RU2012141853A

RU2012141853A - Способ получения рельефа на металлической поверхности

Info

Publication number: RU2012141853A
Application number: RU2012141853/02A
Authority: RU
Inventors: Юрий Дмитриевич Сасов; Вадим Александрович Усачев; Николай Александрович Голов; Наталья Валерьевна Кудрявцева
Priority date: 2012-10-02
Filing date: 2012-10-02
Publication date: 2014-04-10

Abstract

1. Способ получения рельефа на металлической поверхности, включающий селективное нанесение маски в виде защитной пленки на предварительно очищенную подложку, травление рисунка, промывку и удаление защитной пленки, отличающийся тем, что создают защитный газовый слой между маской и подложкой с помощью травящего раствора, при этом материал маски выбирают из условия устойчивости от воздействия травящего состава и наносят ее преимущественно методами фотолитографии; при этом поверхность подложки располагают параллельно поверхности травящего раствора и процесс ведут в неподвижном состоянии подложки и травящего раствора, до формирования пузырьков газа под подтравленными участками подложки, расположенными под маской и образованного газового слоя, защищающего материал подложки от дальнейшего бокового подтрава; далее после промывки и сушки удаляют маску, контролируют размеры и качество полученного рельефа, удаляют микронеровности преимущественно методом электрополировки, вырезают по контуру и упаковывают готовое изделие.2. Способ получения рельефа на металлической поверхности по п.1, отличающийся тем, что процесс травления рисунка ведут многоступенчато, чередуя непосредственно травление с извлечением подложки из травящего раствора, промывкой, удалением промывочной жидкости с поверхности подложки и из рельефа и дальнейшим погружением подложки в травящий раствор, располагая травящуюся поверхность подложки параллельно поверхности травящего раствора, обеспечивая формирование защитного газового слоя под маской, при этом каждую ступень травления ведут в свежем травящем растворе.3. Способ получения релье

Claims

1. Способ получения рельефа на металлической поверхности, включающий селективное нанесение маски в виде защитной пленки на предварительно очищенную подложку, травление рисунка, промывку и удаление защитной пленки, отличающийся тем, что создают защитный газовый слой между маской и подложкой с помощью травящего раствора, при этом материал маски выбирают из условия устойчивости от воздействия травящего состава и наносят ее преимущественно методами фотолитографии; при этом поверхность подложки располагают параллельно поверхности травящего раствора и процесс ведут в неподвижном состоянии подложки и травящего раствора, до формирования пузырьков газа под подтравленными участками подложки, расположенными под маской и образованного газового слоя, защищающего материал подложки от дальнейшего бокового подтрава; далее после промывки и сушки удаляют маску, контролируют размеры и качество полученного рельефа, удаляют микронеровности преимущественно методом электрополировки, вырезают по контуру и упаковывают готовое изделие.

2. Способ получения рельефа на металлической поверхности по п.1, отличающийся тем, что процесс травления рисунка ведут многоступенчато, чередуя непосредственно травление с извлечением подложки из травящего раствора, промывкой, удалением промывочной жидкости с поверхности подложки и из рельефа и дальнейшим погружением подложки в травящий раствор, располагая травящуюся поверхность подложки параллельно поверхности травящего раствора, обеспечивая формирование защитного газового слоя под маской, при этом каждую ступень травления ведут в свежем травящем растворе.

3. Способ получения рельефа на металлической поверхности по п.1, отличающийся тем, что защитный газовый слой получают при подаче снаружи рассеянной струей газа, образуя мелкопузырькую фазу.

4. Способ получения рельефа на металлической поверхности по пп.1 и 2, отличающийся тем, что после каждой ступени травления и после окончания процесса травления контроль глубины рельефа и величины бокового подтрава проводят оптическими методами, замеряя величину тени при освещении рельефа под заданным углом относительно поверхности подложки.

5. Способ получения рельефа на металлической поверхности по п.1, отличающийся тем, что для получения декоративного эффекта после контроля размеров и качества полученного рельефа проводят окраску и сушку полученного изделия, после чего наносят наружный рельеф в виде чередующихся впадин и выступов преимущественно механическим методом.