RU2012123987A

RU2012123987A - Резонатор с защитным слоем, вибрационный датчик, включающий в себя такой резонатор, и способ изготовления резонатора

Info

Publication number: RU2012123987A
Application number: RU2012123987/28A
Authority: RU
Inventors: Поль ВАНДЕБЕК
Original assignee: Сажем Дефанс Секюрите
Priority date: 2009-11-12
Filing date: 2010-11-10
Publication date: 2013-12-20
Also published as: WO2011057766A1; CN102667402A; CN102667402B; KR20140081907A; US20120216620A1; FR2952427A1; RU2527319C2; KR20120069760A; EP2499457A1; KR101608358B1; EP2499457B1; FR2952427B1; US8966985B2

Abstract

1. Резонатор (3), содержащий корпус из материала на основе кремния с по меньшей мере одной резонансной частью (Z), имеющей по меньшей мере один участок, покрытый электропроводящим слоем (9), и по меньшей мере один участок, не покрытый электропроводящим слоем, отличающийся тем, что участок, не покрытый электропроводящим слоем, покрыт защитным слоем (10, 10'), так что в резонансной части материал на основе кремния полностью покрыт комбинацией электропроводящего и защитного слоев.2. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что защитный слой (10, 10') изготовлен из благородного металла.3. Резонатор по п.2, отличающийся тем, что благородный металл представляет собой платину.4. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что электропроводящий слой (9) и защитный слой (10, 10') изготовлены из одного и того же материала, причем толщина электропроводящего слоя больше толщины защитного слоя.5. Резонатор по п.4, отличающийся тем, что толщина электропроводящего слоя (9) превышает 15 нм и предпочтительно равна приблизительно 50 нм, при этом толщина защитного слоя (10, 10') составляет от 1 нм до 10 нм и предпочтительно равна приблизительно 5 нм.6. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что резонансная часть (Z) содержит по меньшей мере одну часть стенки (4) по существу полусферической формы, внешняя и внутренняя поверхности (5, 6) которой покрыты защитным слоем (10, 10') и имеют свободные края, соединенные друг с другом плоской кольцевой поверхностью (7), покрытой электропроводящим слоем (9).7. Резонатор по п.6, отличающийся тем, что электропроводящий слой (9) имеет ответвления (9.3), проходящие по внутренней поверхности (6) от кольцевой поверхности (7) до полюса внутренней поверхности.8. Датчик в

Claims

1. Резонатор (3), содержащий корпус из материала на основе кремния с по меньшей мере одной резонансной частью (Z), имеющей по меньшей мере один участок, покрытый электропроводящим слоем (9), и по меньшей мере один участок, не покрытый электропроводящим слоем, отличающийся тем, что участок, не покрытый электропроводящим слоем, покрыт защитным слоем (10, 10'), так что в резонансной части материал на основе кремния полностью покрыт комбинацией электропроводящего и защитного слоев.

2. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что защитный слой (10, 10') изготовлен из благородного металла.

3. Резонатор по п.2, отличающийся тем, что благородный металл представляет собой платину.

4. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что электропроводящий слой (9) и защитный слой (10, 10') изготовлены из одного и того же материала, причем толщина электропроводящего слоя больше толщины защитного слоя.

5. Резонатор по п.4, отличающийся тем, что толщина электропроводящего слоя (9) превышает 15 нм и предпочтительно равна приблизительно 50 нм, при этом толщина защитного слоя (10, 10') составляет от 1 нм до 10 нм и предпочтительно равна приблизительно 5 нм.

6. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что резонансная часть (Z) содержит по меньшей мере одну часть стенки (4) по существу полусферической формы, внешняя и внутренняя поверхности (5, 6) которой покрыты защитным слоем (10, 10') и имеют свободные края, соединенные друг с другом плоской кольцевой поверхностью (7), покрытой электропроводящим слоем (9).

7. Резонатор по п.6, отличающийся тем, что электропроводящий слой (9) имеет ответвления (9.3), проходящие по внутренней поверхности (6) от кольцевой поверхности (7) до полюса внутренней поверхности.

8. Датчик вибрации, содержащий несущую пластину (1) с электродом и резонатор (3) по п.6 или 7, при этом корпус резонатора включает в себя стержень (8), соединяющий резонансную часть (Z) с несущей пластиной таким образом, что электропроводящий слой (9) обращен к закрепленным на несущей пластине электродам (2), причем стержень покрыт электропроводящим слоем (9.1), соединенным с электропроводящим слоем (9.2) кольцевой поверхности средством (9.3) электрического соединения.

9. Способ изготовления резонатора (3), содержащего корпус из материала на основе кремния с по меньшей мере одной резонансной частью (Z), имеющей по меньшей мере один первый участок, покрытый электропроводящим слоем (9), и по меньшей мере один второй участок, покрытый защитным слоем (10) из того же материала, что и электропроводящий слой, при этом способ включает в себя этап, на котором наносят материал на первый и второй участки до толщины, достаточной для формирования защитного слоя, и последующий этап, на котором повторно наносят материал только на первый участок таким образом, чтобы общая толщина материала, нанесенного на первый участок, была достаточной для формирования электропроводящего слоя.