RU2013127847A - Установка ионно-плазменного нанесения покрытий - Google Patents
Установка ионно-плазменного нанесения покрытий Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013127847A RU2013127847A RU2013127847/02A RU2013127847A RU2013127847A RU 2013127847 A RU2013127847 A RU 2013127847A RU 2013127847/02 A RU2013127847/02 A RU 2013127847/02A RU 2013127847 A RU2013127847 A RU 2013127847A RU 2013127847 A RU2013127847 A RU 2013127847A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- chamber
- ion
- installation
- vacuum
- plasma coating
- Prior art date
Links
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Установка вакуумная ионно-плазменная, которая состоит из корпуса, дверцы, электродугового испарителя, системы водоохлаждения; вакуумной системы, механизма вращения, основания и электрической части, отличающаяся тем, что на верхней и нижней панелях камеры монтируют удлиняющие цилиндры, обрабатываемое изделие вертикально устанавливают на крепежных устройствах, токоизолированных от камеры при помощи тефлоновых направляющих, на изделие монтируют кольцо, которое входит в зацепление с валом, а также разворачивают катодные узлы.
Claims (1)
- Установка вакуумная ионно-плазменная, которая состоит из корпуса, дверцы, электродугового испарителя, системы водоохлаждения; вакуумной системы, механизма вращения, основания и электрической части, отличающаяся тем, что на верхней и нижней панелях камеры монтируют удлиняющие цилиндры, обрабатываемое изделие вертикально устанавливают на крепежных устройствах, токоизолированных от камеры при помощи тефлоновых направляющих, на изделие монтируют кольцо, которое входит в зацепление с валом, а также разворачивают катодные узлы.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013127847/02A RU2562568C2 (ru) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | Установка для вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013127847/02A RU2562568C2 (ru) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | Установка для вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2013127847A true RU2013127847A (ru) | 2014-12-27 |
RU2562568C2 RU2562568C2 (ru) | 2015-09-10 |
Family
ID=53278404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013127847/02A RU2562568C2 (ru) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | Установка для вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2562568C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU176918U1 (ru) * | 2017-04-10 | 2018-02-01 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Изовак" | Механизм открывания и поворота дверей вакуумной камеры |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4662312A (en) * | 1984-12-28 | 1987-05-05 | Nissin Electric Co., Ltd. | Apparatus for ion and vapor deposition |
US5998798A (en) * | 1998-06-11 | 1999-12-07 | Eaton Corporation | Ion dosage measurement apparatus for an ion beam implanter and method |
KR20020040875A (ko) * | 1999-10-15 | 2002-05-30 | 로버트 엠. 포터 | 다중 전극 스퍼터링 시스템에서 기판 바이어싱을 위한방법 및 장치 |
RU2305142C2 (ru) * | 2005-03-28 | 2007-08-27 | Закрытое акционерное общество научно-производственный центр "Трибоника" | Способ ионной обработки поверхностного слоя металлического изделия и установка для его осуществления |
RU2425173C2 (ru) * | 2009-01-11 | 2011-07-27 | Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | Установка для комбинированной ионно-плазменной обработки |
RU2450083C2 (ru) * | 2010-06-15 | 2012-05-10 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Установка для вакуумной ионно-плазменной обработки длинномерных изделий |
-
2013
- 2013-06-18 RU RU2013127847/02A patent/RU2562568C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2562568C2 (ru) | 2015-09-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CL2013002656A1 (es) | Sistema de recubrimiento que comprende una camara de vacio y un conjunto de revestimiento que incluye una fuente de deposicion catodica con magnetron, un soporte de sustrato, un conjunto de camara de catodo que incluye un objetivo del catodo, un anodo primario y un escudo, un anodo remoto y una fuente de alimentacion primaria. | |
WO2019086071A3 (de) | Elektrisch verstellbares möbelstück mit einem antriebsmotor | |
MX2018003145A (es) | Sistema de propulsion de arco catodico pulsado, iniciado por conductor interno. | |
UA112145C2 (uk) | Джерело плазми | |
MX368879B (es) | Dispositivo de bombardeo de iones y metodo para usar el mismo para limpiar una superficie de sustrato. | |
EA201692409A1 (ru) | Электрическое устройство, которое также может быть использовано в промышленности, для охлаждения или замораживания и нагрева с максимальной скоростью | |
BR112017001801A8 (pt) | Disposição para gerar um pulso de corrente zero para gerar uma passagem de corrente zero em um componente elétrico e uso de uma disposição | |
RU2013127847A (ru) | Установка ионно-плазменного нанесения покрытий | |
PL412032A1 (pl) | Reaktor plazmy nietermicznej do sterylizacji produktów pochodzenia organicznego | |
AR097247A1 (es) | Dispositivo de electrólisis y conjunto anódico destinados a la producción de aluminio, célula de electrólisis e instalación que comprende dicho dispositivo | |
RU2013100421A (ru) | Лазерно-плазменный генератор ионов с большим зарядом | |
RU2013127848A (ru) | Установка ионно-плазменного нанесения покрытий | |
RU2013116463A (ru) | Устройство для синтеза покрытий | |
RU2013123637A (ru) | Способ образования каналов на катоде в несамостоятельном дуговом разряде | |
RU2011124107A (ru) | Высоковольтный изолятор | |
UA127636U (uk) | ЗАСТОСУВАННЯ ПОЛІМЕРНОГО КОМПОЗИТУ НА ОСНОВІ МІКРОКРИСТАЛІЧНОГО ЙОДИД-ПЕНТАТІОГЕРМАНАТУ МІДІ Cu7GeS5I ЯК МАТЕРІАЛУ ДЛЯ ТВЕРДОЕЛЕКТРОЛІТИЧНОГО ДЖЕРЕЛА ЕНЕРГІЇ | |
RU2014139866A (ru) | Ускоритель-тандем с вакуумной изоляцией | |
RU2015120561A (ru) | Источник ионов | |
RU2015147137A (ru) | Способ излучения электромагнитно плазменной энергии | |
RS20140184A1 (en) | PERPETUUM MOBILE DIRECTOR AND AC | |
FR3053121B1 (fr) | Procede d'estimation de l'energie ecretee par une source de production electrique intermittente | |
KR20190060231A (ko) | 전기 곡괭이 | |
KR20190060229A (ko) | 전기 호미 | |
ES1214961Y (es) | Panel solar fotovoltaico con cámara de vacío | |
RU2014151202A (ru) | Специальное экранирование постоянных магнитов |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA92 | Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted) |
Effective date: 20141215 |
|
FZ9A | Application not withdrawn (correction of the notice of withdrawal) |
Effective date: 20150324 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150807 |