RU169121U1 - MULTI-FLOW MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP - Google Patents

MULTI-FLOW MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP Download PDF

Info

Publication number
RU169121U1
RU169121U1 RU2016149254U RU2016149254U RU169121U1 RU 169121 U1 RU169121 U1 RU 169121U1 RU 2016149254 U RU2016149254 U RU 2016149254U RU 2016149254 U RU2016149254 U RU 2016149254U RU 169121 U1 RU169121 U1 RU 169121U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pump
suction
housing
molecular
threaded
Prior art date
Application number
RU2016149254U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Николай Константинович Никулин
Елена Владимировна Свичкарь
Илья Владимирович Соловьев
Original Assignee
Николай Константинович Никулин
Илья Владимирович Соловьев
Елена Владимировна Свичкарь
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Николай Константинович Никулин, Илья Владимирович Соловьев, Елена Владимировна Свичкарь filed Critical Николай Константинович Никулин
Priority to RU2016149254U priority Critical patent/RU169121U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU169121U1 publication Critical patent/RU169121U1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps

Landscapes

  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к вакуумной технике, в частности к многопоточным молекулярно-вязкостным вакуумным насосам (МВВН), которые предназначены для работы в широкой области давлений всасывания: от 10до 10Па с быстродействием от нескольких л/с до сотен л/с. Многопоточный молекулярно-вязкостный вакуумный насос содержит корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками, в котором между внешним статором и внутренним ротором, соединенным с валом, расположены коаксиально промежуточные ступени, причем на смежных поверхностях статоров и роторов выполнены винтовые каналы молекулярно-вязкостной проточной части насоса с одинаковой формой профиля, в корпусе вокруг внешнего статора образована кольцевая полость, сообщенная со всасывающим патрубком, в этом статоре симметрично относительно оси всасывающего патрубка выполнены распределенные равномерно по поперечному сечению промежуточные окна, при этом статоры промежуточных ступеней выполнены из двух частей, каждая из которых закреплена одним концом в корпусе, а через зазор между ними пропущены перемычки, соединяющие смежные роторы между собой. Конструкции многопоточного МВВН позволяет увеличить быстродействие насоса кратно количеству проточных частей первой ступени, в которую попадает газ при всасывании, без изменения габаритных размеров насоса. 4 ил.The utility model relates to vacuum technology, in particular to multi-threaded molecular viscous vacuum pumps (MVVN), which are designed to operate in a wide range of suction pressures: from 10 to 10Pa with a speed from several l / s to hundreds of l / s. The multi-threaded molecular-viscosity-viscosity vacuum pump contains a housing with suction and discharge nozzles, in which coaxially intermediate steps are located between the external stator and the internal rotor connected to the shaft, and on the adjacent surfaces of the stators and rotors helical channels of the molecular-viscous flow part of the pump are made with the same profile shape, in the housing around the external stator an annular cavity is formed, communicated with the suction pipe, in this stator symmetrically with respect to the suction axis vayuschego nozzle formed uniformly distributed over the cross-section of the intermediate box, wherein the stators intermediate stages are made of two parts, each of which has one end fixed in the housing and through a gap therebetween skipped webs connecting adjacent rotors together. The multi-threaded MVVN design allows increasing the pump speed by a multiple of the number of flowing parts of the first stage, into which the gas enters upon suction, without changing the overall dimensions of the pump. 4 ill.

Description

Полезная модель относится к вакуумной технике, в частности к многопоточным молекулярно-вязкостным вакуумным насосам (МВВН), которые предназначены для работы в широкой области давлений всасывания: от 105 до 10-7 Па с быстродействием от нескольких л/с до сотен л/с.The utility model relates to vacuum technology, in particular to multi-flow molecular-viscosity vacuum pumps (MVVN), which are designed to operate in a wide range of suction pressures: from 10 5 to 10 -7 Pa with a speed from several l / s to hundreds of l / s .

Известен вакуумный насос (патент US 2009/0035123 А1, опубл. 05.02.2009), представляющий собой многоступенчатый молекулярный вакуумный насос, каждая ступень которого образована каналами на статоре и гладким ротором.A known vacuum pump (patent US 2009/0035123 A1, publ. 05.02.2009), which is a multi-stage molecular vacuum pump, each stage of which is formed by channels on the stator and a smooth rotor.

Недостатком данной конструкции является то, что быстрота действия насоса определяется быстротой действия первой ступени насоса. Остальные ступени необходимы для увеличения давления и не влияют на быстроту действия насоса.The disadvantage of this design is that the speed of the pump is determined by the speed of the first stage of the pump. The remaining steps are necessary to increase the pressure and do not affect the speed of the pump.

Из предшествующего уровня техники известен вакуумный насос (патент US 6375413 В1, опубл. 23.04.2002), представляющий собой многоступенчатый молекулярный вакуумный насос с добавлением вихревой ступени.A vacuum pump is known from the prior art (patent US 6,375,413 B1, published April 23, 2002), which is a multi-stage molecular vacuum pump with the addition of a vortex stage.

И в этом насосе быстродействие определяется только быстродействием первой ступени насоса.And in this pump the speed is determined only by the speed of the first stage of the pump.

Известен двухпоточный молекулярный вакуумный насос (патент RU 2107840 С1, кл. F04D 19/04, опубл. 27.03.1998), представляющий собой конструкцию, в которой газ, попадая во всасывающий патрубок насоса, делится на два равных потока газа. Каждый поток газа откачивается двумя молекулярными проточными частями с одинаковыми геометрическими размерами, расположенными на одном валу. Быстрота действия насоса, определяемая данными потоками газа при давлении всасывания, зависит от размеров каналов проточной части насоса.Known dual-flow molecular vacuum pump (patent RU 2107840 C1, class F04D 19/04, publ. 03/27/1998), which is a structure in which gas falling into the suction pipe of the pump is divided into two equal gas flows. Each gas stream is pumped out by two molecular flowing parts with the same geometric dimensions, located on one shaft. The speed of the pump, determined by these gas flows at the suction pressure, depends on the size of the channels of the flow part of the pump.

Недостатком данной конструкции является то, что каналы выполнены только на роторе, поэтому расстояние между каналами необходимо увеличивать для снижения потока газа, перетекающего из канала в канал, что снижает быстродействие насоса.The disadvantage of this design is that the channels are made only on the rotor, so the distance between the channels must be increased to reduce the flow of gas flowing from the channel into the channel, which reduces the speed of the pump.

Наиболее близким к предлагаемой полезной модели является молекулярный вакуумный насос (патент RU 2168070 С2, кл. F04D 19/04, опубл. 27.05.2001), представляющий собой конструкцию, состоящую из корпуса и ротора, на поверхностях которых имеются две проточные части насоса, образованные винтовыми канавками. Внутренний диаметр канавок увеличивается со стороны всасывания к стороне нагнетания. Всасывающий патрубок расположен в центральной части корпуса насоса. Выполнение двух проточных частей насоса позволяет увеличить быстроту действия насоса в два раза по сравнению с конструкцией насоса с одной проточной частью.Closest to the proposed utility model is a molecular vacuum pump (patent RU 2168070 C2, class F04D 19/04, published May 27, 2001), which is a structure consisting of a housing and a rotor, on the surfaces of which there are two flow parts of the pump formed helical grooves. The inner diameter of the grooves increases from the suction side to the discharge side. The suction pipe is located in the central part of the pump housing. The execution of two flow parts of the pump allows you to increase the speed of the pump twice as compared with the design of the pump with one flow part.

Недостатком данной конструкции является то, что общая площадь каналов зависит от их числа. Число каналов ограничено шириной межканального расстояния, размер которого обеспечивает сокращение потока газа, перетекающего из канала в канал через зазор между корпусом и ротором. В результате быстродействие насоса определяется площадью поперечного сечения каналов каждой из проточных частей насоса.The disadvantage of this design is that the total area of the channels depends on their number. The number of channels is limited by the width of the inter-channel distance, the size of which reduces the flow of gas flowing from the channel into the channel through the gap between the housing and the rotor. As a result, the speed of the pump is determined by the cross-sectional area of the channels of each of the flow parts of the pump.

Фактором, ограничивающим увеличение быстродействия насоса, является площадь каналов насоса, в которые попадает газ со стороны всасывания. Число каналов проточных частей молекулярных насосов ограничено шириной межканального расстояния, размер которого обеспечивает сокращение потока газа, перетекающего из канала в канал через зазор между корпусом и ротором. Увеличение высоты канала приводит к увеличению быстродействия насоса за счет увеличения площади канала. Высота каналов ограничивается влиянием подвижной поверхности на течение газа в канале, так как при значительном увеличении высоты канала снижается импульс количества движения, передаваемый потоку газа от подвижной поверхности. При этом возможно образование застойной зоны в канале (ближе к его верхней границе) и, как следствие, увеличение обратного потока газа, что в итоге снижает быстроту действия насоса. Ширина каналов ограничена диаметром ротора, на котором они выполнены. Увеличение ширины канала повышает быстродействие насоса за счет изменения площади канала. При этом снижается влияние боковых поверхностей газа на течение газа в канале, что может привести к уменьшению направленного потока газа и увеличению обратного потока газа, что в итоге снижает быстродействие насоса.A factor limiting the increase in pump speed is the area of the pump channels into which gas enters from the suction side. The number of channels of the flowing parts of molecular pumps is limited by the width of the interchannel distance, the size of which provides a reduction in the flow of gas flowing from the channel into the channel through the gap between the housing and the rotor. Increasing the height of the channel leads to an increase in the speed of the pump by increasing the area of the channel. The height of the channels is limited by the influence of the moving surface on the gas flow in the channel, since with a significant increase in the height of the channel, the momentum impulse transmitted to the gas flow from the moving surface decreases. In this case, the formation of a stagnant zone in the channel (closer to its upper boundary) is possible and, as a result, an increase in the reverse gas flow, which ultimately reduces the speed of the pump. The width of the channels is limited by the diameter of the rotor on which they are made. Increasing the channel width increases the speed of the pump by changing the channel area. This reduces the influence of the side surfaces of the gas on the gas flow in the channel, which can lead to a decrease in the directed gas flow and an increase in the reverse gas flow, which ultimately reduces the speed of the pump.

Ступени многопоточного МВВН образованы проточными частями с различными откачными параметрами. Первая ступень располагается в зоне всасывания. Номера остальных считаются по порядку, начиная с первой и заканчивая ступенью, расположенной максимально близко к зоне нагнетания.The stages of multi-threaded MVVN are formed by flowing parts with various pumping parameters. The first stage is located in the suction zone. The numbers of the rest are counted in order, starting with the first and ending with the step located as close as possible to the discharge zone.

Существенным признаком насоса является то, что всасывание газа осуществляется по многопоточной схеме. Поток газа, попадая во всасывающий патрубок, делится на два потока. Затем каждый поток газа, попадая на первую ступень насоса, еще раз делится на два потока газа. При этом первая ступень насоса состоит из проточных частей, что позволяет увеличить быстроту действия насоса кратно числу проточных частей.An essential feature of the pump is that gas is sucked in according to a multi-threaded scheme. The gas flow falling into the suction pipe is divided into two flows. Then each gas stream, getting to the first stage of the pump, is once again divided into two gas flows. The first stage of the pump consists of flowing parts, which allows to increase the speed of the pump by a multiple of the number of flowing parts.

В качестве проточной части многопоточного МВВН используется молекулярно-вязкостная проточная часть, которая образована винтовыми каналами, расположенными на смежных поверхностях ротора и статора. Формы профиля каналов на роторе и статоре выполняются одинаковыми, с равными габаритными размерами. Направление каналов на роторе и статоре выполнено под одним углом к торцевой поверхности, но с противоположным направлением. Откачные характеристики проточных частей насоса зависят от их геометрических размеров и скоростных параметров. В проточных частях МВВН могут существовать все известные режимы течения газа, начиная с вязкостного и заканчивая молекулярным, границы которых оцениваются числом Кнудсена.As the flow part of the multi-threaded MVVN, the molecular-viscous flow part is used, which is formed by helical channels located on adjacent surfaces of the rotor and stator. The shape of the channel profile on the rotor and stator are the same, with equal overall dimensions. The direction of the channels on the rotor and stator is made at the same angle to the end surface, but with the opposite direction. The pumping characteristics of the flow parts of the pump depend on their geometric dimensions and speed parameters. In the flowing parts of the MVVN, all known regimes of gas flow can exist, from viscous to molecular, whose boundaries are estimated by the Knudsen number.

Технической проблемой полезной модели является устранение отмеченных недостатков. Техническим результатом конструкции многопоточного МВВН является увеличение быстродействия насоса кратно количеству проточных частей первой ступени, в которую попадает газ при всасывании, без изменения габаритных размеров насоса, по сравнению с аналогичной двухпоточной конструкцией.The technical problem of the utility model is the elimination of the noted drawbacks. The technical result of the design of multi-threaded MVVN is to increase the speed of the pump by a multiple of the number of flow parts of the first stage, into which gas enters during suction, without changing the overall dimensions of the pump, in comparison with a similar dual-flow design.

Проблема решается, а технический результат достигается тем, что многопоточный молекулярно-вязкостный вакуумный насос содержит корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками, в котором между внешним статором и внутренним ротором, соединенным с валом, расположены коаксиально промежуточные ступени, причем на смежных поверхностях статоров и роторов выполнены винтовые каналы молекулярно-вязкостной проточной части насоса с одинаковой формой профиля, в корпусе вокруг внешнего статора образована кольцевая полость, сообщенная с всасывающим патрубком, в этом статоре симметрично относительно оси всасывающего патрубка выполнены распределенные равномерно по поперечному сечению промежуточные окна, при этом статоры промежуточных ступеней выполнены из двух частей, каждая из которых закреплена одним концом в корпусе, а через зазор между ними пропущены перемычки, соединяющие смежные роторы между собой.The problem is solved, and the technical result is achieved by the fact that the multi-threaded molecular-viscosity vacuum pump contains a housing with suction and discharge nozzles, in which between the external stator and the internal rotor connected to the shaft, coaxially intermediate steps are located, moreover, on adjacent surfaces of the stators and rotors are made helical channels of the molecular-viscous flow part of the pump with the same profile shape, an annular cavity is formed around the external stator in communication with the suction by a nozzle, in this stator, symmetrical about the axis of the suction nozzle, the intermediate windows are distributed evenly across the cross section, while the stators of the intermediate steps are made of two parts, each of which is fixed at one end in the housing, and jumpers connecting the adjacent rotors are passed through the gap between them between themselves.

Полезная модель поясняется следующими чертежами:The utility model is illustrated by the following drawings:

на фиг. 1 представлен схематично продольный разрез многопоточного молекулярно-вязкостного вакуумного насоса;in FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view of a multi-threaded molecular-viscosity-viscosity vacuum pump;

на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1;in FIG. 2 is a section AA in FIG. one;

на фиг. 3 показана схема движения газа на фиг. 1;in FIG. 3 shows a gas flow diagram in FIG. one;

на фиг. 4 показана схема движения газа на фиг. 2.in FIG. 4 shows a gas flow diagram in FIG. 2.

Насос содержит корпус 1, в котором между внешним статором 2 и внутренним ротором 4, соединенным с валом 3, расположены коаксиально промежуточные ступени, Вокруг внешнего статора в корпусе образована кольцевая полость, сообщенная со всасывающим патрубком.The pump comprises a housing 1, in which between the external stator 2 and the internal rotor 4 connected to the shaft 3, coaxially intermediate steps are arranged. An annular cavity in communication with the suction pipe is formed around the external stator in the housing.

Принцип действия многопоточного МВВН заключается в том, что всасывание газа осуществляется по многопоточной схеме, т.е. поток газа 5, попадая во всасывающий патрубок 6 насоса, делится на два равных потока 7 и 8. Затем каждый поток газа 7 и 8, попадая на первую ступень насоса через промежуточные окна 9, еще раз делится на два потока газа. Каналы на смежных поверхностях ротора и статора образуют проточные части многопоточного МВВН. В качестве проточной части многопоточного МВВН используется молекулярно-вязкостная проточная часть насоса, которая образована винтовыми каналами, расположенными на смежных поверхностях ротора и статора. Формы профиля каналов на роторе и статоре выполняются одинаковыми с равными габаритными размерами. Направление каналов на роторе и статоре выполнено под одним углом к торцевой поверхности, но с противоположным направлением. Откачные характеристики проточных частей насоса зависят от их геометрических размеров и скоростных параметров. Проточные части с отличающимися откачными характеристиками образуют ступени насоса, нумерация которых начинается со стороны всасывания. Номера остальных считаются по порядку, начиная с первой и заканчивая ступенью, расположенной максимально близко к зоне нагнетания. Статоры промежуточных ступеней выполнены из двух частей, каждая из которых закреплена одним концом в корпусе, а через зазор между ними пропущены перемычки, соединяющие смежные роторы между собой.The principle of operation of multi-threaded MVVN is that gas is sucked in according to a multi-threaded scheme, i.e. the gas stream 5, falling into the suction pipe 6 of the pump, is divided into two equal flows 7 and 8. Then each gas stream 7 and 8, falling to the first stage of the pump through the intermediate windows 9, is again divided into two gas flows. The channels on adjacent surfaces of the rotor and stator form the flowing parts of a multi-threaded MVVN. As the flow part of the multi-threaded MVVN, the molecular-viscous flow part of the pump is used, which is formed by screw channels located on adjacent surfaces of the rotor and stator. The shape of the channel profile on the rotor and stator are the same with equal overall dimensions. The direction of the channels on the rotor and stator is made at the same angle to the end surface, but with the opposite direction. The pumping characteristics of the flow parts of the pump depend on their geometric dimensions and speed parameters. Flowing parts with different pumping characteristics form pump stages, the numbering of which begins on the suction side. The numbers of the rest are counted in order, starting with the first and ending with the step located as close as possible to the discharge zone. The stators of the intermediate stages are made of two parts, each of which is fixed at one end in the housing, and jumpers connecting the adjacent rotors to each other are passed through the gap between them.

Поток газа 5 из всасывающего патрубка 6, разделяясь на два и более равных потока 7 и 8, поступает в промежуточные окна 9, симметрично относительно оси всасывающего патрубка распределенные равномерно по поперечному сечению внешнего статора. Такое расположение окон необходимо для обеспечения равномерного попадания газа в проточную часть насоса, за счет увеличения проводимости зоны всасывания газа, без увеличения габаритов насоса.The gas stream 5 from the suction pipe 6, being divided into two or more equal flows 7 and 8, enters the intermediate windows 9, symmetrically with respect to the axis of the suction pipe distributed evenly over the cross section of the external stator. Such an arrangement of windows is necessary to ensure uniform penetration of gas into the flow part of the pump, by increasing the conductivity of the gas suction zone, without increasing the dimensions of the pump.

Из промежуточных окон 9 газ 7 поступает на вход в первую ступень МВВН, где делится на два потока 10 и 11. Поток газа 11 сразу после выхода из первой ступени и поток газа 10, проходящий по каналам 12 через коллектор 13, попадают на всасывание второй ступени насоса, объединяясь в поток 14. Затем поток 14, последовательно двигаясь по ступеням насоса, после сжатия в последней ступени поступает в нагнетательные патрубки 15.From the intermediate windows 9, gas 7 enters the first stage of the MVVN, where it is divided into two streams 10 and 11. The gas stream 11 immediately after exiting the first stage and the gas stream 10 passing through the channels 12 through the manifold 13 enter the suction of the second stage pump, combining into stream 14. Then stream 14, sequentially moving along the stages of the pump, after compression in the last stage enters the discharge nozzles 15.

Из промежуточных окон 9 газ 8 поступает на вход в первую ступень МВВН, где делится на два потока 16 и 17. Поток газа 16 сразу после выхода из первой ступени и поток газа 17, проходящий по каналам 12 через коллектор 18, попадают на всасывание второй ступени насоса, объединяясь в поток 19. Затем поток 19, последовательно двигаясь по ступеням насоса, после сжатия в последней ступени поступает в нагнетательные патрубки 15.From the intermediate windows 9, gas 8 enters the first stage of the MVVN, where it is divided into two streams 16 and 17. The gas stream 16 immediately after exiting the first stage and the gas stream 17 passing through the channels 12 through the manifold 18 enter the suction of the second stage pump, combining into stream 19. Then stream 19, sequentially moving along the pump steps, after compression in the last stage, enters the discharge nozzles 15.

Потоки 19 и 14 откачиваются из нагнетательных патрубков 15 дополнительным форвакуумным насосом, если это необходимо, или попадают в окружающую атмосферу или специальный ресивер.Streams 19 and 14 are pumped out of the discharge pipes 15 by an additional foreline pump, if necessary, or into the surrounding atmosphere or a special receiver.

В данной конструкции предусмотрены клапаны 20 для уменьшения энергозатрат после каждой из ступеней сжатия в процессе откачки объекта при повышенном давлении (близком к атмосферному), что предотвращает увеличение давления газа выше атмосферного.In this design, valves 20 are provided to reduce energy consumption after each of the compression stages during the pumping process of the object at elevated pressure (close to atmospheric), which prevents an increase in gas pressure above atmospheric.

Claims (1)

Многопоточный молекулярно-вязкостный вакуумный насос, содержащий корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками, в котором между внешним статором и внутренним ротором, соединенным с валом, расположены коаксиально промежуточные ступени, причем на смежных поверхностях статоров и роторов выполнены винтовые каналы молекулярно-вязкостной проточной части насоса с одинаковой формой профиля, отличающийся тем, что в корпусе вокруг внешнего статора образована кольцевая полость, сообщенная со всасывающим патрубком, в этом статоре симметрично относительно оси всасывающего патрубка выполнены распределенные равномерно по поперечному сечению промежуточные окна, при этом статоры промежуточных ступеней выполнены из двух частей, каждая из которых закреплена одним концом в корпусе, а через зазор между ними пропущены перемычки, соединяющие смежные роторы между собой.A multi-threaded molecular-viscous vacuum pump containing a housing with suction and discharge nozzles, in which between the external stator and the internal rotor connected to the shaft there are coaxially intermediate steps, and on the adjacent surfaces of the stators and rotors there are screw channels of the molecular-viscous flow part of the pump with the same profile shape, characterized in that in the housing around the external stator an annular cavity is formed, communicated with the suction pipe, in this stator is symmetrical relative to the axis of the suction nozzle formed uniformly distributed over the cross-section of the intermediate box, wherein the stators intermediate stages are made of two parts, each of which has one end fixed in the housing and through a gap therebetween skipped webs connecting adjacent rotors together.
RU2016149254U 2016-12-15 2016-12-15 MULTI-FLOW MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP RU169121U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016149254U RU169121U1 (en) 2016-12-15 2016-12-15 MULTI-FLOW MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016149254U RU169121U1 (en) 2016-12-15 2016-12-15 MULTI-FLOW MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU169121U1 true RU169121U1 (en) 2017-03-03

Family

ID=58449650

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016149254U RU169121U1 (en) 2016-12-15 2016-12-15 MULTI-FLOW MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU169121U1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2107840C1 (en) * 1995-07-05 1998-03-27 Центральный научно-исследовательский институт "Дельфин" Two-flow molecular vacuum pump
RU2168070C2 (en) * 1998-12-17 2001-05-27 Научно-технический промышленно-производственный кооператив "Плазвак" Molecular vacuum pump
US6375413B1 (en) * 1999-11-19 2002-04-23 The Boc Group Plc Vacuum pumps
US20090035123A1 (en) * 2004-11-01 2009-02-05 Ian David Stones Vacuum pump

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2107840C1 (en) * 1995-07-05 1998-03-27 Центральный научно-исследовательский институт "Дельфин" Two-flow molecular vacuum pump
RU2168070C2 (en) * 1998-12-17 2001-05-27 Научно-технический промышленно-производственный кооператив "Плазвак" Molecular vacuum pump
US6375413B1 (en) * 1999-11-19 2002-04-23 The Boc Group Plc Vacuum pumps
US20090035123A1 (en) * 2004-11-01 2009-02-05 Ian David Stones Vacuum pump

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103122776B (en) For the diffuser of axial-flow machine
CN105570202B (en) A kind of adjustable injector of interior wall construction
CN106064122A (en) Sawtooth injecting type evacuation
JP2017106365A (en) Connection type screw groove spacer and vacuum pump
CN103644140B (en) A kind of submersible axial flow pump stator design method and submersible axial flow pump stator
RU169121U1 (en) MULTI-FLOW MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP
US10670025B2 (en) Centrifugal compressor
US9476423B2 (en) Roots pump connection channels separating adjacent pump stages
US9702374B2 (en) Spiral pumping stage and vacuum pump incorporating such pumping stage
CN105179236A (en) Efficient and durable single-screw compressor
US20160146215A1 (en) Centrifugal rotor
WO2010074967A3 (en) Centripetal pumping stage and vacuum pump incorporating such pumping stage
CN110159586A (en) A kind of double-layer staggered blade impellers
RU169114U1 (en) MULTI-THREAD MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP OF PARALLEL ACTION
MX338204B (en) Supersonic compressor rotor and method of compressing a fluid.
CN105240236A (en) Multi-stage radial plunger booster pump
RU164736U1 (en) POWER ROTARY TURBINE
JP2018502254A (en) Oil injection vacuum pump element
CN207598513U (en) Multistage pump throttling sealing waterline
RU158483U1 (en) TWO-STAGE CENTRIFUGAL FAN
CN2893245Y (en) Double-suction centrifugal pump seal ring
US20190234388A1 (en) Hydraulic machine
RU166526U1 (en) MOLECULAR VISCOSITY FLOWING PART OF VACUUM PUMP
RU2016149250A (en) MULTI-FLOW MOLECULAR VISCOSITY VACUUM PUMP
CN204572468U (en) Twin channel Double-casing formula multistage high-pressure centrifugal

Legal Events

Date Code Title Description
MM9K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20181216