RU2020108294A - Компонент трубопроводной арматуры с коррозионно-стойким покрытием поверхностей скольжения - Google Patents

Компонент трубопроводной арматуры с коррозионно-стойким покрытием поверхностей скольжения Download PDF

Info

Publication number
RU2020108294A
RU2020108294A RU2020108294A RU2020108294A RU2020108294A RU 2020108294 A RU2020108294 A RU 2020108294A RU 2020108294 A RU2020108294 A RU 2020108294A RU 2020108294 A RU2020108294 A RU 2020108294A RU 2020108294 A RU2020108294 A RU 2020108294A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
underlying layer
thickness
underlying
average concentration
Prior art date
Application number
RU2020108294A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2020108294A3 (ru
Inventor
Андреас ШТАДЛЬБЕРГЕР
Флориан РОВЕРЕ
Оливье ЖАРРИ
Манфред Вурцер
Франц ВИДОВИЦ
Original Assignee
Эрликон Серфис Сольюшнс Аг, Пфеффикон
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эрликон Серфис Сольюшнс Аг, Пфеффикон filed Critical Эрликон Серфис Сольюшнс Аг, Пфеффикон
Publication of RU2020108294A publication Critical patent/RU2020108294A/ru
Publication of RU2020108294A3 publication Critical patent/RU2020108294A3/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0635—Carbides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
    • C23C14/025—Metallic sublayers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0605—Carbon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C23C14/165—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/046—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material with at least one amorphous inorganic material layer, e.g. DLC, a-C:H, a-C:Me, the layer being doped or not
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/048—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material with layers graded in composition or physical properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
    • C23C28/325—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer with layers graded in composition or in physical properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
    • C23C28/341—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with at least one carbide layer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
    • C23C28/343—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with at least one DLC or an amorphous carbon based layer, the layer being doped or not
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0263—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor using particular material or covering means

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Claims (35)

1. Компонент трубопроводной арматуры, содержащий подложку (1), имеющую по меньшей мере одну поверхность (10) скольжения, предназначенную для скольжения по другой поверхности в процессе работы трубопроводной арматуры, причем по меньшей мере на часть поверхности (10) скольжения нанесено покрытие (2), включающее нижележащий слой (21), содержащий вольфрам, и вышележащий слой (22), нанесенный сверху на нижележащий слой (21) и содержащий алмазоподобный углерод (АПУ), отличающийся тем, что
нижележащий слой (21) содержит углерод и толщина слоя составляет по меньшей мере 11 мкм, а
вышележащий слой (22) имеет более низкий коэффициент трения по сравнению с нижележащим слоем (21) и его толщина составляет по меньшей мере 1,5 мкм.
2. Компонент трубопроводной арматуры по п. 1, в котором толщина нижележащего слоя (21) составляет по меньшей мере 12 мкм.
3. Компонент трубопроводной арматуры по п. 1, в котором толщина нижележащего слоя (21) находится в диапазоне от 20 мкм до 30 мкм.
4. Компонент трубопроводной арматуры по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что нижележащий слой (21) содержит WC, нанесенный путем распыления, с использованием технологии ФОПФ (химическое осаждение из паровой фазы), WC-мишеней в вакуумной камере, содержащей аргон и углеродсодержащий газ.
5. Компонент трубопроводной арматуры по п. 4, отличающийся тем, что углеродсодержащий газ представляет собой газообразный ацетилен.
6. Компонент трубопроводной арматуры по п. 1, отличающийся тем, что между покрытием (2) и поверхностью (10) скольжения нанесен Cr-слой в качестве адгезионного слоя (3), и нижележащий слой (21) включает:
- первый нижележащий слой (211), содержащий Сr и WC и сформированный как многослойная структура, включающая первый подслой, нанесенный на адгезионный Cr-слой (3), второй подслой, нанесенный на первый подслой, и третий подслой, нанесенный на второй подслой,
причем, если в первом нижележащем слое (211) рассматривать только содержание Сr и WC, то:
первый подслой представляет собой градиентный слой, в котором средняя концентрация Сr снижается, а средняя концентрация WC повышается по его толщине в направлении внешнего слоя, при этом исходная средняя концентрация Сr равна 100 атомн. %, а исходная средняя концентрация WC равна 0 атомн. %;
второй подслой содержит Сr и WC с постоянными средними концентрациями по его толщине; и
третий подслой представляет собой градиентный слой, в котором средняя концентрация Сr снижается, а средняя концентрация WC повышается по его толщине в направлении внешнего слоя, при этом конечная средняя концентрация Сr равна 0 атомн. %, а конечная средняя концентрация WC равна 100 атомн. %,
- второй нижележащий слой (212), нанесенный на первый нижележащий слой (211), содержащий WC+С или WC+С+Н;
- третий нижележащий слой (213), нанесенный на второй нижележащий слой (212) как градиентный слой, в котором средняя концентрация WC снижается по его толщине до конечной средней концентрации 0 атомн. %; и
- вышележащий АПУ-слой (22).
7. Способ изготовления компонента трубопроводной арматуры, содержащего подложку (1), имеющую по меньшей мере одну поверхность (10) скольжения, предназначенную для скольжения по другой поверхности в процессе работы трубопроводной арматуры, в котором по меньшей мере на часть поверхности (10) скольжения наносят покрытие (2), причем:
покрытие (2) включает нижележащий слой (21), содержащий вольфрам, и вышележащий слой (22), содержащий алмазоподобный углерод;
вышележащий слой (22) наносят сверху на нижележащий слой (21);
нижележащий слой (21) содержит углерод и толщина слоя составляет по меньшей мере 11 мкм, а вышележащий слой (22) имеет более низкий коэффициент трения по сравнению с нижележащим слоем (21) и его толщина составляет по меньшей мере 1,5 мкм.
8. Способ по п. 7. отличающийся тем, что для нанесения нижележащего слоя (21) используют технологию ФОПФ (физическое осаждение из паровой фазы), а для нанесения вышележащего слоя (22) используют технологию ПХОПФ (химическое осаждение из паровой фазы, поддерживаемое или усиливаемое плазмой) или ФОПФ, или электродугового испарения, или МРИВМ (магнетронное распыление импульсами высокой мощности).
9. Способ по п. 7 или 8, отличающийся тем, что между покрытием (2) и поверхностью (10) скольжения наносят Cr-слой в качестве адгезионного слоя (3) предпочтительно с использованием технологии ФОПФ.
10. Способ по п. 9, отличающийся тем, что нижележащий слой (21) включает:
- первый нижележащий слой (211), содержащий Сr и WC и сформированный как многослойная структура, включающая первый подслой, нанесенный на адгезионный Cr-слой (3), второй подслой, нанесенный на первый подслой, и третий подслой, нанесенный на второй подслой,
причем, если в первом нижележащем слое (211) рассматривать только содержание Сr и WC, то:
первый подслой представляет собой градиентный слой, в котором средняя концентрация Сr снижается, а средняя концентрация WC повышается по его толщине в направлении внешнего слоя, при этом исходная средняя концентрация Сr равна 100 атомн. %, а исходная средняя концентрация WC равна 0 атомн. %;
второй подслой содержит Сr и WC с постоянными средними концентрациями по его толщине; и
третий подслой представляет собой градиентный слой, в котором средняя концентрация Сr снижается, а средняя концентрация WC повышается по его толщине в направлении внешнего слоя, причем конечная средняя концентрация Сr равна 0 атомн. %, а конечная средняя концентрация WC равна 100 атомн. %;
- второй нижележащий слой (212), нанесенный на первый нижележащий слой (211), содержащий WC+С или WC+С+Н;
- третий нижележащий слой (213), нанесенный на второй нижележащий слой (212) в качестве градиентного слоя, в котором средняя концентрация WC снижается по его толщине до конечной средней концентрации 0 атомн. %; и
- вышележащий АПУ-слой (22),
причем для нанесения Сr-слоя Cr-мишени распыляют в среде аргона, после чего наносят первый подслой, для чего распыляют WC-мишени, непрерывно повышая мощность распыления, в то время как мощность распыления Сr-мишеней может поддерживаться на одном уровне,
для нанесения второго подслоя мощность распыления как Cr-мишеней, так и WC-мишеней, поддерживают на одном уровне, а для нанесения третьего подслоя мощность распыления Cr-мишеней непрерывно снижают до отсоединения этих мишеней, и мощность распыления WC-мишеней поддерживают на одном уровне или непрерывно повышают,
для нанесения второго нижележащего слоя (212) в напылительную камеру вводят углеродсодержащий газ, например газообразный ацетилен, и его расход поддерживают на постоянном уровне,
для нанесения третьего нижележащего слоя (213) мощность распыления WC-мишеней непрерывно снижают до отсоединения этих мишеней, в то время как расход подаваемого газообразного ацетилена повышают, а напряжение смещения повышают, пока не будут получены необходимые условия для нанесения вышележащего АПУ-слоя (22).
RU2020108294A 2017-08-04 2018-08-06 Компонент трубопроводной арматуры с коррозионно-стойким покрытием поверхностей скольжения RU2020108294A (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201762541184P 2017-08-04 2017-08-04
US62/541,184 2017-08-04
PCT/EP2018/071248 WO2019025627A1 (en) 2017-08-04 2018-08-06 COATED VALVE COMPONENTS HAVING SLIDING SURFACES RESISTANT TO CORROSION

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2020108294A true RU2020108294A (ru) 2021-09-07
RU2020108294A3 RU2020108294A3 (ru) 2021-11-24

Family

ID=63144985

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020108294A RU2020108294A (ru) 2017-08-04 2018-08-06 Компонент трубопроводной арматуры с коррозионно-стойким покрытием поверхностей скольжения

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11499643B2 (ru)
EP (1) EP3665361A1 (ru)
CN (1) CN111183269B (ru)
BR (1) BR112020002358B1 (ru)
RU (1) RU2020108294A (ru)
SG (1) SG11202000858QA (ru)
WO (1) WO2019025627A1 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020132085A1 (en) 2018-12-19 2020-06-25 Oerlikon Metco (Us) Inc. High-temperature low-friction cobalt-free coating system for gate valves, ball valves, stems, and seats
BR102019004737A2 (pt) * 2019-03-11 2020-10-06 Fmc Technologies Do Brasil Ltda Material compósito com camada difundida revestida
JP7440335B2 (ja) * 2020-04-30 2024-02-28 株式会社アイシン 低摩擦摩耗膜及びその製造方法
US11840453B2 (en) 2020-12-16 2023-12-12 Dresser, Llc Protecting valve parts from erosion
CN114908350A (zh) * 2021-02-08 2022-08-16 中国石油化工股份有限公司 一种表面具有耐冲蚀、耐腐蚀复合涂层的球座
CN115418610A (zh) * 2022-09-01 2022-12-02 深圳市商德先进陶瓷股份有限公司 陶瓷劈刀及其制备方法和应用

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6802457B1 (en) * 1998-09-21 2004-10-12 Caterpillar Inc Coatings for use in fuel system components
JP4615697B2 (ja) * 2000-11-07 2011-01-19 ティーア、コーティングズ、リミテッド 炭素含有被覆を施した物品
US7866342B2 (en) * 2002-12-18 2011-01-11 Vapor Technologies, Inc. Valve component for faucet
US6904935B2 (en) * 2002-12-18 2005-06-14 Masco Corporation Of Indiana Valve component with multiple surface layers
US7866343B2 (en) 2002-12-18 2011-01-11 Masco Corporation Of Indiana Faucet
US8146889B2 (en) * 2004-08-27 2012-04-03 Vetco Gray Inc. Low friction coatings for dynamically engaging load bearing surfaces
JP2007070667A (ja) * 2005-09-05 2007-03-22 Kobe Steel Ltd ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体およびその製造方法
JP2008163430A (ja) * 2006-12-28 2008-07-17 Jtekt Corp 高耐食性部材およびその製造方法
CN100506527C (zh) * 2007-06-26 2009-07-01 广州有色金属研究院 金属碳化物/类金刚石(MeC/DLC)纳米多层膜材料及其制备方法
CN101424342A (zh) 2007-10-30 2009-05-06 通用电气公司 机械密封件及其制造方法
BRPI1006161A2 (pt) * 2009-01-12 2017-05-30 Shell Int Research "aparelho não-adesivo, e, método para produzir hidrocarbonetos".
DE102009028504C5 (de) * 2009-08-13 2014-10-30 Federal-Mogul Burscheid Gmbh Kolbenring mit einer Beschichtung
CN101823353A (zh) 2010-04-30 2010-09-08 广州有色金属研究院 一种金属-类金刚石(Me-DLC)纳米复合膜及其制备方法
FR2975404B1 (fr) * 2011-05-19 2014-01-24 Hydromecanique & Frottement Piece avec revetement dlc et procede d'application du revetement dlc
BR102012003607A2 (pt) * 2012-02-16 2013-10-29 Mahle Metal Leve Sa Componente deslizante para uso em motores de combustão interna
CN104254637A (zh) 2012-02-28 2014-12-31 阿克海底公司 石油开采或注水中dlc涂覆的闸阀
EP2874770A1 (en) * 2012-07-22 2015-05-27 Technion Research & Development Foundation Ltd. Diamond-coated substrates
DE102012020742A1 (de) * 2012-10-23 2014-04-24 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Mit einer eingebetteten PVD-Schicht beschichtetes Kunststoffteil
JP5780689B2 (ja) * 2013-03-22 2015-09-16 日鍛バルブ株式会社 Ｄｌｃ被覆膜
US20150353856A1 (en) * 2014-06-04 2015-12-10 Ardy S. Kleyman Fluid tight low friction coating systems for dynamically engaging load bearing surfaces
DE102014217040A1 (de) * 2014-08-27 2016-03-03 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Beschichtung für Metallbauteile, Verfahren zum Beschichten eines Metallbauteils, Kolben für Verbrennungskraftmaschinen und Kfz
RU2608454C1 (ru) 2015-12-09 2017-01-18 ЭкссонМобил Рисерч энд Энджиниринг Компани Муфтовое устройство с покрытием для эксплуатации в газонефтяных скважинах

Also Published As

Publication number Publication date
CN111183269B (zh) 2023-01-03
CN111183269A (zh) 2020-05-19
BR112020002358A2 (pt) 2020-09-01
US11499643B2 (en) 2022-11-15
US20200248819A1 (en) 2020-08-06
SG11202000858QA (en) 2020-02-27
BR112020002358B1 (pt) 2023-12-26
EP3665361A1 (en) 2020-06-17
RU2020108294A3 (ru) 2021-11-24
WO2019025627A1 (en) 2019-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2020108294A (ru) Компонент трубопроводной арматуры с коррозионно-стойким покрытием поверхностей скольжения
Hofmann et al. From DLC to Si-DLC based layer systems with optimized properties for tribological applications
Andersson et al. Phase control of Al2O3 thin films grown at low temperatures
US9121092B2 (en) Tribology combined with corrosion resistance: a new family of PVD- and PACVD coatings
CN105671499B (zh) 一种耐磨耐蚀CrAlSiN复合涂层及其制备方法
US20220042178A1 (en) Corrosion resistant carbon coatings
US11753728B2 (en) Antiwear-coated metal component, in particular for a ball valve, and method for applying a multi-layer antiwear coating in order to produce a component of this type
WO2019119647A1 (zh) 一种类富勒烯碳层/类石墨烯氮化硼多层复合超润滑薄膜的制备方法
US8372524B2 (en) Coated article
CN102242336B (zh) 一种降低硬质薄膜应力的薄膜制备方法
CN103243304B (zh) 一种提高金属工件表面力学性能的方法
Boeira et al. Influence of base pressure prior to deposition on the adhesion behaviour of carbon thin films on steel
Jao et al. Formation and characterization of DLC: Cr: Cu multi-layers coating using cathodic arc evaporation
US9534291B2 (en) DLC coating with run-in layer
US20120202028A1 (en) Ceramic member and manufacturing thereof
Bull Correlation of microstructure and properties of hard coatings
Ha et al. Control of stress and delamination in single and multi-layer carbon thin films prepared by cathodic arc and RF plasma deposition and implantation
CN114196938B (zh) 一种双层非晶碳膜及其制备方法
JP2006169614A (ja) 金属複合ダイヤモンドライクカーボン（ｄｌｃ）皮膜、その形成方法、及び摺動部材
TWI503428B (zh) 鍍膜件及其製作方法
TWI490359B (zh) 鐵基合金表面鍍膜方法及由該方法製得的鍍膜件
Heo et al. A Study on Microstructure and Tribological Behavior of Superhard Ti-Al-Si-N Nanocomposite Coatings
WO2022253859A1 (en) Anti-static coating
US20120164481A1 (en) Coated article and method for making same
Abou-Hanna et al. Minimization of Through Thickness Flaws in Tungsten-Doped Diamond Like Carbon Thin Film