RU2051940C1 - Иммерсионная жидкость - Google Patents
Иммерсионная жидкость Download PDFInfo
- Publication number
- RU2051940C1 RU2051940C1 RU93032472A RU93032472A RU2051940C1 RU 2051940 C1 RU2051940 C1 RU 2051940C1 RU 93032472 A RU93032472 A RU 93032472A RU 93032472 A RU93032472 A RU 93032472A RU 2051940 C1 RU2051940 C1 RU 2051940C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- water
- immersion liquid
- iodide
- zinc
- liquid
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Использование: в прикладной химии и оптическом приборостроении для контроля оптических параметров неорганических материалов. Сущность изобретения: иммерсионная жидкость содержит, мас.%: иодид цинка 40 - 89; вода остальное; дополнительно может содержать 5 мас.% иодида кадмия. 1 з. п. ф-лы, 1 табл.
Description
Изобретение относится к прикладной химии и может быть использовано в качестве иммерсионной жидкости в оптическом приборостроении для контроля оптических параметров неорганических материалов.
Известны иммерсионные жидкости: кедровое масло, водный раствор глицерина, вазелин, вода, керосин и монобромнафталин [1]
Кедровое масло, водный раствор глицерина и вазелин имеют низкий показатель преломления и плохо смываются водой.
Кедровое масло, водный раствор глицерина и вазелин имеют низкий показатель преломления и плохо смываются водой.
Иммерсионные жидкости на основе монобромнафталина и керосина имеют показатели преломления, близкие к предлагаемой иммерсионной жидкости (nD 1,455-1,658). Однако иммерсионная жидкость на основе керосина пожароопасна и плохо смывается водой. Жидкость на основе монобромнафталина обладает очень неприятным, дурманящим устойчивым запахом, который продолжительное время сохраняется в рабочем помещении, а также пожароопасна. Кроме того, бром в настоящее время является дефицитным материалом.
Наиболее близким техническим решением является иммерсионная жидкость для оптических исследований, содержащая, мас. иодид калия 40-43; иодид кадмия 40-42; хлорид цинка 1-2 и вода остальное [2] Эта жидкость удобна в эксплуатации, так как не имеет запаха и позволяет получать показатель преломления (nD) 1,62-1,33, но не позволяет получать более высокие nD. Кроме того, тяжелые соли кадмия канцерогенны и вызывают необратимые изменения в организме, к тому же кадмий дефицитный, редкий, дорогой металл.
Целью изобретения является уменьшение токсичности, стоимости и увеличение диапазона изменения показателя преломления иммерсионной жидкости.
Сущность изобретения заключается в том, что иммерсионная жидкость для контроля оптических параметров содержит, мас. иодид цинка 40-89 и вода остальное, дополнительно она содержит 5 мас. иодида кадмия.
Иммерсионная жидкость малотоксична, не имеет запаха, легко смывается водой, слабо испаряется. Исходные компоненты не дефицитны. Кроме того, на основе иодида цинка можно приготовить ряд иммерсионных жидкостей с различными показателями преломления.
В качестве исходных компонентов для приготовления иммерсионной жидкости используют цинк гранулированный чдa ТУ 6.09-5294-86, иод кристаллический ГОСТ 4159-79.
П р и м е р 1. В колбу емкостью 1000 мл вносят 90 мл воды и гранулы цинка, чтобы цинк пронизывал большую часть воды, затем добавляют 32 г иода и колбу ставят в холодную (10-15оС) воду. Реакция начинается через 4-6 мин и проходит с выделением тепла. По окончании реакции охлаждают смесь до первоначальной температуры, затем добавляют следующую порцию иода и повторяют процедуру. После окончания реагирования последней порции воды в колбу дополнительно вносят цинк и нагревают на водяной бане до обесцвечивания. Затем жидкость охлаждают и фильтруют. Максимальное содержание иодида цинка в воде при 18оС составляет 82% что соответствует nD 1.634. При содержании иодида цинка менее 40 мас. происходит сильное расслоение жидкости в поле тяжести, что приводит к изменению nD по высоте и приводит к невозможности использования на практике.
П р и м е р 2. В приготовленную по примеру 1 иммерсионную жидкость добавляют 5 мас. порошка CdI2, перемешивают и при 20оС замеряют nD 1,617. Оставляют в этих условиях раствор на неделю, затем вновь замеряют nD 1,621.
Состав иммерсионной жидкости дан в таблице (значения количеств компонентов приведены при температуре 18оС).
Предлагаемая иммерсионная жидкость предназначена для контроля отдельных оптических параметров неорганических материалов (бессвильность, пузырность, включения). Контроль осуществляется в стационарных условиях при температуре 18оС. Иммерсионная жидкость мало токсична, имеет высокий показатель преломления и относительно дешевая.
Claims (1)
1. ИММЕРСИОННАЯ ЖИДКОСТЬ для контроля оптических параметров неорганических материалов, содержащая йодид металла и воду, отличающаяся тем, что в качестве йодида металла она содержит йодид цинка при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Йодид цинка - 40 - 89
Вода - Остальное
2. Жидкость по п.1, отличающаяся тем, что она дополнительно содержит 5 мас.% йодида кадмия.
Йодид цинка - 40 - 89
Вода - Остальное
2. Жидкость по п.1, отличающаяся тем, что она дополнительно содержит 5 мас.% йодида кадмия.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93032472A RU2051940C1 (ru) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | Иммерсионная жидкость |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93032472A RU2051940C1 (ru) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | Иммерсионная жидкость |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2051940C1 true RU2051940C1 (ru) | 1996-01-10 |
RU93032472A RU93032472A (ru) | 1996-02-27 |
Family
ID=20143688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU93032472A RU2051940C1 (ru) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | Иммерсионная жидкость |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2051940C1 (ru) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1606670A2 (en) * | 2003-03-04 | 2005-12-21 | Pixelligent Technologies LLC, | Applications of semiconductor nano-sized particles for photolithography |
WO2007001848A2 (en) * | 2005-06-24 | 2007-01-04 | Sachem, Inc. | High refractive index fluids with low absorption for immersion lithography |
EP1557721A3 (en) * | 2004-01-23 | 2007-06-06 | Air Products And Chemicals, Inc. | Immersion lithography fluids |
US7879531B2 (en) | 2004-01-23 | 2011-02-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Immersion lithography fluids |
RU2535065C2 (ru) * | 2012-07-25 | 2014-12-10 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения Всероссийского научного центра "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" (ОАО "НИТИОМ ВНЦ "ГОИ им. С.И. Вавилова") | Иммерсионная жидкость |
US8993221B2 (en) | 2012-02-10 | 2015-03-31 | Pixelligent Technologies, Llc | Block co-polymer photoresist |
RU2729264C1 (ru) * | 2020-01-09 | 2020-08-05 | Общество с ограниченной ответственностью "Зенит Фотоникс" (ООО "ЗФ") | Органо-неорганическая композиция |
-
1993
- 1993-06-22 RU RU93032472A patent/RU2051940C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Физический энциклопедический словарь, т.2, М.: Советская энциклопедия, 1962, стр.159-160. Авторское свидетельство СССР N 948994, кл. C 09K 3/00, 1982. * |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9207538B2 (en) | 2003-03-04 | 2015-12-08 | Pixelligent Technologies, Llc | Applications of semiconductor nano-sized particles for photolithography |
EP1606670A2 (en) * | 2003-03-04 | 2005-12-21 | Pixelligent Technologies LLC, | Applications of semiconductor nano-sized particles for photolithography |
EP1606670A4 (en) * | 2003-03-04 | 2009-08-05 | Pixelligent Technologies Llc | APPLICATIONS FOR SEMICONDUCTOR NANOPARTICLES IN PHOTOLITHOGRAPHY |
EP2762976A1 (en) * | 2004-01-23 | 2014-08-06 | Air Products And Chemicals, Inc. | Use of immersion liquids |
EP1557721A3 (en) * | 2004-01-23 | 2007-06-06 | Air Products And Chemicals, Inc. | Immersion lithography fluids |
US7879531B2 (en) | 2004-01-23 | 2011-02-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Immersion lithography fluids |
US8007986B2 (en) | 2004-01-23 | 2011-08-30 | Air Products And Chemicals, Inc. | Immersion lithography fluids |
WO2007001848A3 (en) * | 2005-06-24 | 2007-06-28 | Sachem Inc | High refractive index fluids with low absorption for immersion lithography |
WO2007001848A2 (en) * | 2005-06-24 | 2007-01-04 | Sachem, Inc. | High refractive index fluids with low absorption for immersion lithography |
US8993221B2 (en) | 2012-02-10 | 2015-03-31 | Pixelligent Technologies, Llc | Block co-polymer photoresist |
RU2535065C2 (ru) * | 2012-07-25 | 2014-12-10 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения Всероссийского научного центра "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" (ОАО "НИТИОМ ВНЦ "ГОИ им. С.И. Вавилова") | Иммерсионная жидкость |
RU2729264C1 (ru) * | 2020-01-09 | 2020-08-05 | Общество с ограниченной ответственностью "Зенит Фотоникс" (ООО "ЗФ") | Органо-неорганическая композиция |
RU2729264C9 (ru) * | 2020-01-09 | 2020-09-16 | Общество с ограниченной ответственностью "Зенит Фотоникс" (ООО "ЗФ") | Органо-неорганическая композиция |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2051940C1 (ru) | Иммерсионная жидкость | |
US4205151A (en) | Polymeric N-substituted maleimide antioxidants | |
GB1092450A (en) | Hydroxybenzophenones containing sulphonic acid groups, their preparation and use thereof | |
EP0442768A2 (fr) | Vitrage résistant au feu et procédé de fabrication | |
CA1097072A (en) | Halogenated organic compound with metal fuel and silver iodate as pyrotechnic cloud seeding composition | |
RU2098446C1 (ru) | Теплоаккумулирующий материал | |
US4983464A (en) | Anti-fire glazing | |
Wright | Latent heat of vaporisation and composition | |
ATE21385T1 (de) | Hydroxylamin-derivate, verfahren zur ihrer herstellung, ihre anwendung als wachstumfaktoren fuer gemuese und sie enthaltende zusammensetzungen. | |
EP0146304A1 (en) | Heat storage material | |
US4055581A (en) | Heat and light stabilizers for halogen containing polymeric resins | |
McKenna et al. | Studies of hemiacetal formation in alcohol-aldehyde systems. I. Cryoscopic studies | |
CA1288236C (en) | Latent heat store | |
Takamuku et al. | X-ray diffraction and Raman spectroscopic studies on supercooled and glassy aqueous zinc (II) iodide solutions | |
ES477214A1 (es) | Un procedimiento para preparar nuevas 2,7-dinitronilinas. | |
US2514688A (en) | Stabilization of 3, 4-dihydro-1, 2-pyran-2-carboxaldehyde | |
US3236611A (en) | Fire lighter composition | |
US3719509A (en) | Method of stabilizing polymeric organic compositions with 3',5'-dibromo-2'-hydroxyacetophenone | |
RU2648676C2 (ru) | Растопочно-обогревающее средство | |
JPH10219265A (ja) | 簡易ゲル燃料組成物 | |
RU2070911C1 (ru) | Теплоаккумулирующий материал | |
RU2567921C1 (ru) | Теплоаккумулирующий материал | |
JPS572226A (en) | Trans-4-alkyl-4'-halogenophenylcyclohexane | |
RU2158221C2 (ru) | Полиэдрические клозо-гидробораты хитозана и способ их получения | |
RU2784050C1 (ru) | Теплоаккумулирующий состав на основе эвтектической смеси пентагидрата тиосульфата натрия и тригидрата ацетата натрия |