам (для строки номер j) будут равны
где
Xсj, Xфj - координаты энергетических центров изображений точки объекта и фона в плоскости ПЗС-матриц;
Pсj, Pфj - мощности сигнального и фонового изображений.Information about Z j in the form of individual parallax values X 1 (X 2 ) is poorly protected from noise shifts of the light gap (in the OX direction) and from the influence of background flares. If the latter is present, the measured parallaxes by CCD matrices (for row number j) will be equal
Where
X сj , X фj are the coordinates of the energy centers of the images of the object point and background in the plane of the CCD matrices;
P cj , P fj - power signal and background images.
Выходной информацией измерителя является величина (по каждой строке матриц):
Величина Zj не зависит от координаты Xфj. Кроме того, алгоритмы обработки информации построены так, что определение параллаксов X1j и X2j не зависит от мощностей Pсj, Pфj и таким образом двухканальная схема (фиг.1) с представлением выходной информации в виде (3) полностью подавляет влияние внешних световых помех, в том числе и шумовые смещения зондирующей световой щели, т. к. эти смещения являются частным случаем выражений (2), в которых Pсj=Pфj.The output of the meter is the value (for each row of matrices):
The value of Z j does not depend on the coordinate X φj . In addition, the information processing algorithms are constructed so that the definition of parallaxes X 1j and X 2j does not depend on the power P cj , P fj and thus the two-channel scheme (Fig. 1) with the presentation of output information in the form (3) completely suppresses the influence of external light interference, including noise displacements of the probe light gap, since these displacements are a special case of expressions (2), in which P сj = P фj .
Общий вид выходной информации с измерителя с учетом параллельного измерения параллаксов X1j и X2j по каждой строке ПЗС-матриц имеет вид:
где
j - номер строки ПЗС-матриц;
Zj - выражение Z по формуле (3).The general form of the output information from the meter, taking into account the parallel measurement of parallaxes X 1j and X 2j for each row of CCD matrices, has the form:
Where
j is the row number of the CCD matrices;
Z j is the expression of Z by the formula (3).
Число М строк матриц лежит в диапазоне 500 - 10000, т.е. схема фиг.1 позволяет за период съема информации с ПЗС-матриц (0,02с) получить М некоррелированных значений дальностей до точек объекта и таким образом построить рельеф поверхности вдоль зондирующей щели. The number M of rows of matrices lies in the range 500 - 10000, i.e. the scheme of figure 1 allows for the period of information retrieval from the CCD matrices (0.02 s) to obtain M uncorrelated values of the distances to the points of the object and thus build a surface relief along the probe gap.
На фиг. 3 представлена блок-схема измерителя. Схема состоит из осветительного блока, содержащего лазерный диод 1, объектив коллиматора 2 и цилиндрическую линзу 3, двух приемных объективов 4,5 и двух ПЗС-матриц 6,7, расположенных на фиксированном расстоянии S' от объективов. Измеритель содержит также блок-координатор 8, который по видеоинформации с ПЗС-матриц вырабатывает линейные параллаксы изображений освещенных точек объекта по каждой строке ПЗС-матриц, и контроллер 9, формирующий выходной код 3 измерителя. In FIG. 3 is a block diagram of a meter. The circuit consists of a lighting unit containing a laser diode 1, a
Схема измерителя содержит систему внутреннего эталонирования. Эта система состоит из полупрозрачного зеркала 10 и набора светоизлучающих диодов 11, жестко закрепленных в корпусе прибора на фиксированных расстояниях от зеркала 10. (Для создания больших эталонных расстояний перед диодами 11 жестко в корпусе крепятся линзы, строящие изображения этих диодов на больших расстояниях от зеркала 10). Это зеркало строит изображение светоизлучающих областей диодов 11' в пространстве объекта, и таким образом создается серия светящихся "точек" на фиксированных расстояниях от прибора, причем стабильность этих расстояний равна стабильности корпуса измерителя. The meter circuit contains an internal standardization system. This system consists of a
Предлагаемое устройство функционирует следующим образом. Световая зондирующая линия направляется на поверхность объекта. Отраженный от объекта световой поток создает в плоскости приемных ПЗС-матриц (6 и 7) систему двумерных изображений освещенных точек объекта, которые преобразуются в выходные видеосигналы. Эти синалы поступают на блок 8, который вырабатывает с каждой из двух ПЗС-матриц набор координат Xj, Xj энергетических центров световых пятен по каждой строке с номером j. Номером j кодируется Y-координата точки объекта, а Xj - параллакс этой точки. Цифровые коды номера j и Xj поступают на контроллер 9, который вырабатывает величину растояния до объекта Zj=X1j + X2j,
где
X1j и X2j - параллаксы j-той точки, измеренные по первой и второй ПЗС-матрицам.The proposed device operates as follows. The light sounding line is directed to the surface of the object. The luminous flux reflected from the object creates a system of two-dimensional images of illuminated points of the object in the plane of the receiving CCD matrices (6 and 7), which are converted into output video signals. These sines come to block 8, which generates from each of the two CCD matrices a set of coordinates X j , X j of the energy centers of the light spots for each row with number j. Number j encodes the Y-coordinate of the point of the object, and X j - the parallax of this point. Digital codes of numbers j and X j go to the
Where
X 1j and X 2j are the parallaxes of the j-th point, measured by the first and second CCD matrices.
В памяти контроллера хранятся значения параметров прибора, поправки на нелинейности, по которым вычисляется выходной ход в виде выражения (4). The controller’s memory contains the values of the device parameters, corrections for non-linearities, by which the output stroke is calculated in the form of expression (4).
Светодиоды 11 системы эталонных расстояний от команд контроллера эпизодически загораются, и их изображения поступают на вход измерителя. Снятые текущие значения эталонных расстояний сравниваются с соответствующими значениями, снятыми при начальном эталонировании прибора и хранящимися в памяти контроллера, и тем самым вырабатываются поправки Δj(t) на временную нестабильность показаний прибора. Эти поправки корректируют выходной код (4). Выходная информация прибора может быть использована в цифровой форме для вычислений или графических отображений с помощью собственного или внешних вычислителей.The
Предлагаемая схема измерителя может быть применена для построения приборов различной модификации. Приведем расчетные значения основных параметров этих приборов. При расчетах принято: применяемые ПЗС-матрицы имеют размерность 10000 х 10000 элементов, размер элемента 5 х 5 мкм и вычисление координаты энергетического центра светового пятна производится с точностью 1/10 размера элемента (т.е.) за время 1 с. На самом деле существуют алгоритмы определения X с точностью до 10-2 от размера элемента, но эти алгоритмы требуют больших времен измерения.The proposed meter circuit can be used to build devices of various modifications. We give the calculated values of the main parameters of these devices. In the calculations it was accepted: the applied CCD matrices have a dimension of 10,000 x 10,000 elements, an element size of 5 x 5 μm, and the coordinates of the energy center of the light spot are calculated with an accuracy of 1/10 of the element size (i.e.) for 1 s. In fact, there are algorithms for determining X with an accuracy of 10 -2 of the element size, but these algorithms require large measurement times.
Прибор модификации A: при B=150 мм; S'=30 мм; измерительный диапазон прибора равен 200 - 400 мм и точность измерения расстояний δZ = 2,5 мкм. Число параллельно измеряемых расстояний - 104. Габариты прибора 200 х 100 х 70 мм.Device modification A: at B = 150 mm; S '= 30 mm; the measuring range of the device is 200 - 400 mm and the accuracy of measuring distances is δZ = 2.5 μm. The number of parallel measured distances is 10 4 . Dimensions of the device 200 x 100 x 70 mm.
Прибор модификации B: при B=250 мм; измерительный диапазон прибора равен 1 - 4 м и точность измерения расстояния δZ = 0,03 мм. Число параллельно измеряемых расстояний - 104. Время измерений - 1с. Габариты прибора 300 х 150 х 100 мм.Modification device B: at B = 250 mm; the measuring range of the device is 1 - 4 m and the accuracy of measuring the distance is δZ = 0.03 mm. The number of parallel measured distances is 10 4 . Measurement time - 1s. Dimensions of the device 300 x 150 x 100 mm.
Прибор модификации C: при B=300 мм; измерительный диапазон прибора равен 5 -15 м и точность измерения расстояний δZ = 0,3 мм. Число параллельно измеряемых расстояний - 104. Время измерений - 1с. Габариты прибора 350 х 200 х 150 мм.Device modification C: at B = 300 mm; the measuring range of the device is 5 -15 m and the accuracy of measuring distances δZ = 0.3 mm. The number of parallel measured distances is 10 4 . Measurement time - 1s. Dimensions 350 x 200 x 150 mm.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU96117143A RU2124700C1 (en) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | Contact-free distance meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU96117143A RU2124700C1 (en) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | Contact-free distance meter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU96117143A RU96117143A (en) | 1998-11-27 |
| RU2124700C1 true RU2124700C1 (en) | 1999-01-10 |
Family
ID=20184805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU96117143A RU2124700C1 (en) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | Contact-free distance meter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2124700C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2567185C1 (en) * | 2014-07-08 | 2015-11-10 | Открытое акционерное общество "Специальное конструкторское бюро станочных информационно-измерительных систем с опытным производством" (ОАО "СКБ ИС") | Precision distance sensor |
-
1996
- 1996-08-15 RU RU96117143A patent/RU2124700C1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Бабушкин С.Г. и др. Оптико-механические приборы. -М.: Машиностроение, 1965, с.306-339; * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2567185C1 (en) * | 2014-07-08 | 2015-11-10 | Открытое акционерное общество "Специальное конструкторское бюро станочных информационно-измерительных систем с опытным производством" (ОАО "СКБ ИС") | Precision distance sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Beraldin et al. | Active 3D sensing | |
| CN113330327A (en) | Depth sensing calibration using a sparse array of pulsed beams | |
| US9766326B2 (en) | Laser tracker with calibration unit for self-calibration | |
| TWI742448B (en) | Laser detection device | |
| CN108226902A (en) | A kind of face battle array lidar measurement system | |
| US20080259312A1 (en) | Range and Velocity Sensing System | |
| CN105444679A (en) | Symmetric laser displacement sensor capable of inhibiting laser drift and surface tilting | |
| US20220364849A1 (en) | Multi-sensor depth mapping | |
| US20060044545A1 (en) | Distance measuring device | |
| JP2020003250A (en) | Distance measurement device | |
| US4678324A (en) | Range finding by diffraction | |
| RU2124700C1 (en) | Contact-free distance meter | |
| JP6581720B2 (en) | Optical distance measurement system | |
| US20070171395A1 (en) | Range sensing system | |
| Marszalec et al. | A photoelectric range scanner using an array of LED chips | |
| EP0343158B1 (en) | Range finding by diffraction | |
| CN112923848B (en) | Correlation type laser size measurement sensor | |
| RU2650840C1 (en) | Laser profilometer for determining geometric parameters of surface profile | |
| CN104848782B (en) | A kind of contrast anti-interference fine motion cascade ladder corner reflector laser interferometer and scaling method and measuring method | |
| CN216211121U (en) | Depth information measuring device and electronic apparatus | |
| JPS62138715A (en) | Method and instrument for measuring displacement | |
| RU2769305C1 (en) | Autocollimator | |
| JP3265549B2 (en) | Distance measuring device | |
| RU2191348C2 (en) | Contactless three-coordinate meter | |
| JPS62138709A (en) | Method and instrument for measuring displacement |