RU2105267C1 - Термоанемометрический датчик расхода среды - Google Patents

Термоанемометрический датчик расхода среды Download PDF

Info

Publication number
RU2105267C1
RU2105267C1 RU95115804A RU95115804A RU2105267C1 RU 2105267 C1 RU2105267 C1 RU 2105267C1 RU 95115804 A RU95115804 A RU 95115804A RU 95115804 A RU95115804 A RU 95115804A RU 2105267 C1 RU2105267 C1 RU 2105267C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrate
temperature
medium
flow
substrates
Prior art date
Application number
RU95115804A
Other languages
English (en)
Other versions
RU95115804A (ru
Inventor
В.А. Борисов
М.А. Коган
Р.А. Попов
А.Я. Павленко
Б.А. Терентьев
Original Assignee
Акционерное общество открытого типа "Краснодарский ЗИП"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество открытого типа "Краснодарский ЗИП" filed Critical Акционерное общество открытого типа "Краснодарский ЗИП"
Priority to RU95115804A priority Critical patent/RU2105267C1/ru
Publication of RU95115804A publication Critical patent/RU95115804A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2105267C1 publication Critical patent/RU2105267C1/ru

Links

Images

Abstract

Использование: в автомобильной электронике для систем электронного впрыска топлива. Сущность изобретения: датчик расхода содержит термочувствительный элемент, состоящий из терморезисторов - измерительного 5 и термокомпенсационного 6, выполненных из фольги на тонкой полиимидной пленке 8, предварительно натянутой и закрепленной между двумя идентичными металлическими подложками 9, 10. В зоне расположения терморезистора 5 в каждой подложке выполнена сквозная выемка 11 до рабочего торца 13 подложки, имеющая фаску 12 под углом более 45o к прямой, перпендикулярной направлению потока среды. Температурный коэффициент линейного расширения (ТКЛР) материала подложек близок к ТКЛР терморезисторов. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к термоанемометрическим датчикам расхода воздуха и может быть использовано, например, в автомобильной электронике - в системах электронного впрыска топлива.
Известны термоанемометрические датчики расхода воздуха, содержащие термочувствительный элемент в виде ленты или проволоки, подвешенной по меньшей мере на трех узлах (патенты ФРГ N 2845662, 3003671, 3016923, G 01 F 1/68, фирма "BOSCH").
Их недостатками являются относительно невысокое быстродействие и нестабильность электрических характеристик вследствие провисания проволоки под воздействием циклических перегревов и механических нагрузок.
Известен также термоанемометрический датчик расхода воздуха, содержащий плоский пленочный термочувствительный элемент (патент США N 4936145, G 01 F 1/68), характеризующийся достаточно высокими статическими характеристиками в условиях сильных механических и температурных воздействий. Наличие жесткой подложки в термочувствительном элементе толщиной порядка 200 мкм обусловливает повышение тепловой постоянной измерительного терморезистора, что соответственно ограничивает быстродействие датчика.
Более высоким быстродействием обладает термоанемометрический датчик расхода с термочувствительным элементом, содержащим измерительный и компенсационный терморезисторы, расположенные на полимерной пленке, закрепленной с предварительным натяжением и тонкую подложку с отверстием, над которым расположен измерительный терморезистор (заявка ЕПВ (ЕР) N 0021291, G 01 F 1/68).
Основными недостатками этой конструкции являются:
1. Затрудненность попадания натекающего потока воздуха в выемку подложки (регистрируется экспериментально при толщине подложки даже 0,1 мм).
2. Отражения натекающего потока воздуха от переднего (рабочего) торца, подложки и от задней грани выемки, перпендикулярной направлению потока среды, дополнительно препятствующие попаданию основного потока воздуха в выемку подложки.
Эти обстоятельства приводят к пониженному обтеканию потоком воздуха измерительного терморезистора особенно при малых скоростях потока и вследствие этого к снижению чувствительности датчика при малых расходах.
Это искажает характеристику датчика, вносит дополнительную погрешность от толщины подложки и размера выемки.
Последнее из вышеупомянутых устройств является прототипом.
Техническим результатом, который обеспечивает предлагаемое изобретение, является устранение вышеуказанных недостатков, а именно, повышение чувствительности и снижение погрешности датчика.
Технический результат достигается тем, что термоанемометрический датчик расхода среды, содержащий термочувствительный элемент, включающий измерительный и компенсационный терморезисторы, размещенные на полиимидной пленке, закрепленной с предварительным натяжением, и расположенные на линии, перпендикулярной направлению потока среды, и подложку, снабжен второй подложкой, идентичной первой, а термочувствительный элемент закреплен между подложками, в каждой из которых, в зоне размещения измерительного терморезистора, выполненного с обеспечением возможности измерения в точке, со стороны рабочего торца образована выемка, имеющая фаску под углом более 45o к прямой, перпендикулярной направлению потока, при этом температурный коэффициент линейного расширения материала подложек близок к температурному коэффициенту линейного расширения терморезисторов, а подложки выполнены из нержавеющей стали.
Сопоставительный анализ заявляемого решения с прототипом показывает, что заявляемый термоанемометрический датчик расхода среды отличается от известного тем, что он снабжен второй подложкой, идентичной первой, а термочувствительный элемент закреплен между подложками, в каждой из которых, в зоне размещения измерительного терморезистора, выполненного с обеспечением возможности измерения в точке, со стороны рабочего торца образована выемка, имеющая фаску под углом более 45o к прямой, перпендикулярной направлению потока, при этом температурный коэффициент линейного расширения материала подложек близок к температурному коэффициенту линейного расширения терморезисторов.
Кроме того, термоанемометрический датчик отличается тем, что подложки выполнены из нержавеющей стали.
Таким образом, заявляемое устройство соответствует критерию изобретения "новизна".
Сравнение заявляемого решения не только с прототипом, но и с другими известными техническими решениями в данной области техники, не позволило выявить в них отличительных признаков, совпадающих с заявляемым решением, что позволяет сделать вывод о том, что изобретение имеет изобретательский уровень.
Изобретение является промышленно применимым, так как оно может быть использовано при изготовлении датчиков в автомобильной электронике - в системах электронного впрыска топлива.
Изобретение поясняется чертежами, где на фиг.1 представлен пример реализации предлагаемого технического решения (в разрезе); на фиг.2 - термочувствительный элемент; на фиг. 3 - сечение по А - А термочувствительного элемента.
Термоанемометрический датчик (фиг.1) состоит из воздуховода 1 с вентуриобразной внутренней поверхностью (сопло Вентури), термочувствительного элемента 2, соединенного с электронной схемой формирования выходного сигнала, выполненной на плате 3, размещенной в корпусе 4. Термочувствительный элемент 2 (фиг.2, 3) состоит из блока терморезисторов - измерительного 5 и термокомпенсационного 6, выполненных из фольги 7 на тонкой (10-60 мкм) полиимидной пленке 8, предварительно натянутой и закрепленной между подложками 9, 10, причем в зоне расположения терморезистора 5 выполнена выемка 11 с фаской 12.
Принцип работы термоанемометрического датчика основан на следующем. При обтекании потоком воздуха нагреваемого измерительного терморезистора 5 происходит его охлаждение и связанное с этим изменение его сопротивления. Измерительный 5 и компенсационный 6 терморезисторы включены с двумя термонезависимыми резисторами по мостовой схеме (на чертежах это не показано), работающей в режиме постоянной температуры измерительного терморезистора 5.
Снимаемое с моста напряжение используется для электронного управления, током питания моста, осуществляемого с помощью соответствующих элементов схемы, размещенной на плате 3. Сигнал, характеризующий изменение тока в мосте, служит мерой количества протекающей среды.
Выполнение выемки 11 (фиг.2) сквозной до рабочего торца 13 подложки 9 предотвращает возникновение турбулентностей натекающего потока воздуха на ее торце. Так же фаска, выполненная под углом (фиг.2 разрез А-А) превышающим 45o, определяет направление отраженного от задней грани выемки 11 потока в стороны от измерительного резистора 5.
Однако предотвращение возникновения турбулентностей, снижение влияния толщины подложки, качества ее обработки и размеров выемки, достигаемые описанной формой выемки должны основываться на обеспечении стабильности электрических характеристик термочувствительного элемента в целом. Расположение измерительного терморезистора 5 на тонкой полиимидной пленке 8 может привести к его провисанию при изменении температуры вследствие разности ТКЛР подложки 9 и фольги 7, что вносит дополнительную погрешность.
Симметричная конструкция (расположение блока терморезисторов между двумя идентичными подложками) предотвращает изгибные деформации термочувствительного элемента датчика вследствие температурных воздействий и провисание измерительного терморезистора при ТКЛР подложек достаточно близком к ТКЛР фольги.
Так как практически невозможно подобрать материал подложки с ТКЛР, одинаковым с ТКЛР фольги, то фольга предварительно натянута до скрепления (склеивания) с подложками. Это обеспечивает отсутствие провисания фольги как при положительной, так и при отрицательной разности ТКЛР подложек и фольги соответственно при понижении и повышении температуры.
Кроме того, предварительное натяжение фольги обеспечивает высокую плоскость поверхности измерительного терморезистора и соответственно высокую повторяемость его характеристик от образца к образцу.
Так как фольга имеет толщину порядка 3-5 мкм, а полиимидная пленка должна быть выполнена также максимально тонкой, чтобы обеспечить высокое быстродействие, конструкция измерительного терморезистора уязвима для сильных механических и температурных воздействий, поэтому немаловажным является минимизация размеров натянутой пленочно-фольговой структуры, что обеспечивается выполнением измерительного резистора круглым или прямоугольным с возможностью измерения в точке и, соответственно, минимизацией размеров выемки.
Расположение терморезисторов на линии, перпендикулярной направлению потока среды (ось О-О', фиг.2), обусловлено необходимостью устранения попадания нагретого воздуха от измерительного терморезистора на термокомпенсационный, или нежелательным увеличением ширины термочувствительного элемента в направлении потока.
Предлагаемые технические решения испытаны и в конструкции термоанемометрического датчика, в которой термочувствительный элемент расположен в байпасном канале, что не меняет описанных выше физических закономерностей и конструктивных решений.
Проведенные стендовые испытания, испытания датчиков в составе системы на автомобиле ВАЗ-2111 сравнительно с датчиками фирм "BOSCH" и "General Motors", соответственно, выявили, что по стабильности, температурной погрешности описанный датчик соответствует заданным требованиям, а по скорости реакции на изменение величины потока (быстродействие) превосходит зарубежные аналоги в 2 раза.

Claims (2)

1. Термоанемометрический датчик расхода среды, содержащий термочувствительный элемент, включающий измерительный и компенсационный терморезисторы, размещенные на полиимидной пленке, закрепленной с предварительным натяжением, и расположенные на линии, перпендикулярной направлению потока среды, и подложку, отличающийся тем, что он снабжен второй подложкой, идентичной первой, а термочувствительный элемент закреплен между подложками, в каждой из которых, в зоне размещения измерительного терморезистора, выполненного с обеспечением возможности измерения в точке, со стороны рабочего торца образована выемка, имеющая фаску под углом более 45o к прямой, перпендикулярной направлению потока, при этом температурный коэффициент линейного расширения материала подложек близок к температурному коэффициенту линейного расширения терморезисторов.
2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что подложки выполнены из нержавеющей стали.
RU95115804A 1995-09-11 1995-09-11 Термоанемометрический датчик расхода среды RU2105267C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95115804A RU2105267C1 (ru) 1995-09-11 1995-09-11 Термоанемометрический датчик расхода среды

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95115804A RU2105267C1 (ru) 1995-09-11 1995-09-11 Термоанемометрический датчик расхода среды

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU95115804A RU95115804A (ru) 1997-09-10
RU2105267C1 true RU2105267C1 (ru) 1998-02-20

Family

ID=20171962

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU95115804A RU2105267C1 (ru) 1995-09-11 1995-09-11 Термоанемометрический датчик расхода среды

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2105267C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2456551C1 (ru) * 2011-03-30 2012-07-20 Открытое акционерное общество "Авангард" Датчик контроля уровня жидкости
RU2753155C1 (ru) * 2021-01-19 2021-08-12 Олег Алексеевич Беляев Тепловой расходометр жидкости

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2456551C1 (ru) * 2011-03-30 2012-07-20 Открытое акционерное общество "Авангард" Датчик контроля уровня жидкости
RU2753155C1 (ru) * 2021-01-19 2021-08-12 Олег Алексеевич Беляев Тепловой расходометр жидкости

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4433576A (en) Mass airflow sensor
US8813556B2 (en) Intake temperature sensor
JP3335860B2 (ja) 熱式空気流量計用測定素子及び熱式空気流量計
EP1418408B1 (en) Thermal flow sensor
JP3240733B2 (ja) 熱式空気流量計
US6725716B1 (en) Thermo-sensitive flow rate sensor and method of manufacturing the same
KR100323315B1 (ko) 감열식 유량센서
GB2138566A (en) Thermal mass flow sensor for fluids
RU2105267C1 (ru) Термоанемометрический датчик расхода среды
US6170327B1 (en) Air mass meter
JP3193872B2 (ja) 熱式空気流量計
US5060511A (en) Intake air quantity measuring apparatus
JPH0835978A (ja) 風速センサ
US4761995A (en) Direct-heated flow measuring apparatus having improved sensitivity and response speed
RU2098772C1 (ru) Термочувствительный элемент для термоанемометрического датчика расхода среды
JPH102773A (ja) 熱式空気流量計
JPH04295768A (ja) 流体検出装置
JP3356990B2 (ja) 発熱抵抗体式空気流量測定装置
Sasayama et al. A solid-state air flow sensor for automotive use
JP2633994B2 (ja) 熱式空気流量計
JPH05126840A (ja) 風速センサ
JP3144943B2 (ja) 空気流量測定装置
JP2842303B2 (ja) 流体測定用プローブ
JPH04295767A (ja) 流体検出装置
JP2646846B2 (ja) 感温抵抗素子