RU2015141536A - Пьезорезонансно-вязкостный вакуумметр - Google Patents
Пьезорезонансно-вязкостный вакуумметр Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015141536A RU2015141536A RU2015141536A RU2015141536A RU2015141536A RU 2015141536 A RU2015141536 A RU 2015141536A RU 2015141536 A RU2015141536 A RU 2015141536A RU 2015141536 A RU2015141536 A RU 2015141536A RU 2015141536 A RU2015141536 A RU 2015141536A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- resonator
- output
- unit
- resonators
- temperature sensor
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
Claims (1)
- Пьезорезонансно-вязкостный вакуумметр, включающий в качестве датчика термочувствительный резонатор камертонного типа, блок электронной обработки сигналов, блок индикации, датчик температуры с блоком температурной компенсации выходного сигнала резонатора, отличающийся тем, что дополнительно содержит второй термочувствительный кварцевый резонатор с блоком измерения резонансной частоты, выход которого соединен с блоком измерения импеданса этого резонатора, блок измерения резонансной частоты первого резонатора, выход которого соединен с блоком измерения импеданса первого резонатора, термодатчика, механически контактирующего с корпусами обоих резонаторов, электронного блока термодатчика, выход которого соединен с блоками измерения импеданса первого и второго резонаторов, блок преобразования сигналов первого и второго резонаторов в сигналы изменения давления и адсорбируемой массы, выход данного преобразователя, связанный с сигналом измерения адсорбируемой массы, соединен с блоками измерения резонансной частоты первого и второго резонаторов и с цифровым индикатором относительных значений адсорбированной массы, второй выход преобразователя последовательно соединен с входом блока подстройки сигнала в зависимости от молекулярной массы газа и входом цифрового индикатора давления газа.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015141536A RU2627544C2 (ru) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | Пьезорезонансно-вязкостный вакуумметр |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015141536A RU2627544C2 (ru) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | Пьезорезонансно-вязкостный вакуумметр |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2015141536A true RU2015141536A (ru) | 2017-04-07 |
| RU2627544C2 RU2627544C2 (ru) | 2017-08-08 |
Family
ID=58505236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015141536A RU2627544C2 (ru) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | Пьезорезонансно-вязкостный вакуумметр |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2627544C2 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3396341A1 (en) * | 2017-04-24 | 2018-10-31 | Nokia Technologies Oy | Strain sensor comprising a viscous piezoresistive element |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU847099A1 (ru) * | 1979-01-29 | 1981-07-15 | Предприятие П/Я М-5539 | Пьезорезонансный вакуумметр |
| JPS62184325A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 水晶式気体圧力計 |
| US5136885A (en) * | 1991-04-05 | 1992-08-11 | Tif Instruments, Inc. | Quartz crystal pressure sensor |
| JP2012093135A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-17 | Seiko Epson Corp | 圧力センサー |
-
2015
- 2015-09-30 RU RU2015141536A patent/RU2627544C2/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3396341A1 (en) * | 2017-04-24 | 2018-10-31 | Nokia Technologies Oy | Strain sensor comprising a viscous piezoresistive element |
| WO2018197355A1 (en) * | 2017-04-24 | 2018-11-01 | Nokia Technologies Oy | Strain sensor comprising a viscous piezoresistive element |
| US11060927B2 (en) | 2017-04-24 | 2021-07-13 | Nokia Technologies Oy | Strain sensor comprising a viscous piezoresistive element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2627544C2 (ru) | 2017-08-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5477051B2 (ja) | 超音波流量計 | |
| KR101844806B1 (ko) | Saw소자를 이용한 무선 온도 측정 장치 | |
| CN103134606B (zh) | 差分式声表面波温度传感器 | |
| JP5152944B1 (ja) | 水晶温度計測用プローブおよび水晶温度計測装置 | |
| JPH04230599A (ja) | 測定値検出および伝送装置 | |
| CN108713133B (zh) | 声波共振压力与温度传感器 | |
| WO2010135435A3 (en) | Detection and measurement of mass change using an electromechanical resonator | |
| RU2013110510A (ru) | Способ и устройство для измерения технологического параметра текучей среды в скважине | |
| CN104266718A (zh) | 一种可自动校准的超声波液位测量系统 | |
| WO2014152975A3 (en) | Downhole quartz gauge with minimal electronics | |
| RU2015141536A (ru) | Пьезорезонансно-вязкостный вакуумметр | |
| CN203132736U (zh) | 差分式声表面波温度传感器 | |
| WO2019207358A3 (en) | Methods for the use of inherent frequency shifting mechanisms for sensors response reading with continuous wave excitation | |
| RU2016133862A (ru) | Устройство измерения массового расхода, молекулярной массы и влажности газа | |
| JP2012247220A (ja) | 弾性表面波センサ、センシングシステム、及び圧力測定方法 | |
| RU2504766C1 (ru) | Преобразователь акустической эмиссии | |
| CN104019886A (zh) | 基于声表面波的具有温度补偿的感测振动传感结构 | |
| CN104956590A (zh) | 多功能频率控制装置 | |
| CN201417185Y (zh) | 石英晶体谐振式差频压力温度传感器 | |
| JP2012008122A (ja) | 弾性表面波センサ、センシングシステム、及び圧力測定方法 | |
| RU56637U1 (ru) | Акустический газоанализатор | |
| RU2470274C1 (ru) | Способ и устройство для измерения давления внутри трубопроводов | |
| CA2585830A1 (en) | Microwave cavity load cell | |
| Werszko | A quartz resonator force transducer | |
| KR101609677B1 (ko) | 공진주파수를 이용한 천연가스의 발열량 측정장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20171001 |