RU2017128063A - Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на рабочую поверхность металлического изделия - Google Patents

Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на рабочую поверхность металлического изделия Download PDF

Info

Publication number
RU2017128063A
RU2017128063A RU2017128063A RU2017128063A RU2017128063A RU 2017128063 A RU2017128063 A RU 2017128063A RU 2017128063 A RU2017128063 A RU 2017128063A RU 2017128063 A RU2017128063 A RU 2017128063A RU 2017128063 A RU2017128063 A RU 2017128063A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
product
working surface
metal
elements
groups
Prior art date
Application number
RU2017128063A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2017128063A3 (ru
RU2708726C2 (ru
Inventor
Алексей Анатольевич Верещака
Екатерина Сергеевна Сотова
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Технологии для медицины" (ООО "Технологии для медицины")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Технологии для медицины" (ООО "Технологии для медицины") filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Технологии для медицины" (ООО "Технологии для медицины")
Priority to RU2017128063A priority Critical patent/RU2708726C2/ru
Publication of RU2017128063A3 publication Critical patent/RU2017128063A3/ru
Publication of RU2017128063A publication Critical patent/RU2017128063A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2708726C2 publication Critical patent/RU2708726C2/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Claims (2)

1. Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на рабочую поверхность металлического изделия, включающий размещение изделия в камере вакуумно-дуговой установки, очистку рабочей поверхности изделия бомбардировкой ионами и синтез адгезионного, переходного и функционального слоев посредством конденсации из плазменной фазы на рабочую поверхность металлического изделия, отличающийся тем, что очистку рабочей поверхности изделия осуществляют катодной бомбардировкой ионами металлов IV и/или V групп Периодической системы химических элементов, используемых в составе адгезионного слоя при давлении 1⋅10-1-1⋅10-3 Па и напряжении на изделии 0,7-1,5 кВ до прекращения появлений микродуг с последующей подачей на катод ускоряющего напряжения 20-30 кВ и формированием в изделии диффузионного слоя, при этом адгезионный слой содержит тугоплавкое соединение, по меньшей мере, одного металла IV и V групп Периодической системы химических элементов, который содержится в составе переходного слоя, переходный слой содержит тугоплавкое соединение, по меньшей мере, одного металла IV и V групп Периодической системы химических элементов, который содержится в составе функционального слоя, а функциональный слой содержит соединения двух элементов из IV и/или V, IV и/или VI групп Периодической системы химических элементов, легированные алюминием.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что формирование диффузионного слоя осуществляют в течение времени, составляющего 300-900% от времени очистки рабочей поверхности изделия.
RU2017128063A 2017-08-07 2017-08-07 Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на рабочую поверхность металлического изделия RU2708726C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017128063A RU2708726C2 (ru) 2017-08-07 2017-08-07 Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на рабочую поверхность металлического изделия

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017128063A RU2708726C2 (ru) 2017-08-07 2017-08-07 Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на рабочую поверхность металлического изделия

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2017128063A3 RU2017128063A3 (ru) 2019-02-07
RU2017128063A true RU2017128063A (ru) 2019-02-07
RU2708726C2 RU2708726C2 (ru) 2019-12-11

Family

ID=65270779

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017128063A RU2708726C2 (ru) 2017-08-07 2017-08-07 Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на рабочую поверхность металлического изделия

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2708726C2 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2756960C1 (ru) * 2020-11-03 2021-10-07 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ нанесения композиционного покрытия на деталь из инструментальной стали

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4686156A (en) * 1985-10-11 1987-08-11 Gte Service Corporation Coated cemented carbide cutting tool
WO2000006793A1 (en) * 1998-07-27 2000-02-10 Applied Materials, Inc. Sputtering target assembly
RU2198243C2 (ru) * 1998-08-05 2003-02-10 Верещака Алексей Анатольевич Многослойно-композиционное износостойкое покрытие
RU2413790C2 (ru) * 2009-05-21 2011-03-10 Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт" Многослойное композиционное покрытие с нанокристаллической структурой на режущем инструменте и способ его получения
RU2494170C1 (ru) * 2012-04-06 2013-09-27 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" Способ получения износостойкого многослойного покрытия

Also Published As

Publication number Publication date
RU2017128063A3 (ru) 2019-02-07
RU2708726C2 (ru) 2019-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2013045454A3 (en) Coating of substrates using hipims
EA201170814A1 (ru) Устройство для обработки и/или нанесения покрытия на поверхности компонентов подложки
MX2017007357A (es) Fuente de plasma utilizando un revestimiento de reduccion de macro-particulas y metodo de uso de una fuente de plasma utilizando un revestimiento de reduccion de macro-particulas para la deposicion de revestimientos de pelicula delgada y modificacion de superficies.
RU2489514C1 (ru) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ ИНТЕРМЕТАЛЛИДА СИСТЕМЫ Ti-Al
US20160186306A1 (en) TiB2 LAYERS AND MANUFACTURE THEREOF
US20180016675A1 (en) Vacuum chamber having a special design for increasing the removal of heat
RU2017128063A (ru) Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на рабочую поверхность металлического изделия
RU2689474C1 (ru) Способ получения покрытия на основе интерметаллидов системы ti-al, синтезированного в среде азота
MX2020013582A (es) Instalacion de deposicion al vacio y metodo para revestir un sustrato.
US10407767B2 (en) Method for depositing a layer using a magnetron sputtering device
RU2012100186A (ru) Способ нанесения на металлические детали комплексного защитного покрытия против воздействия водорода
RU2008133299A (ru) Способ нанесения антифрикционного износостойкого покрытия на изделия из металлов и сплавов
JP6896691B2 (ja) 低温アーク放電イオンめっきコーティング
CN105385992A (zh) 一种刀具表面氮铝钛涂层制备方法
RU2013132038A (ru) Способ получения многослойного градиентного покрытия методом магнетронного напыления
MX2020013581A (es) Instalacion de deposicion al vacio y metodo para revestir un sustrato.
RU2020111277A (ru) Металлическая подложка с покрытием
AR088049A1 (es) Metodo para recubrir un sustrato para formar un sustrato recubierto coloreado, metodo para fabricar un sustrato recubierto coloreado en un sistema de deposicion por arco catodico y sustrato recubierto coloreado obtenido
US20100044214A1 (en) Physical vapour deposition coating device as well as a physical vapour deposition method
KR20110117528A (ko) 알루미늄 박막 코팅 방법
RU2657896C1 (ru) Устройство для синтеза покрытий
CN107460532B (zh) 一种真空离子镀电化学退镀液配方
RU2014117429A (ru) Способ повышения адгезионной прочности композитных оксидных покрытий
RU2016103909A (ru) Мишень для реактивного осаждения электроизолирующих слоев методом ионного распыления
Schmidt et al. Increasing the carbon deposition rate using sputter yield amplification upon serial magnetron co-sputtering