RU2012132799A

RU2012132799A - Многоходовая фокусирующая система и способ фокусировки лазерного излучения, обеспечивающий многократное прохождение лазерного пучка через измерительный объем

Info

Publication number: RU2012132799A
Application number: RU2012132799/28A
Authority: RU
Inventors: Сергей Юрьевич Фёдоров; Борис Фёдорович Бояршинов
Priority date: 2012-07-31
Filing date: 2012-07-31
Publication date: 2014-02-10
Also published as: RU2523735C2

Abstract

1. Многоходовая фокусирующая система, содержащая линзы для фокусировки лазерного пучка и зеркала для его возврата в измерительный объем, отличающаяся тем, что система включает размещенные на общем основании одну и более способных перемещаться в направлении к точке фокуса сборок оптических элементов, каждая из которых содержит два плоских поворотных зеркала в юстировочной головке, обеспечивающей независимый наклон каждого зеркала в двух направлениях, и перефокусирующую линзу между ними, установленную соосно с отраженным лазерным пучком на двойном фокусном расстоянии по ходу пучка от измерительного объема, установленных в положениях, обеспечивающих фокусировку отраженного пучка в той же точке, и одну сборку, содержащую линзу и плоское зеркало или только вогнутое зеркало, направляющую лазерный пучок так, что он проходит весь свой путь в обратном направлении, при этом число проходов равно от 4 более в зависимости от числа установленных сборок оптических элементов.2. Способ фокусировки лазерного излучения, обеспечивающий многократное прохождение лазерного пучка через измерительный объем системой линз и зеркал, отличающийся тем, что излучение лазера поляризуют перпендикулярно плоскости основания многоходовой системы, лазерный пучок распространяется в одной плоскости, параллельной плоскости основания многоходовой системы, прошедший через объект исследования лазерный пучок попадает на сборку оптических элементов, включающую два плоских поворотных зеркала в юстировочной головке, обеспечивающей независимый наклон каждого зеркала в двух направлениях, и перефокусирующую линзу между ними, установленную

Claims

1. Многоходовая фокусирующая система, содержащая линзы для фокусировки лазерного пучка и зеркала для его возврата в измерительный объем, отличающаяся тем, что система включает размещенные на общем основании одну и более способных перемещаться в направлении к точке фокуса сборок оптических элементов, каждая из которых содержит два плоских поворотных зеркала в юстировочной головке, обеспечивающей независимый наклон каждого зеркала в двух направлениях, и перефокусирующую линзу между ними, установленную соосно с отраженным лазерным пучком на двойном фокусном расстоянии по ходу пучка от измерительного объема, установленных в положениях, обеспечивающих фокусировку отраженного пучка в той же точке, и одну сборку, содержащую линзу и плоское зеркало или только вогнутое зеркало, направляющую лазерный пучок так, что он проходит весь свой путь в обратном направлении, при этом число проходов равно от 4 более в зависимости от числа установленных сборок оптических элементов.

2. Способ фокусировки лазерного излучения, обеспечивающий многократное прохождение лазерного пучка через измерительный объем системой линз и зеркал, отличающийся тем, что излучение лазера поляризуют перпендикулярно плоскости основания многоходовой системы, лазерный пучок распространяется в одной плоскости, параллельной плоскости основания многоходовой системы, прошедший через объект исследования лазерный пучок попадает на сборку оптических элементов, включающую два плоских поворотных зеркала в юстировочной головке, обеспечивающей независимый наклон каждого зеркала в двух направлениях, и перефокусирующую линзу между ними, установленную соосно с отраженным лазерным пучком на двойном фокусном расстоянии по ходу пучка от измерительного объема, обеспечивающую перефокусировку пучка без изменения размера перетяжки, и возвращается в область измерений по другому пути, таким образом, лазерный пучок последовательно проходит одну и более сборок оптических элементов и попадает на сборку, содержащую линзу и плоское зеркало или только вогнутое зеркало, затем возвращается, проходя весь пройденный путь в обратном направлении, при этом число проходов составляет 4 и более в зависимости от числа пройденных сборок оптических элементов.