RU2013148882A - Способ обработки поверхности карбида кремния с помощью ультрафиолетового лазерного излучения - Google Patents
Способ обработки поверхности карбида кремния с помощью ультрафиолетового лазерного излучения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013148882A RU2013148882A RU2013148882/28A RU2013148882A RU2013148882A RU 2013148882 A RU2013148882 A RU 2013148882A RU 2013148882/28 A RU2013148882/28 A RU 2013148882/28A RU 2013148882 A RU2013148882 A RU 2013148882A RU 2013148882 A RU2013148882 A RU 2013148882A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- solid target
- silicon carbide
- working cell
- yag laser
- liquid
- Prior art date
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
Способ получения наноструктур на поверхности карбида кремния, содержащий этапы, на которых:- устанавливают твердую мишень в рабочую кювету с жидкостью;- устанавливают рабочую кювету с твердой мишенью на координатный столик;- осуществляют лазерную абляцию при помощи Nd:YAG лазера, работающего в импульсном режиме, отличающийся тем, что- Nd:YAG лазер осуществляет облучение твердой мишени ультрафиолетовым излучением на длине волны 355 нм, с длительностью импульса 10 пс, с частотой повторения импульса 50 кГц и со средней мощностью 3,5 Вт; и- в качестве жидкости используют воду, прошедшую этап очистки в системе обратного осмоса.
Claims (1)
- Способ получения наноструктур на поверхности карбида кремния, содержащий этапы, на которых:- устанавливают твердую мишень в рабочую кювету с жидкостью;- устанавливают рабочую кювету с твердой мишенью на координатный столик;- осуществляют лазерную абляцию при помощи Nd:YAG лазера, работающего в импульсном режиме, отличающийся тем, что- Nd:YAG лазер осуществляет облучение твердой мишени ультрафиолетовым излучением на длине волны 355 нм, с длительностью импульса 10 пс, с частотой повторения импульса 50 кГц и со средней мощностью 3,5 Вт; и- в качестве жидкости используют воду, прошедшую этап очистки в системе обратного осмоса.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013148882/28A RU2563324C2 (ru) | 2013-11-01 | 2013-11-01 | Способ обработки поверхности карбида кремния с помощью ультрафиолетового лазерного излучения |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013148882/28A RU2563324C2 (ru) | 2013-11-01 | 2013-11-01 | Способ обработки поверхности карбида кремния с помощью ультрафиолетового лазерного излучения |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013148882A true RU2013148882A (ru) | 2015-05-10 |
| RU2563324C2 RU2563324C2 (ru) | 2015-09-20 |
Family
ID=53283423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013148882/28A RU2563324C2 (ru) | 2013-11-01 | 2013-11-01 | Способ обработки поверхности карбида кремния с помощью ультрафиолетового лазерного излучения |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2563324C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2724142C1 (ru) * | 2019-12-17 | 2020-06-22 | Акционерное общество "ОКБ-Планета" АО "ОКБ-Планета" | Способ получения различных видов морфологии поверхности карбида кремния |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5406906A (en) * | 1994-01-18 | 1995-04-18 | Ford Motor Company | Preparation of crystallographically aligned films of silicon carbide by laser deposition of carbon onto silicon |
| US5529949A (en) * | 1994-03-17 | 1996-06-25 | Kent State University | Process of making thin film 2H α-sic by laser ablation |
| US6183714B1 (en) * | 1995-09-08 | 2001-02-06 | Rice University | Method of making ropes of single-wall carbon nanotubes |
| RU2350686C2 (ru) * | 2007-04-06 | 2009-03-27 | Общество с ограниченной ответственностью "УФ-техника" | Способ получения тонких пленок карбида кремния методом вакуумной лазерной абляции |
-
2013
- 2013-11-01 RU RU2013148882/28A patent/RU2563324C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2563324C2 (ru) | 2015-09-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EA201391168A1 (ru) | Способ и система экологически безопасного охлаждения промышленных процессов | |
| CL2018003043A1 (es) | Método para preparar una solución acuosa de poliacrilamida. | |
| SG10201404456WA (en) | Method and apparatus for non-ablative, photoacoustic compression machining in transparent materials using filamentation by burst ultrafast laser pulses | |
| DE502006007523D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks | |
| WO2013173334A3 (en) | Apparatus and method for controlled fluid cooling during laser based dental treatments | |
| AR066017A1 (es) | Proceso para la preparacion de una carga mineral tratada, la carga mineral obtenida y sus usos | |
| CL2019000878A1 (es) | Una solución termosensible y método para su uso. | |
| JP2016516516A5 (ru) | ||
| SG10201709736UA (en) | Dividing method of workpiece and laser processing apparatus | |
| AR093196A1 (es) | Sistema y metodo de desalinizacion y/o produccion de gas | |
| RU2013148882A (ru) | Способ обработки поверхности карбида кремния с помощью ультрафиолетового лазерного излучения | |
| PE20140458A1 (es) | Medios compuestos para los procesos de tratamiento de agua y metodos de uso de los mismos | |
| EP3622593A4 (en) | SCALING OF HIGH-GETIC PULSED SOLID-STATE LASERS TO HIGH AVERAGE POWER | |
| CL2017002217A1 (es) | Sistema y método para el tratamiento del agua. | |
| JP2016024022A5 (ru) | ||
| MX2017004272A (es) | Impresion de un patron adhesivo sobre un soporte anti-ensuciamiento. | |
| MY190094A (en) | Wafer marking method | |
| BR112015002482A2 (pt) | método e sistema de eliminação de acúmulo pós-solda | |
| GB2519253A (en) | Nano-machined materials using femtosecond pulse-laser technologies for increased surface area and heat-power dissipation | |
| MX2017009002A (es) | Metodo para obtener o mantener la transmitancia optica en liquido desaireado. | |
| AR073536A1 (es) | Procedimiento para el tratamiento de un medio acuoso contaminado con metales | |
| RU2009129295A (ru) | Способ лечения хронических ринитов | |
| RU2016123163A (ru) | Энергоэффективное устройство лазерной резки материалов | |
| UA51707U (ru) | Способ лазерной гравировки | |
| JP2014209595A5 (ru) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD4A | Correction of name of patent owner | ||
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20181102 |