RU2011149328A

RU2011149328A - Способ получения трехмерных объектов

Info

Publication number: RU2011149328A
Application number: RU2011149328/28A
Authority: RU
Inventors: Юрий Владимирович Микляев; Константин Александрович Зайцев; Мария Андреевна Адаменко
Priority date: 2011-12-02
Filing date: 2011-12-02
Publication date: 2013-06-10
Also published as: RU2491594C2

Abstract

1. Способ получения трехмерных объектов произвольной формы методом интерференционной литографии, характеризующийся тем, что осуществляют предварительный расчет амплитуд и фаз интерферируемых когерентных волн по заданной форме объекта, освещают фоточувствительный материал последовательностью групп интерферирующих когерентных волн с получением трехмерного распределения плотности поглощенной световой энергии, проявляют полученный фотоматериал и получают твердые трехмерные объекты.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что синтезируют одновременно множество идентичных объектов произвольной формы, упорядоченных в двухмерную сетку.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что направление интерферирующих волн задают таким образом, чтобы проекции волновых векторов на некоторую плоскость располагаются в периодической двухмерной сетке.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что освещают слой фоточувствительного материала с двух сторон.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что освещают слой фоточувствительного материала с одной стороны.6. Способ по п.1, отличающийся тем, что расчет амплитуд волн корректируют с учетом конечного поглощения интерферирующих волн в слое фоточувствительного материала.7. Способ по п.1, отличающийся тем, что расположение одновременно синтезируемых объектов осуществляют в плоскости, перпендикулярной слою фоточувствительного материала и/или направлению освещения.8. Способ по п.7, отличающийся тем, что трехмерное расположение идентичных объектов осуществляют при перемещении слоя фоточувствительного материала параллельно его плоскости.9. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствител

Claims

1. Способ получения трехмерных объектов произвольной формы методом интерференционной литографии, характеризующийся тем, что осуществляют предварительный расчет амплитуд и фаз интерферируемых когерентных волн по заданной форме объекта, освещают фоточувствительный материал последовательностью групп интерферирующих когерентных волн с получением трехмерного распределения плотности поглощенной световой энергии, проявляют полученный фотоматериал и получают твердые трехмерные объекты.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что синтезируют одновременно множество идентичных объектов произвольной формы, упорядоченных в двухмерную сетку.

3. Способ по п.2, отличающийся тем, что направление интерферирующих волн задают таким образом, чтобы проекции волновых векторов на некоторую плоскость располагаются в периодической двухмерной сетке.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что освещают слой фоточувствительного материала с двух сторон.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что освещают слой фоточувствительного материала с одной стороны.

6. Способ по п.1, отличающийся тем, что расчет амплитуд волн корректируют с учетом конечного поглощения интерферирующих волн в слое фоточувствительного материала.

7. Способ по п.1, отличающийся тем, что расположение одновременно синтезируемых объектов осуществляют в плоскости, перпендикулярной слою фоточувствительного материала и/или направлению освещения.

8. Способ по п.7, отличающийся тем, что трехмерное расположение идентичных объектов осуществляют при перемещении слоя фоточувствительного материала параллельно его плоскости.

9. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствительного материала используют пространственно-временной модулятор света на основе жидкокристаллического модулятора.

10. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствительного материала используют пространственно-временной модулятор света на основе микроэлектромеханического модулятора.

11. Способ по п.1, отличающийся тем, что предварительный расчет амплитуд и фаз интерферирующих волн осуществляют при помощи генетического алгоритма оптимизации.

12. Способ по п.1, отличающийся тем, что предварительный расчет амплитуд и фаз интерферирующих волн осуществляют при расчете дифракции волн, падающих и дифрагирующих в направлениях, соответствующих интерферирующим волнам.

13. Способ по п.1, отличающийся тем, что предварительный расчет амплитуд и фаз интерферирующих волн осуществляют с использованием быстрого преобразования Фурье.

14. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве фоточувствительного материала используют сухие пленки негативных и позитивных фоторезистов.

15. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве фоточувствительного материала используют жидкие фотополимерные среды.

16. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствительного материала интерферирующими волнами используют нелинейные эффекты, в частности двухфотонное поглощение.

17. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствительного материала интерферирующими волнами используют фурье-объектив или микрообъектив, в передней фокальной плоскости которых помещают пространственно-временной модулятор света.

18. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствительного материала интерферирующими волнами используют различные виды иммерсии.

19. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствительного материала интерферирующими волнами используют циркулярную поляризацию интерферирующих волн.

20. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствительного материала интерферирующими волнами используют линейную поляризацию интерферирующих волн.

21. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствительного материала интерферирующими волнами используют эллиптическую поляризацию интерферирующих волн.

22. Способ по п.1, отличающийся тем, что при освещении фоточувствительного материала интерферирующими волнами оптимизируют и задают отдельно поляризацию каждой из интерферирующих волн.