RU2030087C1 - Пьезоэлектрический двигатель - Google Patents

Пьезоэлектрический двигатель Download PDF

Info

Publication number
RU2030087C1
RU2030087C1 SU4811805A RU2030087C1 RU 2030087 C1 RU2030087 C1 RU 2030087C1 SU 4811805 A SU4811805 A SU 4811805A RU 2030087 C1 RU2030087 C1 RU 2030087C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric
packet
elements
supporting elements
housing
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
В.И. Бойков
С.В. Быстров
А.В. Смирнов
М.С. Чежин
Original Assignee
Санкт-Петербургский институт точной механики и оптики
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Санкт-Петербургский институт точной механики и оптики filed Critical Санкт-Петербургский институт точной механики и оптики
Priority to SU4811805 priority Critical patent/RU2030087C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2030087C1 publication Critical patent/RU2030087C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Использование: в робототехнике, станкостроении, оптике. Сущность изобретения: пьезоэлектрический двигатель содержит пьезопакет, состоящий из набора пьезоэлектрических пластин, поляризованных по толщине, соединенных механически последовательно, и зажатый между опорными элементами, сопряженными с осевым отверстием в пьезопакете. Опорные элементы выполнены со сферической боковой поверхностью. Элементы устройства удовлетворяют соотношению αоп = αп- (Lαп+lαк)+tgβ/Do, где αп, αк - температурные коэффициенты расширения материала соответственно пьезопакета и выступающих за него частей корпуса и элемента стыковки с объектом перемещения; L и I - соответственно длины пьезопакета и выступающих за него частей корпуса и элемента стыковки с объектом перемещения; Do - диаметр отверстия в пьезопакете; β - угол между осью устройства и касательной к сферической поверхности опорных элементов проведенной через точку соприкосновения этой поверхности с кромкой осевого отверстия в пьезопакете. 1 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам точной механики может быть использовано в робототехнике, станкостроении, оптике.
Известен пьезоэлектрический двигатель в виде пьезопакета из соединенных механически последовательно, а электрически параллельно поляризованных по толщине пьезоэлектрических пластин [1]. Недостатки этого двигателя - малая чувствительность и диапазон перемещений, температурная нестабильность.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению является выбранный в качестве прототипа пьезоэлектрический двигатель, содержащий пьезопакет из соединенных механически последовательно, а электрически параллельно поляризованных по толщине пьезопластин, зажатый между опорными элементами с конической внешней поверхностью, сопряженными с осевым отверстием, выполненным в пьезопакете [2].
Недостатки данного двигателя - сложность изготовления высокоточных опорных элементов с конической боковой поверхностью и температурная нестабильность.
Цель изобретения - повышение технологичности конструкции и температурной стабильности.
На чертеже показан вариант конструкции пьезоэлектрического двигателя.
Двигатель состоит из пьезопакета 1 с осевым отверстием 2, с которым сопряжены опорные элементы 3 и 4 со сферическими внешними поверхностями. Опорный элемент 3 связан с упругим корпусом 5, а опорный элемент 4 - с винтом 6, обеспечивающим зажатие пьезопакета 1 между опорными элементами 2 и 4.
Устройство работает следующим образом.
На пьезопакет 1 подается управляющее напряжение, в результате чего пакет удлиняется по оси и сжимается по диаметру. Уменьшение диаметра отверстия 2 в пьезопакете 1 приводит при этом к выжиманию опорных элементов 3 и 4 из отверстия 2 благодаря сферической форме их поверхностей. При изменении знака управляющего напряжения пьезопакет 1 уменьшается в длину и расширяется по диаметру. Увеличение при этом диаметра отверстия 2 приводит к тому, что опорные элементы 3 и 4 входят в него под действием упругого корпуса 5. Величина дополнительного смещения пьезодвигателя определяется соотношением
ΔZ =
Figure 00000001
_
Figure 00000002

(1) где D - диаметр сферы опорных элементов 3 и 4; d - диаметр отверстия 2 в пьезопакете 1; Δd - изменение диаметра d под действием управляющего напряжения.
При малых по сравнению с D и d величинах Δd выражение (1) упрощается
ΔZ ≈ Δd/tgβ, (2) где β - угол между осью устройства и касательной к сферической поверхности опорных элементов 3 и 4, проведенной через точку соприкосновения этой поверхности с кромкой отверстия 2.
При D и Δd, имеющих величину больше 10 мм, и угле β, лежащем в диапазоне 25 - 40о, расхождения между результатами по формулам (1) и (2) не превышают 1 - 2%.
При изменении температуры, например при повышении, увеличивается как длина пьезопакета 1, так и диаметр отверстия 2. При этом опорные элементы 3 и 4 втягиваются в отверстие 2 под действием упругости корпуса 5, так как их ТКР меньше, чем у материала пьезопакета 1, что приводит к компенсации линейного температурного расширения пьезодвигателя. При снижении температуры процесс идет в обратном направлении. Изменение диаметра отверстия 2 при изменении температуры на Δ t
Δ dпт = d αп Δ t, где αп - ТКР материала пьезопакета 1.
Изменение диаметра опорных элементов 3 и 4
Δdот=dαопΔt, где αоп - ТKР материала опорных элементов 3 и 4.
Изменение длины устройства за счет изменения диаметров пьезопакета 1 и опорных элементов 3 и 4
ΔL =
Figure 00000003
-
Figure 00000004
≈ -(Δdпт-Δdот)/tgβ
Изменение длины устройства за счет продольного расширения пьезопакета 1 при нагреве
ΔLп = L αп Δt, где L - длина пьезопакета 1.
Изменение длины устройства за счет выступающих справа и слева от пьезопакета 1 частей пьезодвигателя суммарной длиной l и с ТКР αк
ΔLк = l αк Δ t.
При полной компенсации температурной деформации устройства ΔL+ΔLп+ΔLк= 0, следовательно
β = arctg
Figure 00000005

Диаметр сферы D опорных элементов 3 и 4, соответствующий такому β, D = d/cos β .
Опорные элементы 3 и 4 могут быть изготовлены из инвара или плавленного кварца.
Таким образом, заявляемое устройство позволяет упростить изготовление пьезодвигателя при большом диапазоне перемещений и снизить температурные погрешности, вызванные температурной деформацией как пьезопакета, так и выступающих частей корпуса, а также элементов, подключенных к пьезодвигателю.

Claims (1)

  1. ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ДВИГАТЕЛЬ, содержащий пьезопакет, состоящий из набора пьезокерамических пластин, поляризованных по толщине, зажатый в корпусе между опорными элементами, сопряженными с осевым отверстием, выполненным в пьезопакете, и элемент стыковки с объектом перемещения, отличающийся тем, что, с целью повышения температурной стабильности при улучшении технологичности, опорные элементы выполнены со сферической боковой поверхностью, а параметры элементов устройства удовлетворяют соотношению
    Figure 00000006

    где αп, αк - температурные коэффициенты расширения материала соответственно пьезопакета и выступающих за него частей корпуса и элемента стыковки с объектом перемещения;
    L и l - соответственно длина пьезопакета и выступающих за него частей корпуса и элемента стыковки с объектом перемещения;
    Dо - диаметр отверстия в пьезопакете;
    β - угол между осью устройства и касательной к сферической поверхности опорных элементов, проведенный через точку соприкосновения этой поверхности с кромкой осевого отверстия в пьезопакете.
SU4811805 1990-04-09 1990-04-09 Пьезоэлектрический двигатель RU2030087C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4811805 RU2030087C1 (ru) 1990-04-09 1990-04-09 Пьезоэлектрический двигатель

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4811805 RU2030087C1 (ru) 1990-04-09 1990-04-09 Пьезоэлектрический двигатель

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2030087C1 true RU2030087C1 (ru) 1995-02-27

Family

ID=21506961

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4811805 RU2030087C1 (ru) 1990-04-09 1990-04-09 Пьезоэлектрический двигатель

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2030087C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2764122C2 (ru) * 2017-07-20 2022-01-13 Конинклейке Филипс Н.В. Исполнительная структура и ее способ срабатывания

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Харди Дж.У. Активная оптика. ТИИЭР, 1978, т.66, N 66, с.62, рис.28в. *
2. Авторское свидетельство СССР N 1632321, H 02N 2/00, 1989. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2764122C2 (ru) * 2017-07-20 2022-01-13 Конинклейке Филипс Н.В. Исполнительная структура и ее способ срабатывания

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4726671A (en) High resonance adjustable mirror mount
US5220835A (en) Torsion beam accelerometer
US4850674A (en) Means for keeping an optical lens in a desired position in a lens holder under varying temperature
KR100388348B1 (ko) 전기기계식위치결정기
EP0592030A1 (en) Electromechanical displacement device and actuator suitable for use in such an electromechanical displacement device
SE8206951D0 (sv) Metod foer framstaellning av en piezoelektrisk anordning och en anordning framstaelld med denna metod
DE3218576C2 (de) Piezoelektrisches Stellglied
JP3709847B2 (ja) 静電型アクチュエータ
US4448085A (en) Force transducer
US7392685B2 (en) Accelerometer having adjustable damping
RU2030087C1 (ru) Пьезоэлектрический двигатель
RU2028715C1 (ru) Пьезоэлектрический двигатель
US4181012A (en) Device for converting mechanical quantities into electrical quantities
KR910004259A (ko) 진동자형액추에이터
RU1829863C (ru) Пьезоэлектрический двигатель
KR102363206B1 (ko) 정밀 복원 액츄에이터
Zhang et al. Piezoelectric tubes and 1-3-type tubular composites as tunable actuators and sensors
US4721354A (en) Device for positioning an optical fibre
JPH0434226A (ja) 微小変位装置
SU970129A1 (ru) Дилатометрический датчик температуры
RU2624773C1 (ru) Усиливающий пьезоэлектрический актюатор повышенной точности позиционирования
GB1476583A (en) Fine focus assembly
RU1468343C (ru) Магнитострикционное устройство микроперемещений
JP2631297B2 (ja) 圧電アクチュエーター
SU1520609A1 (ru) Туннельный микроскоп