RU2014140305A - Способ легирования кремния - Google Patents
Способ легирования кремния Download PDFInfo
- Publication number
- RU2014140305A RU2014140305A RU2014140305A RU2014140305A RU2014140305A RU 2014140305 A RU2014140305 A RU 2014140305A RU 2014140305 A RU2014140305 A RU 2014140305A RU 2014140305 A RU2014140305 A RU 2014140305A RU 2014140305 A RU2014140305 A RU 2014140305A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon
- dopants
- gas
- liquiding
- polarity
- Prior art date
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
Способ легирования кремния, заключающийся в том, что пластину кремния обрабатывают в тлеющем разряде газа, отличающийся тем, что в качестве газа используют инертные газы, которые не являются легирующими примесями, в качестве источника легирующих примесей используют сильнолегированный электрод в форме пластины, выполненный из гетерогенного сплава кремния с содержанием легирующего элемента 0,01-50%, а процесс легирования осуществляют при периодической смене полярности импульсов напряжения, подаваемого на электроды.
Claims (1)
- Способ легирования кремния, заключающийся в том, что пластину кремния обрабатывают в тлеющем разряде газа, отличающийся тем, что в качестве газа используют инертные газы, которые не являются легирующими примесями, в качестве источника легирующих примесей используют сильнолегированный электрод в форме пластины, выполненный из гетерогенного сплава кремния с содержанием легирующего элемента 0,01-50%, а процесс легирования осуществляют при периодической смене полярности импульсов напряжения, подаваемого на электроды.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014140305/05A RU2597389C2 (ru) | 2014-10-06 | 2014-10-06 | Способ легирования кремния |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014140305/05A RU2597389C2 (ru) | 2014-10-06 | 2014-10-06 | Способ легирования кремния |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2014140305A true RU2014140305A (ru) | 2016-04-27 |
| RU2597389C2 RU2597389C2 (ru) | 2016-09-10 |
Family
ID=55759295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014140305/05A RU2597389C2 (ru) | 2014-10-06 | 2014-10-06 | Способ легирования кремния |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2597389C2 (ru) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL291753A (ru) * | 1963-04-19 | |||
| FR2475069A1 (fr) * | 1980-02-01 | 1981-08-07 | Commissariat Energie Atomique | Procede de dopage rapide de semi-conducteurs |
| RU2002337C1 (ru) * | 1991-10-29 | 1993-10-30 | Инженерный центр "Плазмодинамика" | Способ плазменного легировани полупроводниковых подложек |
-
2014
- 2014-10-06 RU RU2014140305/05A patent/RU2597389C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2597389C2 (ru) | 2016-09-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP4234708A3 (en) | Integrated fermentation and electrolysis process | |
| PL410586A1 (pl) | Urządzenie do elektroprodukcji materiałów | |
| EP2765837A3 (en) | System and method for treatment of biofilms | |
| EP2988339A3 (en) | Light emitting device | |
| MX2020011254A (es) | Celulas t car anti-bcma para agotamiento de celulas de plasma. | |
| EA201890811A1 (ru) | Способы лечения мышечной дистрофии | |
| EP2696366A3 (en) | Device having reduced bias temperature instability (bti) | |
| EA201791196A1 (ru) | Прямое включение природного газа в жидкие углеводородные топлива | |
| CU20150031A7 (es) | Sistema de soldadura de electrodo no consumible y método de soldadura del mismo | |
| MX2016005653A (es) | Celula electrolitica equipada con pares de electrodos concentricos. | |
| MX2020008424A (es) | Electrodos para procesos de electrocloracion. | |
| IN2014KN01651A (ru) | ||
| SG11201803826YA (en) | Lead frame, lead frame package, and method for manufacturing same | |
| RU2014140305A (ru) | Способ легирования кремния | |
| PH12017500714B1 (en) | A deformable apparatus and method | |
| EA201500118A1 (ru) | Способ электрохимической обработки титана и титановых сплавов | |
| MX352535B (es) | Aparato para el tratamiento por plasma de superficies y metodo para el tratamiento de superficies con plasma. | |
| WO2019013467A3 (ko) | 구조체의 제조방법 | |
| IN2015DN01898A (ru) | ||
| RU2014150782A (ru) | Способ легирования полупроводниковых пластин | |
| RU2012126440A (ru) | Способ комбинированной обработки каналов | |
| RU2011147882A (ru) | Способ обработки топлива | |
| RU2014139866A (ru) | Ускоритель-тандем с вакуумной изоляцией | |
| RU2013127748A (ru) | Способ получения коллоидного раствора наноразмерного углерода | |
| RU2012118682A (ru) | Способ получения порошков из пантов оленей |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HZ9A | Changing address for correspondence with an applicant | ||
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20181007 |