RU2015110792A - Способ газоразряного напыления пленок - Google Patents
Способ газоразряного напыления пленок Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015110792A RU2015110792A RU2015110792A RU2015110792A RU2015110792A RU 2015110792 A RU2015110792 A RU 2015110792A RU 2015110792 A RU2015110792 A RU 2015110792A RU 2015110792 A RU2015110792 A RU 2015110792A RU 2015110792 A RU2015110792 A RU 2015110792A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- discharge
- voltage
- gas
- electron beam
- films
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3471—Introduction of auxiliary energy into the plasma
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Способ газоразрядного напыления пленок, в котором получение напыляемого материала, его транспортировка и осаждение на поверхность осуществляются в разряде, отличающийся тем, что с помощью высоковольтных импульсов напряжения с длительностью импульсов на полувысоте, не превышающей десятков наносекунд, и длительностью фронта, не превышающей нескольких наносекунд, формируется разряд, инициируемый пучком электронов лавин в плотных газовых средах в промежутке между высоковольтным распыляемым электродом с малым радиусом кривизны и электропроводящей поверхностью для напыления, на которую одновременно воздействуют электронный пучок, ударная волна, ультрафиолетовое и вакуумное ультрафиолетовое излучения плазмы, сопровождающие разряд.
Claims (1)
- Способ газоразрядного напыления пленок, в котором получение напыляемого материала, его транспортировка и осаждение на поверхность осуществляются в разряде, отличающийся тем, что с помощью высоковольтных импульсов напряжения с длительностью импульсов на полувысоте, не превышающей десятков наносекунд, и длительностью фронта, не превышающей нескольких наносекунд, формируется разряд, инициируемый пучком электронов лавин в плотных газовых средах в промежутке между высоковольтным распыляемым электродом с малым радиусом кривизны и электропроводящей поверхностью для напыления, на которую одновременно воздействуют электронный пучок, ударная волна, ультрафиолетовое и вакуумное ультрафиолетовое излучения плазмы, сопровождающие разряд.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015110792A RU2607288C2 (ru) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | Способ газоразряного напыления пленок |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015110792A RU2607288C2 (ru) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | Способ газоразряного напыления пленок |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2015110792A true RU2015110792A (ru) | 2016-10-20 |
| RU2607288C2 RU2607288C2 (ru) | 2017-01-10 |
Family
ID=57138225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015110792A RU2607288C2 (ru) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | Способ газоразряного напыления пленок |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2607288C2 (ru) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4424101A (en) * | 1980-11-06 | 1984-01-03 | The Perkin-Elmer Corp. | Method of depositing doped refractory metal silicides using DC magnetron/RF diode mode co-sputtering techniques |
| RU2185006C1 (ru) * | 2000-11-27 | 2002-07-10 | Абдуллин Ильдар Шаукатович | Способ напыления пленки на подложку |
| JP4009102B2 (ja) * | 2001-12-19 | 2007-11-14 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 半導体特性を示すアモルファス鉄シリサイド膜とその作製方法 |
| RU2340703C1 (ru) * | 2007-03-20 | 2008-12-10 | Валерий Николаевич Пименов | Способ плазменной обработки поверхности изделия |
| RU2415966C1 (ru) * | 2009-11-30 | 2011-04-10 | Учреждение Российской академии наук Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН | Способ нанесения покрытия на изделия из твердых сплавов |
-
2015
- 2015-03-25 RU RU2015110792A patent/RU2607288C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2607288C2 (ru) | 2017-01-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EA201791234A1 (ru) | Плазменный источник с полым катодом | |
| WO2013020613A8 (en) | Method and device for generating optical radiation by means of elecctrically operated pulsed discharges | |
| CL2008003670A1 (es) | Dispositivo y metodo para el tratamiento de superficies mediante un plasma producido bajo presion atmosferica en los cuales se ioniza aire ambiente aspirado en un espacio de trabajo entre un electrodo y un contra-electrodo mediante la descarga de pulsos de alta tension asimetricos de polaridad opuesta entre los electrodos | |
| JP2015521784A5 (ru) | ||
| WO2016007312A3 (en) | Extreme ultraviolet light source | |
| NZ740992A (en) | Internal wire-triggered pulsed cathodic arc propulsion system | |
| JP2014007387A5 (ja) | 成膜装置 | |
| PE20161512A1 (es) | Sistema y metodos para el tratamiento de sistemas de agua con descargas de alto voltaje y ozono | |
| RU2015137774A (ru) | Устройство для ионной бомбардировки и способ его применения для очистки поверхности подложки | |
| RU183129U1 (ru) | Управляемый вакуумный разрядник | |
| EP3184664B1 (en) | Method and device for sputtered particle measurement | |
| WO2017196622A3 (en) | Ion beam materials processing system with grid short clearing system for gridded ion beam source | |
| RU2015110792A (ru) | Способ газоразряного напыления пленок | |
| JP2016524460A5 (ru) | ||
| WO2018175320A3 (en) | Device for generating and delivering low temperature plasma | |
| Pang et al. | Effect of pulse polarity on nanosecond surface dielectric barrier discharge | |
| Loktionov et al. | Laser-Induced Electric Breakdown of Krypton in the UV–Near IR Spectral Region | |
| RU2015123270A (ru) | Способ нанесения покрытий путем плазменного напыления и устройство для его осуществления | |
| WO2014186025A3 (en) | Radiation generator having bi-polar electrodes | |
| RU2013146140A (ru) | Способ генерации широкополосного электромагнитного излучения свч диапазона | |
| UA129570U (uk) | Спосіб іонного очищення внутрішніх поверхонь радіохвилеводів нвч тліючим розрядом з ефектом порожнистого катода | |
| RU2017128269A (ru) | Импульсный плазменный электрический реактивный двигатель | |
| RU2583378C1 (ru) | Устройство для синтеза наноструктурных покрытий | |
| RU2018135199A (ru) | Способ преобразования непрерывного потока ионов в источниках с ионизацией при атмосферном давлении в импульсный | |
| Bizyukov et al. | High-current pulsed operation modes of the planar mss with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190326 |