Claims (1)
Многопоточный молекулярно-вязкостный вакуумный насос параллельного действия, содержащий корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками, в котором между внешним статором и внутренним ротором, соединенным с валом, расположены коаксиально промежуточные ступени, причем на смежных поверхностях статоров и роторов выполнены винтовые каналы молекулярно-вязкостной проточной части насоса с одинаковой формой профиля, отличающийся тем, что в корпусе вокруг внешнего статора образована кольцевая полость, сообщенная со всасывающим патрубком, статоры промежуточных ступеней выполнены из двух частей, каждая из которых закреплена одним концом в корпусе, а через зазор между ними пропущены перемычки, соединяющие смежные роторы между собой, во всех роторах и статорах, кроме статора последней ступени, выполнены периферийные окна, во внешнем статоре выполнена внутренняя центральная кольцевая проточка, в каждой части статоров промежуточных ступеней и внешнем статоре с стороны кольцевой проточки выполнен, по меньшей мере, один сквозной канал, причем в корпусе с обеих торцевых сторон закреплены коллекторы и в них через отверстия в корпусе выведены примыкающие к ним каналы в статорах.A multi-threaded molecular viscosity-viscosity parallel-acting vacuum pump containing a housing with suction and discharge nozzles, in which coaxially intermediate steps are located between the external stator and the internal rotor connected to the shaft, and on the adjacent surfaces of the stators and rotors there are made helical channels of the molecular-viscosity flow part a pump with the same profile shape, characterized in that in the housing around the external stator an annular cavity is formed, communicated with the suction pipe, with the intermediate stage tators are made of two parts, each of which is fixed at one end in the housing, and jumpers connecting the adjacent rotors to each other are passed through the gap between them, peripheral windows are made in all the rotors and stators, except the last stage stator, in the external stator the inner central annular groove, in each part of the stators of the intermediate steps and the external stator, at least one through channel is made on the side of the annular groove, moreover, in the housing on both end sides collectors and replays them through the holes in the hull removed channels adjacent thereto in the stator.