RU2014102992A - Способ изготовления термически обработанного и подвергнутого травлению/фрезерованию ионным пучком покрытого изделия с использованием защитной пленки из алмазоподобного углерода (dlc) - Google Patents

Способ изготовления термически обработанного и подвергнутого травлению/фрезерованию ионным пучком покрытого изделия с использованием защитной пленки из алмазоподобного углерода (dlc) Download PDF

Info

Publication number
RU2014102992A
RU2014102992A RU2014102992/03A RU2014102992A RU2014102992A RU 2014102992 A RU2014102992 A RU 2014102992A RU 2014102992/03 A RU2014102992/03 A RU 2014102992/03A RU 2014102992 A RU2014102992 A RU 2014102992A RU 2014102992 A RU2014102992 A RU 2014102992A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
zirconium
carbon
diamond
ion beam
Prior art date
Application number
RU2014102992/03A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2635312C2 (ru
Inventor
Цзянпин ВАН
Рудольф Хьюго ПЕТРМИЧЛ
Жан-Марк ЛЕММЕР
Original Assignee
Гардиан Индастриз Корп.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Гардиан Индастриз Корп. filed Critical Гардиан Индастриз Корп.
Publication of RU2014102992A publication Critical patent/RU2014102992A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2635312C2 publication Critical patent/RU2635312C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3441—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising carbon, a carbide or oxycarbide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/27—Oxides by oxidation of a coating previously applied
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/10—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by other chemical means
    • B05D3/104—Pretreatment of other substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • C03C15/02—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching for making a smooth surface
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/225—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/22—ZrO2
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/28—Other inorganic materials
    • C03C2217/282—Carbides, silicides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/70—Properties of coatings
    • C03C2217/77—Coatings having a rough surface
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/70—Properties of coatings
    • C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/90—Other aspects of coatings
    • C03C2217/91—Coatings containing at least one layer having a composition gradient through its thickness
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/31—Pre-treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32—After-treatment
    • C03C2218/322—Oxidation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32—After-treatment
    • C03C2218/328—Partly or completely removing a coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32—After-treatment
    • C03C2218/328—Partly or completely removing a coating
    • C03C2218/33—Partly or completely removing a coating by etching
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/355—Temporary coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/36—Underside coating of a glass sheet
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
    • C03C23/0055—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by ion implantation
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

1. Способ изготовления покрытого изделия, включающий в себя:обеспечение стеклянного субстрата, включающего в себя первую и вторую главные поверхности, причем первая главная поверхность подвергнута воздействию оловянной ванны во время производства стеклянного субстрата, а вторая главная поверхность, являющаяся противоположной первой главной поверхности, подвергнута травлению кислотой;обработку ионным пучком первой главной поверхности субстрата так, чтобы удалить поверхностную часть субстрата, включающую в себя одно или более из олова, оксида олова и/или поверхностных загрязняющих примесей;расположение содержащего цирконий слоя на первой главной поверхности после упомянутой обработки ионным пучком ирасположение включающего в себя алмазоподобный углерод (DLC) слоя, прямо или косвенно, на содержащем цирконий слое;причем стеклянный субстрат с содержащим цирконий слоем и слоем, включающим в себя алмазоподобный углерод, является поддающимся термической обработке при температуре, достаточной для термической закалки, термического упрочнения и/или термического изгиба, так, чтобы вызвать выгорание слоя, включающего в себя алмазоподобный углерод, но не вызывая при этом значительного выгорания содержащего цирконий слоя.2. Способ по п. 1, в котором содержащий цирконий слой включает в себя перед термической обработкой нитрид циркония.3. Способ по п. 2, в котором содержащий цирконий слойвключает в себя после термической обработки оксид циркония.4. Способ по п. 1, дополнительно включающий в себя нанесение временного защитного листа в жидкой или твердой форме на слой, включающий в себя алмазоподобный углерод.5. Способ

Claims (20)

1. Способ изготовления покрытого изделия, включающий в себя:
обеспечение стеклянного субстрата, включающего в себя первую и вторую главные поверхности, причем первая главная поверхность подвергнута воздействию оловянной ванны во время производства стеклянного субстрата, а вторая главная поверхность, являющаяся противоположной первой главной поверхности, подвергнута травлению кислотой;
обработку ионным пучком первой главной поверхности субстрата так, чтобы удалить поверхностную часть субстрата, включающую в себя одно или более из олова, оксида олова и/или поверхностных загрязняющих примесей;
расположение содержащего цирконий слоя на первой главной поверхности после упомянутой обработки ионным пучком и
расположение включающего в себя алмазоподобный углерод (DLC) слоя, прямо или косвенно, на содержащем цирконий слое;
причем стеклянный субстрат с содержащим цирконий слоем и слоем, включающим в себя алмазоподобный углерод, является поддающимся термической обработке при температуре, достаточной для термической закалки, термического упрочнения и/или термического изгиба, так, чтобы вызвать выгорание слоя, включающего в себя алмазоподобный углерод, но не вызывая при этом значительного выгорания содержащего цирконий слоя.
2. Способ по п. 1, в котором содержащий цирконий слой включает в себя перед термической обработкой нитрид циркония.
3. Способ по п. 2, в котором содержащий цирконий слой
включает в себя после термической обработки оксид циркония.
4. Способ по п. 1, дополнительно включающий в себя нанесение временного защитного листа в жидкой или твердой форме на слой, включающий в себя алмазоподобный углерод.
5. Способ по п. 1, включающий в себя термическую обработку стеклянного субстрата с нанесенными на него содержащим цирконий слоем и слоем, включающим в себя алмазоподобный углерод.
6. Способ по п. 5, в котором упомянутая термическая обработка включает в себя термическую закалку.
7. Способ по п. 6, дополнительно включающий в себя удаление временного защитного листа перед упомянутой термической обработкой.
8. Способ по п. 5, в котором по меньшей мере часть содержащего цирконий слоя в результате упомянутой термической обработки становится самым внешним слоем покрытого изделия.
9. Способ по п. 8, в котором обработка ионным пучком выполняется с использованием аргона.
10. Способ по п. 8, в котором обработка ионным пучком выполняется с использованием азота.
11. Способ изготовления термически обработанного покрытого изделия, включающий в себя:
обеспечение стеклянного субстрата, включающего в себя первую и вторую главные поверхности, причем первая главная поверхность подвергнута воздействию оловянной ванны во время производства стеклянного субстрата и обрабатывается ионным пучком так, чтобы удалить поверхностную часть субстрата, включающую в себя олово, оксид олова и/или поверхностные загрязняющие примеси, вторая главная поверхность, являющаяся противоположной первой главной поверхности, подвергнута травлению кислотой, и первая главная поверхность поддерживает в порядке удаления от субстрата содержащий цирконий слой и слой, включающий в себя алмазоподобный углерод (DLC); и
термическую обработку стеклянного субстрата с расположенными на нем содержащим цирконий слоем и слоем, включающим в себя алмазоподобный углерод, так, чтобы удалить слой, включающий в себя алмазоподобный углерод, и сделать по меньшей мере часть содержащего цирконий слоя самым внешним слоем термически обработанного покрытого изделия.
12. Способ по п. 11, дополнительно включающий в себя перед упомянутой термической обработкой удаление временного защитного листа, нанесенного поверх содержащего цирконий слоя и слоя, включающего в себя алмазоподобный углерод.
13. Способ по п. 12, включающий в себя удаление временного защитного листа, нанесенного поверх содержащего цирконий слоя и слоя, включающего в себя алмазоподобный углерод, в результате упомянутой термической обработки.
14. Способ по п. 11, в котором содержащий цирконий слой состоит, по существу, из нитрида циркония до термической обработки и состоит, по существу, из оксида циркония после термической обработки.
15. Способ по п. 14, в котором слой, включающий в себя алмазоподобный углерод, имеет толщину 1-10 нм перед термической обработкой.
16. Способ по п. 11, в котором содержащий цирконий слой
имеет толщину 15-150 нм до и после упомянутой термической обработки.
17. Поддающееся термической обработке покрытое изделие, включающее в себя:
стеклянный субстрат, имеющий первую и вторую главные поверхности, причем первая главная поверхность является контактировавшей с оловом стороной субстрата и подвергнута травлению или фрезерованию ионным пучком с тем, чтобы удалить олово, оксид олова и/или поверхностные загрязняющие примеси с его поверхностной части, а вторая главная поверхность подвергнута травлению кислотой;
в котором первая главная поверхность по меньшей мере временно поддерживает, в порядке удаления от субстрата:
слой, включающий в себя нитрид циркония, и
слой, включающий в себя алмазоподобный углерод (DLC), и
в котором стеклянный субстрат является поддающимся термической обработке так, чтобы (a) вызвать удаление слоя, включающего в себя алмазоподобный углерод, и (b) преобразовать слой, включающий в себя нитрид циркония, в слой, включающий в себя оксид циркония, и
в котором подвергнутая травлению или фрезерованию ионным пучком первая главная поверхность создает дымчатость, которая будет более низкой после обработки, чем она была бы, если бы первая главная поверхность не была обработана травлением или фрезерованием ионным пучком.
18. Покрытое изделие по п. 17, в котором слой, включающий в себя алмазоподобный углерод, имеет толщину 1-10 нм до
термической обработки.
19. Покрытое изделие по п. 18, в котором содержащий цирконий слой имеет толщину 15-150 нм до и после термической обработки.
20. Термически обработанное покрытое изделие, включающее в себя:
стеклянный субстрат, имеющий первую и вторую главные поверхности, причем первая главная поверхность является контактировавшей с оловом стороной субстрата и подвергнута травлению или фрезерованию ионным пучком с тем, чтобы удалить олово, оксид олова и/или поверхностные загрязняющие примеси с его поверхностной части, а вторая главная поверхность подвергнута травлению кислотой;
в котором первая главная поверхность поддерживает в порядке удаления от субстрата слой, включающий в себя нитрид циркония, и слой, включающий в себя алмазоподобный углерод (DLC);
в котором обработанная травлением или фрезерованием ионным пучком первая главная поверхность создает дымчатость, которая будет более низкой после обработки, чем она была бы, если бы первая главная поверхность не была обработана травлением или фрезерованием ионным пучком.
RU2014102992A 2011-06-30 2012-06-21 Способ изготовления термически обработанного и подвергнутого травлению/фрезерованию ионным пучком покрытого изделия с использованием защитной пленки из алмазоподобного углерода (dlc) RU2635312C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US13/174,310 US20120040160A1 (en) 2007-01-29 2011-06-30 Method of making heat treated and ion-beam etched/milled coated article using diamond-like carbon (dlc) protective film
US13/174,310 2011-06-30
PCT/US2012/043498 WO2013003188A1 (en) 2011-06-30 2012-06-21 Method of making heat treated and ion-beam etched/milled coated article using diamond-like carbon (dlc) protective film

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014102992A true RU2014102992A (ru) 2015-08-10
RU2635312C2 RU2635312C2 (ru) 2017-11-10

Family

ID=46466894

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014102992A RU2635312C2 (ru) 2011-06-30 2012-06-21 Способ изготовления термически обработанного и подвергнутого травлению/фрезерованию ионным пучком покрытого изделия с использованием защитной пленки из алмазоподобного углерода (dlc)

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20120040160A1 (ru)
EP (1) EP2726429A1 (ru)
BR (1) BR112013033594A2 (ru)
MX (1) MX338872B (ru)
RU (1) RU2635312C2 (ru)
WO (1) WO2013003188A1 (ru)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2418425B (en) * 2004-08-11 2008-09-03 Univ Cambridge Tech Anti-inflammatory agents
US7833574B2 (en) 2007-01-29 2010-11-16 Guardian Industries Corp. Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (DLC) coating and protective film
US20120040160A1 (en) * 2007-01-29 2012-02-16 Guardian Industries Corp. Method of making heat treated and ion-beam etched/milled coated article using diamond-like carbon (dlc) protective film
US9255029B2 (en) * 2012-04-17 2016-02-09 Guardian Industries Corp. Method of making heat treated coated article using TCO and removable protective film
FR2992313B1 (fr) * 2012-06-21 2014-11-07 Eurokera Article vitroceramique et procede de fabrication
US9434640B2 (en) 2012-12-04 2016-09-06 Guardian Industries Corp. Method of making heat treated coated article with carbon based coating and protective film
US9890074B2 (en) * 2013-02-21 2018-02-13 Htc Corporation Electronic device, glass cover and method of manufacturing glass cover
WO2023161080A1 (de) 2022-02-23 2023-08-31 Saint-Gobain Glass France Verfahren zur herstellung eines mit einer diamantähnlichen beschichtung versehenen wärmebehandelten substrats

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5135808A (en) 1990-09-27 1992-08-04 Diamonex, Incorporated Abrasion wear resistant coated substrate product
US5268217A (en) * 1990-09-27 1993-12-07 Diamonex, Incorporated Abrasion wear resistant coated substrate product
US5527596A (en) 1990-09-27 1996-06-18 Diamonex, Incorporated Abrasion wear resistant coated substrate product
US5470661A (en) 1993-01-07 1995-11-28 International Business Machines Corporation Diamond-like carbon films from a hydrocarbon helium plasma
US5888593A (en) 1994-03-03 1999-03-30 Monsanto Company Ion beam process for deposition of highly wear-resistant optical coatings
US5900342A (en) 1996-04-26 1999-05-04 Eastman Kodak Company Photoconductive element having an outermost layer of a fluorinated diamond-like carbon and method of making the same
US5858477A (en) 1996-12-10 1999-01-12 Akashic Memories Corporation Method for producing recording media having protective overcoats of highly tetrahedral amorphous carbon
US6002208A (en) 1998-07-02 1999-12-14 Advanced Ion Technology, Inc. Universal cold-cathode type ion source with closed-loop electron drifting and adjustable ion-emitting slit
US6261693B1 (en) 1999-05-03 2001-07-17 Guardian Industries Corporation Highly tetrahedral amorphous carbon coating on glass
US6338901B1 (en) 1999-05-03 2002-01-15 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating including DLC on substrate
US6335086B1 (en) 1999-05-03 2002-01-01 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating including DLC on substrate
US6280834B1 (en) 1999-05-03 2001-08-28 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating including DLC and/or FAS on substrate
US6303225B1 (en) 2000-05-24 2001-10-16 Guardian Industries Corporation Hydrophilic coating including DLC on substrate
US6740211B2 (en) * 2001-12-18 2004-05-25 Guardian Industries Corp. Method of manufacturing windshield using ion beam milling of glass substrate(s)
US6284377B1 (en) 1999-05-03 2001-09-04 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating including DLC on substrate
US6312808B1 (en) 1999-05-03 2001-11-06 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating with DLC & FAS on substrate
US6461731B1 (en) 1999-05-03 2002-10-08 Guardian Industries Corp. Solar management coating system including protective DLC
US6808606B2 (en) 1999-05-03 2004-10-26 Guardian Industries Corp. Method of manufacturing window using ion beam milling of glass substrate(s)
US6368664B1 (en) 1999-05-03 2002-04-09 Guardian Industries Corp. Method of ion beam milling substrate prior to depositing diamond like carbon layer thereon
US6447891B1 (en) 1999-05-03 2002-09-10 Guardian Industries Corp. Low-E coating system including protective DLC
FR2809722B1 (fr) * 2000-05-31 2003-01-03 Seppic Sa Nouveau procede de depolissage chimique du verre comprenant un rincage avec une solution saline et objets depolis obtenus par ce procede
US6602371B2 (en) * 2001-02-27 2003-08-05 Guardian Industries Corp. Method of making a curved vehicle windshield
US6902813B2 (en) * 2001-09-11 2005-06-07 Cardinal Cg Company Hydrophilic surfaces carrying temporary protective covers
US7198699B2 (en) 2002-05-06 2007-04-03 Guardian Industries Corp. Sputter coating apparatus including ion beam source(s), and corresponding method
US7150849B2 (en) * 2003-11-04 2006-12-19 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) and/or zirconium in coating
US6987364B2 (en) 2003-09-03 2006-01-17 Guardian Industries Corp. Floating mode ion source
US7030390B2 (en) 2003-09-09 2006-04-18 Guardian Industries Corp. Ion source with electrode kept at potential(s) other than ground by zener diode(s), thyristor(s) and/or the like
US7507442B2 (en) * 2003-11-04 2009-03-24 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) and/or zirconium in coating
US20050210921A1 (en) 2004-03-29 2005-09-29 Guardian Industries Corp. Method of making coated glass article, and intermediate product used in same
US7229533B2 (en) 2004-06-25 2007-06-12 Guardian Industries Corp. Method of making coated article having low-E coating with ion beam treated and/or formed IR reflecting layer
US7563347B2 (en) 2004-06-25 2009-07-21 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Method of forming coated article using sputtering target(s) and ion source(s) and corresponding apparatus
US7311975B2 (en) 2004-06-25 2007-12-25 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Coated article having low-E coating with ion beam treated IR reflecting layer and corresponding method
US7183559B2 (en) 2004-11-12 2007-02-27 Guardian Industries Corp. Ion source with substantially planar design
US7405411B2 (en) 2005-05-06 2008-07-29 Guardian Industries Corp. Ion source with multi-piece outer cathode
US7872422B2 (en) 2006-07-18 2011-01-18 Guardian Industries Corp. Ion source with recess in electrode
US7488951B2 (en) 2006-08-24 2009-02-10 Guardian Industries Corp. Ion source including magnet and magnet yoke assembly
EP2074072A2 (en) * 2006-10-18 2009-07-01 AGC Flat Glass Europe SA Matt glass sheet
US20120040160A1 (en) * 2007-01-29 2012-02-16 Guardian Industries Corp. Method of making heat treated and ion-beam etched/milled coated article using diamond-like carbon (dlc) protective film
US20120015195A1 (en) * 2007-01-29 2012-01-19 Guardian Industries Corp. and C.R.V.C. Method of making heat treated and ion-beam etched/milled coated article using diamond-like carbon (dlc) coating and protective film
US20120015196A1 (en) * 2007-01-29 2012-01-19 Guardian Industries Corp. Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (dlc) coating and protective film on acid-etched surface
US7964238B2 (en) 2007-01-29 2011-06-21 Guardian Industries Corp. Method of making coated article including ion beam treatment of metal oxide protective film
US8236116B2 (en) 2007-06-06 2012-08-07 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et Al Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Method of making coated glass article, and intermediate product used in same
EP2188225A1 (en) 2007-08-10 2010-05-26 Guardian Industries Corp. Method of making a heat-treated coated glass article using a polymer dispersion
US8449704B2 (en) 2008-07-31 2013-05-28 Guardian Industries Corp. Method of making a coated glass article, and intermediate product used in same
US8449348B2 (en) 2009-01-13 2013-05-28 Centre Luxembourg De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Techniques for debris reduction when performing edge deletion on coated articles having temporary protective coatings applied thereto

Also Published As

Publication number Publication date
BR112013033594A2 (pt) 2017-01-24
WO2013003188A1 (en) 2013-01-03
US20120040160A1 (en) 2012-02-16
MX2013015030A (es) 2014-03-26
RU2635312C2 (ru) 2017-11-10
EP2726429A1 (en) 2014-05-07
MX338872B (es) 2016-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2014102992A (ru) Способ изготовления термически обработанного и подвергнутого травлению/фрезерованию ионным пучком покрытого изделия с использованием защитной пленки из алмазоподобного углерода (dlc)
RU2014102993A (ru) Способ получения термообработанных изделий с покрытием с использованием покрытия из алмазоподобного углерода (dlc) и защитной пленки направленной кислотной поверхности
TWI375622B (ru)
TW200715410A (en) Post deposition plasma treatment to increase tensile stress of HDP-CVD SIO2
RU2013141185A (ru) Способ изготовления светоизлучающего диода
JP2009111354A5 (ru)
JP2009135464A5 (ru)
WO2012012138A3 (en) Method for finishing silicon on insulator substrates
SG142270A1 (en) Integrated method for removal of halogen residues from etched substrates by thermal process
ATE461606T1 (de) Verfahren zum partiellen lösen einer leitfähigen schicht
TW201429910A (zh) 觸控面板形成用強化玻璃基板之製造方法
WO2019173669A3 (en) Method for minimizing dent defects in chemically strengthened glass
JP2014069981A (ja) 基板加工装置及び基板加工方法
JP2007268704A5 (ru)
RU2013121740A (ru) Огнестойкий элемент с защитным покрытием и способ его изготовления
DE502005008630D1 (de) Verfahren zur oberflächenbehandlung von gläsern mit metallischen aluminium
FR2981645B1 (fr) Vitrage isolant a fort coefficient de transmission lumineuse
CN102509699B (zh) 金属层光刻胶重涂方法以及光刻方法
JPH03232731A (ja) 化学切削性感光性ガラス製品の分割法
JP2015224171A (ja) ガラス基板の製造方法
JP2006315929A (ja) ガラス表面の研磨方法
JP5861441B2 (ja) 基体表面の傷の修復方法
JP2009272443A5 (ru)
KR101585722B1 (ko) 전자 소자가 형성된 금속기판의 제조방법 및 이에 의해 제조된 전자 소자가 형성된 금속기판
RU2019138319A (ru) Продукт, защищенный временным шероховатым защитным покрытием

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180622