Claims (2)
1. Способ осуществления тлеющего разряда, включающий зажигание тлеющего разряда между анодом и катодом в газоразрядной камере с поперечным к направлению электрического поля потоком рабочего газа, отличающийся тем, что при зажигании тлеющего разряда устанавливают давление в газоразрядной камере от Р=10 Торр и ниже, создают разные концентрации частиц газа в различных областях межэлектродного пространства за счет организации сверхзвукового потока рабочего газа в заданной области межэлектродного зазора в поперечном к электрическому полю направлении при скорости потока газа более V=300 м/с.1. A method of performing a glow discharge, including ignition of a glow discharge between the anode and cathode in a gas discharge chamber with a working gas flow transverse to the direction of the electric field, characterized in that when the glow discharge is ignited, the pressure in the gas discharge chamber is set to P = 10 Torr or lower, create different concentrations of gas particles in different regions of the interelectrode space due to the organization of a supersonic flow of the working gas in a given region of the interelectrode gap transverse to the electric field direction at a gas flow rate of more than V = 300 m / s.
2. Устройство для осуществления тлеющего разряда, содержащее откачную вакуумную систему, подключенную к газоразрядной камере, с размещенными в ней анодом, катодом, патрубками для подачи и откачки рабочего газа, устройством для формирования потока рабочего газа, отличающееся тем, что содержит конфузор, а устройство для формирования потока рабочего газа выполнено как сверхзвуковое сопло, являющееся диффузором, причем конфузор и диффузор установлены в межэлектродном пространстве в газоразрядной камере соосно друг против друга таким образом, что ось конфузора и диффузора находится в поперечном к оси анода и катода направлении на заданном расстоянии относительно анода и катода, также имеется патрубок для откачки остаточного газа из газоразрядной камеры.2. A device for performing a glow discharge, comprising a vacuum pump system connected to a gas discharge chamber with an anode, cathode, nozzles for supplying and pumping working gas, a device for generating a working gas flow, characterized in that it contains a confuser, and the device To form a working gas stream, it is made as a supersonic nozzle, which is a diffuser, and the confuser and diffuser are installed in the interelectrode space in the gas discharge chamber, coaxially opposite each other in such a way ohm, that the axis of the confuser and the diffuser is in the direction transverse to the axis of the anode and cathode at a predetermined distance relative to the anode and cathode, there is also a pipe for pumping residual gas from the gas discharge chamber.