RU2014150782A - Способ легирования полупроводниковых пластин - Google Patents
Способ легирования полупроводниковых пластин Download PDFInfo
- Publication number
- RU2014150782A RU2014150782A RU2014150782A RU2014150782A RU2014150782A RU 2014150782 A RU2014150782 A RU 2014150782A RU 2014150782 A RU2014150782 A RU 2014150782A RU 2014150782 A RU2014150782 A RU 2014150782A RU 2014150782 A RU2014150782 A RU 2014150782A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pulse
- high energy
- energy density
- pulses
- alloying
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
Способ легирования, в котором на подложку наносят тонкую пленку легирующего материала и обрабатывают импульсами с большой плотностью энергии, создающими локальное проплавление материала и быстрое затвердевание, отличающийся тем, что в качестве импульса с большой плотностью энергии используют электрические импульсы, а в качестве материала электрода, который обеспечивает подачу импульса на пластину, используют материал, в состав которого входят материал подложки и легирующая примесь.
Claims (1)
- Способ легирования, в котором на подложку наносят тонкую пленку легирующего материала и обрабатывают импульсами с большой плотностью энергии, создающими локальное проплавление материала и быстрое затвердевание, отличающийся тем, что в качестве импульса с большой плотностью энергии используют электрические импульсы, а в качестве материала электрода, который обеспечивает подачу импульса на пластину, используют материал, в состав которого входят материал подложки и легирующая примесь.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014150782/28A RU2597647C2 (ru) | 2014-12-15 | 2014-12-15 | Способ легирования полупроводниковых пластин |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014150782/28A RU2597647C2 (ru) | 2014-12-15 | 2014-12-15 | Способ легирования полупроводниковых пластин |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2014150782A true RU2014150782A (ru) | 2016-07-10 |
| RU2597647C2 RU2597647C2 (ru) | 2016-09-20 |
Family
ID=56372491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014150782/28A RU2597647C2 (ru) | 2014-12-15 | 2014-12-15 | Способ легирования полупроводниковых пластин |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2597647C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2710005C1 (ru) * | 2019-04-26 | 2019-12-23 | Акционерное общество "ОКБ-Планета" АО "ОКБ-Планета" | Способ монтажа полупроводниковых кристаллов в корпус |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4843033A (en) * | 1985-09-27 | 1989-06-27 | Texas Instruments Incorporated | Method for outdiffusion of zinc into III-V substrates using zinc tungsten silicide as dopant source |
| SU1452399A1 (ru) * | 1987-04-30 | 1999-11-10 | Институт Физики Полупроводников Со Ан Ссср | Способ легирования слоя поликристаллического кремния |
| RU2069414C1 (ru) * | 1994-08-29 | 1996-11-20 | Институт физики полупроводников СО РАН | Способ легирования кремния халькогенами |
| DE19842882A1 (de) * | 1998-09-18 | 2000-03-30 | Siemens Ag | Verfahren zum Herstellen eines Dotierungsgebiets |
| RU2476955C2 (ru) * | 2011-05-06 | 2013-02-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова" | Способ формирования легированных областей полупроводникового прибора |
| TWI541377B (zh) * | 2011-11-04 | 2016-07-11 | Ａｓｍ國際股份有限公司 | 形成摻雜二氧化矽薄膜的方法 |
-
2014
- 2014-12-15 RU RU2014150782/28A patent/RU2597647C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2597647C2 (ru) | 2016-09-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2015175060A3 (en) | Laser induced graphene materials and their use in electronic devices | |
| MX2022009514A (es) | Generador electrico. | |
| SG11201803826YA (en) | Lead frame, lead frame package, and method for manufacturing same | |
| RU2014150782A (ru) | Способ легирования полупроводниковых пластин | |
| JP2015118930A5 (ru) | ||
| LV15108A (lv) | Gaismas starojuma pārveidošanas paņēmiens elektriskajā enerģijā un akustooptiskais fotoelements | |
| RU2012126440A (ru) | Способ комбинированной обработки каналов | |
| RU2014120090A (ru) | Способ упрочнения изделий из титана и его сплавов | |
| RU2014117445A (ru) | Ветро-пьезоэлектрогенератор | |
| RU2014146196A (ru) | Способ обработки твердосплавных пластин режущего инструмента | |
| RU2014146426A (ru) | Способ изготовления заготовок для детекторов ионизирующих излучений из широкозонных полупроводниковых материалов | |
| JP2017023236A5 (ru) | ||
| CL2015002017A1 (es) | Esferas absorbentes y método para obtener cátodos de calidad mejorada de una especie metálicas de interés y aumentar la eficiencia energética en un proceso de electro-obtención. | |
| UA109137U (uk) | Спосіб визначення безпечного електричного заряду | |
| RU2014134151A (ru) | Консорциум, состоящий из представителей родов Fusobacterium, E.coli, S.faecalis, для переработки биоотходов и способ переработки биоотходов с помощью микроорганизмов | |
| RU2014127161A (ru) | Консорциум, состоящий из представителей родов Eubacterium, Fusobacterium, S.faecalis, для переработки биоотходов и способ переработки биоотходов с помощью микроорганизмов | |
| RU2014135610A (ru) | Консорциум, состоящий из представителей родов Fusobacterium, S.faecalis, S.faecium, для переработки биоотходов и способ переработки биоотходов с помощью микроорганизмов | |
| RU2014140305A (ru) | Способ легирования кремния | |
| RU2014134856A (ru) | Консорциум, состоящий из представителей родов Bacteroides, Eubacterium, Fusobacterium, S.faecalis, для переработки биоотходов и способ переработки биоотходов с помощью микроорганизмов | |
| RU2014127174A (ru) | Консорциум, состоящий из представителей родов Bacteroides, Fusobacterium, S.faecalis, для переработки биоотходов и способ переработки биоотходов с помощью микроорганизмов | |
| RU2014136050A (ru) | Консорциум, состоящий из представителей родов Bifidobacterium, Eubacterium, Fusobacterium, S.faecalis, для переработки биоотходов и способ переработки биоотходов с помощью микроорганизмов | |
| RU2014134163A (ru) | Консорциум, состоящий из представителей родов Fusobacterium, E.coli, S.faecium, для переработки биоотходов и способ переработки биоотходов с помощью микроорганизмов | |
| RU2014127169A (ru) | Консорциум, состоящий из представителей родов Eubacterium, E.coli, S.faecalis, для переработки биоотходов и способ переработки биоотходов с помощью микроорганизмов | |
| RU2014144111A (ru) | Консорциум, состоящий из представителей родов Bacteroides, Eubacterium, E.coli, S.faecalis, для переработки биоотходов и способ переработки биоотходов с помощью микроорганизмов | |
| RU2013112726A (ru) | Способ сублимационной очистки соли молибдена-99 методом лазерного сканирования и устройство для его осуществления |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HZ9A | Changing address for correspondence with an applicant | ||
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20161216 |