Claims (12)
1. Гибридный плазмохимический реактор, включающий осесимметричную металлическую разрядную камеру, расположенный внутри камеры по ее оси электрод, средства ввода СВЧ энергии в разрядную камеру в виде соосного с ней коаксиала, центральный проводник которого электрически соединен с электродом, а внешний со стенками камеры, средства откачки, ввода и отвода газов в разрядную камеру, систему охлаждения, магнитную систему с соосным с камерой внешним соленоидом, источник постоянного напряжения, отрицательный полюс которого подсоединен к центральному проводнику коаксиала, а положительный - к стенкам камеры, отличающийся тем, что электрод выполнен в форме тела вращения с диаметром большим длины СВЧ волны, разрядная камера и электрод выполнены создающими абсолютный максимум СВЧ поля между ее стенками и электродом в приосевой области, противоположной центральному проводнику коаксиала.1. A hybrid plasma-chemical reactor, including an axisymmetric metal discharge chamber located inside the chamber along its axis, an electrode, means for introducing microwave energy into the discharge chamber in the form of a coaxial with it, the central conductor of which is electrically connected to the electrode, and the external conductor with the chamber walls, pumping means , input and removal of gases into the discharge chamber, cooling system, magnetic system with an external solenoid coaxial with the chamber, constant voltage source, the negative pole of which is connected to the center a coaxial conductor, and a positive one to the chamber walls, characterized in that the electrode is made in the form of a body of revolution with a diameter greater than the microwave wavelength, the discharge chamber and the electrode are made to create an absolute maximum of the microwave field between its walls and the electrode in the axial region opposite the central conductor coaxial.
2. Гибридный плазмохимический реактор по п. 1, отличающийся тем, что стенки разрядной камеры в приосевой области, противоположной центральному проводнику коаксиала, выполнены в форме открытой внутрь камеры полости с диаметром поперечного сечения меньшим диаметра электрода.2. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 1, characterized in that the walls of the discharge chamber in the axial region opposite the central conductor of the coaxial are made in the form of a cavity open in the chamber with a cross-sectional diameter smaller than the electrode diameter.
3. Гибридный плазмохимический реактор по п. 2, отличающийся тем, что полость имеет форму цилиндра.3. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 2, characterized in that the cavity has the shape of a cylinder.
4. Гибридный плазмохимический реактор по п. 2, отличающийся тем, что полость имеет форму многогранной призмы.4. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 2, characterized in that the cavity has the form of a multifaceted prism.
5. Гибридный плазмохимический реактор по п. 2, отличающийся тем, что стенки полости выполнены в форме ячеек.5. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 2, characterized in that the cavity walls are made in the form of cells.
6. Гибридный плазмохимический реактор по п. 2, отличающийся тем, что противолежащая открытой полости поверхность электрода имеет выступ с диаметром соизмеримым с диаметром полости.6. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 2, characterized in that the electrode surface opposite the open cavity has a protrusion with a diameter comparable with the diameter of the cavity.
7. Гибридный плазмохимический реактор по п. 1, отличающийся тем, что электрод выполнен в форме диска.7. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 1, characterized in that the electrode is made in the form of a disk.
8. Гибридный плазмохимический реактор по п. 1, отличающийся тем, что электрод выполнен в форме конуса в направлении к СВЧ вводу.8. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 1, characterized in that the electrode is made in the form of a cone in the direction of the microwave input.
9. Гибридный плазмохимический реактор по п. 1, отличающийся тем, что поверхность электрода в области абсолютного максимума СВЧ поля выполнена в форме открытой внутрь камеры полости.9. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 1, characterized in that the electrode surface in the region of the absolute maximum of the microwave field is made in the form of a cavity open inside the chamber.
10. Гибридный плазмохимический реактор по п. 9, отличающийся тем, что стенки полости выполнены в форме ячеек.10. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 9, characterized in that the cavity walls are made in the form of cells.
11. Гибридный плазмохимический реактор по п. 9, отличающийся, тем, что стенки камеры имеют выступ в направлении полости.11. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 9, characterized in that the walls of the chamber have a protrusion in the direction of the cavity.
12. Гибридный плазмохимический реактор по п. 1, отличающийся тем, что между электродом и стенками камеры со стороны коаксиала установлено герметичное диэлектрическое кольцо, прозрачное для СВЧ.12. The hybrid plasma-chemical reactor according to claim 1, characterized in that a sealed dielectric ring transparent to the microwave is installed between the electrode and the chamber walls from the coaxial side.