RU2014141052A - Керамико-металлическое соединение и способ его изготовления - Google Patents

Керамико-металлическое соединение и способ его изготовления Download PDF

Info

Publication number
RU2014141052A
RU2014141052A RU2014141052A RU2014141052A RU2014141052A RU 2014141052 A RU2014141052 A RU 2014141052A RU 2014141052 A RU2014141052 A RU 2014141052A RU 2014141052 A RU2014141052 A RU 2014141052A RU 2014141052 A RU2014141052 A RU 2014141052A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
ring
shoulder
ceramic tube
assembly according
assembly
Prior art date
Application number
RU2014141052A
Other languages
English (en)
Inventor
Жилль ЛЕБЕН
Николя РИШЕ
Original Assignee
Л'Эр Ликид, Сосьете Аноним Пур Л'Этюд Э Л'Эксплуатасьон Де Проседе Жорж Клод
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Л'Эр Ликид, Сосьете Аноним Пур Л'Этюд Э Л'Эксплуатасьон Де Проседе Жорж Клод filed Critical Л'Эр Ликид, Сосьете Аноним Пур Л'Этюд Э Л'Эксплуатасьон Де Проседе Жорж Клод
Publication of RU2014141052A publication Critical patent/RU2014141052A/ru

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/02Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/10Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing
    • F16J15/102Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing characterised by material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0053Details of the reactor
    • B01J19/0073Sealings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B37/00Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
    • C04B37/02Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles
    • C04B37/023Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used
    • C04B37/025Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used consisting of glass or ceramic material
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/02Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/10Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing
    • F16J15/104Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing characterised by structure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L25/00Constructive types of pipe joints not provided for in groups F16L13/00 - F16L23/00 ; Details of pipe joints not otherwise provided for, e.g. electrically conducting or insulating means
    • F16L25/0072Joints for pipes of dissimilar materials
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L49/00Connecting arrangements, e.g. joints, specially adapted for pipes of brittle material, e.g. glass, earthenware
    • F16L49/02Joints with a sleeve or socket
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • C04B2235/9607Thermal properties, e.g. thermal expansion coefficient
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/10Glass interlayers, e.g. frit or flux
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32Ceramic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/40Metallic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/76Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc
    • C04B2237/765Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc at least one member being a tube
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/84Joining of a first substrate with a second substrate at least partially inside the first substrate, where the bonding area is at the inside of the first substrate, e.g. one tube inside another tube
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/86Joining of two substrates at their largest surfaces, one surface being complete joined and covered, the other surface not, e.g. a small plate joined at it's largest surface on top of a larger plate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

1. Сборка для герметичного соединения, которая содержит:(a) керамическую трубку (1);(b) первое кольцо (2) из огнестойкого сплава, которое содержит:цилиндрическое отверстие (21), принимающее керамическую трубку;первый заплечик (22), расположенный на нижнем конце кольца, обращенный внутрь цилиндрического отверстия и обеспечивающий упор для керамической трубки;второй заплечик (23), образующий кольцевое пространство на верхнем конце кольца, между керамической трубкой и первым кольцом из огнестойкого сплава;(c) второе кольцо (3) из изоляционного материала, деформируемого при термической обработке, расположенное в кольцевом пространстве, образованном вторым заплечиком кольца из огнестойкого сплава; и(d) третье кольцо (4) из металлического сплава, размещенное на верхней кромке первого кольца (2).2. Сборка по п. 1, отличающаяся тем, что имеет первый зазор, меньше 0,2 мм, между керамической трубкой и нижним участком второго заплечика (23) первого кольца (2).3. Сборка по п. 1 или 2, отличающаяся тем, что имеет первый зазор, меньше 0,1 мм, между керамической трубкой (1) и вторым кольцом (3).4. Сборка по п. 1, отличающаяся тем, что изоляционный материал второго кольца (3) выбран из стекла и стеклокерамики.5. Сборка по п. 1, отличающаяся тем, что сплавы первого кольца (2) и третьего кольца (4) выбраны из сплавов, имеющих температуру использования, превышающую 500°С и коэффициент термического расширения при температуре окружающей среды 800°С, превышающий 12.10K.6. Сборка по п. 1, отличающаяся тем, что второе кольцо (3) содержит заплечик (31), обеспечивающий упор для третьего кольца (4).7. Сборка по п. 6, отличающаяся тем, что имеет второй зазор, меньше 0,2 мм, между керамической трубкой (1) и вторым кольцом (3).8. Сборка по п. 6, отличающаяся тем, что третье кольцо (4) содерж

Claims (19)

1. Сборка для герметичного соединения, которая содержит:
(a) керамическую трубку (1);
(b) первое кольцо (2) из огнестойкого сплава, которое содержит:
цилиндрическое отверстие (21), принимающее керамическую трубку;
первый заплечик (22), расположенный на нижнем конце кольца, обращенный внутрь цилиндрического отверстия и обеспечивающий упор для керамической трубки;
второй заплечик (23), образующий кольцевое пространство на верхнем конце кольца, между керамической трубкой и первым кольцом из огнестойкого сплава;
(c) второе кольцо (3) из изоляционного материала, деформируемого при термической обработке, расположенное в кольцевом пространстве, образованном вторым заплечиком кольца из огнестойкого сплава; и
(d) третье кольцо (4) из металлического сплава, размещенное на верхней кромке первого кольца (2).
2. Сборка по п. 1, отличающаяся тем, что имеет первый зазор, меньше 0,2 мм, между керамической трубкой и нижним участком второго заплечика (23) первого кольца (2).
3. Сборка по п. 1 или 2, отличающаяся тем, что имеет первый зазор, меньше 0,1 мм, между керамической трубкой (1) и вторым кольцом (3).
4. Сборка по п. 1, отличающаяся тем, что изоляционный материал второго кольца (3) выбран из стекла и стеклокерамики.
5. Сборка по п. 1, отличающаяся тем, что сплавы первого кольца (2) и третьего кольца (4) выбраны из сплавов, имеющих температуру использования, превышающую 500°С и коэффициент термического расширения при температуре окружающей среды 800°С, превышающий 12.10-6K-1.
6. Сборка по п. 1, отличающаяся тем, что второе кольцо (3) содержит заплечик (31), обеспечивающий упор для третьего кольца (4).
7. Сборка по п. 6, отличающаяся тем, что имеет второй зазор, меньше 0,2 мм, между керамической трубкой (1) и вторым кольцом (3).
8. Сборка по п. 6, отличающаяся тем, что третье кольцо (4) содержит заплечик (41), позволяющий установить третье кольцо (4) на первое кольцо (2).
9. Сборка по п. 8, отличающаяся тем, что участок (42) третьего кольца (4) расположен в кольцевом пространстве, образованном вторым заплечиком (23) первого кольца (2) из огнестойкого сплава.
10. Способ изготовления сборки для герметичного соединения по одному из пп. 1-5, который содержит следующие последовательные этапы:
(a) вводят керамическую трубку (1) в цилиндрическое отверстие (21) первого кольца (2) из огнестойкого сплава;
(b) вводят изоляционный материал в кольцевое пространство, образованное вторым заплечиком (23) первого кольца (2) из огнестойкого сплава;
(c) устанавливают третье кольцо (4) на верхней кромке второго кольца (3); и
(d) осуществляют термическую обработку сборки из трех колец (2), (3) и (4) и керамической трубки (1) при температуре, обеспечивающей деформацию изоляционного материала;
(e) извлекают сборку для герметичного соединения по одному из пп. 1-5.
11. Способ по п. 10, отличающийся тем, что перед или во время этапа d) термической обработки на третье кольцо (4) прикладывают нагрузку (71).
12. Способ по п. 10, отличающийся тем, что термическую обработку осуществляют в воздушной атмосфере.
13. Способ по п. 10, отличающийся тем, что термическую обработку осуществляют посредством печи.
14. Способ изготовления сборки для герметичного соединения по п. 9, который содержит следующие последовательные этапы:
(а) вводят керамическую трубку (1) в цилиндрическое отверстие (21) первого кольца (2) из огнестойкого сплава;
(b) вводят изоляционный материал в кольцевое пространство, образованное вторым заплечиком (23) первого кольца (2) из огнестойкого сплава;
(c) устанавливают третье кольцо (4) посредством введения участка (42) в кольцевое пространство, образованное вторым заплечиком (23) первого кольца (2) с распределением изоляционного материала в кольцевом пространстве, и посредством установки заплечика третьего кольца (4) на кромке второго кольца (3); и
(d) осуществляют термическую обработку сборки из трех колец (2), (3) и (4) и керамической трубки (1) при температуре, обеспечивающей деформацию изоляционного материала;
(e) извлекают сборку для герметичного соединения по п. 9.
15. Способ по п. 14, отличающийся тем, что перед или во время этапа d) термической обработки на третье кольцо (4) прикладывают нагрузку (71).
16. Способ по п. 14, отличающийся тем, что термическую обработку осуществляют в воздушной атмосфере.
17. Способ по п. 14, отличающийся тем, что термическую обработку осуществляют посредством печи.
18. Использование сборки по одному из пп. 1-9 внутри реактора с керамической мембраной для производства или отделения газа, преимущественно для производства синтез-газа.
19. Использование сборки по одному из пп. 1-9 внутри реактора с керамической мембраной для производства электроэнергии путем сжигания угля кислородом.
RU2014141052A 2012-03-12 2013-01-31 Керамико-металлическое соединение и способ его изготовления RU2014141052A (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1252181A FR2987878B1 (fr) 2012-03-12 2012-03-12 Nouveau joint ceramique/metal et son procede d'elaboration
FR1252181 2012-03-12
PCT/FR2013/050204 WO2013135982A1 (fr) 2012-03-12 2013-01-31 Joint ceramique/metal et son procede d'elaboration

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2014141052A true RU2014141052A (ru) 2016-05-10

Family

ID=47754798

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014141052A RU2014141052A (ru) 2012-03-12 2013-01-31 Керамико-металлическое соединение и способ его изготовления

Country Status (12)

Country Link
US (1) US20150048575A1 (ru)
EP (1) EP2825514B1 (ru)
JP (1) JP2015512778A (ru)
CN (1) CN104302601A (ru)
AU (1) AU2013234155A1 (ru)
CA (1) CA2867729A1 (ru)
FR (1) FR2987878B1 (ru)
IN (1) IN2014DN07905A (ru)
RU (1) RU2014141052A (ru)
SG (1) SG11201405768RA (ru)
WO (1) WO2013135982A1 (ru)
ZA (1) ZA201407033B (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3130397A1 (fr) 2015-08-12 2017-02-15 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Tube de réformage avec pièce de protection contre la corrosion

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3920172A (en) * 1974-10-03 1975-11-18 Bendix Corp Conductive glass seal assembly
US5264295A (en) * 1990-08-03 1993-11-23 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Combined body of ceramics and metal
US6139810A (en) 1998-06-03 2000-10-31 Praxair Technology, Inc. Tube and shell reactor with oxygen selective ion transport ceramic reaction tubes
US6302402B1 (en) 1999-07-07 2001-10-16 Air Products And Chemicals, Inc. Compliant high temperature seals for dissimilar materials
US6454274B2 (en) 2000-03-27 2002-09-24 Praxair Technology, Inc. Joint assembly for joining a ceramic membrane to a tube sheet
US6547286B1 (en) 2001-12-27 2003-04-15 Praxair Technology, Inc. Joint for connecting ceramic element to a tubesheet
FR2879594B1 (fr) * 2004-12-17 2007-02-02 Air Liquide Ensemble de jonction ceramique-metal ou alliage metallique
EP1783107A1 (fr) * 2005-11-08 2007-05-09 L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude Procédé d'élaboration d'un scellement haute température céramique/métal, composition en céramique et verre et ensemble de jonction céramique-métal

Also Published As

Publication number Publication date
CN104302601A (zh) 2015-01-21
CA2867729A1 (fr) 2013-09-19
AU2013234155A1 (en) 2014-10-30
SG11201405768RA (en) 2014-12-30
EP2825514A1 (fr) 2015-01-21
EP2825514B1 (fr) 2016-04-13
FR2987878B1 (fr) 2014-05-09
ZA201407033B (en) 2015-11-25
WO2013135982A1 (fr) 2013-09-19
US20150048575A1 (en) 2015-02-19
IN2014DN07905A (ru) 2015-04-24
JP2015512778A (ja) 2015-04-30
FR2987878A1 (fr) 2013-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2014149110A3 (en) Seals for a gas turbine engine
UA103346C2 (ru) Газовая турбина внешнего сгорания, которая использует ротационный регенеративный теплообменник
MX352291B (es) Sistemas y métodos de generación de potencia de triple ciclo de baja emisión.
SG179050A1 (en) Double transition joint for the joining of ceramics to metals
RU2011106679A (ru) Способ получения углеродных наноматериалов с помощью энергии низкомолекулярной плазмы и установка для его осуществления
BR112012025025A2 (pt) aparelho e método para suporte secundário de aduela estanque a gases.
IN2012DE01024A (ru)
MX2018002825A (es) Horno industrial integrado con sistema de gasificacion de biomasa.
UA101324C2 (ru) Способ и оборудование для одновременной выработки электроэнергии и цементного клинкера
BR112015014686A2 (pt) recuperação de energia a partir de fumaças de um forno de fusão com uma turbina a gás e trocadores de calor
BR112015032593A8 (pt) método de aquecimento por chama direta e unidade para sua condução
CY1112040T1 (el) Μεθοδος παραγωγης θερμικης ενεργειας
GB2490348B (en) A head part of an annular combustion chamber
MX2016011222A (es) Inyector de combustible para motor de turbina de gas con un protector termico interno.
RU2014141052A (ru) Керамико-металлическое соединение и способ его изготовления
MX2011012638A (es) Quemador de oxi-combustible de orificio pasante.
AR085495A1 (es) Metodo y disposicion para calcinar lodos de cal
JP2017160315A (ja) コークス炉の炉体設備における火入れ時の炉体乾燥方法
EP4158247C0 (en) HYDROGEN GAS BURNER
CN203672150U (zh) 一种预制棒玻璃化炉的进电极密封装置
CN203112771U (zh) 气化炉防窜气密封结构
CN206875476U (zh) 一种点火检测电极
MX2020008307A (es) Integracion de quemador de oxigeno caliente con reformador autotermico.
CN211451884U (zh) 一种矿热炉电极用动态密封装置
CN103615891B (zh) 一种真空气氛高压碳板炉

Legal Events

Date Code Title Description
FA94 Acknowledgement of application withdrawn (non-payment of fees)

Effective date: 20180222