RU2013127847A - Установка ионно-плазменного нанесения покрытий - Google Patents

Установка ионно-плазменного нанесения покрытий Download PDF

Info

Publication number
RU2013127847A
RU2013127847A RU2013127847/02A RU2013127847A RU2013127847A RU 2013127847 A RU2013127847 A RU 2013127847A RU 2013127847/02 A RU2013127847/02 A RU 2013127847/02A RU 2013127847 A RU2013127847 A RU 2013127847A RU 2013127847 A RU2013127847 A RU 2013127847A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
chamber
ion
installation
vacuum
plasma coating
Prior art date
Application number
RU2013127847/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2562568C2 (ru
Inventor
Евгений Викторович Васильев
Виталий Степанович Гончаров
Максим Витальевич Гончаров
Original Assignee
Евгений Викторович Васильев
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Евгений Викторович Васильев filed Critical Евгений Викторович Васильев
Priority to RU2013127847/02A priority Critical patent/RU2562568C2/ru
Publication of RU2013127847A publication Critical patent/RU2013127847A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2562568C2 publication Critical patent/RU2562568C2/ru

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Установка вакуумная ионно-плазменная, которая состоит из корпуса, дверцы, электродугового испарителя, системы водоохлаждения; вакуумной системы, механизма вращения, основания и электрической части, отличающаяся тем, что на верхней и нижней панелях камеры монтируют удлиняющие цилиндры, обрабатываемое изделие вертикально устанавливают на крепежных устройствах, токоизолированных от камеры при помощи тефлоновых направляющих, на изделие монтируют кольцо, которое входит в зацепление с валом, а также разворачивают катодные узлы.

Claims (1)

  1. Установка вакуумная ионно-плазменная, которая состоит из корпуса, дверцы, электродугового испарителя, системы водоохлаждения; вакуумной системы, механизма вращения, основания и электрической части, отличающаяся тем, что на верхней и нижней панелях камеры монтируют удлиняющие цилиндры, обрабатываемое изделие вертикально устанавливают на крепежных устройствах, токоизолированных от камеры при помощи тефлоновых направляющих, на изделие монтируют кольцо, которое входит в зацепление с валом, а также разворачивают катодные узлы.
RU2013127847/02A 2013-06-18 2013-06-18 Установка для вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий RU2562568C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013127847/02A RU2562568C2 (ru) 2013-06-18 2013-06-18 Установка для вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013127847/02A RU2562568C2 (ru) 2013-06-18 2013-06-18 Установка для вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013127847A true RU2013127847A (ru) 2014-12-27
RU2562568C2 RU2562568C2 (ru) 2015-09-10

Family

ID=53278404

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013127847/02A RU2562568C2 (ru) 2013-06-18 2013-06-18 Установка для вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2562568C2 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU176918U1 (ru) * 2017-04-10 2018-02-01 Общество С Ограниченной Ответственностью "Изовак" Механизм открывания и поворота дверей вакуумной камеры

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4662312A (en) * 1984-12-28 1987-05-05 Nissin Electric Co., Ltd. Apparatus for ion and vapor deposition
US5998798A (en) * 1998-06-11 1999-12-07 Eaton Corporation Ion dosage measurement apparatus for an ion beam implanter and method
KR20020040875A (ko) * 1999-10-15 2002-05-30 로버트 엠. 포터 다중 전극 스퍼터링 시스템에서 기판 바이어싱을 위한방법 및 장치
RU2305142C2 (ru) * 2005-03-28 2007-08-27 Закрытое акционерное общество научно-производственный центр "Трибоника" Способ ионной обработки поверхностного слоя металлического изделия и установка для его осуществления
RU2425173C2 (ru) * 2009-01-11 2011-07-27 Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" Установка для комбинированной ионно-плазменной обработки
RU2450083C2 (ru) * 2010-06-15 2012-05-10 Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации Установка для вакуумной ионно-плазменной обработки длинномерных изделий

Also Published As

Publication number Publication date
RU2562568C2 (ru) 2015-09-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CL2013002656A1 (es) Sistema de recubrimiento que comprende una camara de vacio y un conjunto de revestimiento que incluye una fuente de deposicion catodica con magnetron, un soporte de sustrato, un conjunto de camara de catodo que incluye un objetivo del catodo, un anodo primario y un escudo, un anodo remoto y una fuente de alimentacion primaria.
WO2019086071A3 (de) Elektrisch verstellbares möbelstück mit einem antriebsmotor
MX2018003145A (es) Sistema de propulsion de arco catodico pulsado, iniciado por conductor interno.
UA112145C2 (uk) Джерело плазми
MX368879B (es) Dispositivo de bombardeo de iones y metodo para usar el mismo para limpiar una superficie de sustrato.
EA201692409A1 (ru) Электрическое устройство, которое также может быть использовано в промышленности, для охлаждения или замораживания и нагрева с максимальной скоростью
BR112017001801A8 (pt) Disposição para gerar um pulso de corrente zero para gerar uma passagem de corrente zero em um componente elétrico e uso de uma disposição
RU2013127847A (ru) Установка ионно-плазменного нанесения покрытий
PL412032A1 (pl) Reaktor plazmy nietermicznej do sterylizacji produktów pochodzenia organicznego
AR097247A1 (es) Dispositivo de electrólisis y conjunto anódico destinados a la producción de aluminio, célula de electrólisis e instalación que comprende dicho dispositivo
RU2013100421A (ru) Лазерно-плазменный генератор ионов с большим зарядом
RU2013127848A (ru) Установка ионно-плазменного нанесения покрытий
RU2013116463A (ru) Устройство для синтеза покрытий
RU2013123637A (ru) Способ образования каналов на катоде в несамостоятельном дуговом разряде
RU2011124107A (ru) Высоковольтный изолятор
UA127636U (uk) ЗАСТОСУВАННЯ ПОЛІМЕРНОГО КОМПОЗИТУ НА ОСНОВІ МІКРОКРИСТАЛІЧНОГО ЙОДИД-ПЕНТАТІОГЕРМАНАТУ МІДІ Cu7GeS5I ЯК МАТЕРІАЛУ ДЛЯ ТВЕРДОЕЛЕКТРОЛІТИЧНОГО ДЖЕРЕЛА ЕНЕРГІЇ
RU2014139866A (ru) Ускоритель-тандем с вакуумной изоляцией
RU2015120561A (ru) Источник ионов
RU2015147137A (ru) Способ излучения электромагнитно плазменной энергии
RS20140184A1 (en) PERPETUUM MOBILE DIRECTOR AND AC
FR3053121B1 (fr) Procede d'estimation de l'energie ecretee par une source de production electrique intermittente
KR20190060231A (ko) 전기 곡괭이
KR20190060229A (ko) 전기 호미
ES1214961Y (es) Panel solar fotovoltaico con cámara de vacío
RU2014151202A (ru) Специальное экранирование постоянных магнитов

Legal Events

Date Code Title Description
FA92 Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted)

Effective date: 20141215

FZ9A Application not withdrawn (correction of the notice of withdrawal)

Effective date: 20150324

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150807