RU2084843C1

RU2084843C1 - Method of measurement of power of laser radiation

Info

Publication number: RU2084843C1
Application number: RU94023947A
Authority: RU
Inventors: Владислав Николаевич Глебов; Владимир Митрофанович Мананков
Original assignee: Владислав Николаевич Глебов; Владимир Митрофанович Мананков
Priority date: 1994-06-27
Filing date: 1994-06-27
Publication date: 1997-07-20
Also published as: RU94023947A

Abstract

FIELD: measurement technology, measurement of energy parameters of laser radiation, measurement of power of technological laser including CO₂ laser working under continuous mode. SUBSTANCE: film anisotropic thermal converter which is once moved transverse to laser beam with rate at which projection time of laser beam on aperture of radiation detector does not exceed 0.1 s is employed in the capacity of radiation detector. EFFECT: expanded application field, increased accuracy of measurements. 3 dwg , 1 tbl

Description

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к технике измерения энергетических параметров лазерного излучения и может быть использовано для измерения мощности излучения технологических, в том числе CO₂-лазеров, работающих в непрерывном режиме.The invention relates to measuring equipment, namely to a technique for measuring the energy parameters of laser radiation and can be used to measure the radiation power of technological, including CO ₂ lasers operating in continuous mode.

В связи с развитием мощных технологических лазеров, работающих в непрерывном режиме возникла необходимость в широкоапертурных измерителях мощности, работающих в проходном режиме. Традиционно такие задачи решались с помощью ответвителя небольшой части (0,1-1,0%) измеряемого мощного излучения /1/. В настоящее время мощность технологических лазеров достигла 20 кВт и имеет тенденцию к дальнейшему росту. Существует несколько типов ответвителей (ослабителей) мощных лазерных пучков (ЛП) /2/ для систем измерения мощности лазерного излучения (ЛИ): работающие в непрерывном режиме и работающие в периодическом режиме. Последние реализуют принцип пространственно-временного ослабления и целесообразны для мощного ЛИ. In connection with the development of powerful technological lasers operating in continuous mode, the need arose for wide-aperture power meters operating in continuous mode. Traditionally, such problems were solved with the help of a coupler of a small part (0.1-1.0%) of the measured powerful radiation / 1 /. Currently, the power of technological lasers has reached 20 kW and has a tendency to further increase. There are several types of couplers (attenuators) of high-power laser beams (LP) / 2 / for systems for measuring the power of laser radiation (LI): operating in continuous mode and operating in periodic mode. The latter implement the principle of spatio-temporal attenuation and are suitable for powerful LI.

Известен измеритель мощности лазерного излучения /3/ проходного типа, содержащий приемный элемент из оптически прозрачного материала, фотоприемник и блок обработки сигнала фотоприемника, причем фотоприемник расположен с зазором на середине боковой поверхности приемного элемента. Ответвление части измеряемого ЛИ осуществляется постоянно во времени за счет рассеивающих центров (дефектов) как в объеме, так и на входной и выходной поверхностях приемного элемента. A known laser radiation power meter / 3 / of the pass type, comprising a receiving element of optically transparent material, a photodetector and a signal processing unit of the photodetector, the photodetector being located with a gap in the middle of the side surface of the receiving element. A branch of the measured LI is carried out continuously in time due to scattering centers (defects) both in the volume and on the input and output surfaces of the receiving element.

Основным недостатком этого аналога является противоречие между большой мощностью измеряемого ЛИ и качеством прозрачного материала, количество дефектов в котором должно быть минимально возможным. Кроме того, толщина оптически прозрачного элемента соизмерима с его апертурой, что противоречит требованию уменьшения поглощения при работе в мощных ЛП. По нашему мнению, такое решение не пригодно для систем измерения ЛП мощностью 1 кВт и более. The main disadvantage of this analogue is the contradiction between the high power of the measured LI and the quality of the transparent material, the number of defects in which should be the minimum possible. In addition, the thickness of the optically transparent element is comparable with its aperture, which contradicts the requirement to reduce absorption when working in high-power LPs. In our opinion, such a solution is not suitable for drug measurement systems with a power of 1 kW or more.

Известен другой аналог /4/ проходного измерителя мощности для технологических CO₂-лазеров мощностью до 6 кВт. Измерительная система включает ответвитель ЛП на базе выходного окна из хлорида калия (KCl), после чего ответвленное излучение ослабляется модулятором и поступает на маломощный приемник излучения, работающий на основе термоупругого эффекта в кристаллическом кварце, сигнал последнего является мерой средней мощности излучения.Another analogue of the / 4 / pass-through power meter is known for technological CO ₂ lasers with a power of up to 6 kW. The measuring system includes an LP coupler based on an output window of potassium chloride (KCl), after which the branched radiation is attenuated by a modulator and fed to a low-power radiation detector operating on the basis of the thermoelastic effect in crystalline quartz, the signal of the latter is a measure of the average radiation power.

Можно отметить следующие недостатки этого аналога. Велика потеря ответвленной мощности, что для окна из KCl составляет ≈6% Недостаточна стабильность во времени коэффициента ответвления элемента из KCl при мощности излучения более 1 кВт, т.к. в процессе эксплуатации на поверхностях образуется решетчатый рельеф из-за роста поверхностного поглощения /5/. В силу низкой термопрочности KCl его применение в длительном режиме эксплуатации при ЛИ мощностью более 5 кВт проблематично. The following disadvantages of this analogue can be noted. The loss of branch power is large, which is ≈6% for a window made of KCl. Insufficient stability over time of the branch coefficient of an element made of KCl at a radiation power of more than 1 kW during operation, a lattice relief is formed on the surfaces due to an increase in surface absorption / 5 /. Due to the low thermal strength of KCl, its use in a long-term operation mode with an LI with a power of more than 5 kW is problematic.

Известен способ измерения проходной мощности непрерывного лазерного излучения в проходном режиме /6/. Способ заключается в пространственно-временном ответвлении не более 1% измеряемой мощности вращающимися поперек ЛП зеркалами и приемниками излучения, причем зеркала ответвляют излучение в калориметрический измеритель средней мощности, а болометрические широкоапертурные приемники формируют импульсные сигналы, амплитудное значение которых является мерой мгновенной мощности (прототип). A known method of measuring the transmitted power of a continuous laser radiation in a continuous mode / 6 /. The method consists in spatio-temporal branching of not more than 1% of the measured power by mirrors and radiation receivers rotating across the LP, the mirrors branching the radiation into an average power calorimetric meter, and bolometric wide-aperture receivers generate pulse signals whose amplitude value is a measure of instantaneous power (prototype).

Недостатки прототипа: сложность технической реализации и невысокая надежность устройства пространственно-временного ответвления излучения, т.к. ответвляющие зеркала и болометрические приемники вращаются с большой скоростью; наличие периодической 100%-ной модуляции ЛП, что для некоторых технологических процессов может быть неприемлемым (велико возмущение ЛП); необходимость в подготовительных установочных и юстировочных операциях, что увеличивает реальное время измерения. The disadvantages of the prototype: the complexity of the technical implementation and the low reliability of the device spatio-temporal branch radiation, because branch mirrors and bolometric receivers rotate at high speed; the presence of periodic 100% drug modulation, which for some technological processes may be unacceptable (drug perturbation is great); the need for preparatory installation and adjustment operations, which increases the real time of measurement.

Целью изобретения являются расширение предела измерения излучения в область больших значений мощности, уменьшение возмущения ЛП, упрощение технической реализации и экспрессность измерений. The aim of the invention is to expand the limit of the measurement of radiation in the region of large power values, reduce disturbance of the drug, simplify the technical implementation and express measurements.

В основу предложенного способа положен принцип пространственно-временного ответвления измеряемого мощного непрерывного лазерного излучения. Этот принцип реализуется за счет перемещения широкоапертурного приемника излучения поперек лазерного пучка, причем приемная поверхность приемника обращена в сторону источника излучения. При этом измеряют амплитудное значение сигнала приемника излучения, что является мерой мгновенной мощности измеряемого непрерывного лазерного излучения. The proposed method is based on the principle of spatio-temporal branching of a measured high-power continuous laser radiation. This principle is realized by moving the wide-aperture radiation detector across the laser beam, with the receiving surface of the receiver facing the radiation source. In this case, the amplitude value of the signal of the radiation receiver is measured, which is a measure of the instantaneous power of the measured continuous laser radiation.

Предлагаемый способ имеет следующие существенные признаки новизны. Первый в качестве приемника излучения применяют широкоапертурный пленочный анизотропный термопреобразователь (АТП). В литературе /7, 8/ известно применение АТП для измерения средней мощности ЛИ и энергии импульсного излучения. Однако во всех случаях эти приемники использовались в стационарном (неподвижном) режиме. Ответвление части ЛП на эти приемники излучения осуществлялось с помощью непрерывных или пространственно-временных ответвителей. Известно также применение зеркальных АТП в проходном режиме /9/, которые могут применяться без ослабителей в стационарном режиме. Применение широкоапертурного пленочного АТП в режиме пространственно-временного ослабления (ПВО) за счет его перемещения имеет следующие основные преимущества. В силу большой апертуры нет необходимости в согласующем с ЛП оптическом устройстве, что упрощает реализацию. В силу высокого быстродействия приемники АТП, работающие в режиме ПВО, формируют импульсный сигнал, амплитудное значение которого пропорционально мгновенной мощности измеряемого ЛИ. Второй приемник однократно, преимущественно в ручном режиме, перемещают в плоскости его приемной поверхности. Это условие означает, что режим ПВО реализуется в виде единичного акта перемещения, при котором ЛП проецируется на апертуре приемника, причем все остальное время ЛП остается невозмущенным и используется по прямому назначению в технологических процессах. Наиболее просто, а следовательно дешево, однократный режим перемещения приемника АТП реализуется в ручном режиме, этим же достигается и экспрессность измерения. Условие "в плоскости его приемной поверхности" означает, что угол падения излучения в процессе его проецирования на апертуру приемника АТП не меняется, что стандартизирует коэффициент его поглощения, а, следовательно, не вносит дополнительной погрешности измерений. Третий перемещают приемник АТП с такой скоростью, при которой время проецирования ЛП на апертуре ЛИ не превышает 0,1 с. Известно, что с целью расширения предела измерения ЛИ с большей мощностью необходимо уменьшать тепловую нагрузку на ЛИ. В режиме ПВО уменьшение тепловой нагрузки на ЛИ в нашем случае достигается за счет уменьшения времени проецирования (по сравнению со стационарным режимом) и за счет увеличения повторения акта проецирования (который стремится к бесконечности). Время проецирования не более 0,1 с выбрано из соображения, что оно должно быть минимально возможным, но уверенно реализуемыме в ручном режиме перемещения, с учетом того, что постоянная времени АТП мала (10^-4-10^-6с). В таком случае даже при применении ЛИ с апертурой 100 мм при скорости его перемещения 1 м/с уверенно реализуется время проецирования 0,1 с. Таким образом, при однократном акте перемещения ЛИ относительно ЛП с временем проецирования не более 0,1 с существенно уменьшается тепловая нагрузка на ЛИ, а следовательно, расширяется предел измерения в сторону больших значений мощности. По этим же причинам уменьшается возмущение ЛП.The proposed method has the following essential features of novelty. The first is a wide-aperture film anisotropic thermal converter (ATP) as a radiation detector. In the literature / 7, 8 / it is known the use of ATP for measuring the average power LI and the energy of pulsed radiation. However, in all cases, these receivers were used in a stationary (stationary) mode. The branching of part of the PL to these radiation detectors was carried out using continuous or spatio-temporal couplers. It is also known the use of mirror ATP in the through mode / 9 /, which can be used without attenuators in stationary mode. The use of wide-aperture film ATP in the spatio-temporal attenuation mode due to its movement has the following main advantages. Due to the large aperture, there is no need for an optical device compatible with the LP, which simplifies the implementation. Due to their high speed, ATP receivers operating in the air defense mode generate a pulse signal whose amplitude value is proportional to the instantaneous power of the measured LI. The second receiver is moved once, mainly in manual mode, in the plane of its receiving surface. This condition means that the air defense regime is implemented as a single act of displacement, in which the drug is projected onto the receiver aperture, and the rest of the time the aircraft remains unperturbed and is used for its intended purpose in technological processes. The most simple, and therefore cheap, a single mode of movement of the ATP receiver is implemented in manual mode, the expressness of measurement is also achieved by this. The condition “in the plane of its receiving surface” means that the angle of incidence of the radiation does not change during projection onto the aperture of the ATP receiver, which standardizes its absorption coefficient and, therefore, does not introduce additional measurement error. The third moves the ATP receiver at such a speed that the time of projection of the drug on the aperture of the laser does not exceed 0.1 s. It is known that in order to expand the measurement range of LI with greater power, it is necessary to reduce the thermal load on LI. In the air defense mode, in our case, a decrease in the thermal load on the LI is achieved by reducing the projection time (compared with the stationary mode) and by increasing the repetition of the projection act (which tends to infinity). A projection time of not more than 0.1 s was chosen for the reason that it should be the smallest possible, but surely realizable in the manual mode of movement, taking into account that the ATP time constant is small (10 ^-4 -10 ^-6 s). In this case, even when using the LI with an aperture of 100 mm at a speed of its movement of 1 m / s, the projection time of 0.1 s is confidently realized. Thus, with a single act of moving the laser relative to the laser with a projection time of not more than 0.1 s, the thermal load on the laser is significantly reduced, and therefore, the measurement limit expands towards large power values. For the same reasons, the LP perturbation decreases.

Рассмотренные существенные признаки образуют новую совокупность признаков, не обнаруженную в технической и патентной литературе. The considered essential features form a new set of features not found in the technical and patent literature.

На фиг. 1 дана структурная схема измерительной системы, реализующей предложенный способ измерения мощности непрерывного ЛИ, где: мощный технологический лазер 1 генерирует лазерный пучок 2, приемное устройство включает в себя широкоапертурный АТП 3, который находится в исходном состоянии, пунктиром показан ЛИ в момент пересечения им ЛП, заштрихованная зона на ЛИ соответствует площади проецирования ЛП на его апертуре. Перемещение ЛИ поперек ЛП осуществляют ручкой 4, амплитудное значение сигнала ЛИ, возникающего в момент пересечения приемником излучения ЛП, измеряется электронным блоком 5, соединенным с ЛИ гибким электрическим кабелем 6. In FIG. 1 is a structural diagram of a measuring system that implements the proposed method for measuring the power of a continuous laser beam, where: a powerful technological laser 1 generates a laser beam 2, the receiving device includes a wide-aperture ATP 3, which is in the initial state, the dotted line shows the laser beam at the moment it crosses the laser beam, the shaded area on the LI corresponds to the area of the projection of the drug on its aperture. The LI is moved across the PL by the handle 4, the amplitude value of the LI signal that occurs when the receiver crosses the LF radiation is measured by the electronic unit 5 connected to the LI with a flexible electric cable 6.

На фиг. 2 дан вариант применения приемника АТП "поглощающего" типа 1, изображенного в момент пересечения им ЛП 2. В соответствии с требованиями техники безопасности при работе с мощными лазерами не допускаются блики, энергия которых представляет опасность для человека. В этом случае при угле падения ЛИ в области, близкой к нулю, необходимо, чтобы коэффициент отражения ЛИ стремился к нулю (или поглощение стремилось к 100%). In FIG. Figure 2 shows an application of an ATP receiver of an “absorbing” type 1, depicted at the moment it intersects LP 2. In accordance with safety requirements, when working with high-power lasers, glare, the energy of which is dangerous to humans, is not allowed. In this case, at the angle of incidence of the LI in the region close to zero, it is necessary that the reflection coefficient of the LI tends to zero (or the absorption tends to 100%).

На фиг. 3 дан вариант применения ЛИ АТП со значительной величиной коэффициента отражения 1, в том числе и зеркального АТП. В этом случае с учетом требований техники безопасности отраженное от ЛИ излучение должно быть "погашено". В данном примере реализован угол падения около 45^o, а отраженный луч "гасится" в ловушке 3. Этот вариант применения ЛИ более универсальный, т.к. не предъявляет особых требований к коэффициенту отражения "поглощающего" ЛИ, при этом в случае зеркального АТП возможности измерения мощных ЛИ расширяются.In FIG. Figure 3 shows a variant of the use of LI ATP with a significant reflection coefficient 1, including mirror ATP. In this case, taking into account the safety requirements, the radiation reflected from the laser radiation should be “canceled”. In this example, the incidence angle of about 45 ^{o is} realized, and the reflected beam is “extinguished” in trap 3. This LI application is more universal, because It does not impose special requirements on the reflection coefficient of an “absorbing” laser radiation, and in the case of mirror ATP, the possibilities of measuring powerful laser radiation are expanding.

Для осуществления предложенного способа измерения мощности непрерывного лазерного излучения, например мощного технологического CO₂-лазера, необходимо собрать измерительную систему в соответствии с фиг. 1, включающую приемное устройство с широкоапертурным приемником АТП и электронный измеритель амплитудного значения термоЭДС с чувствительностью не менее 10 мкВ. В зависимости от максимальной мощности излучения могут быть использованы "поглощающий" или "зеркальный" АТП с апертурой, превышающей сечение ЛП.To implement the proposed method for measuring the power of continuous laser radiation, for example, a powerful technological CO ₂ laser, it is necessary to assemble a measuring system in accordance with FIG. 1, including a receiving device with a wide-aperture ATP receiver and an electronic meter of the amplitude value of thermoEMF with a sensitivity of at least 10 μV. Depending on the maximum radiation power, an “absorbing” or “mirror” ATP with an aperture exceeding the cross section of the PL can be used.

Оператор включает электронный измерительный блок и приводит его в исходное состояние. Далее оператор вручную располагает приемное устройство в непосредственной близости от ЛП (ориентируясь по ранее сделанным отметкам, например, на оргстекле, кирпиче и т.д.) таким образом, чтобы апертура ЛИ была обращена в сторону лазера. Затем оператор однократно перемещает рукой приемное устройство поперек ЛП так, чтобы ЛИ перемещался в плоскости его приемной поверхности с такой скоростью, при которой время проецирования ЛП на апертуре ЛИ не превышало 0,1 с. На табло электронного блока фиксируется амплитудное значение сигнала приемника излучения, выраженное в единицах мгновенной мощности. Для тех лазеров, которые имеют существенную временную нестабильность уровня мощности, можно получить среднее значение за конкретный промежуток времени, для чего производят до 10 независимых измерений мгновенных значений, а затем вычисляют среднее значение за реальный интервал времени. The operator turns on the electronic measuring unit and brings it to its original state. Next, the operator manually places the receiving device in the immediate vicinity of the medicinal product (focusing on previously made marks, for example, on plexiglass, brick, etc.) so that the aperture of the medical device is facing the laser. Then the operator once moves the receiving device with his hand across the medicinal product so that the medicinal product moves in the plane of its receiving surface at such a speed that the projection time of the medicinal product on the medicinal aperture does not exceed 0.1 s. On the electronic unit board, the amplitude value of the radiation receiver signal, expressed in units of instantaneous power, is recorded. For those lasers that have significant temporal instability of the power level, you can get the average value for a specific period of time, for which up to 10 independent measurements of instantaneous values are performed, and then calculate the average value for a real time interval.

Практически нами был изготовлен действующий макет измерительной системы, состоящей из приемного устройства с широкоапертурным приемником АТП и электронного измерителя амплитудного значения термоЭДС, соединенных между собой гибким электрическим кабелем, позволяющим оператору свободно манипулировать приемным устройством в зоне измеряемого ЛП. В приемном устройстве использовался ЛИ АТП с апертурой 80 мм, изготовленный на основе косонапыленной пленки хрома, с чувствительностью 0,05 мВ/Вт падающей мощности и коэффициентом отражения около 45% охладитель подложки не применялся. Измеритель амплитудного значения термоЭДС был изготовлен на основе полупроводниковых микросхем и имел коэффициент усиления не менее 100 и погрешность не более 5%
Проверка предложенного способа измерения мощности ЛИ проводилась на технологическом CO₂-лазере ТЛ-1,5, выпускаемом НИЦ ТЛ РАН. Измерения проводились на дискретных уровнях мощности, на основе "поглощающего" приемника АТП совместно с частично прозрачным высокоотражающим задним резонаторным зеркалом /10/, имеющего погрешность измерения не более 10% На каждом уровне мощности делалось по 5-7 независимых измерений мгновенной мощности. Результаты приведены в таблице.In practice, we made a working model of the measuring system, consisting of a receiving device with a wide-aperture ATP receiver and an electronic meter of the amplitude value of thermoEMF, interconnected by a flexible electric cable, allowing the operator to freely manipulate the receiving device in the area of the measured drug. The receiving device used LI ATP with an aperture of 80 mm, made on the basis of an oblique chromium film, with a sensitivity of 0.05 mV / W of incident power and a reflection coefficient of about 45%, the substrate cooler was not used. The thermoEMF amplitude meter was made on the basis of semiconductor microcircuits and had a gain of at least 100 and an error of not more than 5%
Verification of the proposed method for measuring the power of LI was carried out on the technological CO ₂ laser TL-1.5, manufactured by the SIC TL RAS. The measurements were carried out at discrete power levels, on the basis of the “ATP” absorbing receiver together with a partially transparent highly reflective rear resonator mirror / 10 /, with a measurement error of no more than 10%. At each power level, 5-7 independent instantaneous power measurements were made. The results are shown in the table.

Разброс показаний макета относительно показаний встроенного измерителя средней мощности находится в интервале ±10% что, по нашему мнению, определяется совокупной погрешностью как встроенного измерителя мощности, так и испытываемого макета. Испытания показали, что пленочный приемник излучений АТП, имеющий в непрерывном режиме эксплуатации с охладителем предельную нагрузочную характеристику около 100 Вт/см², может успешно применяться в предложенном способе измерения мощности непрерывного ЛИ без охладителя при плотности мощности по крайней мере 0,5 кВт/см². По сравнению с прототипом время проведения измерения существенно уменьшилось из-за отсутствия установочных и юстировочных подготовительных операций, что обеспечило экспрессность измерений не более 3 мин. По причине отсутствия ответвителей, установочных и сканирующих устройств предложенный способ имеет явное преимущество в простоте, а следовательно, и в стоимости.The scatter of the layout readings relative to the readings of the built-in average power meter is in the range of ± 10%, which, in our opinion, is determined by the combined error of both the built-in power meter and the tested layout. Tests have shown that a film ATP radiation receiver, having a continuous load characteristic of about 100 W / cm ² in continuous operation with a cooler, can be successfully used in the proposed method for measuring the power of a continuous laser radiation without a cooler at a power density of at least 0.5 kW / cm ² . Compared with the prototype, the measurement time was significantly reduced due to the lack of installation and adjustment preparatory operations, which ensured the expressness of measurements no more than 3 minutes. Due to the lack of couplers, installation and scanning devices, the proposed method has a clear advantage in simplicity, and therefore in cost.

Источники информации
1. Голубев В.С. Лебедев Ф.В. Инженерные основы создания технологических лазеров. М. Высшая школа, 1988.Sources of information
1. Golubev V.S. Lebedev F.V. Engineering fundamentals of creating technological lasers. M. High School, 1988.

2. Иващенко П.А. Калинин Ю.А. Морозов Б.Н. Измерение параметров лазеров. М. Изд-во стандартов, 1982, с. 86. 2. Ivashchenko P.A. Kalinin Yu.A. Morozov B.N. Measurement of laser parameters. M. Publishing House of Standards, 1982, p. 86.

3. Авторское свидетельство N 1717973 А1, кл. G O1 J 5/00, 1992. 3. Copyright certificate N 1717973 A1, cl. G O1 J 5/00, 1992.

4. Ишанин Г. Г. и др. Проходной измеритель средней мощности технологического лазера. В сб. Тепловые приемники излучения. Тез. докл. М. 1988. 4. Ishanin G. G. et al. Continuous meter of average power of a technological laser. On Sat Thermal radiation detectors. Thes. doc. M. 1988.

5. Hidemi Tukahashi, Minoru Kimura, Reifi Sano //Appl. Opt. 1989, Vol. 28, N 9, p.1727. 5. Hidemi Tukahashi, Minoru Kimura, Reifi Sano // Appl. Opt. 1989, Vol. 28, No. 9, p. 1727.

6. Абильсиитов Г. Г. и др. Технологические лазеры. Справочник. Т.2. М. Машиностроение, 1991, с. 411. 6. Abilciitov G. G. et al. Technological lasers. Directory. T.2. M. Engineering, 1991, p. 411.

7. Ухлинов Г. А. и др. Пленочные анизотропные датчики излучения. ОМП, 1985, с. 50. 7. Ukhlinov G. A. et al. Film anisotropic radiation sensors. WMD, 1985, p. fifty.

8. Андреев В.И. и др. Малоинерционный неохлаждаемый приемник импульсного лазерного излучения //Квантовая электроника. 1985, т. 12, N 6. 8. Andreev V.I. et al. Low-inertial uncooled receiver of pulsed laser radiation // Quantum Electronics. 1985, vol. 12, No. 6.

9. Глебов В. Н. и др. Зеркальный термоэлектрический приемник лазерного излучения //Изв. РАН. Сер. физическая, 1993, т. 53, N 12, с. 167. 9. Glebov V. N. and others. Mirror thermoelectric receiver of laser radiation // Izv. RAS. Ser. physical, 1993, v. 53, N 12, p. 167.

10. Андреев В.И. и др. Управление технологическим лазерным пучком с помощью встроенного квадратного преобразователя излучения АТП. В сб. Применение лазеров в народном хозяйстве. Тез. докл. Шатура, 1989, с. 241. 10. Andreev V.I. et al. Control of a technological laser beam using the built-in square ATP radiation converter. On Sat The use of lasers in the national economy. Thes. doc. Shatura, 1989, p. 241.

Claims

A method for measuring the power of continuous laser radiation, including spatio-temporal attenuation of the latter by moving a wide-aperture radiation detector across the laser beam and measuring the amplitude value of the radiation signal of the radiation, characterized in that a film anisotropic thermocouple is used as a radiation receiver, which is once, mainly in manual mode are moved in the plane of its receiving surface at such a speed that the laser projection time o the beam at the aperture of the radiation receiver does not exceed 0.1 s.