RU2041576C1 - Способ очистки поверхности подложек радиоэлектронных изделий - Google Patents

Способ очистки поверхности подложек радиоэлектронных изделий Download PDF

Info

Publication number
RU2041576C1
RU2041576C1 SU5027946A RU2041576C1 RU 2041576 C1 RU2041576 C1 RU 2041576C1 SU 5027946 A SU5027946 A SU 5027946A RU 2041576 C1 RU2041576 C1 RU 2041576C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrates
cleaning
articles
pressure
processing
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Борис Сергеевич Алаев
Сергей Борисович Алаев
Геннадий Иванович Касьянов
Александр Васильевич Пехов
Борис Федорович Колесников
Валерий Борисович Грузиненко
Олег Иванович Квасенков
Original Assignee
Борис Сергеевич Алаев
Сергей Борисович Алаев
Геннадий Иванович Касьянов
Александр Васильевич Пехов
Борис Федорович Колесников
Валерий Борисович Грузиненко
Олег Иванович Квасенков
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Борис Сергеевич Алаев, Сергей Борисович Алаев, Геннадий Иванович Касьянов, Александр Васильевич Пехов, Борис Федорович Колесников, Валерий Борисович Грузиненко, Олег Иванович Квасенков filed Critical Борис Сергеевич Алаев
Priority to SU5027946 priority Critical patent/RU2041576C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2041576C1 publication Critical patent/RU2041576C1/ru

Links

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

Использование: изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к очистке радиоэлектронных изделий перед герметизацией. Сущность изобретения: способ включает обработку изделий растворителем в виде сжиженного газа из ряда метан, этан, пропан, бутан, двуокись углерода, аммиак или их смесь. Способ позволяет повысить надежность изделий, упростить технологию, улучшить условия труда и повысить адгезию к поверхности обработанных изделий за счет исключения набухания, улучшения смачиваемости и удаления всех видов загрязнений.

Description

Изобретение относится к технологии повышения эксплуатационной надежности радиоэлектронного оборудования, в частности к очистке поверхностей подложек перед герметизацией.
Известен способ очистки поверхности подложек радиоэлектронных изделий, включающий их обработку жидким растворителем из ряда: метиловый спирт, этиловый спирт, хлороформ, хлористый метилен, трихлорэтилен, трихлорэтан, перхлорэтилен, тетрахлорэтан, трихлорметан, вода, ацетон, окттанэтил, бензол, ксилол, бензин, трихлорфторэтан, трихлорфторметан, трихлортрифторэтан, растворы фреонов в перечисленных растворителях или их смесей и сушку подложек.
Недостатками этого способа являются набухание некоторых материалов радиоэлектронных изделий, в частности полимерных, и снижение к ним адгезии, а также токсичность и/или пожароопасность и/или взрывоопасность сушки из-за химического состава растворителей.
Наиболее близким к предлагаемому является способ очистки поверхностей подложек радиоэлектронных изделий, включающий их обработку сжиженным газом из ряда фреонов и сушку подложек.
Этот способ позволяет исключить ряд недостатков предыдущего, но сохраняет высокую токсичность используемых растворителей и их экологическую вредность за счет влияния на озоновый слой атмосферы.
В предлагаемом способе очистки поверхностей подложек радиоэлектронных изделий, включающем их обработку сжиженным газом и сушку подложек, согласно изобретению в качестве сжиженного газа используют газ из ряда: метан, этан, пропан, бутан, двуокись углерода, аммиак или их смесь, причем обработку проводят при давлении выше атмосферного.
Это позволяет снизить токсичность используемых растворителей и исключить экологически вредные выбросы.
Способ реализуется следующим образом.
Радиоэлектронные изделия, требующие очистки, загружают в герметичную емкость и обрабатывают сжиженным газом из ряда: метан, этан, пропан, бутан, двуокись углерода, аммиак или их смесью. Обработку осуществляют заливкой или непрерывным потоком растворителя при температуре, близкой к температуре окружающей среды, и давлении выше атмосферного, которое обеспечивает жидкое состояние используемого растворителя при температуре обработки. Верхний предел давления с точки зрения достижения технического результата не может быть ограничен каким-либо конкретным значением. Разумным пределом давления является предел прочности обрабатываемых подложек при трехстороннем сжатии. Сочетание температуры и давления обработки выбирается также с учетом известных уравнений теплового баланса, по которым определяют нижний предел температуры обработки, исключающий переход остатков растворителя при сбросе давления в твердое фазовое состояние, который может вызвать коробление изделия. Практически получаемые по этим уравнениям значения нижнего предела температуры обработки при технически достижимых максимальных величинах давления лежат в области отрицательных температур или в области температур, близких к 0оС, поэтому при проведении обработки подложек в производственных помещениях, температурные условия в которых соответствуют комфортным, проведение такого расчета нецелесообразно. Используемые растворители легко смывают жирорастворимые загрязнения, синтетические и минеральные масла. Нерастворимые загрязнения легко пропитываются используемыми растворителями. Элементы радиоэлектронных изделий используемые растворители не впитывают и не набухают. После завершения обработки растворитель удаляют из емкости и сбрасывают давление до атмосферного, после чего растворитель, оставшийся на изделиях и впитавшийся в нерастворимые загрязнения, вскипает при падении давления до атмосферного, поскольку при нормальных условиях имеет газовое фазовое состояние. Вскипание растворителя, происходящее с резким увеличением объема приводит к удалению с подложек нерастворимых загрязнений типа окисных соединений и высушиванию изделий без дополнительного энерговвода и температурного воздействия, способного вызвать их коробление. Подложки радиоэлектронных изделий после такой обработки очищаются от всех видов загрязнений. Предельно допустимые концентрации используемых растворителей в производственных помещениях по санитарным нормам и правилам больше, чем растворителей, используемых по известному способу в 10-500 раз, причем они не оказывают влияния на озоновый слой атмосферы и экологически безвредны.
П р и м е р 1. Блок кварцевого резонатора с резонансной частотой 75 МГц после монтажа перед герметизацией обрабатывают в герметичной емкости потоком жидкой двуокиси углерода при температуре 20оС и давлении 6,5 МПа. После герметизации резонатор отработал без сбоев на 3% дольше, чем после обработки по известному способу.
П р и м е р 2. Проведена очистка той же подложки аналогично примеру 1, но с использованием жидкого этана при температуре 18оС и давлении 5,9 МПа. Результат тот же.
П р и м е р 3. Проведены технологические операции с тем же изделием аналогично примеру 1, но с использованием жидкого метана при давлении 15 МПа и температуре 25оС. Результат тот же.
П р и м е р 4. Проведена обработка того же изделия аналогично примеру 1, но с использованием жидкого пропана при давлении 1 МПа и температуре 12оС. После герметизации резонатор отработал без сбоев на 6,1% дольше, чем после обработки по известному способу.
П р и м е р 5. Проведена обработка того же изделия аналогично примеру 1, но с использованием жидкого бутана при давлении 150 кПа и температуре 13оС. Результат аналогичен примеру 1.
П р и м е р 6. Проведена обработка того же изделия аналогично примеру 1, но с использованием жидкого аммиака при давлении 10 МПа и температуре 27оС. После герметизации резонатор отработал без сбоев на 6,3% дольше, чем после обработки по известному способу.
П р и м е р 7. Проведена обработка того же изделия аналогично примеру 1, но с использованием смеси жидкой двуокиси углерода с жидким аммиаком в соотношении по массе 4:5 при давлении 100 МПа и температуре 21оС. После герметизации резонатор отработал без сбоев на 10,9% дольше, чем после обработки по известному способу.
Таким образом, предлагаемый способ позволяет очистить подложки радиоэлектронных изделий с использованием менее токсичных и экологически безвредных растворителей без снижения эксплуатационной надежности очищаемых изделий.

Claims (1)

  1. СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ ИЗДЕЛИЙ, включающий их обработку сжиженным газом и сушку, отличающийся тем, что в качестве сжиженного газа используют газ из ряда метан, этан, пропан, бутан, диоксид углерода, аммиак или их смесь, причем обработку проводят при давлении выше атмосферного.
SU5027946 1992-02-17 1992-02-17 Способ очистки поверхности подложек радиоэлектронных изделий RU2041576C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5027946 RU2041576C1 (ru) 1992-02-17 1992-02-17 Способ очистки поверхности подложек радиоэлектронных изделий

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5027946 RU2041576C1 (ru) 1992-02-17 1992-02-17 Способ очистки поверхности подложек радиоэлектронных изделий

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2041576C1 true RU2041576C1 (ru) 1995-08-09

Family

ID=21597206

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU5027946 RU2041576C1 (ru) 1992-02-17 1992-02-17 Способ очистки поверхности подложек радиоэлектронных изделий

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2041576C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2807567C1 (ru) * 2023-04-21 2023-11-16 Акционерное общество "Научно-производственный центр "Алмаз-Фазотрон" Способ очистки водосмываемого флюса с плат с монтажом безвыводных микросхем

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Виды и особенности соединительных материалов, Добаси Иосикадзу Денси Гидзюцу, ELEKTRON ENG, 1986, 28, N 16 р.107-117. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2807567C1 (ru) * 2023-04-21 2023-11-16 Акционерное общество "Научно-производственный центр "Алмаз-Фазотрон" Способ очистки водосмываемого флюса с плат с монтажом безвыводных микросхем

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1224351B1 (en) Cleaning system utilizing an organic cleaning solvent and a pressurized fluid solvent
US5759209A (en) Cleaning with liquid gases
EP0572913A1 (en) Continuous operation supercritical fluid treatment process and system.
CA2002066A1 (en) Cleaning process using phase shifting of dense phase gases
US6051421A (en) Continuous processing apparatus and method for cleaning articles with liquified compressed gaseous solvents
WO1984002291A1 (en) Method of cleaning articles using super-critical gases
US5073291A (en) Novel azeotrope-type solvent mixture of methanol and 1,4-dihydroperfluorobutane and process for cleaning electronic components with the aid of the same
US6783602B2 (en) Multistep single chamber parts processing method
RU2041576C1 (ru) Способ очистки поверхности подложек радиоэлектронных изделий
KR960030980A (ko) 삼불화질소 희석물에 의한 열세정 방법
MXPA05006556A (es) Composiciones y metodos para limpiar articulos contaminados.
US4260510A (en) Cleaning composition
EP0624405A1 (en) Megasonic cleaning system using compressed, condensed gases
US4268407A (en) Cleaning composition
WO1997048788A2 (en) Azeotrope-like compositions of 1,1,1,3,3-pentafluoropropane and c1-c3 alcohols
US5266232A (en) Azeotrope-like mixture of methanol and 1H-perfluorohexane
US5087386A (en) Fluorine-containing alcohol-based dehydrating agent and method of drying articles
JPH04227799A (ja) 1,1,1,2,2−ペンタフルオロ−3,3−ジクロルプロパンおよびメチルt−ブチルエーテルに基づく清浄用組成物
AU726709B2 (en) Cleaning or drying compositions based on 1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-decafluoropentane
KR20070042157A (ko) 증착, 세정, 탈지 및 건조 적용에 이용되는,1,1,1,3,3-펜타플루오로부탄으로 만들어진 조성물
AU710688B2 (en) Decafluoropentane compositions
WO1994020601A1 (en) Process for producing clean article
US4965011A (en) Azeotrope-like compositions of 1,1-dichloro-1-fluoroethane, dichlorotrifluoroethane, and nitromethane
GB2046292A (en) Cleaning composition
GB2033422A (en) Solvent Cleaning Composition