RU2650840C1 - Laser profilometer for determining geometric parameters of surface profile - Google Patents

Laser profilometer for determining geometric parameters of surface profile Download PDF

Info

Publication number
RU2650840C1
RU2650840C1 RU2016151930A RU2016151930A RU2650840C1 RU 2650840 C1 RU2650840 C1 RU 2650840C1 RU 2016151930 A RU2016151930 A RU 2016151930A RU 2016151930 A RU2016151930 A RU 2016151930A RU 2650840 C1 RU2650840 C1 RU 2650840C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
laser
surface profile
profilometer
stabilization system
determining
Prior art date
Application number
RU2016151930A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Дмитрий Сергеевич Доков
Евгений Владимирович Степанов
Сергей Николаевич Жилин
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Спецдортехника"
Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Когерент"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Спецдортехника", Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Когерент" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Спецдортехника"
Priority to RU2016151930A priority Critical patent/RU2650840C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2650840C1 publication Critical patent/RU2650840C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

FIELD: measuring equipment.
SUBSTANCE: invention relates to measuring equipment, in particular to devices for optical non-contact surface profile measurement, and can be used to measure the parameters of unevenness, surface roughness, for example, of a road surface, metal surfaces and complex shapes articles. Laser profilometer for determining geometric parameters of a surface profile contains a laser source with a laser beam-to-line converter, an optical matrix receiver of the reflected radiation and an information processing device. Laser source is made in the form of a semiconductor laser operating in the pulsed mode with an integrated temperature stabilization system. In the course of the reflected beam, at least one narrow-band interference light filter is introduced before the optical matrix receiver. In addition, a semiconductor laser operating in the visible red wavelength range is used, the temperature stabilization system is based on Peltier elements with a controller and a temperature sensor.
EFFECT: increasing the accuracy of the measurement by reducing the error of the profilometer while simplifying its design.
4 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к устройствам для оптического бесконтактного измерения профиля поверхности, и может быть использовано для измерения параметров неровности, шероховатости поверхности, например дорожного покрытия, поверхности металлов и изделий сложной формы.The invention relates to the field of measuring technology, in particular to devices for optical non-contact measurement of the surface profile, and can be used to measure the parameters of roughness, surface roughness, such as road surface, metal surface and products of complex shape.

Известен лазерный профилометр для контроля профиля изделий сложной формы (патент РФ 2285234, опубл. 10.10.2006). Лазерный профилометр содержит лазерные источники щелевой подсветки, формирующие плоские световые пучки, телекамеру и компьютер для вычисления параметров контролируемого сечения, два дополнительных объектива, оптические оси которых находятся в плоскости, образованной осями лазеров и продольной осью, а также отражатель. Точки фокусов дополнительных объективов совпадают друг с другом и с точкой пересечения осей лазеров и продольной осью измеряемого изделия.Known laser profilometer to control the profile of products of complex shape (RF patent 2285234, publ. 10.10.2006). The laser profiler contains laser sources of slit illumination, which form flat light beams, a television camera and a computer for calculating the parameters of the controlled section, two additional lenses whose optical axes are in the plane formed by the laser axes and the longitudinal axis, as well as a reflector. The focal points of the additional lenses coincide with each other and with the point of intersection of the laser axes and the longitudinal axis of the measured product.

Недостаток этого профилометра - невысокая точность фокусировки дополнительных объективов и совмещения даваемых ими изображений, т.к. эти операции основаны на субъективном критерии разности изображений контролируемых изделий.The disadvantage of this profiler is the low accuracy of focusing additional lenses and combining the images they provide, because these operations are based on the subjective criterion of the difference in the image of the controlled products.

Известен лазерный профилометр - дальномер (патент РФ 2082090, опубл. 20.06.1997), который содержит источник формирования лазерного луча с приводом сканирования лазерного луча, приемник отраженного луча с фотодиодом и усилителем на его выходе и вычислительное устройство со схемами сравнения и управления.Known laser profilometer - range finder (RF patent 2082090, publ. 06/20/1997), which contains a source of laser beam formation with a scanning drive of the laser beam, a reflected beam receiver with a photodiode and an amplifier at its output, and a computing device with comparison and control circuits.

Недостатком данного устройства является конструктивная сложность схемы дальномера, а также возможность влияния многих факторов, способных внести ошибки в результаты измерений.The disadvantage of this device is the structural complexity of the rangefinder circuit, as well as the possibility of the influence of many factors that can introduce errors into the measurement results.

Наиболее близким по технической сущности является лазерный профилометр для измерения геометрических параметров профиля дороги (патент РФ 2201577, опубл. 27.03.2003), содержащий лазерные излучатели с оптическими системами для преобразования пучка лазерного света в линию и оптические приемники отраженных излучений. Оптические приемники отраженных излучений выполнены в виде камеры - матричного фотоприемника, преобразующей отраженные линейные излучения в аналоговые сигналы по форме профиля дороги, и соединены с системой обработки информации. Система обработки информации содержит преобразователи отраженных излучений в аналоговые сигналы, преобразователи аналоговых сигналов, процессорный блок, программный комплекс, ЭВМ. Каждый преобразователь аналоговых сигналов выполнен в виде компаратора, выделяющего из аналогового сигнала часть, соответствующую отраженному излучению, и преобразующего эту часть аналогового сигнала в TTL-уровень. Процессорный блок выполнен с возможностью суммирования сигналов TTL-уровня в заданные отрезки времени.The closest in technical essence is a laser profilometer for measuring the geometric parameters of the road profile (RF patent 2201577, publ. 03/27/2003), containing laser emitters with optical systems for converting a laser light beam into a line and optical receivers of reflected radiation. The optical receivers of the reflected radiation are made in the form of a camera - a matrix photodetector that converts the reflected linear radiation into analog signals in the form of a road profile, and is connected to the information processing system. The information processing system contains converters of reflected radiation into analog signals, converters of analog signals, a processor unit, a software package, a computer. Each converter of analog signals is made in the form of a comparator, extracting from the analog signal a part corresponding to the reflected radiation, and converting this part of the analog signal to the TTL level. The processor unit is configured to sum TTL level signals at predetermined time intervals.

Недостатком данного устройства является конструктивная сложность системы обработки информации, а также невозможность исключения температурных факторов, влияющих на погрешность измерения, что снижает точность измерения геометрических параметров профиля поверхности. Также не учитывается безопасность работы при использовании профилометра с лазерным источником, особенно если профилометр работает в невидимом диапазоне длин волн.The disadvantage of this device is the structural complexity of the information processing system, as well as the inability to exclude temperature factors affecting the measurement error, which reduces the accuracy of measuring the geometric parameters of the surface profile. Also, safety is not taken into account when using a profilometer with a laser source, especially if the profilometer operates in the invisible wavelength range.

Технической задачей данного изобретения является повышение точности измерения за счет уменьшение погрешности работы профилометра при упрощении его конструкции. Также увеличивается безопасность работы данного устройства.The technical task of this invention is to increase the accuracy of the measurement by reducing the error of the profilometer while simplifying its design. Also increases the safety of this device.

Поставленная задача достигается тем, что лазерный профилометр для определения геометрических параметров профиля поверхности содержит источник лазерного излучения с преобразователем лазерного пучка в линию, оптический матричный приемник отраженного излучения и устройство обработки информации. Новым является то, что источник лазерного излучения выполнен в виде полупроводникового лазера, работающего в импульсном режиме со встроенной системой стабилизации температуры. По ходу отраженного луча перед оптическим матричным приемником введен по крайней мере один узкополосный интерференционный светофильтр. Кроме этого использован полупроводниковый лазер, работающий в видимом красном диапазоне длин волн, система стабилизации температуры выполнена на основе элементов Пельтье с управляющим контроллером и датчиком температуры. Устройство для обработки информации выполнено в виде программируемого логического контроллера с обработкой сигнала в реальном времени и вычислением профиля поверхности.The task is achieved in that the laser profilometer for determining the geometric parameters of the surface profile contains a laser radiation source with a laser beam in-line converter, an optical matrix receiver of reflected radiation and an information processing device. What is new is that the laser radiation source is made in the form of a semiconductor laser operating in a pulsed mode with an integrated temperature stabilization system. Along the reflected beam, at least one narrow-band interference filter is introduced in front of the optical matrix receiver. In addition, a semiconductor laser operating in the visible red wavelength range was used, the temperature stabilization system is based on Peltier elements with a control controller and a temperature sensor. The information processing device is designed as a programmable logic controller with real-time signal processing and surface profile calculation.

Изобретение поясняется чертежом, где на фиг. 1 представлена блок-схема предлагаемого устройства.The invention is illustrated in the drawing, where in FIG. 1 shows a block diagram of the proposed device.

Лазерный профилометр для определения геометрических параметров профиля поверхности содержит (фиг. 1) источник лазерного излучения 1, который представляет собой полупроводниковый лазер, работающий в импульсном режиме, преимущественно в видимом красном диапазоне длин волн. Сконструирован по предлагаемому изобретению профилометр, где выбран полупроводниковый лазер, например ML501P73, работающий в видимом красном диапазоне длин волн (длина волны 638 нм). Полупроводниковый лазер снабжен системой стабилизации температуры 9, выполненной на основе элементов Пельтье с управляющим контроллером и датчиком температуры, расположенной на одной подложке с полупроводниковым лазером. За счет встроенной системы стабилизации температуры длина волны полупроводникового лазера поддерживается с точностью ±0,5 нм. По ходу лазерного луча расположен преобразователь светового пучка в линию (оптический генератор линии) 2, состоящий из коллиматора и призмы в форме, например, полусферы или треугольника. Лазерный пучок попадает сначала на коллиматор, а затем на призму, которая разворачивает сфокусированный пучок лазера в линию длиной от 1 м до 1,3 м вдоль контролируемой поверхности 5 и образует в пространстве световую плоскость 3. Отраженный от контролируемой поверхности 5 световой луч попадает в узкополосный интерференционный светофильтр 6, затем на оптический матричный приемник 8 и устройство обработки информации 4. В оптимальном случае используют набор из двух светофильтров. Каждый из интерференционных светофильтров 6 работает на свой угол обзора, что в совокупности со стабилизацией длины волны лазерного излучения позволяет использовать светофильтры с очень узкой полосой пропускания. Оптический приемник 8 в виде матрицы имеет n строк и m столбцов и преобразует полученное световое излучение в оцифрованное изображение линии 7 профиля поверхности измеряемого объекта. Оцифрованное изображение с матричного приемника 8 передается на устройство обработки информации 4, которое выполнено в виде программируемого логического контроллера с обработкой сигнала в реальном времени и вычислением профиля поверхности. Контроллер 4 может быть выполнен на базе сигнального процессора, который подключен к управляющему компьютеру 10 по интерфейсу Fast Ethernet. Для подключения необходимо наличие в компьютере сетевой карты, поддерживающей скорость не менее 100 Мбит.The laser profilometer for determining the geometric parameters of the surface profile contains (Fig. 1) a laser radiation source 1, which is a semiconductor laser operating in a pulsed mode, mainly in the visible red wavelength range. The profilometer is constructed according to the invention, where a semiconductor laser is selected, for example, ML501P73 operating in the visible red wavelength range (wavelength 638 nm). The semiconductor laser is equipped with a temperature stabilization system 9 based on Peltier elements with a control controller and a temperature sensor located on the same substrate as the semiconductor laser. Due to the integrated temperature stabilization system, the semiconductor laser wavelength is maintained with an accuracy of ± 0.5 nm. In the direction of the laser beam, there is a light beam to line converter (optical line generator) 2, consisting of a collimator and a prism in the form of, for example, a hemisphere or a triangle. The laser beam first hits the collimator, and then to the prism, which rotates the focused laser beam in a line from 1 m to 1.3 m in length along the controlled surface 5 and forms a light plane in space 3. The light beam reflected from the controlled surface 5 enters the narrow-band interference filter 6, then to the optical matrix receiver 8 and the information processing device 4. In the best case, use a set of two filters. Each of the interference filters 6 operates at its own viewing angle, which, combined with stabilization of the wavelength of the laser radiation, allows the use of filters with a very narrow passband. The optical receiver 8 in the form of a matrix has n rows and m columns and converts the received light radiation into a digitized image of the surface profile line 7 of the measured object. The digitized image from the matrix receiver 8 is transmitted to the information processing device 4, which is made in the form of a programmable logic controller with real-time signal processing and calculation of the surface profile. The controller 4 can be performed on the basis of a signal processor, which is connected to the control computer 10 via the Fast Ethernet interface. To connect, you must have a network card in your computer that supports a speed of at least 100 Mbps.

Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.

В основе работы устройства лежит принцип лазерной триангуляции. На поверхность 5 измеряемого объекта проецируют линию лазерного излучения 3, формируемую полупроводниковым лазером 1 с оптическим генератором линии 2. Отраженное от поверхности 5 излучение проецируют узкополосными светофильтрами 6 на матрицу оптического приемника 8, оцифровывают и передают на программируемый логический контроллер 4, где происходит обработка сигнала в реальном времени с вычислением профиля контролируемой поверхности 5. По полученному изображению контура объекта на контроллере 4 рассчитывают расстояние до поверхности объекта 5 (координата Z) для каждой из множества точек вдоль лазерной линии на объекте (координата X). Полупроводниковый лазер 1 снабжен встроенной системой стабилизации температуры 9, выполненной на основе элементов Пельтье, которые за счет поддержания постоянной температуры обеспечивают стабилизацию длины волны лазерного излучения в пределах ±0,5 нм. Постоянную температуру задают с помощью контроллера системы стабилизации 9 и поддерживают, например, T=20°C. Заданную температуру контролируют датчиком температуры системы стабилизации 9. Стабилизация длины волны лазерного излучения в предела ±0,5 нм позволяет использовать светофильтры с очень узкой полосой пропускания и получать на оптическом приемнике более точное изображение контролируемой поверхности за счет получения большего количества точек в профиле и более качественного построения изображения поперечного профиля. Лазерный профилометр характеризуется началом рабочего диапазона по координате Z, рабочим диапазоном по координате Z, рабочим диапазоном по координате X в начале рабочего диапазона по Z и в конце рабочего диапазона по Z. При этом по координате X мы можем получать на оптическом приемнике 8 до 2048 точек на длине 1,2 метра, что соответствует 0,6 мм разрешения по координате X. Информация с контроллера 4 поступает в компьютер 10 по интерфейсу Fast Ethernet, который осуществляет прием информации с профилометра и обеспечивает управление его режимами. При этом абсолютная погрешность определения расстояния до поверхности объекта по координате Z составляет не более ±1 мм во всем диапазоне вне зависимости от местоположения объекта по координате X. Такая погрешность измерения достигнута за счет использования в предлагаемом устройстве полупроводникового лазера, работающего в импульсном режиме с использованием системы стабилизации температуры и использования узкополосных интерференционных светофильтров. Использование импульсного режима в работе полупроводникового лазера позволяет получить достаточную мощность излучения для работы в условиях солнечного освещения, а также позволяет избежать перегрева лазерного диода при обеспечении его термостабилизации. Все это позволяет уменьшить погрешность и повысить точность измерений каждой точки профиля контролируемой поверхности. Как следствие, уменьшается погрешность при измерении высоты и длины объекта. Это позволяет, например, с большей точностью определить геометрические размеры профиля дорожного полотна в дневное время даже при работе на фоне засветки от солнечного света. Использование красной длины волны лазерного излучения повышает класс лазерной безопасности устройства за счет использования видимого спектра длин волн. Использование коллиматора и призмы, которая рассеивает сфокусированный пучок света лазера в линию, длина которой составляет от 1 до 1,3 метра, позволяет снизить интенсивность света в профиле до незначительных показателей и отнести профилометр ко второму классу по безопасности лазерного излучения. Также по сравнению с прототипом предложенное устройство имеет более простую конструкцию за счет упрощения устройства обработки информации, выполненного на базе программируемого логического контроллера.The device is based on the principle of laser triangulation. A laser line 3 formed by a semiconductor laser 1 with an optical generator of line 2 is projected onto the surface 5 of the measured object real-time calculation of the profile of the controlled surface 5. Based on the received image of the contour of the object on the controller 4, calculate the distance to the surface of EKTA 5 (coordinate Z) for each of the plurality of points along the laser line on the object (coordinate X). The semiconductor laser 1 is equipped with an integrated temperature stabilization system 9 based on Peltier elements, which, by maintaining a constant temperature, stabilize the laser radiation wavelength within ± 0.5 nm. A constant temperature is set using the controller of the stabilization system 9 and is maintained, for example, T = 20 ° C. The set temperature is controlled by the temperature sensor of the stabilization system 9. The stabilization of the laser wavelength in the range of ± 0.5 nm allows the use of filters with a very narrow passband and to obtain on the optical receiver a more accurate image of the surface being monitored by obtaining more points in the profile and better constructing the image of the transverse profile. The laser profilometer is characterized by the beginning of the operating range in the Z coordinate, the operating range in the Z coordinate, the operating range in the X coordinate at the beginning of the operating range in Z and at the end of the operating range in Z. At the same time, in the X coordinate, we can get 8 to 2048 points on the optical receiver over a length of 1.2 meters, which corresponds to 0.6 mm of resolution along the X coordinate. Information from the controller 4 enters the computer 10 via the Fast Ethernet interface, which receives information from the profilometer and provides control of its modes. In this case, the absolute error in determining the distance to the surface of the object by the Z coordinate is not more than ± 1 mm in the entire range, regardless of the location of the object by the X coordinate. This measurement error was achieved by using a pulsed semiconductor laser in the proposed device using the system stabilization of temperature and the use of narrow-band interference light filters. The use of the pulsed mode in the operation of a semiconductor laser allows one to obtain sufficient radiation power for operation in sunlight, and also avoids overheating of the laser diode while ensuring its thermal stabilization. All this allows to reduce the error and improve the accuracy of measurements of each point of the profile of the controlled surface. As a result, the error decreases when measuring the height and length of the object. This allows, for example, to more accurately determine the geometric dimensions of the profile of the roadway in the daytime even when working against the background of exposure to sunlight. The use of the red wavelength of laser radiation increases the laser safety class of the device by using the visible wavelength spectrum. The use of a collimator and a prism that scatters a focused laser light beam in a line with a length of 1 to 1.3 meters allows one to reduce the light intensity in the profile to insignificant indicators and classify the profiler as the second class for laser radiation safety. Also, compared with the prototype, the proposed device has a simpler design due to the simplification of the information processing device based on a programmable logic controller.

Таким образом, лазерный профилометр представляет собой автоматизированную систему, способную с большей точностью контролировать геометрические параметры профиля поверхности, контурные размеры объекта, взаимное расположение деталей, отклонение от плоскостности.Thus, the laser profilometer is an automated system that can more accurately control the geometric parameters of the surface profile, the contour dimensions of the object, the relative position of parts, and deviation from flatness.

Claims (4)

1. Лазерный профилометр для определения геометрических параметров профиля поверхности, содержащий источник лазерного излучения с преобразователем лазерного пучка в линию, оптический матричный приемник отраженного излучения и устройство обработки информации, отличающийся тем, что источник лазерного излучения выполнен в виде полупроводникового лазера, работающего в импульсном режиме со встроенной системой стабилизации температуры, а по ходу отраженного луча перед оптическим матричным приемником введен по крайней мере один узкополосный интерференционный светофильтр.1. A laser profilometer for determining the geometric parameters of a surface profile, comprising a laser radiation source with a laser beam in-line converter, an optical reflected radiation matrix detector, and an information processing device, characterized in that the laser radiation source is made in the form of a semiconductor laser operating in a pulsed mode with built-in temperature stabilization system, and along the reflected beam in front of the optical matrix receiver at least one narrow band is introduced interference filter. 2. Лазерный профилометр для определения профиля поверхности по п. 1, отличающийся тем, что система стабилизации температуры выполнена на основе элементов Пельтье с управляющим контроллером и датчиком температуры.2. Laser profilometer for determining the surface profile according to claim 1, characterized in that the temperature stabilization system is based on Peltier elements with a control controller and a temperature sensor. 3. Лазерный профилометр для определения профиля поверхности по п. 1, отличающийся тем, что использован полупроводниковый лазер, работающий в видимом красном диапазоне длин волн.3. A laser profilometer for determining a surface profile according to claim 1, characterized in that a semiconductor laser operating in the visible red wavelength range is used. 4. Лазерный профилометр для определения профиля поверхности по п. 1, отличающийся тем, что устройство для обработки информации выполнено в виде программируемого логического контроллера с обработкой сигнала в реальном времени и вычислением профиля поверхности.4. Laser profilometer for determining the surface profile according to claim 1, characterized in that the device for processing information is made in the form of a programmable logic controller with real-time signal processing and calculation of the surface profile.
RU2016151930A 2016-12-27 2016-12-27 Laser profilometer for determining geometric parameters of surface profile RU2650840C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016151930A RU2650840C1 (en) 2016-12-27 2016-12-27 Laser profilometer for determining geometric parameters of surface profile

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016151930A RU2650840C1 (en) 2016-12-27 2016-12-27 Laser profilometer for determining geometric parameters of surface profile

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2650840C1 true RU2650840C1 (en) 2018-04-17

Family

ID=61976910

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016151930A RU2650840C1 (en) 2016-12-27 2016-12-27 Laser profilometer for determining geometric parameters of surface profile

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2650840C1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU194436U1 (en) * 2019-09-24 2019-12-11 Закрытое акционерное общество "Ультракрафт" (ЗАО "Ультракрафт") DEVICE FOR MEASURING OBJECT GEOMETRIC PARAMETERS
RU2807464C1 (en) * 2022-12-01 2023-11-15 Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "ВОЕННАЯ АКАДЕМИЯ МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ имени генерала армии А.В. Хрулева" Laser device for forming 3d images

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5239366A (en) * 1992-02-12 1993-08-24 Huges Aircraft Company Compact laser probe for profilometry
US5349440A (en) * 1991-02-08 1994-09-20 Hughes Aircraft Company Interferometric laser profilometer including a multimode laser diode emitting a range of stable wavelengths
US5963329A (en) * 1997-10-31 1999-10-05 International Business Machines Corporation Method and apparatus for measuring the profile of small repeating lines

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5349440A (en) * 1991-02-08 1994-09-20 Hughes Aircraft Company Interferometric laser profilometer including a multimode laser diode emitting a range of stable wavelengths
US5239366A (en) * 1992-02-12 1993-08-24 Huges Aircraft Company Compact laser probe for profilometry
US5963329A (en) * 1997-10-31 1999-10-05 International Business Machines Corporation Method and apparatus for measuring the profile of small repeating lines

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU194436U1 (en) * 2019-09-24 2019-12-11 Закрытое акционерное общество "Ультракрафт" (ЗАО "Ультракрафт") DEVICE FOR MEASURING OBJECT GEOMETRIC PARAMETERS
RU2807464C1 (en) * 2022-12-01 2023-11-15 Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "ВОЕННАЯ АКАДЕМИЯ МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ имени генерала армии А.В. Хрулева" Laser device for forming 3d images

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9791569B2 (en) Coordinate measurement system and method
RU2523092C2 (en) Method and apparatus for measuring profile of spherical incurved, particularly, cylindrical bodies
JP5931225B2 (en) Method for calculating distance change using an interferometer
US20150226841A1 (en) Laser tracker with calibration unit for self-calibration
CN103791860A (en) Tiny angle measuring device and method based on vision detecting technology
US9131219B2 (en) Method and apparatus for triangulation-based 3D optical profilometry
ES2865077T3 (en) Measurement device, system and method
CN111965658B (en) Distance measurement system, method and computer readable storage medium
JP2017003461A (en) Distance measurement device
RU2650840C1 (en) Laser profilometer for determining geometric parameters of surface profile
Frangez et al. Assessment and improvement of distance measurement accuracy for time-of-flight cameras
Daneshpanah et al. Surface sensitivity reduction in laser triangulation sensors
US20190196017A1 (en) Measuring device with measurement beam homogenization
JP2014509910A5 (en)
TUDOR et al. LiDAR sensors used for improving safety of electronic-controlled vehicles
US10921448B2 (en) Optical distance measuring system
Lim et al. A novel one-body dual laser profile based vibration compensation in 3D scanning
KR101254297B1 (en) Method and system for measuring thickness and surface profile
RU98596U1 (en) TWO CHANNEL DIGITAL AUTOCollimator
RU67706U1 (en) INSTALLATION OF AUTOMATIC NON-CONTACT DETERMINATION OF GEOMETRIC PARAMETERS OF MOVING OBJECTS
US10365324B2 (en) Analysis system and analysis method
EP1202074B1 (en) Distance measuring apparatus and distance measuring method
Huang et al. Measuring atmospheric turbulence strength based on differential imaging of light column
RU165682U1 (en) LASER SCANNING DEVICE
RU2543527C1 (en) Method of measuring speed of objects from television images thereof