RU2012148229A - VACUUM-ARC GENERATOR WITH BLINDING PLASMA FILTRATION SYSTEM FROM MICROPARTICLES - Google Patents

VACUUM-ARC GENERATOR WITH BLINDING PLASMA FILTRATION SYSTEM FROM MICROPARTICLES Download PDF

Info

Publication number
RU2012148229A
RU2012148229A RU2012148229/07A RU2012148229A RU2012148229A RU 2012148229 A RU2012148229 A RU 2012148229A RU 2012148229/07 A RU2012148229/07 A RU 2012148229/07A RU 2012148229 A RU2012148229 A RU 2012148229A RU 2012148229 A RU2012148229 A RU 2012148229A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
anode
louvre
electrodes
electrode
Prior art date
Application number
RU2012148229/07A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2516502C1 (en
Inventor
Александр Ильич Рябчиков
Петр Семенович Ананьин
Денис Олегович Сивин
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"
Priority to RU2012148229/07A priority Critical patent/RU2516502C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2012148229A publication Critical patent/RU2012148229A/en
Publication of RU2516502C1 publication Critical patent/RU2516502C1/en

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

1. Вакуумно-дуговой генератор с жалюзийной системой фильтрации плазмы от микрочастиц, содержащий охлаждаемый катод в виде усеченного конуса, поджигающий электрод, установленный на конической поверхности катода, цилиндрический охлаждаемый анод, установленный коаксиально с катодом, источник питания вакуумной дуги, включенный между катодом и анодом, источник питания поджигающего электрода, подключенный отрицательным выходом к катоду, осесимметричную жалюзийную систему вставленных друг в друга конических электродов электрически соединенных между собой последовательно и встречно, и подключенных к источнику тока и к положительному выводу источника напряжения, вторым выводом подключенного к аноду дугового испарителя, над анодом, до жалюзийной системы и после нее установлена, по меньшей мере, одна электромагнитная катушка и перед жалюзийной системой электродов, соосно с ней, установлен дополнительный охлаждаемый анод, отличающийся тем, что в центре катода выполнено отверстие в виде встречного, по отношению к внешней поверхности катода, усеченного конуса, а электроды жалюзийной системы выполнены в форме конической многовитковой винтовой линии.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в центральной части катода, в плоскости малого диаметра усеченного конуса, установлен диск из тугоплавкого материала.3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что жалюзийная система выполнена двухэлектродной.4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электроды жалюзийной системы и дополнительный анод выполнены так, чтобы не было прямой видимости рабочей поверхности катода, включая его конические поверхности, из любой точки пр�1. Vacuum-arc generator with a louvered microparticle plasma filtration system, containing a cooled truncated cone cathode, a firing electrode mounted on the conical surface of the cathode, a cylindrical cooled anode mounted coaxially with the cathode, a vacuum arc power source connected between the cathode and the anode , ignition electrode power supply connected to the cathode by a negative output, axisymmetric louvre system of conical electrodes inserted into each other, electrically connected connected to each other sequentially and counterclockwise, and connected to the current source and to the positive terminal of the voltage source, the second terminal connected to the anode of the arc evaporator, above the anode, to the louvre system and after it, at least one electromagnetic coil is installed and before the louvre electrode system coaxially with it, an additional cooled anode is installed, characterized in that in the center of the cathode a hole is made in the form of a counter-truncated cone relative to the outer surface of the cathode, and the electrodes of the tips resistance solutions system are made in the form of a multiturn helical bevel linii.2. The device according to claim 1, characterized in that in the central part of the cathode, in the plane of the small diameter of the truncated cone, a disk of refractory material is installed. The device according to claim 1, characterized in that the louvre system is made of a two-electrode. The device according to claim 1, characterized in that the electrodes of the louvre system and the additional anode are made so that there is no direct visibility of the working surface of the cathode, including its conical surfaces, from any point

Claims (6)

1. Вакуумно-дуговой генератор с жалюзийной системой фильтрации плазмы от микрочастиц, содержащий охлаждаемый катод в виде усеченного конуса, поджигающий электрод, установленный на конической поверхности катода, цилиндрический охлаждаемый анод, установленный коаксиально с катодом, источник питания вакуумной дуги, включенный между катодом и анодом, источник питания поджигающего электрода, подключенный отрицательным выходом к катоду, осесимметричную жалюзийную систему вставленных друг в друга конических электродов электрически соединенных между собой последовательно и встречно, и подключенных к источнику тока и к положительному выводу источника напряжения, вторым выводом подключенного к аноду дугового испарителя, над анодом, до жалюзийной системы и после нее установлена, по меньшей мере, одна электромагнитная катушка и перед жалюзийной системой электродов, соосно с ней, установлен дополнительный охлаждаемый анод, отличающийся тем, что в центре катода выполнено отверстие в виде встречного, по отношению к внешней поверхности катода, усеченного конуса, а электроды жалюзийной системы выполнены в форме конической многовитковой винтовой линии.1. Vacuum-arc generator with a louvered microparticle plasma filtration system, containing a cooled truncated cone cathode, a firing electrode mounted on the conical surface of the cathode, a cylindrical cooled anode mounted coaxially with the cathode, a vacuum arc power source connected between the cathode and the anode , ignition electrode power supply connected to the cathode by a negative output, axisymmetric louvre system of conical electrodes inserted into each other, electrically connected connected to each other sequentially and counterclockwise, and connected to the current source and to the positive terminal of the voltage source, the second terminal connected to the anode of the arc evaporator, above the anode, to the louvre system and after it, at least one electromagnetic coil is installed and before the louvre electrode system coaxially with it, an additional cooled anode is installed, characterized in that in the center of the cathode a hole is made in the form of a counter-truncated cone relative to the outer surface of the cathode, and the electrodes of the tips resistance solutions system are shaped multiturn conical helix. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в центральной части катода, в плоскости малого диаметра усеченного конуса, установлен диск из тугоплавкого материала.2. The device according to claim 1, characterized in that in the central part of the cathode, in the plane of the small diameter of the truncated cone, a disk of refractory material is installed. 3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что жалюзийная система выполнена двухэлектродной.3. The device according to p. 1, characterized in that the louvre system is made of two-electrode. 4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электроды жалюзийной системы и дополнительный анод выполнены так, чтобы не было прямой видимости рабочей поверхности катода, включая его конические поверхности, из любой точки пространства расположенного за жалюзийной системой.4. The device according to claim 1, characterized in that the electrodes of the louvre system and the additional anode are made so that there is no direct visibility of the working surface of the cathode, including its conical surfaces, from any point in space located behind the louvre system. 5. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электроды выполнены с зазорами между соседними витками конической винтовой линии.5. The device according to claim 1, characterized in that the electrodes are made with gaps between adjacent turns of a conical helix. 6. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электроды жалюзийной системы выполнены разной длины. 6. The device according to p. 1, characterized in that the electrodes of the louvre system are made of different lengths.
RU2012148229/07A 2012-11-14 2012-11-14 Vacuum-arc generator with louver system of plasma filtration from particles RU2516502C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012148229/07A RU2516502C1 (en) 2012-11-14 2012-11-14 Vacuum-arc generator with louver system of plasma filtration from particles

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012148229/07A RU2516502C1 (en) 2012-11-14 2012-11-14 Vacuum-arc generator with louver system of plasma filtration from particles

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012148229A true RU2012148229A (en) 2014-05-20
RU2516502C1 RU2516502C1 (en) 2014-05-20

Family

ID=50695530

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012148229/07A RU2516502C1 (en) 2012-11-14 2012-11-14 Vacuum-arc generator with louver system of plasma filtration from particles

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2516502C1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2585243C1 (en) * 2015-02-03 2016-05-27 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" Device for cleaning plasma flow of arc evaporator from micro-droplet fraction

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2097868C1 (en) * 1996-07-09 1997-11-27 Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете Device for cleaning arc evaporator plasma from microparticles (options)
RU2107968C1 (en) * 1996-08-06 1998-03-27 Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете Device for cleaning plasma-arc evaporator from microparticles (options)
US6006694A (en) * 1997-12-05 1999-12-28 Tegal Corporation Plasma reactor with a deposition shield
RU2364003C1 (en) * 2008-02-26 2009-08-10 Федеральное государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики" Device for cleaning off microparticles from plasma of arc evaporator

Also Published As

Publication number Publication date
RU2516502C1 (en) 2014-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2014109915A (en) VAPOR DEPOSITION FOR APPLICATION OF A COATING DIPING IN A LOW PRESSURE ARC PLASMA AND ION PROCESSING
RU2010146630A (en) X-RAY TUBE WITH PASSIVE ION-COLLECTING ELECTRODE
RU2008112377A (en) METHOD FOR HEATING A CATHODE AND IGNITION OF AN ARC DISCHARGE WITH METAL WIRE BETWEEN ELECTRODES
RU2012148229A (en) VACUUM-ARC GENERATOR WITH BLINDING PLASMA FILTRATION SYSTEM FROM MICROPARTICLES
RU143137U1 (en) CONTROLLED VACUUM DISCHARGE
RU2012150810A (en) SPARK GAP
RU2010132621A (en) HIGH-PRECISION ELECTRON GUN
RU2608952C2 (en) Spark gap with capacitive power accumulator
US9930767B2 (en) Plasma-containing modular arc generator
CN103000479B (en) Novel electronic gun
CN107027236B (en) Neutron generator
CN204885077U (en) Controllable type discharge tube of discharge frequency
RU138109U1 (en) BIOGAS FUEL IONIZER
RU2010127142A (en) METHOD FOR LOCAL HEATING OF THE CATHODE SURFACE PART
CN202094080U (en) Ion source
RU130135U1 (en) PULSE METALLO-CERAMIC X-RAY TUBE
CN106871743B (en) A kind of electronics big gun head and production method
RU2016113321A (en) Device for generating a plasma of a high-frequency discharge
RU2008134964A (en) METHOD FOR DIRECT, without converter, ARC DISCHARGE CURRENT SOURCE spark gap with a breakdown voltage and the glow discharge, greatly exceeds VOLTAGE IS ISTOCHIKA AND POSSIBILITY FOR PRODUCING HIGH EFFICIENCY AND HIGH CURRENT DISCHARGE CAPACITY AND HIGH VOLUME PLASMA WITH HIGH CONDUCTIVITY
RU126447U1 (en) HIGH POWER ELECTROMAGNETIC RADIATOR
RU74753U1 (en) DEVICE FOR LUMINESCENT LAMPS
RU2012135063A (en) DISCHARGE INSTRUMENT
RU129034U1 (en) PLASMA INJECTOR FOR INITIATING EXPLOSIVE CHARGE
CN102263005A (en) Ion source
RU116686U1 (en) CATHODE ASSEMBLY OF A PULSE ARC PLASMA GENERATOR

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20161115