RU2012123987A - Резонатор с защитным слоем, вибрационный датчик, включающий в себя такой резонатор, и способ изготовления резонатора - Google Patents
Резонатор с защитным слоем, вибрационный датчик, включающий в себя такой резонатор, и способ изготовления резонатора Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012123987A RU2012123987A RU2012123987/28A RU2012123987A RU2012123987A RU 2012123987 A RU2012123987 A RU 2012123987A RU 2012123987/28 A RU2012123987/28 A RU 2012123987/28A RU 2012123987 A RU2012123987 A RU 2012123987A RU 2012123987 A RU2012123987 A RU 2012123987A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electrically conductive
- conductive layer
- resonator
- covered
- protective layer
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
- G01C19/5691—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially three-dimensional vibrators, e.g. wine glass-type vibrators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
1. Резонатор (3), содержащий корпус из материала на основе кремния с по меньшей мере одной резонансной частью (Z), имеющей по меньшей мере один участок, покрытый электропроводящим слоем (9), и по меньшей мере один участок, не покрытый электропроводящим слоем, отличающийся тем, что участок, не покрытый электропроводящим слоем, покрыт защитным слоем (10, 10'), так что в резонансной части материал на основе кремния полностью покрыт комбинацией электропроводящего и защитного слоев.2. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что защитный слой (10, 10') изготовлен из благородного металла.3. Резонатор по п.2, отличающийся тем, что благородный металл представляет собой платину.4. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что электропроводящий слой (9) и защитный слой (10, 10') изготовлены из одного и того же материала, причем толщина электропроводящего слоя больше толщины защитного слоя.5. Резонатор по п.4, отличающийся тем, что толщина электропроводящего слоя (9) превышает 15 нм и предпочтительно равна приблизительно 50 нм, при этом толщина защитного слоя (10, 10') составляет от 1 нм до 10 нм и предпочтительно равна приблизительно 5 нм.6. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что резонансная часть (Z) содержит по меньшей мере одну часть стенки (4) по существу полусферической формы, внешняя и внутренняя поверхности (5, 6) которой покрыты защитным слоем (10, 10') и имеют свободные края, соединенные друг с другом плоской кольцевой поверхностью (7), покрытой электропроводящим слоем (9).7. Резонатор по п.6, отличающийся тем, что электропроводящий слой (9) имеет ответвления (9.3), проходящие по внутренней поверхности (6) от кольцевой поверхности (7) до полюса внутренней поверхности.8. Датчик в
Claims (9)
1. Резонатор (3), содержащий корпус из материала на основе кремния с по меньшей мере одной резонансной частью (Z), имеющей по меньшей мере один участок, покрытый электропроводящим слоем (9), и по меньшей мере один участок, не покрытый электропроводящим слоем, отличающийся тем, что участок, не покрытый электропроводящим слоем, покрыт защитным слоем (10, 10'), так что в резонансной части материал на основе кремния полностью покрыт комбинацией электропроводящего и защитного слоев.
2. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что защитный слой (10, 10') изготовлен из благородного металла.
3. Резонатор по п.2, отличающийся тем, что благородный металл представляет собой платину.
4. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что электропроводящий слой (9) и защитный слой (10, 10') изготовлены из одного и того же материала, причем толщина электропроводящего слоя больше толщины защитного слоя.
5. Резонатор по п.4, отличающийся тем, что толщина электропроводящего слоя (9) превышает 15 нм и предпочтительно равна приблизительно 50 нм, при этом толщина защитного слоя (10, 10') составляет от 1 нм до 10 нм и предпочтительно равна приблизительно 5 нм.
6. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что резонансная часть (Z) содержит по меньшей мере одну часть стенки (4) по существу полусферической формы, внешняя и внутренняя поверхности (5, 6) которой покрыты защитным слоем (10, 10') и имеют свободные края, соединенные друг с другом плоской кольцевой поверхностью (7), покрытой электропроводящим слоем (9).
7. Резонатор по п.6, отличающийся тем, что электропроводящий слой (9) имеет ответвления (9.3), проходящие по внутренней поверхности (6) от кольцевой поверхности (7) до полюса внутренней поверхности.
8. Датчик вибрации, содержащий несущую пластину (1) с электродом и резонатор (3) по п.6 или 7, при этом корпус резонатора включает в себя стержень (8), соединяющий резонансную часть (Z) с несущей пластиной таким образом, что электропроводящий слой (9) обращен к закрепленным на несущей пластине электродам (2), причем стержень покрыт электропроводящим слоем (9.1), соединенным с электропроводящим слоем (9.2) кольцевой поверхности средством (9.3) электрического соединения.
9. Способ изготовления резонатора (3), содержащего корпус из материала на основе кремния с по меньшей мере одной резонансной частью (Z), имеющей по меньшей мере один первый участок, покрытый электропроводящим слоем (9), и по меньшей мере один второй участок, покрытый защитным слоем (10) из того же материала, что и электропроводящий слой, при этом способ включает в себя этап, на котором наносят материал на первый и второй участки до толщины, достаточной для формирования защитного слоя, и последующий этап, на котором повторно наносят материал только на первый участок таким образом, чтобы общая толщина материала, нанесенного на первый участок, была достаточной для формирования электропроводящего слоя.
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0905426 | 2009-11-12 | ||
FR0905426A FR2952427B1 (fr) | 2009-11-12 | 2009-11-12 | Resonateur comportant une couche de passivation, capteur vibrant comportant un tel resonateur et procede de fabrication |
US32504310P | 2010-04-16 | 2010-04-16 | |
US61/325,043 | 2010-04-16 | ||
PCT/EP2010/006833 WO2011057766A1 (en) | 2009-11-12 | 2010-11-10 | A resonator including a passivation layer, a vibrating sensor including such a resonator, and a method of manufacture |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2012123987A true RU2012123987A (ru) | 2013-12-20 |
RU2527319C2 RU2527319C2 (ru) | 2014-08-27 |
Family
ID=42731984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2012123987/28A RU2527319C2 (ru) | 2009-11-12 | 2010-11-10 | Резонатор с защитным слоем, вибрационный датчик, включающий в себя такой резонатор, и способ изготовления резонатора |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8966985B2 (ru) |
EP (1) | EP2499457B1 (ru) |
KR (2) | KR20120069760A (ru) |
CN (1) | CN102667402B (ru) |
FR (1) | FR2952427B1 (ru) |
RU (1) | RU2527319C2 (ru) |
WO (1) | WO2011057766A1 (ru) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11703331B2 (en) * | 2020-03-18 | 2023-07-18 | The Regents Of The University Of Michigan | Three dimensional microstructures with selectively removed regions for use in gyroscopes and other devices |
CN112414388B (zh) * | 2020-11-20 | 2023-03-07 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 用于角参量检测的半球谐振陀螺电容结构及加工方法 |
US11874112B1 (en) * | 2022-10-04 | 2024-01-16 | Enertia Microsystems Inc. | Vibratory gyroscopes with resonator attachments |
CN116625344B (zh) * | 2023-07-26 | 2023-10-13 | 中国船舶集团有限公司第七〇七研究所 | 一种基于低损耗半球谐振子图案化电极的谐振陀螺 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5450751A (en) * | 1993-05-04 | 1995-09-19 | General Motors Corporation | Microstructure for vibratory gyroscope |
US5438231A (en) * | 1993-08-23 | 1995-08-01 | Rockwell International Corporation | Thin film micromechanical resonator gyro |
US5760304A (en) * | 1997-02-18 | 1998-06-02 | Litton Systems, Inc. | Vibratory rotation sensor with AC forcing voltages |
RU2166734C1 (ru) * | 2000-06-05 | 2001-05-10 | Химический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова | Чувствительный элемент волнового твердотельного гироскопа |
RU2196964C1 (ru) * | 2001-07-19 | 2003-01-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Ижевский электромеханический завод "Купол" | Твердотельный волновой гироскоп |
US6647785B2 (en) * | 2001-07-27 | 2003-11-18 | Litton Systems, Inc. | Nuclear radiation hard high accuracy rotation sensor system |
US6629460B2 (en) * | 2001-08-10 | 2003-10-07 | The Boeing Company | Isolated resonator gyroscope |
FR2851041B1 (fr) * | 2003-02-06 | 2005-03-18 | Sagem | Procede de mise en oeuvre d'un resonateur sous l'effet de forces electrostatiques |
FR2857445B1 (fr) * | 2003-07-10 | 2005-09-02 | Sagem | Resonateur, notamment pour gyroscope vibrant |
US7786653B2 (en) * | 2007-07-03 | 2010-08-31 | Northrop Grumman Systems Corporation | MEMS piezoelectric switch |
FR2920224B1 (fr) * | 2007-08-23 | 2009-10-02 | Sagem Defense Securite | Procede de determination d'une vitesse de rotation d'un capteur vibrant axisymetrique, et dispositif inertiel mettant en oeuvre le procede |
US7987714B2 (en) * | 2007-10-12 | 2011-08-02 | The Boeing Company | Disc resonator gyroscope with improved frequency coincidence and method of manufacture |
RU2362975C1 (ru) * | 2008-01-09 | 2009-07-27 | Сергей Михайлович Бражнев | Твердотельный волновой гироскоп |
FR2936049B1 (fr) * | 2008-09-16 | 2010-09-17 | Sagem Defense Securite | Resonateur a metallisation partielle pour detecteur de parametre angulaire. |
US8393212B2 (en) * | 2009-04-01 | 2013-03-12 | The Boeing Company | Environmentally robust disc resonator gyroscope |
US8101458B2 (en) * | 2009-07-02 | 2012-01-24 | Advanced Microfab, LLC | Method of forming monolithic CMOS-MEMS hybrid integrated, packaged structures |
US8631702B2 (en) * | 2010-05-30 | 2014-01-21 | Honeywell International Inc. | Hemitoroidal resonator gyroscope |
US8610333B2 (en) * | 2010-09-24 | 2013-12-17 | Wei Pang | Acoustic wave devices |
-
2009
- 2009-11-12 FR FR0905426A patent/FR2952427B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-11-10 KR KR1020127012139A patent/KR20120069760A/ko active Application Filing
- 2010-11-10 KR KR1020147015563A patent/KR101608358B1/ko active IP Right Grant
- 2010-11-10 WO PCT/EP2010/006833 patent/WO2011057766A1/en active Application Filing
- 2010-11-10 US US13/504,918 patent/US8966985B2/en active Active
- 2010-11-10 CN CN201080051782.1A patent/CN102667402B/zh active Active
- 2010-11-10 EP EP10784446.6A patent/EP2499457B1/en active Active
- 2010-11-10 RU RU2012123987/28A patent/RU2527319C2/ru active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8966985B2 (en) | 2015-03-03 |
KR101608358B1 (ko) | 2016-04-01 |
KR20120069760A (ko) | 2012-06-28 |
EP2499457A1 (en) | 2012-09-19 |
RU2527319C2 (ru) | 2014-08-27 |
FR2952427B1 (fr) | 2012-02-24 |
CN102667402A (zh) | 2012-09-12 |
KR20140081907A (ko) | 2014-07-01 |
WO2011057766A1 (en) | 2011-05-19 |
CN102667402B (zh) | 2015-09-09 |
US20120216620A1 (en) | 2012-08-30 |
FR2952427A1 (fr) | 2011-05-13 |
EP2499457B1 (en) | 2019-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8490485B2 (en) | Resonator for a vibratory sensor of an angular parameter | |
WO2006138671A3 (en) | Photovoltaic wire | |
WO2008106555A3 (en) | Piezoelectric package with improved lead structure | |
WO2011003039A3 (en) | Analyte sensors and methods of manufacturing same | |
RU2012123987A (ru) | Резонатор с защитным слоем, вибрационный датчик, включающий в себя такой резонатор, и способ изготовления резонатора | |
TW200802441A (en) | Ceramic capacitor mounting structure and ceramic capacitor | |
EP2009710A3 (en) | Piezoelectric component and manufacturing method thereof | |
EA201290855A1 (ru) | Оконное стекло с электрическим соединительным элементом | |
TW200617451A (en) | Organic devices having a fiber structure | |
JP2011097582A5 (ru) | ||
EP2402967A3 (en) | Photoelectric conversion element, method of manufacturing the same, photoelectric conversion element module, and method of manufacturing the same | |
WO2007116244A3 (en) | Method of fabricating electrodes with low contact resistance for batteries and double-layer capacitors | |
EP2165970A3 (en) | Substrate bonded mems sensor | |
WO2010136174A3 (de) | Elektrodenwickel | |
EP1908529A3 (en) | Ultrasonic transducer and manufacturing method thereof | |
WO2013068169A3 (de) | Träger für eine elektrische schaltung mit einem integrierten energiespeicher | |
US20120013223A1 (en) | Micro electric generator, method of providing the same, and electric generating device | |
FR2952426B1 (fr) | Resonateur a couche metallisee partielle | |
KR100448108B1 (ko) | 압전 발음체 및 그 제조 방법 | |
TW201130093A (en) | Substrate for mounting element, and method for manufacturing the substrate | |
EP2892116A3 (en) | Vertical cavity surface emitting laser and atomic oscillator | |
JP2012034302A5 (ru) | ||
CN204215904U (zh) | 芯片型固态电解电容器 | |
KR101751131B1 (ko) | 압전 에너지 하베스터 | |
TW200802425A (en) | Varistor and light-emitting apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PD4A | Correction of name of patent owner |